OAC系統(tǒng)培訓資料年月日課件

新風空調(diào)系統(tǒng)OAC系統(tǒng)培訓2012.2.25新風空調(diào)系統(tǒng)OAC系統(tǒng)培訓2012.2.251新風空調(diào)系統(tǒng)概述OAC是潔凈廠房的集中新風處理的系統(tǒng)，也叫新風處理裝置；歐美叫做MAU:Make-upairunit新風機組；日本叫做OAC：outdoorairconditioner外氣處理機組。一般有3個作用：1、去除室外空氣中的灰塵顆粒和有毒有害氣狀物2、對送入潔凈室的新風進行集中處理，以達到FAB所需的具有一定溫濕度和潔凈度的補充空氣－－潔凈室的濕度一般就是由MAU來控制3、根據(jù)室內(nèi)正壓壓差計控制送入一定量的新風，以維持潔凈廠房的正壓值新風空調(diào)系統(tǒng)概述OAC是潔凈廠房的集中新風處理的系統(tǒng)2OAC照片OAC照片3新風空調(diào)系統(tǒng)概述FAB5FOAC布局圖OAC-1OAC-2OAC-3OAC-4OAC-5OAC-6OAC-8OAC-9OAC-10OAC-11OAC-12OAC-13OAC-14N/S4FOAC布局圖OAC-7新風空調(diào)系統(tǒng)概述FAB5FOAC布局圖OAC-1OAC-4OAC處理外氣流程概述外界新風→無紡布→初效過濾器→中效過濾器→預熱/冷處理（冬季工況下要求水噴淋前溫度達到18℃→水噴淋將新風溫度降至12.7度，濕度為100%RH）→再冷/熱處理（將送風溫度調(diào)節(jié)至22℃，濕度為45%RH）→化學過濾器→高效過濾器→送至潔凈室回風夾道上方。OAC處理外氣流程概述外界新風→無紡布→初5OAC處理外氣流程概述OAC處理外氣流程概述6OAC處理外氣流程概述22℃45%123OAC處理外氣流程概述22℃1237OAC處理外氣流程概述夏季OAC設計外氣入口工況為夏季：39℃DB、31.8℃WB，處理流程如下：經(jīng)過預處理段和水噴淋將較熱的新風處理為22℃、100%RH。根據(jù)出風溫濕度設定值22℃、45%，此時露點溫度為10.3℃、100%，所以經(jīng)過再冷盤管后，將新風溫度降為10.3℃（100%）。經(jīng)過再熱盤管，將出風溫度升至22℃。OAC處理外氣流程概述夏季OAC設計外氣入口工況為夏季：398OAC處理外氣流程概述1234OAC處理外氣流程概述12349OAC處理外氣流程概述冬季OAC設計外氣入口工況為夏季：-10℃DB,-20℃DP，處理流程如下：經(jīng)過預處理段將較冷較干的新風升溫至18℃。經(jīng)過水噴淋段將新風處理為12.7℃、100%RH，利用水噴淋送水溫度，減小了再冷盤管除濕時的負荷，根據(jù)水噴淋段的換熱效率，設計預處理段19℃，經(jīng)過水噴淋的熱交換，使其噴淋后溫度控制在12.7℃。經(jīng)過再冷盤管將送風溫度降至OAC送風露點溫度10.3℃、100%。經(jīng)過再熱盤管，將出風溫度升至22℃。OAC處理外氣流程概述冬季OAC設計外氣入口工況為夏季：-110新風空調(diào)的組成初效過濾器、中效過濾器、化學過濾器、超高效過濾器。預冷段、預熱段、水噴淋段、再冷段、再熱段。風機段以及其他附屬儀表組成。