半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場前景及投資研究報(bào)告:短期擾動(dòng)國產(chǎn)化大趨勢_第1頁
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場前景及投資研究報(bào)告:短期擾動(dòng)國產(chǎn)化大趨勢_第2頁
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場前景及投資研究報(bào)告:短期擾動(dòng)國產(chǎn)化大趨勢_第3頁
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場前景及投資研究報(bào)告:短期擾動(dòng)國產(chǎn)化大趨勢_第4頁
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場前景及投資研究報(bào)告:短期擾動(dòng)國產(chǎn)化大趨勢_第5頁
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文檔簡介

短期擾動(dòng)不改國產(chǎn)化大趨勢——半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)系列跟蹤報(bào)告之二2023年02月15日證券研究報(bào)告核心觀點(diǎn)1目

錄估值處于底部區(qū)間,22年業(yè)績預(yù)告表現(xiàn)優(yōu)異景氣度回升靜待時(shí)日,國產(chǎn)化確定性增強(qiáng)美國出口

影響較大,有待進(jìn)一步消化23H2半導(dǎo)體行業(yè)景氣度有望回升投資建議風(fēng)險(xiǎn)分析21.1、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)估值處于底部區(qū)間

行業(yè)近期受到美國出口

估值修復(fù)需靜待美國出口、晶圓廠招標(biāo)延遲、景氣度下滑等影響,估值PE≈60x處于歷史底部區(qū)間;利空消化以及行業(yè)景氣度回升。資料:、光大證券研究所整理;股價(jià)截止時(shí)間;31.2、半導(dǎo)體設(shè)備2022年度業(yè)績預(yù)告表現(xiàn)優(yōu)異

盡管受到疫情、美國出口2023年有望維持快速增長。以及景氣度下行等影響,2022年半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)除光力科技外業(yè)績預(yù)告整體表現(xiàn)優(yōu)異,營業(yè)收入22Q2

22Q32022/3/31

2022/6/30

2022/9/30

2022/12/31

2022/3/31

2022/6/30歸母凈利潤22Q2

22Q3營業(yè)收入

歸母凈利潤

扣非歸母凈利潤PSPE營業(yè)收入2022歸母凈利潤2022扣非歸母凈利潤排序

證券代碼半導(dǎo)體設(shè)備證券簡稱22Q122Q422Q122Q42022202220222022

202220222022/9/30

2022/12/31上限下限上限下限上限下限123456789002371.SZ北方華創(chuàng)YoY(%)QoQ(%)21.3650.0%-39.2%9.4957.3%-8.3%1.0886.2%-72.0%

286.6%3.5428.5%33.0851.4%54.9%10.2339.1%7.7%45.6878.1%38.1%10.7145.9%4.8%45.3829.3%-0.7%16.9763.9%58.4%6.9380.6%48.1%8.2254.1%-6.9%4.6364.6%18.1%4.792.06183.2%-50.7%1.17-14.9%-75.0%-0.125.48130.9%165.5%3.5135.4%199.2%1.209.31167.7%69.9%3.25123.9%-7.3%1.2965.9%7.8%2.04245.9%-12.1%0.74308.6%99.0%1.57102.5%66.4%1.14218.5%14658.9%0.806.6458.4%-28.7%3.47-26.1%6.7%145.5023.5021.5091419141416-565986599555635781156.00

135.00

26.00

21.00

24.00

19.00688012.SH

中微公司YoY(%)47.4016.8528.0013.6016.13-11.403.656.601.934.772.754.850.809.001.756.801.353.711.154.200.5947.4017.2029.0014.2016.95-47.40

12.00

10.80

9.408.601.606.201.203.421.053.850.54QoQ(%)688072.SH

拓荊科技-UYoY(%)4.16658.4%4.681.2816.504.007.202.105.172.855.200.943.306.001.754.372.654.500.651.907.401.504.001.254.550.6479.2%12.7%8.8390.9%19.0%3.9299.9%22.4%4.1666.3%12.8%7.1550.1%42.6%5.6542.9%-13.2%1.6515.0%-212.9%

-1110.3%-1336.5%1111.7%-1.4%2.1986.5%7.3%QoQ(%)688082.SH

盛美上海YoY(%)7.42111.9%0.04-88.6%-96.3%0.32398.3%33.6%0.91121.6%82.1%0.28-56.1%187.8%0.712.32346.9%5287.9%0.3729.5%14.1%0.94221.6%3.5%0.01-99.1%-97.3%1.74285.5%144.8%0.2427.00QoQ(%)-33.7%

