碳碳坩堝生產(chǎn)工藝

1、 目的規(guī)范22S整體炭/炭川垠生產(chǎn)過程，為生產(chǎn)人員提供技術(shù)指導(dǎo)。2、 適用范圍本工藝文件適用于所有22S整體炭/炭用蝸。3、 作業(yè)程序3.1預(yù)計(jì)生產(chǎn)周期預(yù)沉積(1周期)一一化學(xué)氣相沉積(約2周期一粗機(jī)加一一化學(xué)氣相沉積(約1周期)一一粗機(jī)加一一化學(xué)氣相沉積(約1周期)一一高溫處理一一精機(jī)加表面涂層(約1周期)一一包裝運(yùn)輸3.2生產(chǎn)流程3.2.1預(yù)制體預(yù)制體采用日本東邦或東麗公司生產(chǎn)的T700系列12K碳纖維束織物網(wǎng)胎和碳布1： 1交替鋪層，Z向針刺成型。預(yù)制體經(jīng)檢驗(yàn)合格后，進(jìn)行預(yù)沉積。若不合格的用專用芯模矯正，矯形后仍然不合格的，通知經(jīng)營部處理，并填寫《物料異常報(bào)告單》。按照《產(chǎn)品監(jiān)視和測量管理程序》執(zhí)行。3.2.2預(yù)沉積預(yù)沉積在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)進(jìn)行，采用專用沉積工裝，用石墨芯模定型。裝爐時，必須輕拿輕放且單個沉積室內(nèi)中心軸線要一致。預(yù)定工藝參數(shù)：升溫制度RT~940°C12h940°C?940°C保溫2h940°C沉積50h氣體流量：單個氣路丙烯流量：0.7m3/h單個氣路氮?dú)饬髁浚?.9m3/h真空度氮-0.094Mpa檢驗(yàn)項(xiàng)目：外觀無碳黑結(jié)殼、密度、所有外形尺寸(橢圓變形量不得大于3頗，大于3mm需進(jìn)行工藝判定)檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.3化學(xué)氣相沉積1化學(xué)氣相沉積在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)進(jìn)行，采用專用沉積工裝，產(chǎn)品倒扣摞起，產(chǎn)品之間墊兩層碳?xì)?。預(yù)定工藝參數(shù)：升溫制度?940°C12hRT?940°C12h940°C?940°C保溫2h940°C沉積200h氣體流量：單個氣路丙烯流量：0.8m3/h單個氣路氮?dú)饬髁浚篿.0n7h真空度w-0.094Mpa檢驗(yàn)項(xiàng)目：外觀無碳黑結(jié)殼、密度不小于0.75g/cm\所有外形尺寸（橢圓變形量不得大于3mm,大于3min需進(jìn)行工藝判定)檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.4化學(xué)氣相沉積2化學(xué)氣相沉積在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)進(jìn)行，采用專用沉積工裝，產(chǎn)品倒扣摞起，產(chǎn)品之間墊兩層碳?xì)帧ｎA(yù)定工藝參數(shù)：升溫制度①RT?940°C12h②940°C?940°C保溫2h③940°C沉積200h氣體流量：單個氣路丙烯流量：0.8nr7h單個氣路氮?dú)饬髁浚簂?On?/h真空度W-0.094Mpa檢驗(yàn)項(xiàng)目：外觀無碳黑結(jié)殼、密度不小于1.Og/cm\所有外形尺寸(橢圓變形量不得大于3mm,大于3mm需進(jìn)行工藝判定)檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.5粗機(jī)加內(nèi)型面和外型面加工至80%以上纖維清晰可見，保證機(jī)加時中心軸線和實(shí)際中心軸線吻合。檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.6化學(xué)氣相沉積3化學(xué)氣相沉積在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)進(jìn)行，采用專用沉積工裝，產(chǎn)品倒扣摞起，產(chǎn)品之間墊兩層碳?xì)?。預(yù)定工藝參數(shù)：升溫制度RT?940°C12h940°C?940°C保溫2h940°C沉積180h氣體流量：單個氣路丙烯流量：0.7ni：7h單個氣路氮?dú)饬髁浚?.84m：7h真空度W-0.094Mpa檢驗(yàn)項(xiàng)目：外觀無碳黑結(jié)殼、密度不小于 1.25g/cm\所有外形尺寸(橢圓變形量不得大于1mm,大于1mm需進(jìn)行工藝判定)檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.7粗機(jī)加內(nèi)型面和外型面加工至80%以上纖維清晰可見，保證機(jī)加時中心軸線和實(shí)際中心軸線吻合O檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.8化學(xué)氣相沉積4化學(xué)氣相沉積在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)進(jìn)行，采用專用沉積工裝，產(chǎn)品倒扣摞起，產(chǎn)品之間墊兩層碳?xì)?。預(yù)定工藝參數(shù)：升溫制度RT?940°C12h940°C940°C保溫2h940°C沉積180h氣體流量：單個氣路丙烯流量：0.5m3/h單個氣路氮?dú)饬髁浚?.6m7h真空度W-0.094Mpa檢驗(yàn)項(xiàng)目：外觀無碳黑結(jié)合、密度不小于 1.4g/cm\所有外形尺寸(橢圓變形量不得大于1mm,大于1mm需進(jìn)行工藝判定)檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)下道工序。Ill3.2.9高溫處理Ill產(chǎn)品倒扣摞起，保證爐底平整，所有產(chǎn)品中心軸線和設(shè)備中心軸線吻合。預(yù)定工藝參數(shù)：升溫制度：RT?1200°C7h1200°C?1200°C2h,溫度升至1200°C后開始通入1200°C?1600°C3.5h1600°C?1600°Clh1600°C?2000°C4h2000°C?2000°C2h2000°C?2300°C3h2300°C?2300°C4h氣體流量體：單個氣路N2流量為lm3/h單個氣路Ar流量為0.7m3/h(1200°C以上)檢驗(yàn)項(xiàng)目：外觀無碳黑結(jié)殼、密度不小于l.40g/cm3、所有外形尺寸(橢圓變形量不得大于1mm,大于1mm需工藝判定).檢驗(yàn)合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.10精機(jī)加按照成品圖加工，嚴(yán)格按照成品圖紙要求執(zhí)行。檢驗(yàn)項(xiàng)目：外觀無碳黑結(jié)殼、無污染，密度不小于1.40g/cm3.所有外形尺寸均符合成品圖紙要求。3.2.11表面涂層產(chǎn)品倒扣摞起，產(chǎn)品之間用硬碳?xì)謮|起。預(yù)定工藝參數(shù)：升溫制度RT?960°C12h960°C?960°C2h960°C沉積80h氣體流量：單個氣路丙烯流量：0.5ni：7h單個氣路氮?dú)饬髁浚?.6ni：7h真空度W-0.096Mpa檢驗(yàn)項(xiàng)目：外觀無碳黑結(jié)殼、無污染，密度不小于 1.40g/cm'所有外形尺寸均符合成品圖紙要求。產(chǎn)品采用真空包裝膜包裝，并用吸塵器抽真空。包裝完成后放入四周墊有泡沫的專用產(chǎn)品箱內(nèi)，放入