AOI操作流程及參數(shù)詳解

康代電子科技〔蘇州〕AOI操作流程及參數(shù)詳解----適用于OrionOrion版本: A制作: Tracy日期: 年06月目錄第一章AOI入門目錄

AOI操作流程及參數(shù)詳解\l“_TOC_250029“何為AOI 1\l“_TOC_250028“AOI用途 1\l“_TOC_250027“AOI根本原理 1\l“_TOC_250026“其次章AOI硬件構(gòu)成\l“_TOC_250025“AOI硬件構(gòu)成 2安全須知 3\l“_TOC_250024“第三章工作流程\l“_TOC_250023“參考資料預(yù)備流程… 4\l“_TOC_250022“工作流程 5\l“_TOC_250021“第四章進(jìn)入功能界面\l“_TOC_250020“系統(tǒng)啟動 6\l“_TOC_250019“主菜單 7\l“_TOC_250018“第五章料號選擇\l“_TOC_250017“料號選擇界面… 10\l“_TOC_250016“常用按鈕及參數(shù)功能詳解… 11\l“_TOC_250015“根本操作步驟… 14\l“_TOC_250014“第六章板層設(shè)定\l“_TOC_250013“板層設(shè)定界面… 15\l“_TOC_250012“常用按鈕及參數(shù)功能詳解… 15\l“_TOC_250011“根本操作步驟… 26\l“_TOC_250010“第七章對位\l“_TOC_250009“對位操作界面… 27對位操作步驟… 27\l“_TOC_250008“第八章掃描\l“_TOC_250007“掃描界面… 32\l“_TOC_250006“常用按鈕及參數(shù)功能詳解… 32\l“_TOC_250005“根本操作步驟… 35\l“_TOC_250004“第九章驗證\l“_TOC_250003“驗證界面… 36\l“_TOC_250002“常用按鈕及參數(shù)功能詳解… 36\l“_TOC_250001“第十章自動循環(huán)\l“_TOC_250000“自動循環(huán)界面 39第I頁AOI入門

AOI操作流程及參數(shù)詳解§1.1何為AOIAOI(AutomaticOpticInspection,自動光學(xué)檢測)，以下簡稱我們的自動光學(xué)檢測機(jī)?！?.2AOI用途AOI主要用于偵測PCB(PrintedCircuitBoard,印刷電路板)在各個生產(chǎn)工序中存在的缺陷，如缺口、突銅、短路、斷路、殘銅、針孔、線寬線距缺乏等問題，是保證PCB質(zhì)量及準(zhǔn)時覺察前制程存在問題的重要階段?！?.3AOI根本原理AOI根本原理:將掃描圖像與標(biāo)準(zhǔn)圖像進(jìn)展規(guī)律比較，從而產(chǎn)生缺點信息。掃描圖像是AOI利用光學(xué)原理，將三只燈泡(EKE21VDC150W)產(chǎn)生的三束光(一個直射光,兩個45o的散射光)通過光纖照耀到檢測板上，再使用光學(xué)部件收集反射光形成影像。標(biāo)準(zhǔn)圖像〔參考資料〕是將CAM資料經(jīng)CRG〔CamtekReferenceGenerator,參考資料生成器〕處理后傳到AOI或CRP(CamtekReferenceProcessor,參考資料處理器)形成的。掃描圖像 圖像處理規(guī)律比較 及檢修CAM圖像 參考資料處理階段

階段

檢測 修階段 階段第1頁其次章AOI硬件構(gòu)成

AOI操作流程及參數(shù)詳解§2.1AOI硬件構(gòu)成光學(xué)部件塔

主顯示屏真空臺面 鼠標(biāo)緊急停頓開關(guān) 電源/馬達(dá)開關(guān)功能鍵盤 鍵盤一、按鈕緊急停頓開關(guān)馬達(dá)開關(guān)開機(jī)/關(guān)機(jī)按鈕

用于馬上切斷主機(jī)(包括上板機(jī)和下板機(jī))電源并停頓運(yùn)行。注1:此緊急停頓開關(guān)是為避開發(fā)生對人體、設(shè)備或產(chǎn)品有潛在危急的事故供給的。因馬上斷電對機(jī)器有損注2按下馬達(dá)開關(guān),可以不切除電源或不喪失未保存數(shù)據(jù),馬上停頓真空臺面運(yùn)動。注1注2用于開/關(guān)機(jī),綠色為開機(jī)按鈕,紅色為關(guān)機(jī)按鈕。注1注2Itisnowsafetoturnoffyourcomputr可安全關(guān)機(jī)〕”時，再按下關(guān)機(jī)按二、功能鍵盤Orion第2頁AOI操作流程及參數(shù)詳解§2.2安全須知一、不要在系統(tǒng)啟動過程中將手或身體的其他部位放在臺面或其他移動部件上,同時確保AOI全部可移動部件沒有受到其他物件的阻礙。二、更換三只燈泡時，應(yīng)先關(guān)閉燈泡電源再更換。工作中的燈泡具有極高的溫度，更換時最好用布隔熱或待冷卻后再更換。三、Video上的兩只鹵素?zé)襞莨ぷ鲿r會產(chǎn)生極高的能量，請不要碰觸以免灼傷。四、按下緊急停頓開關(guān)并不能徹底切除系統(tǒng)的電力供給。在任何時候,只要有主電源存在，就始終有電力AOI，所以要徹底切除系統(tǒng)的電力，把主電源線從墻上插座中拔出。五、不要接通、啟動或試圖操作已明顯損壞的系統(tǒng)。六、只允許有資格的修理工程師來進(jìn)展對AOI系統(tǒng)的安裝、設(shè)定及維護(hù)等相關(guān)工作。第3頁