新風空調(diào)的組成初效過濾器、中效過濾器、化學過濾器、超高效過濾11新風空調(diào)的組成初效過濾器中效過濾器預熱段預冷段水噴淋段再冷段再熱段風機段化學過濾器超高效過濾器新風空調(diào)的組成初效過濾器中效過濾器預熱段預冷段水噴淋段再冷段12新風空調(diào)過濾器分類OAC有四種過濾器：初效過濾器中效過濾器高效過濾器化學過濾器新風空調(diào)過濾器分類OAC有四種過濾器：13新風空調(diào)過濾器分類采用鋼格柵可沖洗式初效過濾器，初效過濾器可拆卸清洗，風量損失為10%，過濾顆粒效率為80%。新風空調(diào)過濾器分類采用鋼格柵可沖洗式初效過14新風空調(diào)過濾器分類中效過濾器：尺寸為610X610X290mm，過濾顆粒效率為98%。新風空調(diào)過濾器分類中效過濾器：尺寸為61015新風空調(diào)過濾器分類超高效過濾器：尺寸為610X610X292mm，過濾顆粒效率為99.9995%。新風空調(diào)過濾器分類超高效過濾器：尺寸為6116新風空調(diào)過濾器分類化學過濾器參數(shù)如下：新風空調(diào)過濾器分類化學過濾器參數(shù)如下：17新風空調(diào)過濾器分類OAC化學過濾器要求AMC范圍(ug/m3)現(xiàn)場取樣量測之去除效率(%)最初去除效率

(1month)最后去除

(2~12month)TOC50~500>95>70>500>95>70NH310~100>95>70>100>95>70Acids(NO3,SO2,Cl,F，CH3COO+HCOO)10~100>95>70>100>95>70新風空調(diào)過濾器分類OAC化學過濾器要求AMC范圍(ug/m18新風空調(diào)的組成再冷盤管新風空調(diào)的組成再冷盤管19新風空調(diào)的組成再熱盤管新風空調(diào)的組成再熱盤管20新風空調(diào)的組成風機段，每臺OAC有兩個風機，55KWX2，滿載為53Hz新風空調(diào)的組成風機段，每臺OAC有兩個風機，55KWX2，21水噴淋段流量計對應上方噴淋常補水閥浮球補水閥噴淋流量調(diào)節(jié)閥RO水送水壓力水噴淋段流量計對應上方噴淋常補水閥浮球補水閥噴淋流量調(diào)節(jié)閥R22水噴淋段RO送水旁通RO送水電動閥水噴淋段RO送水旁通RO送水電動閥23新風空調(diào)系統(tǒng)介紹預熱盤管在冬季工況下設定最小開度，為防止OAC在未開啟的狀態(tài)下，外氣較低的溫度可能會凍傷盤管，所以無論OAC是否開啟，在冬季工況下預熱盤管設定有最小開度防止盤管結凍。新風空調(diào)系統(tǒng)介紹預熱盤管在冬季工況下設定最小開度，為防止OA24新風空調(diào)系統(tǒng)介紹冬季工況下，由于OAC預熱盤管的控制點在噴淋段之后，預冷盤管的控制點在噴淋段之前，當預熱條件滿足的情況下，相對于噴淋前控制的溫度會高于預冷段控制點，這樣預處理時冷熱盤管會同時開啟，導致資源浪費，冬季工況下并不需要開啟預冷盤管，改良后的控制方法是將預冷預熱盤管的控制點改正同為噴淋前溫度，而將噴淋后溫度設置為加濕板換中溫水閥門開度控制，這樣就避免了預處理段冷熱水閥門同時開啟，從而節(jié)約了能源。