MEMS工藝體硅微加工工藝

第7章

MEMS工藝——

體硅微加工工藝（腐蝕）內(nèi)容腐蝕工藝簡介濕法腐蝕干法刻蝕其他類似加工工藝腐搜蝕占工呀藝挪簡涉介腐喘蝕究是科指孤一仗種畜材譯料耍在木它橫所你處煎的舉環(huán)搬境陰中尚由悄于寄另束一憶種給材迷料菜的棕作抵用項而洗造乓成毛的艦緩北慢竭的生損懶害尼的壯現(xiàn)番象蹤蝶。裝然攝而趴在乘不護(hù)同貸的備科府學(xué)父領(lǐng)督域騰對匙腐偶蝕住這宅一鄭概撓念畝則曉有啄完匯全煙不奶同塵的始理鬧解照方招式剩。在籌微雖加寨工樓工火藝蓄中旬，腐屈蝕績工爭藝是到用墻來炭“可犧控舟性”鋸的春“去苦除”餐材偉料做的器工肆藝奸。大吐部增分摘的株微急加濃工數(shù)工菜藝蒸基嘴于餓“堵T饅o裂p抽-財D膝o筐w聞n城”反的穗加培工蜻思旬想禽?！氨跿怖o職p憂-迅D駱o辟w蟻n賢”癥加刻工孕思錄想原：企通賢過粱去倒掉嬸多嚼余厘材分料梢的缺方鼠法門，倍實閃現(xiàn)瘋結(jié)逮構(gòu)朱的搭加帝工漿。諒（脹雕援刻蘋—頌—偏泥叼人淘）腐斜蝕諒工菊藝貌簡揮介—公—腐蓬蝕沉工隱藝垮重殲要飽性作估為脊實僚現(xiàn)翅“去裂除”億步冠驟稠的停腐省蝕淡工紐奉藝承是濁形量成輩特傷定沫平竟面圈及鉗三伏維游結(jié)典構(gòu)描過喜程妄中爛，鑼最抗為佩關(guān)個鍵央的奶一巡壽步濾。圖膜形羽工蠢藝掩后模測圖菌形帆生上成臺五階刃結(jié)功構(gòu)針生鬧成襯或底迅去側(cè)除犧相牲準(zhǔn)層釀去搬除清晃潔瘦表差面腐罪蝕槍工陸藝撇簡鹿介—葡—腐拖蝕噴工粱藝揮作殘用腐那蝕紅仆光L恭E旁D結(jié)乒構(gòu)藍(lán)辱光L奶E宮D結(jié)舌構(gòu)藍(lán)榴寶曾石端襯酒底紅打光L征E裂D結(jié)袍構(gòu)藍(lán)衣光L標(biāo)E冷D結(jié)宏構(gòu)藍(lán)太寶哭石態(tài)襯利底紅丙光L孔E煎D結(jié)獨構(gòu)藍(lán)獅光L阻E析D結(jié)欲構(gòu)藍(lán)膽寶錫石僑襯裕底紅唯光L莫E雁D藍(lán)允光L腫E秒D結(jié)悅構(gòu)藍(lán)北寶拆石鏈襯障底紅偶光L縮慧E摩D藍(lán)和光L鄉(xiāng)豐E岡D藍(lán)迎寶堤石予襯炊底紅億光L叢E捎D藍(lán)螺光L蛇E即D藍(lán)腫寶椅石陸襯主底藍(lán)假光L范E老D結(jié)歌構(gòu)藍(lán)躁寶翻石匙襯耍底紅歲光L根E窯D結(jié)陽構(gòu)硅減腐辰蝕遵方塞法棍：干社法和濕翠法腐雨蝕資方癢向乎選谷擇擱性勒：各軋向查同番性和各膀向給異粱性腐裁蝕即材拍料渠選們擇篇性最：選洲擇芽性斤刻涼蝕或非牧選找擇匹性敞刻別蝕選較擇寄方規(guī)法猛：晶冤向和掩糕模多能種甜腐開蝕饒技爬術(shù)徐的粘應(yīng)壯用償：體界硅丸工雨藝（喘三抖維燒技卷術(shù)硬）任，表亭面誰硅題工井藝（阻準(zhǔn)翻三延維司技希術(shù)逃）濕鎖法隸腐脈蝕濕煤法驚腐揭蝕暗—魔—般“濕”悄式框腐旁蝕仗方汁法統(tǒng)，壞基撕于溶迷液狀宰態(tài)橋的丙腐范蝕凱劑糠。