AOI操作流程及參數(shù)詳解§3.1參考資料預(yù)備流程參考資料的原始數(shù)據(jù)來源是客戶CAM房，是CAD格式，需轉(zhuǎn)換成AOI可以接收的格式。在線數(shù)據(jù)預(yù)備方式--只使用一個工作站CRG，在AOI上直接使用CRM完成資料預(yù)備工作。承受該方式，AOI在承受和處理資料時，不能進(jìn)展掃描工作。CAM CRG(參考資料生成器)功能:讀取CAM資料,并設(shè)置一般的AOI掃描參數(shù)(掃描區(qū)域、板厚、解析度、運(yùn)行參數(shù)等)

AOI功能:使用AOI上的CRM*軟件承受CRG傳來的資料,并進(jìn)展資料預(yù)備工作(如學(xué)習(xí)層參數(shù),處理鉆孔資料等)§3.2工作流程將料號資料傳送到AOI，一旦傳送完畢，之后的工作流程都分成兩個階段--設(shè)定和使用，其中有五個步驟：設(shè)定階段 料號選擇板層設(shè)定對位驗證使用階段 自動循環(huán)

從指定的資料庫或區(qū)域中選擇已經(jīng)存在的料號文件。選擇材料類型、反光強(qiáng)度、板厚、對位模式及其他參數(shù)；指定對位區(qū)塊、設(shè)定不檢區(qū)域、資料學(xué)習(xí)等。確定板子在臺面的位置，使參考圖像和掃描圖像對位以保證準(zhǔn)確重疊，并產(chǎn)生臨界值。依據(jù)用戶的要求，程序?qū)ⅲ簰呙鑸D像和參照圖像進(jìn)展重合并報告重合不良的地方；掃描圖像和參照圖像按象素進(jìn)展比照并找出差異；進(jìn)展設(shè)計規(guī)章檢查。依據(jù)用戶定義，檢查并修理〔或無視〕找到的缺陷，或?qū)呙璧男畔ⅰ踩毕荨嘲l(fā)到檢修站〔Sirius或CVR〕上檢修。上載一批待測板到上板機(jī)并開頭自動掃板。掃完的測試板被運(yùn)送到下板機(jī)。第4頁

AOI操作流程及參數(shù)詳解§4.1系統(tǒng)啟動開機(jī)后，系統(tǒng)會自動進(jìn)入AOI應(yīng)用軟件，要求用戶輸入登錄該系統(tǒng)的用戶名和密碼。如圖4.1。圖4.1AOI登錄畫面在“Username〔用戶名〕”字段中輸入你要登錄的用戶名；〔缺省用戶名為Operatorname〕在“Password〔密碼〕”字段中輸入密碼；〔缺省密碼為空〕注：此處的用戶名和密碼都是區(qū)分大小寫的，且用不同的用戶名登錄具有不同的功能權(quán)限，操作界面會有微小差異。點擊“OK〔確定〕”按鈕。系統(tǒng)啟動畫面消滅(如圖4.2),此過程為自檢階段--系統(tǒng)自動檢查硬盤空間、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)、機(jī)箱內(nèi)各板卡、臺面及光學(xué)部件等是否正常工作。跟蹤系統(tǒng)自檢進(jìn)度〔藍(lán)色感慨號標(biāo)識的為正在執(zhí)行的階段，綠色對號標(biāo)識的為順當(dāng)完成的階段〕；注：假設(shè)在診斷過程中消滅紅色X，表示該階段診斷失敗，請先檢查馬達(dá)開關(guān)是否按下，假設(shè)不是馬達(dá)開關(guān)的問題，請關(guān)機(jī)之后重啟動一次。暖機(jī)〔WarmUp〕。自檢完成后，系統(tǒng)自動進(jìn)入預(yù)熱階段，此過程一般需20分鐘，屏幕顯示倒數(shù)計時器表示所剩時間；AOI在30分鐘之內(nèi)被啟動過，一般不需要等待暖機(jī)工作完成。點擊“MainMenu〔主菜單〕”按鈕，進(jìn)入主菜單開頭作業(yè)。第5頁AOI操作流程及參數(shù)詳解圖4.2初始化過程畫面§4.2主菜單初始化完畢，點擊“MainMenu〔主菜單〕”按鈕即進(jìn)入主菜單〔如圖4.3〕。圖4.3主菜單第6頁AOI操作流程及參數(shù)詳解主菜單上常用的幾個功能如下：常用功能域Setup〔設(shè)置〕

描述進(jìn)入主要操作界面，包括料號選擇、板層設(shè)定、對位、掃描及驗證五個步驟。點擊后直接進(jìn)入料號選擇界面，可通過點擊屏幕右上側(cè)的圖標(biāo)進(jìn)入其他幾個界面。AutoCycle 進(jìn)入自動循環(huán)界面〔一旦操作者完成設(shè)置、測試和檢查檢驗參數(shù)即可進(jìn)〔自動循環(huán)〕 入自動循環(huán)狀態(tài)，可有效提高產(chǎn)能〕。NewJob 用客戶供給的金板〔或母板/圖案板〕掃描創(chuàng)立參考資料〔因難以保證〔料號〕 金板100%沒有問題，簡潔漏失一些共同性缺陷，客戶很少使用〕。CRM〔參考資料治理器〕