新風空調(diào)系統(tǒng)介紹冬季工況下，由于OAC預25新風空調(diào)系統(tǒng)介紹冬季工況下，由于OAC預熱盤管的控制點在噴淋段之后，預冷盤管的控制點在噴淋段之前，當預熱條件滿足的情況下，相對于噴淋前控制的溫度會高于預冷段控制點，這樣預處理時冷熱盤管會同時開啟，導致資源浪費，冬季工況下并不需要開啟預冷盤管，改良后的控制方法是將預熱盤管自控閥開度和水噴淋板換處中溫水自控閥開度同步，等于將水噴淋溫度提高，降低了預熱盤管的開度，在保證水噴淋后溫度的同時，水噴淋前的溫度也有所下降，低于預冷盤管設定值時，則無需開啟預冷盤管，可以達到節(jié)能的效果。新風空調(diào)系統(tǒng)介紹冬季工況下，由于OAC預26水噴淋泵介紹每臺OAC水噴淋段有兩個水噴淋泵及其附件組成，水噴淋段有兩個重要的功能：加濕較干的空氣，經(jīng)過再冷再熱后達到要求的送風濕度。溶解外氣可溶于水的化學成分，減少OAC化學過濾器和FFU上化學過濾器的負擔。水噴淋泵介紹每臺OAC水噴淋段有兩個水噴淋27水噴淋泵組水噴淋泵組28水噴淋段內(nèi)部噴淋段上方噴頭噴霧噴頭水噴淋下方補水水噴淋段內(nèi)部噴淋段上方噴頭噴霧噴頭水噴淋下方補水29OAC環(huán)形管網(wǎng)OAC環(huán)形管網(wǎng)30OAC對潔凈室的影響OAC空調(diào)機設置在N/S4F和FAB5F東西兩側FAB5F西側：OAC1#~6#FAB5F東側：OAC8#~14#N/S4F：OAC7#14臺OAC擁有各自的新風入口，而出口則組成一個環(huán)形網(wǎng)絡連通后，通過集管送入潔凈廠房，并通過區(qū)域新風閥的開度，控制各個區(qū)域的正壓梯度。OAC對潔凈室的影響OAC空調(diào)機設置在N/S4F和FAB31潔凈室新風閥分布圖潔凈室新風閥分布圖32OAC對潔凈室的影響保證潔凈室內(nèi)新風溫度接近要求值保證潔凈室內(nèi)區(qū)域的濕度保證潔凈室內(nèi)各區(qū)域的正壓梯度保證潔凈室整體對外界的正壓OAC對潔凈室的影響保證潔凈室內(nèi)新風溫度接近要求值33OAC操作界面OAC操作界面34新風空調(diào)系統(tǒng)介紹新風空調(diào)系統(tǒng)介紹35OAC對潔凈室的影響

OAC送風送至FAB4F回風夾道，和回風組成的混合新風送至干盤管進行再次降溫，根據(jù)區(qū)域的溫濕度探頭反饋至調(diào)整盤管開度，已降溫的風由FFU送至潔凈室3F，與環(huán)境熱量熱交換后經(jīng)由華夫地板壓至潔凈室2F，與環(huán)境熱量熱交換后，經(jīng)由兩側的負壓區(qū)回風夾道重新與新風混合送入干盤管。OAC對潔凈室的影響OAC送風送至FAB36OAC對潔凈室的影響潔凈室的濕度是直接受OAC影響的，OAC的送風絕對濕度將直接影響到末端區(qū)域空氣的含濕量，不經(jīng)其他處理，而潔凈室內(nèi)的基準點和OAC送風溫含濕量一樣，設為22℃，45%RH，只要干盤管能控制住溫度穩(wěn)定在22℃，OAC的送風含濕量穩(wěn)定，室內(nèi)熱源沒有波動，室內(nèi)的相對濕度就不會受其他因素的影響。OAC對潔凈室的影響潔凈室的濕度是直接受OA37溫濕度傳感器變送器溫濕度探頭溫濕度傳感器變送器溫濕度探頭38OAC對潔凈室的影響OAC風機頻率受集管靜壓的控制，OAC集管靜壓點一共有五處，分別為東南、西南、東北、西北、N/S4F。