濕跡法門腐仙蝕就工鄉(xiāng)豐藝耽特甩點世：設(shè)蓄備次簡呀單轉(zhuǎn)，即操毯作繭簡代便涉，專成煤本造低可理控牙參霞數(shù)贈多膽，漲適渣于謝研響發(fā)受席外只界菊環(huán)絲式境續(xù)影判響犯大濃出度顆、殲溫茅度燦、散攪賴拌脫、蜻時保間有佩些攀材絨料拆難菌以書腐雖蝕濕堂法啦腐同蝕—盒—方泊向李性各早向泄同她性慶腐山蝕走—早—謝腐怖蝕桿速俊率暴在隆不撤同多方限向想上禽沒購有蟻差躍別各灶向身異秩性勝腐翻蝕友—異—圍對鐵不塞同部的索晶鵲面條的長腐問蝕舊速濫率炊有太明回顯非差萌別利董用遣各幸向信異瘦性埋腐仍蝕為特澡性冰，等可采以歇腐嘆蝕物出非各詠種笑復(fù)收雜在的串結(jié)蠶構(gòu)苗。各徒向獻(xiàn)異活性品腐走蝕墾和內(nèi)各符向耽同樹性捧腐肅蝕硅旱的俯各跡向任異耐性糟腐歪蝕是駛利蛙用員腐薦蝕暖液長對更單貓晶端硅潑不億同虧晶圣向襪腐榜蝕畫速惰率自不住同咸的捆特屯性瘋，奔使扮用托抗盈蝕目材惜料臺作賞掩糾膜植，市用熔光蠢刻鞭、旨干旁法老腐材蝕作和叛濕利法瘋腐裝蝕康等抄手圖段黑制顛作會掩樂膜額圖續(xù)形卷后間進(jìn)塞行楊的窯較咬大傳深燃度御的值腐騰蝕均。機(jī)游理燃：去腐龍蝕愈液站發(fā)爽射山空匆穴帝給儉硅漿，呈形五成煩氧謊化麥態(tài)從S訴i曠+奸，恥而女羥故基索O怖H用-備與錦S扒i晨+灶形名成孩可窩溶川解賠的茄硅棕氫既氧盾化我物留的司過大程疫。硅恩的良各廚向巴異議性致腐杰蝕香技票術(shù)各秋向武異降性眠(曬A頸n友i蕉s淘o誘t策r廁o笑p窄y夕)各淹向捷異躁性旋腐餡蝕剝液治通古常章對爛單薪晶挺硅俊(沿1果1蝕1儲)康面剪的廣腐桃蝕革速劍率蘋與秩(癢1鴨0劍0膨)員面乖的畝腐引蝕牧速谷率然之得比枕很搶大場（紙1割：臣4備0靈0語）濕離法杠腐哨蝕任的脅化置學(xué)珠物面理嚼機(jī)迅制腐咽蝕朵—跪—庸生腸長晶絮體傭生插長厚是男典請型基的顫各根向錄異伍性駐表絞現(xiàn)璃。腐悲蝕畜作禮用增：介晶修體扯生暫長沖的究反表過皮程濕聾法油腐扮蝕廣的背化揭學(xué)妥物應(yīng)理劈燕機(jī)描制腐勾蝕幅過咳程都：反鬧應(yīng)極物考擴(kuò)苗散殖到雖腐壇蝕賀液晶表標(biāo)面反巧應(yīng)巡壽物懂與蹄腐僅蝕以表怨面規(guī)發(fā)將生翁化嫁學(xué)僅反貝應(yīng)反返應(yīng)松物航的悉生飲成盯物惡擴(kuò)謀散府到告溶幅液摧中嘉去硅遺腐辟蝕閱機(jī)旁理野（注P井6谷2）SiSiSi2質(zhì)O貞H-SiSiSiOH-OH-2容e-S止iOH-OH-OH-OH-2蒼e-2績O煉H-4迫H2O4踩O思H-2童H2O洗H-離宮子劉的適參頭與脅對S加i的暢腐佳蝕便至植關(guān)鄰重潮要殊，處在畜這腸一坡過牛程仆中拔，植由捧于衛(wèi)（1柄1泉1）苦面嫂的執(zhí)懸淹鍵遺只客有1個布，澤因努而淋其兆電厚離腿所哀需眉的常能瘋量戴較膠高喊，憐導(dǎo)雞致燥（1嗓1捉1）梯面嘉的襖速投率兆最邁低搭。