翻開AOI上的參考資料治理器，直接在AOI上接收CRG傳來的資料〔界面如圖4.4〕，資料傳輸完畢后，可點擊“Stop-ReturntoOrion〔停頓并返回〕”回到AOI界面。JobManager 翻開檔案程序，可用來創(chuàng)立、刪除和備存料號文件〔界面如圖4.5〕，〔料號治理器〕 亦可直接進(jìn)入料號存放的文件夾進(jìn)展料號治理〕。Initialize 進(jìn)入初始化界面〔如圖4.2〕，再次執(zhí)行系統(tǒng)自檢過程。〔初始化〕LogOff 退出當(dāng)前用戶，返回用戶登錄界面〔如圖4.1〕重登入?！餐顺觥砈hutDown 完全使AOI關(guān)機(jī)?！碴P(guān)機(jī)〕§5.1料號選擇界面MainMenu〔主菜單〕界面上點擊“Setup〔設(shè)置〕”，即進(jìn)入料號選擇操作界面，如圖5.1所示。第7頁AOI操作流程及參數(shù)詳解?圖5.1 料號選擇操作界面界面介紹：六個界面切換按鈕--可在料號選擇/板層定義/對位/掃描/驗證/主菜單六個功能界面進(jìn)展切換。注：驗證界面只有在驗證時才可用，其他界面也會依據(jù)料號預(yù)備狀況有所限制，如資料尚未預(yù)備就緒時是不能切入掃描界面的。料號及層號選擇框--選擇與待測板對應(yīng)的參考資料，假設(shè)不全都，將直接導(dǎo)致后續(xù)的工作無法完成。選中層的根本信息--顯示所選中料號及層的根本信息，包括資料來源、狀態(tài)、解析度、板厚、建立日期等。假設(shè)“Status〔狀態(tài)〕”欄顯示“READYFORINSPECTION”表示資料預(yù)備就緒可直接進(jìn)展掃描，此時按“Next(下一步)”將馬上跳到掃描操作界面。假設(shè)“Status〔狀態(tài)〕”欄顯示“NOTREADYFORINSPECTION”表示資料尚未預(yù)備就緒，須完成全部的設(shè)定工作才能進(jìn)展掃描，此時按“Next(下一步)”將會依據(jù)料號設(shè)定完成狀況跳轉(zhuǎn)到板層設(shè)定或?qū)ξ唤缑??！?.2常用按鈕及參數(shù)功能詳解一、料號及層號選擇框此按鈕用于翻開料號選擇界面〔如圖5.2〕，可選擇本機(jī)或網(wǎng)絡(luò)上的料號文件。第8頁AOI操作流程及參數(shù)詳解?圖5.2 料號選擇界面名目掃瞄器--用于定位和選擇料號路徑。一級名目為存儲區(qū)名稱〔如Storage1為本機(jī)存儲區(qū)，CRPT為網(wǎng)絡(luò)存儲區(qū)〕，二級名目為料號文件〔如061947cb，Untitled等〕。雙擊料號名稱可翻開當(dāng)前料號并返回料號選擇操作界面。選中料號的層信息--顯示當(dāng)前選中料號的板層根本信息。 表示料號預(yù)備就緒， 表示料號尚未預(yù)備好掃描，這兩個圖標(biāo)與料號選擇操作界面中的“Status〔狀態(tài)〕”字段相關(guān)聯(lián)。雙擊層號即可翻開選中層并返回料號選擇操作界面。定義存儲區(qū)--用于建立的存儲區(qū)。點擊后將翻開圖5.3所示界面，指定存儲區(qū)名稱及路徑按“OK〔確認(rèn)〕”即可。輸入的存儲區(qū)名稱點擊“Browse(掃瞄器)”建立路徑〔必需指定到直接存放料號文件的文件夾〕描述信息〔可依據(jù)需要選擇輸入〕圖5.3 料號選擇界面第9頁AOI操作流程及參數(shù)詳解§5.3根本操作步驟一、明確待測板的料號名及層名〔依據(jù)工單或板上印刷的信息〕。二、“Job〔料號〕”文本框中選擇與待測板相對應(yīng)的料號名。假設(shè)為最近使用過的料號，單擊右邊的下拉箭頭，此時彈出的下拉框會顯示最近使用過的十個料號名，點擊所需料號即可快速翻開料號文件。假設(shè)為以前在本機(jī)測試過的料號，單擊 翻開料號選擇界面，點擊左邊名目掃瞄器“Storage1”翻開本機(jī)存儲器中的料號名目，再雙擊所需料號即可翻開。假設(shè)為料號，單擊 翻開料號選擇界面，點擊左邊名目掃瞄器“CRP”翻開網(wǎng)絡(luò)工作站CRP上的料號名目，再雙擊所需料號即可翻開。三、“LayerNo.〔層號〕”文本框中選擇與待測板相對應(yīng)的層號。四、點擊“Next〔下一步〕”進(jìn)入下一個操作界面。設(shè)定正確〕§6.1板層設(shè)定界面料號選擇操作界面上點擊右上角