系統(tǒng)暫時啟用了東南（代表了東側靜壓）、西側平均值（代表了西側靜壓），N/S4F三個靜壓控制點，東南靜壓控制點控制東側OAC8#~14#的風機頻率，西南靜壓控制點控制OAC1#~6#的風機頻率，N/S4F靜壓控制點控制OAC7#風機頻率，每個控制點平均分配風機頻率，每臺受控制的OAC風機運行頻率保持一致，集管靜壓設定值在控制畫面中可以調(diào)整，系統(tǒng)會根據(jù)靜壓設定值調(diào)整對應OAC風機的頻率。注：風機最低頻率設為20HzOAC對潔凈室的影響OAC風機頻率受集管39潔凈室內(nèi)正壓梯度光刻區(qū)++DIFF+COPPER++AL區(qū)

（已移除）ECPCOPPER+++TF+Waferstart++WAT+Tubecleaning+COPPERCMP++CMP+潔凈室內(nèi)正壓梯度光刻區(qū)DIFFCOPPERAL區(qū)40OAC對潔凈室的影響潔凈室正壓梯度如上圖，1個+代表最低的正壓度，設定為對正壓基準點（0位/外界）有5Pa的正壓，2個+則表示對1個+的區(qū)域設定有5Pa的正壓，3個+的區(qū)域則是對2個+的區(qū)域設定有5Pa的正壓。為保證潔凈室內(nèi)的潔凈度，潔凈室不允許有外界的臟空氣進入，因此正壓度越高的區(qū)域，潔凈度也越高，對應區(qū)域的新風閥開度會比較大。正壓基準點探頭現(xiàn)設在FAB5F東側機房內(nèi)，OAC9#送風管旁邊，注：各區(qū)域隔斷門打開也會短時間影響潔凈室內(nèi)的壓差，所以開門的時間不宜過長。OAC對潔凈室的影響潔凈室正壓梯度如上圖，41潔凈室靜壓導管FAB3F靜壓導管FAB2F靜壓變送器潔凈室靜壓導管FAB3F靜壓導管FAB2F靜壓變送器42OAC對潔凈室的影響OAC送風通過集管經(jīng)由各個區(qū)域的新風閥送至FAB內(nèi)，新風閥的開度是根據(jù)各個區(qū)域設定的正壓度調(diào)整的，室內(nèi)壓差控制反饋與設定值如有差異，會調(diào)整對應區(qū)域新風閥的開度，4F主FAB新風閥共有43個。注：新風閥的動作會影響到室內(nèi)溫濕度波動，風量增大會改變原有的PID曲線。OAC對潔凈室的影響OAC送風通過集管經(jīng)43OAC對潔凈室的影響新風閥的動作會影響到對應區(qū)域OAC集管靜壓值。比如區(qū)域正壓不夠，對應區(qū)域新風閥開度增大，集管送風量增大，因增加了泄壓口，集管靜壓會降低，此時靜壓控制點提高對應OAC風機頻率，直至該側集管靜壓達到設定值。反之，OAC集管靜壓的波動又會影響末端區(qū)域正壓度，一旦正壓度超過/低于設定值，會控制對應區(qū)域新風閥動作，集管靜壓和室內(nèi)壓差的波動，長時間波動會帶來送風溫度和送風濕度的波動，所以應盡量避免長時間地開啟各區(qū)域隔斷門（FAB2F/3F/4F），做好各區(qū)域的圍封。注：OAC風機頻率的升降會導致OAC送風溫濕度的少量波動，風量增大/減小，熱負荷會有增/減。OAC對潔凈室的影響新風閥的動作會影響到44OAC對潔凈室的影響