109.7%688037.SH芯源微YoY(%)QoQ(%)1.8462.0%-34.7%3.48192.9%

111.2%33.5%6.041.5%-5.8%5.3882.4%21.5%1.203.2135.0%74.5%3.690.4913.00103.9%-32.8%1.34167.7%-14.7%1.311230.8%14.8%1.6079.8%98.5%0.15688120.SH

華海清科YoY(%)15.3083.5%15.1%-QoQ(%)5.9%5.01-28.0%-17.0%6.5172.0%21.1%1.49300567.SZ300604.SZ300480.SZ精測電子YoY(%)QoQ(%)長川科技YoY(%)QoQ(%)光力科技--------60.1%-19.9%0.20101.1%-53.8%0.20---YoY(%)QoQ(%)165.7%-32.4%-4.8%23.7%9.3%11.4%155.3%-46.9%-52.4%19.8%-7.1%-17.8%-59.2%-21.9%資料:、光大證券研究所整理;股價(jià)時(shí)間為;營收和凈利潤值由

年?duì)I收及凈利潤預(yù)告中值減去前三季度歷史值得來;4目

錄估值處于底部區(qū)間,22年業(yè)績預(yù)告表現(xiàn)優(yōu)異景氣度回升靜待時(shí)日,國產(chǎn)化確定性增強(qiáng)美國出口

影響較大,有待進(jìn)一步消化23H2半導(dǎo)體行業(yè)景氣度有望回升投資建議風(fēng)險(xiǎn)分析52.1、2023年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額同比預(yù)計(jì)有所下滑

根據(jù)SEMI最新預(yù)測數(shù)據(jù)(2022年12月),原設(shè)備制造商的半導(dǎo)體制造設(shè)備全球總銷售額預(yù)計(jì)將在2022年創(chuàng)下1085億美元的新高,連續(xù)三年創(chuàng)紀(jì)錄,較2021創(chuàng)下的1025億美元行業(yè)紀(jì)錄增長5.9%。預(yù)計(jì)2023年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備市場總額將收縮至912億美元,2024年將在前端和后端市場的推動(dòng)下反彈。62.2、半導(dǎo)體設(shè)備景氣度回升尚需時(shí)日

2022年12月:中國半導(dǎo)體月度銷售額為126.3億美元,同比下滑26.4%;中國半導(dǎo)體器件用機(jī)器及裝置進(jìn)口月度累計(jì)值為1241.8億元,同比下滑9.3%,行業(yè)景氣度回升尚需時(shí)日。72.3、中國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化確定性不斷增強(qiáng)

2021年中國半導(dǎo)體設(shè)備銷售額全球占比僅2%,是國產(chǎn)化的核心領(lǐng)域;

目前大力提高中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商的競爭力,對保障中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全具有顯著的溢出效益,預(yù)計(jì)國產(chǎn)化核心邏輯將不斷強(qiáng)化,維持中長期重點(diǎn)推薦。8目

錄估值處于底部區(qū)間,22年業(yè)績預(yù)告表現(xiàn)優(yōu)異景氣度回升靜待時(shí)日,國產(chǎn)化確定性增強(qiáng)美國出口

影響較大,有待進(jìn)一步消化23H2半導(dǎo)體行業(yè)景氣度有望回升投資建議風(fēng)險(xiǎn)分析93.1、美國出口

新規(guī)梳理

2022年10月7日,美國商務(wù)部產(chǎn)業(yè)安全局(簡稱“BIS”)宣布了一系列在《出口管理?xiàng)l例》下針對中國的出口新規(guī),其中包含了多個(gè)出口分類編碼(簡稱“ECCN編碼”)的新增和調(diào)整、新增3個(gè)外國直接產(chǎn)品規(guī)則、新增2個(gè)最終用戶和最終用途限制,以及更新了31個(gè)未經(jīng)核實(shí)清單(簡稱“UVL清單”)并新增了UVL清單轉(zhuǎn)實(shí)體清單的機(jī)制。

主要針對以下三類對象:1.

先進(jìn)計(jì)算芯片:添加了包括3A090、4A090兩個(gè)編碼,分別涵蓋了先進(jìn)計(jì)算芯片和超級計(jì)算機(jī)產(chǎn)品。對于3A090“先進(jìn)計(jì)算芯片”的定義或范圍是同時(shí)滿足:基礎(chǔ)計(jì)算單元算力之和超過4800TOPS,I/O傳輸接口的傳輸速率大于600GB/s;對于4A090“超級計(jì)算機(jī)”的定義則是滿足:一個(gè)計(jì)算“系統(tǒng)”,在41,600立方英尺或更小的范圍內(nèi),具有100或以上雙精度(64位)每秒千萬億次浮點(diǎn)運(yùn)算或200或以上單精度(32位)每秒千萬億次浮點(diǎn)運(yùn)算的集體最大理論計(jì)算能力。2.