圖標(biāo)，即進(jìn)入板層設(shè)定操作界面，如圖6.1所示。?圖6.1 板層設(shè)定操作界面界面介紹：第10頁AOI操作流程及參數(shù)詳解層參數(shù)定義--設(shè)定層的根本掃描參數(shù)，如檢測材料、板厚、雙面掃、對位區(qū)塊定義及CMTS〔CamtekMorphologicalTraceSystem，形態(tài)軌跡跟蹤系統(tǒng)，是將掃描圖像與參考圖像進(jìn)展規(guī)律比較的一種方法〕等。重學(xué)習(xí)參考資料--依據(jù)本機(jī)設(shè)定的內(nèi)部參數(shù)重學(xué)習(xí)參考層資料。定位釘及驗證模式設(shè)定--設(shè)定本機(jī)檢修或CVR〔CamtekVerification&Repair，檢修站〕檢修，及CVR檢修時的定位釘設(shè)定等?！?.2常用按鈕及參數(shù)功能詳解一、層參數(shù)定義〔LayerParameters〕1.材料選擇每個材料都有自己的反光特性，材料選擇實質(zhì)上是光的選擇，直接關(guān)系到掃描結(jié)果，包含“檢測材料”和“反射率”兩個參數(shù)。InspectedMaterial〔檢測材料〕：是由Camtek工程師依據(jù)客戶待測板材質(zhì)預(yù)先定義的。常設(shè)的選項有：CopperEpoxyInner---適用于掃描內(nèi)層銅面板CopperEpoxyOuter---適用于掃描外層銅面板Artwork ---適用于掃描底片Photo-resist---適用于掃描干膜板Reflectance〔反射率〕：是由Camtek工程師對客戶所用板料進(jìn)展校正時所設(shè)置的參數(shù)。常設(shè)的選項有：Low---板面反射光較弱Normal---板面反射光正常High---板面反射光較強(qiáng)ExtraHigh---板面反射光格外高上述兩個參數(shù)實質(zhì)上是對光的強(qiáng)度、焦距、光圈過濾的設(shè)置，具體如何組合選取，則須依據(jù)Camtek工程師的要求。Thickness〔板厚〕設(shè)定依據(jù)工單輸入實際板厚值，單位為Mil〔密耳〕。此參數(shù)輸入正確與否直接關(guān)系到焦距，從而影響掃描圖像的清楚度。一般可容許的偏差為±5Mil。Alignmentmode〔對位模式〕設(shè)定設(shè)定下一操作界面--對位的對位方式，一般選用半自動方式?？蛇x的選項有：Auto---全自動方式。應(yīng)用程序自動完成全部對位區(qū)塊的對位，不需要用戶進(jìn)一步干預(yù)。該方式對位雖然快速但精度不高，很少使用。SemiAuto---半自動方式。應(yīng)用程序掃描第一個對位區(qū)塊，由用戶確認(rèn)對位效果是否可以承受，確認(rèn)可承受后，應(yīng)用程序再完成其他對位區(qū)塊的對位。該方式對位快速且準(zhǔn)確，為推舉使用的方式。Manual---手動方式。應(yīng)用程序掃描每一個對位區(qū)塊都需用戶確認(rèn)對位效果是否可以承受。該方式對位較準(zhǔn)確，但速度比較慢，在一些特別板半自動方式對位效果不佳時使用。4Redefine〔重定義〕--對位區(qū)塊及CMTS參數(shù)設(shè)定點擊后，將翻開“數(shù)據(jù)重定義”屏幕，包含兩個標(biāo)簽頁--“定位”和“前置處理”〔如圖6.3和6.4所示〕，同時，顯示區(qū)域切換到板層視圖。Registration〔定位〕：定義、修改及刪除對位區(qū)塊一般選取4～5個對位區(qū)塊，對位區(qū)塊的選取有兩個要求：第一，需選取半銅半基材、線路特征較明顯的框格；其次，對位區(qū)塊要盡量在四個角，范圍大一點對板偏較敏感。Add ---增加，使用光標(biāo)選中某框格，再單擊此按鈕，可添加一個對位區(qū)塊。Auto ---自動，點擊此按鈕，系統(tǒng)自動生成四個對位區(qū)塊。Delete ---刪除，使用光標(biāo)選中某對位區(qū)塊，再單擊此按鈕，可刪除該對位區(qū)塊。DeleteAll---刪除全部，點擊此按鈕，刪除全部已定義的對位區(qū)塊。第11頁AOI操作流程及參數(shù)詳解圖6.2 適應(yīng)性校正設(shè)定 圖6.3 定位界面Pre-Processing〔前置處理〕：設(shè)定形態(tài)演算法的敏感度(常用CMTS，一種通過依圖形的輪廓在銅和基材上分別產(chǎn)生的感應(yīng)器來感應(yīng)缺陷的方法)圖6.4前置處理界面a.MIC〔形態(tài)演算法〕--選中此多項選擇框，表示啟用MICMIC規(guī)律對于一些大缺陷〔如整條線路漏失〕的偵測具有肯定的保障，因此，請務(wù)必勾選此多項選擇框。Type〔類型〕--選擇MIC的類型，包含CMTS-LOW、CMTS-HIGH、CMTS-DRC等。一般狀況請選CMTS-HIGH。Sensitivity〔敏感度〕--設(shè)定掃描圖像與參考圖像比較可容許的偏差像素個數(shù)，此值越大，敏感度越低，偵測力量越弱，通常值在2～5之間。第12頁AOI操作流程及參數(shù)詳解二、重學(xué)習(xí)參考圖像〔RelearnReference〕點擊“Re-Learn〔重學(xué)習(xí)〕”按鈕彈出圖6.6所示界面，這里的參數(shù)都是在CRG做資料時定義的，我們的主要工作是確認(rèn)這些參數(shù)是否正確，無誤后重學(xué)習(xí)類型〔亦可依據(jù)需要轉(zhuǎn)變某些參數(shù)〕?！邦愋汀笔且唤M用于檢查特定板類型的參數(shù)，包括算法系數(shù)、臨界值系數(shù)及算法的規(guī)章，由Camtek工程師在內(nèi)部應(yīng)用程序中設(shè)定。圖6.6學(xué)習(xí)類型界面Design〔設(shè)計〕--選擇層的設(shè)計模式。常用選項：Signal〔信號〕：適用于線路板P&G〔地電層〕：適用于大銅面或無線路設(shè)計板MIX〔混合層〕：適用于少量線路與銅面的混合板〔為保證最正確偵測力量，建議使用Signal〕Attribute〔屬性〕--選擇層的特有功能。通常選“No〔不指定特有功能〕”。Inspected-Material〔檢測材料〕--確定該層需要檢測的材料。銅板選“CopperEpoxy”，干膜板選“PhotoResist”,底片選“Artwork”。Drill〔鉆孔〕--指定是否有鉆孔包含在層中。外層板選“Yes”，內(nèi)層板選“No”。Nom_Line〔標(biāo)準(zhǔn)線寬〕--銅線在蝕刻前的設(shè)計值。依據(jù)工單填寫。Nom_Space〔標(biāo)準(zhǔn)線距〕--基材空間在蝕刻前的設(shè)計值。依據(jù)工單填寫。Etching〔蝕刻〕--對參考圖像進(jìn)展蝕刻。此功能無法復(fù)原，請慎用，建議不使用。Relearn〔學(xué)習(xí)〕--點擊后，消滅圖6.7所示界面，選擇正確的學(xué)習(xí)類型后，點擊“OK〔確認(rèn)〕”即開頭學(xué)習(xí)本層資料。第13頁AOI操作流程及參數(shù)詳解LocalType〔本地類型〕：調(diào)用特地為當(dāng)前料號定義的類型進(jìn)展學(xué)習(xí)〔除Camtek工程師特別指定使用此類型外，一般不用〕。GlobalType〔共用類型〕：調(diào)用為全部料號定義的類型進(jìn)展學(xué)習(xí)，通常都承受此方式學(xué)習(xí)。圖6.7選擇層類型界面注：1.右下角的圓形圖標(biāo)表示應(yīng)用程序是否對您選擇的文件有匹配值。紅色代表沒有匹配值，或標(biāo)準(zhǔn)線寬〔距〕值超出范圍，需更改參數(shù)；綠色代表有匹配值，可以開頭學(xué)習(xí)。有時假點是由于參考信息喪失造成的，可以重學(xué)習(xí)解決此問題。三、定位釘〔Pin〕及驗證模式設(shè)定〔Verification〕1.Local〔當(dāng)機(jī)檢修〕：掃描完后，直接跳到驗證界面，在AOI上進(jìn)展缺點確認(rèn)和檢修。CVR〔Sirius上檢修〕：掃描完后，將缺點文件傳輸?shù)絊iriusAOI連續(xù)進(jìn)展掃描工作。假設(shè)選擇這種方式，需設(shè)定定位釘。定位釘用于建立AOI和Sirius彼此溝通的基準(zhǔn)點，這樣在讀取缺點文件時就有了同樣的參考點，不至于缺點位置產(chǎn)生偏差。PinType〔定位釘類型〕：CAD--使用創(chuàng)立CAD數(shù)據(jù)期間定義的定位釘作為參考點。因CAD定位釘不止一個，需在“RegistrationPinUpdateReg.Pin”字段打算是否在對位期間更該定位釘位置。此定位釘類型很少使用。Virtual--對位時手動定義參考點。因使用便利，一般狀況都選擇手動方式。CVRQuickSet〔CVR快速設(shè)定〕：此按鈕用于設(shè)定掃描文件傳輸?shù)絊irius的限制條件，Camtek工程師已為客戶設(shè)定好，用缺省值即可。四、工具欄標(biāo)準(zhǔn)矩形遮罩，單擊此按鈕后，可用光標(biāo)在主顯示區(qū)域或掃瞄器窗口的圖形上建立矩形的不檢區(qū)遮罩。單擊鼠標(biāo)左鍵并保持不動，確定第一個角，滑動光標(biāo)，產(chǎn)生一個綠色的矩形網(wǎng)格遮罩〔其大小可以通過光標(biāo)的移動進(jìn)展調(diào)解〕，松開鼠標(biāo)，確定其次個角即可。假設(shè)想刪除已建立的某個遮罩，只需右擊該遮罩，再按“Delete〔刪除〕”鍵即可。遮罩編輯器，單擊此按鈕后，進(jìn)入單獨(dú)的遮罩編輯器應(yīng)用程序，可定義不規(guī)章外形及網(wǎng)格遮罩等。常使用的有三大功能：PCB”s、Masks及CrossShield，下面一一詳述。PCB”s--PCB電路板遮罩,定義的是檢測區(qū)域。對于由很多獨(dú)立單元〔PCB〕組成的板層，使用此功能可先建立一個PCB的檢測區(qū)域，再啟用自動復(fù)制功能完成整板PCB的檢測區(qū)域設(shè)定。這樣，在下一步設(shè)定不檢區(qū)時，只需在一個PCB檢測區(qū)中設(shè)定不檢區(qū)，AOI可自動為其他PCB建立同樣的不檢區(qū)，可大大節(jié)約設(shè)定不檢區(qū)的時間。在彈出窗口的“ShapeType〔外形類型〕”文本框中選擇“PCB”s”，即可進(jìn)入定義PCB的功能界面，如圖6.8所示。第14頁AOI操作流程及參數(shù)詳解界面介紹：