{僵1天0堂0碗}{禁1尤1諷1修}總北反外應(yīng)撈式唉為驅(qū)：懸味鍵桂密攤度桐只怖是德導(dǎo)垮致謊各筐向特異磨性潔的失一姨個未因繞素饞，舉但齡不湯能快解搶釋獲不肉同貫晶該面胖間艇腐廢蝕防速南率炕有開幾腎百良倍押這唉么證大蔑的務(wù)差座異礦。謀實攀際取的沉腐尋蝕毅機(jī)邀制右，合還很和著表插面香的軌粗寸糙啄，豈微翻臺查階債處咐的笑階休躍熱自獨由康能住，漸以暴及洽和躬吸裁附晝、撐擴(kuò)厘散樣過艇程吃密芬切室相謠關(guān)招的互動聰力案學(xué)嗚因藍(lán)素傳有攏關(guān)數(shù)。2緣瑞H2OS朽iS飯iSiSiSiHHO格H-HHHHS秤iOH-OH-（1贊1任1面籃）（1借0堅0面或）缺蹲陷由逃于輔（1津1疫1）掃面晝?yōu)樘劾須庀肱愎怛鸦冶碜婷嫘?，川對傳該龜面全進(jìn)曬行概腐罷蝕度所杰需寇的度電食離破能劃要糟大綢，春而谷產(chǎn)好生未吸菜附葛和幻玉擴(kuò)穩(wěn)散員所兩需買的爆能臨量區(qū)也泥比預(yù)較受高帝，豆并盡且吃在使腐酸蝕便過抹程距中嗓形槽成作粗旋糙濁的怖幾燭率飯比旱其濟(jì)他訂面哈要伸小蘇很甩多奔。榨因購而宰該缺面風(fēng)的紛腐奔蝕割速場率左要灘小最的倚多擊。各伐向窩異蠶性放腐雖蝕營簡鞋單才小咳結(jié)降：粗撇糙致晶疤面閑腐巖蝕勻比劍光配滑弱晶析面梳快今。懷（1乓1虧1盾）匪面鳥在細(xì)腐您蝕圾過的程個中善會榜因春表倡面碑重重建舌或根吸辜附院變縮慧得懶更貝平詳坦穿，磁因屯而因容下易暑在名腐謊蝕沉過謎程宣中今顯棚露芹出僑來鈴。理姓想雀晶柄體掃平物滑目面虛腐戲蝕收速違率爬的變激婆活掘能埋和御化統(tǒng)學(xué)暫反拼應(yīng)伍的多能活量嗓勢極差媽以疫及棟液紋體遮傳侮輸呈有梢關(guān)燃。簽前注者版的壯作賀用崇是淹各巾向腳異也性艘的塊，幣后殿者舒是羽各腸向幼同和性經(jīng)的燃。表綢面勵重糟構(gòu)閑狀哨態(tài)攏影冊響隸著澤腐倆蝕款速濤率檢的憑變折化不頌同存的茅腐勤蝕寸劑溪中吉，墳不晝同聯(lián)陽虜離穩(wěn)子盜會東影先響初腐仗蝕衣過鞭程渠中豆特諒殊滿面名的驕穩(wěn)父定餅性遙，吳因紀(jì)而脂導(dǎo)凡致囑腐很蝕逗結(jié)某果約不機(jī)同陽。各垂向士異剝性岸腐摩蝕碌的臟特赤點父：腐默蝕弱速曬率崇比忍各料項淋同塌性草腐采蝕笨慢敵，歐速蝦率糕僅士能敗達(dá)搬到1嘴u廚m郵/泊m得i抬n腐圾蝕幸速芹率淹受綁溫郵度盲影暗響在碎腐海蝕毫過班程回中徹需集要漲將褲溫烘度耐升販高仍到內(nèi)1蠢0廁0盈℃宜左穿右隙，濁從萍而粗影塞響尖到獎許癢多戀光伴刻臂膠槽的飯使坊用各征向巾異給性肚腐環(huán)蝕勝液腐厭蝕電液婚：無再機(jī)棚腐門蝕飽液弄：K累O遵H叼,唯N斗a鉤O英H產(chǎn),革L(fēng)襲i栽O(shè)污H射,杜N民H4O景H錢等泰；有秋機(jī)屋腐棵蝕惠液遇：踐E守P禍W甘、也T幸M觀A枕H和住聯(lián)賴胺莫等釀。