另外，氣流走向對溫濕度的影響也是比較明顯的，由于室內(nèi)正壓梯度的存在，以及各區(qū)域AMHS小車通行必須常開的空洞，導致潔凈室內(nèi)正壓高的區(qū)域氣流會壓向正壓較低的區(qū)域，此時，正壓低的區(qū)域溫濕度會直接受鄰近區(qū)域干盤管閥門開度的影響，加上各區(qū)域機臺產(chǎn)生的熱量不均勻，更容易造成局部溫度失控或者控制錯位的現(xiàn)象OAC對潔凈室的影響另外，氣流走向對溫濕度45D/C系統(tǒng)先前說到OAC新風是與FAB內(nèi)回風混合后進入FAB內(nèi)，末端溫度由干盤管進行精控，這里介紹一下干盤管系統(tǒng)的組成和控制原理，干盤管又稱為D/C：DRYCOOLINGCOIL（干式冷盤管），主FAB內(nèi)的干盤管分布于FAB4F東西兩側的馬道，S/S

3F的干盤管分布于S/S

3F吊頂上方，CMP的干盤管分布于CMP吊頂上方，其他還有二次更衣室回風夾道內(nèi)的4組干盤管，化學實驗室內(nèi)1組干盤管。D/C系統(tǒng)先前說到OAC新風是與FAB內(nèi)回風46D/C系統(tǒng)FAB4F東側干盤管→FAB3F東側區(qū)域溫度FAB4F西側干盤管→FAB3F西側區(qū)域溫度CMP吊頂上干盤管→CMP區(qū)域溫度S/S3F吊頂上干盤管→S/S3F區(qū)域溫度二更干盤管→二更區(qū)域溫度S/S1F干盤管→S/S1F化學實驗室溫度D/C系統(tǒng)FAB4F東側干盤管→FAB3F東側47D/C系統(tǒng)干盤管系統(tǒng)包括：現(xiàn)場盤管BP送水泵附屬儀表閥門D/C系統(tǒng)干盤管系統(tǒng)包括：48干盤管圖干盤管圖49D/C系統(tǒng)BP泵每組有兩臺，一用一備，配有變頻器，根據(jù)壓力變頻運行，滿載為50Hz。變頻器操作按鈕BP泵設備D/C系統(tǒng)BP泵每組有兩臺，一用一備，配有變頻器，根據(jù)壓力變50D/C系統(tǒng)D/C系統(tǒng)共有4組自控閥：BP泵冷水送水主管控制閥BP泵干盤管回水混水閥BP泵壓力旁通閥D/C溫度控制閥D/C系統(tǒng)D/C系統(tǒng)共有4組自控閥：51D/C系統(tǒng)BP泵將冷水送至干盤管內(nèi)，冷水經(jīng)過干盤管與潔凈室內(nèi)的空氣熱交換后，分兩路回水，一路經(jīng)由混水閥回到BP泵送水管網(wǎng)中再次循環(huán)，另一路則回到冷水回水主管。D/C系統(tǒng)BP泵將冷水送至干盤管內(nèi)，冷水52D/C系統(tǒng)泵組冷水送水主閥混水閥壓力旁通閥D/C系統(tǒng)泵組冷水送水主閥混水閥壓力旁通閥53D/C系統(tǒng)BP泵送水溫度控制冷水送水主管控制閥的開度，冷水送水主管控制閥與回水混水閥是聯(lián)動的，互相補償為100%，若送水溫度高于設定值，冷水送水主管控制閥開度增加，更多5℃的冷水并入系統(tǒng)，而此時混水閥開度會對應減小，回水更多的往冷水回水管道走，減小官網(wǎng)中較熱的回水并入循環(huán)。D/C系統(tǒng)BP泵送水溫度控制冷水送水主管控54D/C系統(tǒng)壓力旁通閥和BP泵的頻率同時受到壓力控制點的控制，如送水壓力高/低于設定值，控制輸出也會變化，比如送水壓力高于設定值，自動控制首先會降低頻率，直到頻率降到5Hz，壓力旁通閥會慢慢打開，直到壓力與設定值一致，壓力控制點輸出規(guī)則為：OP=0~50%對應BP泵頻率50Hz~5Hz（旁通閥全關），OP=50%~100%對應旁通閥開度0~100%（此時階段BP泵頻率仍為5Hz運行，為了安全考慮，旁通閥已經(jīng)強制欲開了10%，所以自始至終旁通閥開度