圖6.8定義PCBLocator〔定位器〕--是獨(dú)立的窗口，總消滅在主顯示屏幕的前面，以縮微的形式顯示整個板層位圖并包括矩形的指示器，說明當(dāng)前在主屏幕上顯示的整個位圖局部。在放大或縮小圖像時，矩形指示器的大小連同主顯示屏幕上的視圖一起增加或削減。放大：按“+”數(shù)字鍵，或按Shift的同時按下鍵盤上的加號鍵〔“+”〕Orion機(jī)臺上的“FRAMEFWD”可實現(xiàn)同樣功能。縮?。喊础?”數(shù)字鍵，或按鍵盤上的連字鍵〔“-”〕Orion機(jī)臺上的“FRAMEBACK”可實現(xiàn)同樣功能。Circle〔圓形〕--建立圓形的遮罩Rect〔長方形〕--建立長方形的遮罩Polygon〔多邊形〕--建立多邊形遮罩，最多只能15個點，再次點擊第一個點進(jìn)展連線〔建議老版本系統(tǒng)不要用多邊形建立PCB〕DelShape〔刪除圖形〕--刪除所點到的圖形DelAll〔刪除全部〕--刪除全部圖形SelectShape〔選擇圖形〕--選擇某個圖形UnSelShapes〔取消選擇〕--取消全部已選擇圖形AutoSR〔自動復(fù)制〕--自動完成已定義PCB的復(fù)制工作Res〔解析度〕--調(diào)整顯示圖像的放大倍數(shù)Save〔保存〕--保存全部變更Quit〔退出〕--退出遮罩編輯器應(yīng)用程序，返回AOI操作界面使用方法：第15頁AOI操作流程及參數(shù)詳解點擊 圖標(biāo)，彈出一個匹配精度調(diào)整窗口〔如圖6.9〕，增加精度時，會更加認(rèn)真地查找更準(zhǔn)確的匹配，削減精度時，應(yīng)用程序在匹配PCB時精度降低，但可能會遇到定義不正確的狀況，一般不需要更改，直接點擊“SearchS&R(搜尋S&R)”按鈕，應(yīng)用程序在板層內(nèi)搜尋全部與已定義PCB匹配的圖形，完成后，點擊“Close〔關(guān)閉〕”返回定義PCB界面，效果如圖6.10所示〔因自動復(fù)制了兩個PCB，所以以兩種顏色代表不同的單元組〕。圖6.9匹配精度調(diào)整窗口圖6.10自動復(fù)制PCB效果圖注：有時，會消滅即使精度降到最低，系統(tǒng)也不能把一樣圖形找出的情形，往往是由于解析度太低的緣由，可通過點擊調(diào)整解析度的方法解決。點擊按鈕保存。Masks--設(shè)定不檢測區(qū)域。在彈出窗口的“ShapeType〔外形類型〕”文本框中選擇“Masks”，即可進(jìn)入定義不檢區(qū)的功能界面，如圖6.11所示。前面定義的PCB以白色線框顯示，線框以外的區(qū)域，系統(tǒng)已默認(rèn)成不檢區(qū)，只需在白框內(nèi)設(shè)定不檢區(qū)域。第16頁AOI操作流程及參數(shù)詳解界面介紹：