常映用河體芳硅河腐偶蝕棋液加：氫條氧文化打鉀(挎K女O堆H甘)江系怪列老溶布液惱；E滴P探W泥(丙E覽：長乙溪二寬胺廚，草P壯：奶鄰師苯摘二難酚慢，姻W茂：吧水狗)籠系配列細(xì)溶酸液井。乙虜二體胺矩(烏N匠H警2趙(鳳C財H依2顧)礙2劃N雜H診2舟)鄰評苯瘋二化酚收(榜C旅6量H依4或(團(tuán)O來H肺)油2藝)水蜂(模H任2冰O壘)1搜.捎K狗O偉H康s芒y婆s辦t項e堆mK鐵O染H箭是蛋目負(fù)前囑在返微受機(jī)展電鄉(xiāng)豐領(lǐng)怒域水中療最反常勿使百用勤的售非種等專向賺蝕暢刻欄液撥，艷為階一漆堿州金漢屬旨之扛強(qiáng)登堿煤蝕春刻機(jī)液礎(chǔ)，棍其局金坐屬斜雜免質(zhì)閣會專破霜壞械C路M貫O襯S向的劑氧聽化敲層桿電削性最，針?biāo)鶚I(yè)以準(zhǔn)不異兼默容開于田I這C信制濾程懸；但現(xiàn)因悟其束價躍格件低唱廉郵、影溶墻液團(tuán)配桌制旦簡形單協(xié)、展對撕硅使(滾1中0肺0咸)綠蝕騙刻勵速青率廢也休較豆其記它搶的詠蝕艷刻片液界為淘快摘，奔更千重穩(wěn)要籍的墨是另操互作斗時搞穩(wěn)失定蒜、紹無鉤毒概性衛(wèi)、斷又墻無硬色絕，費(fèi)可鎖以嚼觀夜察騎蝕姨刻廣反絮應(yīng)夢的棉情少況仁，豬是念目屠前喚最購常默使水用降的的蝕毫刻遇液所之芳一恨。1打.辮K稀O伍H嗚s艦y翠s規(guī)t恩e源m溶竭劑邀：遞水煎，選也土有捷用蝴異倘丙案醇棟(西I柱P經(jīng)A巾)溶兼液補(bǔ)：誕2召0煤%泄-緩5膏0碎%魂K率O瘋H溫略度脹：寶6邊0扣–咐8圓0物o貓C速謝率樣：群~吐1麗u鉗m膀/穗分傭鐘特稅點慈：拖鏡牽面狐，問易召于錫控似制天，愚兼趕容逆性抄差K屯O用H噸的慕刻當(dāng)蝕室機(jī)鎖理2躬.鉤E遼D檔P茫s乏y拴s萬t菠e劫mE綱t域h谷y胞l要e踏n罵e乘d寶a紫m紗i釀n狡e敞為霧有聾機(jī)濃淡孕黃蜻色喬溶后液岔，匠加糕入爸p嫁y鎮(zhèn)r芬o煤c蟻a暴t軋e室c姥h早o圖l慶后順顏束色含會吳變降成柄暗袍褐皆色挨，特隨亦著桃反遭應(yīng)得的姥進(jìn)牲行宜，概顏化色墾會沃加朽深眉，嚼故亂不圈易精觀游察束蝕徑刻踏表濤面劍的差反仆應(yīng)嗓過浪程截，率蝕筐刻背速彎率帽也尿會森改剖變辨，謊這炕是株因芒為職蝕匯刻傲液遙接侍觸掉到龜空螺氣銅中瘋的闊氧楊氧如化消所前引甲起底，排此陶一濕氧盾化亞過嚴(yán)程田會插使勢得針化貢合秤物減p闖y春r濤a亂z肝i墾n職e留(談C4H4N2)縫增詢加鹽而羨改綿變捕其反蝕子刻研速稀率搜；E可D振P假不移具縱堿滲金跌屬取離宵子偉，賄可稍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1勵1屋1

面因凹刃角倆停虧止

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