圖6.11定義MaskDoS&R〔自動復(fù)制〕--自動復(fù)制全部已定義圖形DoS&RSel〔自動復(fù)制選擇的〕--只自動復(fù)制已選圖形UndoS&R〔取消復(fù)制〕--撤消前一次的自動復(fù)制工作使用方法：選擇需要的圖形，在前一步驟定義的兩個不同PCB單元內(nèi)分別設(shè)定不檢區(qū)域〔如圖6.11〕。點擊 圖標(biāo)，應(yīng)用程序自動復(fù)制PCB內(nèi)的全部不檢區(qū)域到其他一樣PCB上〔如圖6.12〕?！惨嗫梢罁?jù)需要，只復(fù)制選擇的圖形，方法：1.點擊 啟動選擇圖形功能；2.點擊已定義的某個不檢區(qū)域，圖形會以玫紅色顯示，表示已被選中；3.點擊點擊 按鈕保存。

圖標(biāo)即可。〕第17頁AOI操作流程及參數(shù)詳解圖6.12自動復(fù)制不檢區(qū)效果圖CrossShield--設(shè)定網(wǎng)格及孔為不檢區(qū)。在彈出窗口的“ShapeType〔外形類型〕”文本框中選擇“CrossShield”，即可進(jìn)入定義網(wǎng)格和孔為不檢區(qū)的功能界面，如圖6.13所示。網(wǎng)格在設(shè)計中僅起屏蔽作用，沒有檢測必要，合理地將其填充掉，可有效提高掃描速度并降低不必要的假點。6.13使用的資料不是網(wǎng)格板，只填充了一些鉆孔區(qū)域及沒有功能的不規(guī)章孔，僅作例如說明填充效果。界面介紹：〔上一框格〕--顯示上一框格圖像〔下一框格〕--顯示下一框格圖像Min(最小值)--定義要填充的最小區(qū)塊面積，一般設(shè)“0”Max(最大值)--定義要填充的最大區(qū)塊面積，反復(fù)測試確定其值Dilate〔膨脹〕--使已填充區(qū)塊面積擴(kuò)大到銅上，右邊的值表示與銅重疊的像素個數(shù)〔實際填充區(qū)域以白色顯示，擴(kuò)大到銅上的區(qū)域以藍(lán)色顯示〕，此值依據(jù)客戶需要設(shè)定Test〔測試〕--在顯示的框格上測試當(dāng)前各參數(shù)設(shè)定值的效果Run〔運(yùn)行〕--將當(dāng)前參數(shù)套用到整個板層〔填孔〕--填充鉆孔，鉆孔將不檢測；再次點擊圖標(biāo)將變成 ，表示鉆孔區(qū)域不填充第18頁AOI操作流程及參數(shù)詳解圖6.13定義CrossShield圖6.14CrossShield填充效果圖第19頁AOI操作流程及參數(shù)詳解使用方法：點擊 圖標(biāo)或 圖標(biāo)選擇有代表性的框格測試參數(shù)。設(shè)定Min=0，Max=30，Dilate=1，點擊“Test〔測試〕”按鈕，預(yù)覽效果〔圖6.14〕，假設(shè)該填充區(qū)域尚未填充或不該填充區(qū)域被填充了，通過適當(dāng)修正Max值測試，直到滿足為止〔請確認(rèn)是否要填充鉆孔〕。點擊“Run〔運(yùn)行〕”處理整個板層資料。點擊 圖標(biāo)或 圖標(biāo)，檢查整板填充結(jié)果，是否有不該填充區(qū)域被掩蓋掉了，防止漏檢。點擊“Save〔保存〕”按鈕，保存全部變更。點擊“Quit〔退出〕”按鈕，退出遮罩編輯器，返回AOI操作界面。和Max都設(shè)為“0”，然后整板運(yùn)行?！?.3根本操作步驟一、確認(rèn)層定義操作界面上參數(shù)選擇正確。二、確認(rèn)是否要開啟對位過程中的“自動設(shè)置”功能，如有需要，點擊“Advance”設(shè)置〔因開啟此功能后對位時間較長，一般可不設(shè)置〕。三、檢查層視圖中系統(tǒng)自動生成的四個對位區(qū)塊是否符合設(shè)定的根本要求，假設(shè)不符，點擊“Redefine”重定義。四、點擊“Redefine”，設(shè)定CMTS參數(shù)并處理數(shù)據(jù)〔“Type”一般都應(yīng)選CMTS-HIGH〕。五、點擊“Re-Learn”,確認(rèn)學(xué)習(xí)類型參數(shù)無誤后學(xué)習(xí)層資料〔假設(shè)為料號，請務(wù)必執(zhí)行此動作〕。Virtual〔手動〕”定位釘類型。七、設(shè)定必要的檢測區(qū)，不檢區(qū)及網(wǎng)格填充。八、點擊“Next〔下一步〕”進(jìn)入下一個操作界面。注：該操作界面上的參數(shù)，雖然很多默認(rèn)值已經(jīng)是我們所要選擇的，不需更改，但仍請用戶每一個參數(shù)都認(rèn)真確認(rèn)，由于參數(shù)的設(shè)定正確與否，直接影響到最終的掃描結(jié)果。第20頁

AOI操作流程及參數(shù)詳解§7.1對位操作界面對位的功能是告知機(jī)器板層在真空臺面上的準(zhǔn)確位置和方位，使掃描圖像與參考圖像完成重合以便進(jìn)展規(guī)律比較，并通過對位計算出臨界值以便把圖像處理成黑白圖像。對位越準(zhǔn)確，掃描結(jié)果越好。在板層設(shè)定操作界面上點擊右上角 圖標(biāo)，即可進(jìn)入對位操作界面，如圖7.1所示。?界面介紹：

圖7.1 對位操作界面對位階段指示--表示整個對位過程所需的步驟，及指示目前進(jìn)度。階段描述--供給對應(yīng)每一階段的說明性文字，提示用戶怎么做或顯示系統(tǒng)目前所處理的工作。功能按鈕Back〔返回〕--回到上一個對位階段Next〔下一步〕--進(jìn)入下一個對位階段Cancel〔取消〕--取消對位工作Retry〔重試〕--使應(yīng)用程序重計算位置并重掩蓋§7.2對位操作步驟〔以半自動對位方式說明〕一、Stage1：Panelpositioning(階段1：板定位)--PUTTHEPANELONTHETABLEACCORDINGTOTHEGRAPHICDISPLAYORDRAGLAYER”SOVERLAYIFPOSITIONISDIFFERENT(依據(jù)顯示的圖形將板放在臺面上，假設(shè)位置不對，拖動層到正確位置)動作：將板子放在真空臺面上，貼齊對位條〔或定位釘〕，假設(shè)顯示圖像位置不對，拖放參考圖像，使圖像相對于臺面的位置盡可能與相對于臺面的板的實際位置匹配。單擊“Next〔下一步〕”按鈕，主顯示區(qū)域自動切換到框格視圖，并把十字準(zhǔn)線放在第一個對位區(qū)塊中，臺面第21頁AOI操作流程及參數(shù)詳解自動移動到預(yù)先選擇的第一個對位區(qū)塊〔最靠近層的底部〕，指示階段視窗指針移動到其次個階段〔如圖7.2〕。圖7.2 對位其次階段二、Stage2：Tableadjustment(階段2：桌面調(diào)整)--MOVETHETABLESOTHATTHELASERPOINTERINDICATESTHEAREANEARTHECROSS-HAIR(臺面，使鐳射點指向圖示上白色十字準(zhǔn)線四周)動作：使用功能鍵上的方向鍵移動臺面，當(dāng)快到所示區(qū)域四周時，點擊功能鍵盤上的“Slow/Fast”鍵使臺面慢速移動〔Orion無此按鍵，按下“DefectFwd〔前一缺點〕”鍵或踩腳踏板的同時按方向鍵,亦可使臺面慢速移動〕，直到“激光指針”〔板外表上的紅點〕定位到十字區(qū)域顯示的位置四周〔不需要很準(zhǔn)確，以后的步驟會更準(zhǔn)確地對位〕。單擊“Next〔下一步〕”按鈕，指示階段視窗指針移動到第三個階段。三、Stage3：Registration(階段3：定位)--Wait(等待)動作：應(yīng)用程序掃描第一個對位區(qū)塊，把掃描圖像掩蓋到參考圖像上面，指針移動到第四個階段〔如圖7.3〕。四、Stage4：Registrationadjustment(階段4：定位調(diào)整)--MOVESCANNEDIMAGEFORBESTMATCHWITHTHEREFERENCEIMAGEPRESSREQUIREDBUTTONBELOWTOCONTINUE(移動掃描圖像，使之與參考圖像很好重合，單擊需要的按鈕連續(xù))動作：使用光標(biāo)拖放掃描圖像，使其與參考圖像完全重合，單擊“Retry〔重試〕”，讓應(yīng)用程序重計算位置并重掩蓋〔如圖7.4〕。五、單擊“Next〔下一步〕”按鈕。假設(shè)啟動了“自動設(shè)置”功能，此時系統(tǒng)執(zhí)行校正任務(wù)，微調(diào)光學(xué)部件，以取得最好的焦距，更好地進(jìn)展對位工作〔如圖7.5〕。六、系統(tǒng)自動完成其他對位區(qū)塊的對位，并顯示“圖像設(shè)置〔臨界值〕”屏幕〔如圖7.6〕，此界面的值是程序選擇圖像比照最好的定位區(qū)塊計算的，一般都可承受不需更改，點擊“OK〔確認(rèn)〕”即可。第22頁AOI操作流程及參數(shù)詳解圖7.3 對位第四階段〔1〕圖7.4 對位第四階段〔2〕第23頁AOI操作流程及參數(shù)詳解圖7.5 自動設(shè)置工作界面圖7.6 圖像設(shè)置〔臨界值〕界面第24頁AOI操作流程及參數(shù)詳解七、如板層設(shè)定時選擇CVR檢修且選擇“Virtual”，程序顯示設(shè)定定位釘界面，移動臺面到廠內(nèi)規(guī)定的參考點位置，使定位釘位于顯示器的中心〔如圖7.7〕，點擊“SET〔設(shè)置〕”按鈕，再點擊“ENTER〔確認(rèn)〕”按鈕即可。圖7.7 設(shè)定定位釘八、對位工作完成，程序自動切換到掃描界面。第25頁

AOI操作流程及參數(shù)詳解§8.1掃描界面對位完成系統(tǒng)將自動切換到掃描界面，如圖8.1所示，假設(shè)為預(yù)備就緒的料號，可在料號選擇操作界面上直接點擊右上角 圖標(biāo)進(jìn)入掃描界面。圖8.1 掃描界面§8.2常用按鈕及參數(shù)功能詳解一、掃描參數(shù)1.Oxidation〔氧化〕--指定板子的氧化屬性，一般選Normal〔正常〕，如為氧化板，可設(shè)成High〔高〕，可降低對氧化點的敏感度。其本質(zhì)是讓系統(tǒng)自動依據(jù)板子狀況調(diào)整臨界值。2.Substrate〔基材〕--指定板子的清潔度屬性，通常都選Normal〔正?！场inimumLine〔最小線寬〕--指定可承受的板子的最小線寬值，假設(shè)低于此值，將報告缺陷。其默認(rèn)值一般為系統(tǒng)依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)線寬值的80%計算得到，假設(shè)報很多線寬假點，可適當(dāng)降低此值。MinimumSpace〔最小線距〕--指定可承受的板子的最小線距值，假設(shè)低于此值，將報告缺陷。其默認(rèn)值一般為系統(tǒng)依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)線距值的80%計算得到，假設(shè)報很多線距假點，可適當(dāng)降低此值。Expert〔專家〕--點擊此按鈕，消滅圖8.2所示界面，顯示參考圖像和掃描圖像進(jìn)展規(guī)律比較時所套用的規(guī)章。其默認(rèn)值為系統(tǒng)在重學(xué)習(xí)層資料時自動加載到應(yīng)用程序中的，一般不需更改,“Enter第26頁AOI操作流程及參數(shù)詳解SchemeName(輸入方案名稱)”文本框不需要選擇值，“Masterrulename〔主規(guī)章名稱〕”文本框需確認(rèn)外層板用的是“Signal_E”,內(nèi)層板用的是“Signal_I”〔假設(shè)錯誤的變更將直接導(dǎo)致掃描結(jié)果的不NorminalLine〔標(biāo)準(zhǔn)線寬〕--只讀字段，顯示銅線在蝕刻前的值。NorminalSpace〔標(biāo)準(zhǔn)線距〕--只讀字段，顯示基材空間在蝕刻前的值。Lot〔批號〕--CVR檢修時，在此文本框中指定待測板批號。AutoCycle〔自動循環(huán)〕--各掃描參數(shù)經(jīng)掃板測試后，假設(shè)結(jié)果可承受，點擊此按鈕可進(jìn)入自動循環(huán)狀態(tài)進(jìn)展批量掃描。Scan〔掃描〕--開頭掃描按鈕，老版本軟件該方式掃描之前不對位，較少使用。VerifyAgain〔再次驗證〕--重驗證上一次掃描結(jié)果或以前保存過的掃描結(jié)果〔界面如圖8.6〕。LastScanResults〔最終掃描結(jié)果〕--最終一次掃描的結(jié)果，系統(tǒng)默認(rèn)只保存最終一次掃描結(jié)果?！?”/“2”--手動保存的掃描結(jié)果RemoveAll〔移除全部〕--刪除全部保存的記錄。Remove〔移除〕--刪除選中的記錄。Close〔關(guān)閉〕--關(guān)閉該窗口選中欲驗證的記錄，點擊“OK〔確認(rèn)〕”即可切入該層的驗證界面。二、工具欄

圖8.6再次驗證功能界面此按鈕主要用于設(shè)定對位掃描所使用的對位區(qū)塊。點擊“Alignment”標(biāo)簽頁，界面如圖8.7所示。Enable〔啟用〕--選擇該多項選擇框，啟動掃描時的自動對位。Makealignmentevery<number>side(s)(每掃幾面對位一次)--輸入說明在多少板層之后啟動對位掃描一次。最好輸入“1”，以便掃描每個板層都進(jìn)展對位。SelectFrames〔選擇框格〕--點擊此按鈕翻開如圖8.8所示的界面，選擇對位的框格，只能兩個，以藍(lán)色顯示。假設(shè)選擇垂直的兩個框格，掃描對位速度較快；假設(shè)選擇對角的兩個框格，掃描對位精度較高。圖8.7 檢查選項的對位頁〔一〕 圖8.8檢查選項的對位頁〔二〕第27頁AOI操作流程及參數(shù)詳解點擊此按鈕，將翻開圖7.6所示界面，可依據(jù)掃描結(jié)果進(jìn)展灰階值微調(diào)，以消退局部假點。僅限有調(diào)整此值閱歷的人員使用，否則，不正確的設(shè)定將導(dǎo)致漏檢。開頭一次掃描的另一種方法，快速對位之后再掃描，以確保準(zhǔn)確對位該批中每個板層。建議用這種方式進(jìn)展掃描?！?.3根本操作步驟一、確認(rèn)掃描參數(shù)都設(shè)定正確。二、選擇對位掃描的對位框格。三、按對位掃描方式掃描。四、驗證掃描結(jié)果，調(diào)整掃描參數(shù)消退不必要的假點，反復(fù)測試，直到結(jié)果滿足為止。五、進(jìn)入自動循環(huán)模式開頭