先進(jìn)制程設(shè)備:禁止?jié)M足以下條件的先進(jìn)制程設(shè)備、零部件、元器件、軟件技術(shù)的出口:用于生產(chǎn)16/14nm以下制程的非平面晶體管結(jié)構(gòu)(即FinFET和GAAFET)邏輯芯片、生產(chǎn)128層或以上NAND以及生產(chǎn)18nm以下制程的DRAM。3.

從事先進(jìn)芯片和先進(jìn)制程的美國實(shí)體:“美國實(shí)體”的定義相對比較模糊和寬泛,既包括美國公民、美國綠卡持有者,也包括美國法人(及其分支機(jī)構(gòu))、甚至任何地理位置在美國的主體,既包括直接的銷售、轉(zhuǎn)運(yùn)行為,也包括協(xié)助促成銷售、轉(zhuǎn)運(yùn),還包括為中國境內(nèi)相關(guān)公司提供服務(wù)。103.2、影響梳理-邏輯芯片

28nm以下先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn)受限,未來擴(kuò)產(chǎn)基本集中在28nm及以上的成熟制程,目前暫時(shí)影響不大。中芯京城中芯深圳中芯臨港中芯天津北京深圳上海天津2024年達(dá)10萬片/月(一期),二期將根據(jù)實(shí)際需求適時(shí)啟動(dòng)2022年擴(kuò)產(chǎn)至4萬片/月,預(yù)計(jì)2022年開始生產(chǎn)12英寸

28nm及以上12英寸

28nm及以上12英寸

28nm及以上12英寸

28-180nm及以上2022-20252022-20232023-20252024-2026計(jì)劃擴(kuò)產(chǎn)10萬片/月,2022年1月4日正式啟計(jì)劃擴(kuò)產(chǎn)10萬片/月,2022年8月26日正式啟設(shè)設(shè)113.3、長江存儲影響梳理-3D

NAND芯片

目前3D

NAND主流集中在128L左右;

限制128L及以上和實(shí)體清單將影響未來二期的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃;123.4、長鑫存儲影響梳理-DRAM芯片

目前長鑫技術(shù)節(jié)點(diǎn)集中在19-17nm,技術(shù)節(jié)點(diǎn)與頭部相差兩代以上;

限制18nm將影響后續(xù)二期18nm以下的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃;133.5、美國出口

新規(guī)升級梳理

據(jù)《環(huán)球時(shí)報(bào)》援引媒體消息稱,美國、荷蘭和日本三國的國家安全事務(wù)官員2023年1月27日在白宮結(jié)束高級別談判,就限制向中國出口一些先進(jìn)的芯片制造設(shè)備達(dá)成協(xié)議,將把美國于2022年10月采取的一些出口措施擴(kuò)大到荷蘭阿斯麥、日本東京電子和尼康等公司,限制向中國出口一些先進(jìn)的芯片制造設(shè)備,其中將包括但不限于先進(jìn)制程的光刻系統(tǒng)。目前并沒有對外公布達(dá)成協(xié)議的計(jì)劃,由于荷蘭和日本仍需敲定各自的最終法律安排,實(shí)際落實(shí)計(jì)劃可能需要數(shù)月時(shí)間。

影響:DUV

ArFi主要用于45-28nm的制程,但工藝改良后可以做到14-7nm,而按照美國的要求,一旦進(jìn)一步限制荷蘭和日本兩國的先進(jìn)光刻系統(tǒng),ArFi光刻機(jī)將會受到限制,進(jìn)而影響到45-28nm的擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)程。目前預(yù)期除EUV光刻機(jī)之外,部分先進(jìn)ArFi光刻機(jī)會被限制出口,而剩余的光刻機(jī)類型將會符合美國對28nm以下先進(jìn)制程的限制,進(jìn)而不會影響到目前28nm及以上的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃,后續(xù)還需要持續(xù)關(guān)注協(xié)議的實(shí)施情況。(nm)436(nm)800-250800-250180-130130-6545-22g-linei-lineKrF365248ArF193EUV13.522-714目

錄估值處于底部區(qū)間,22年業(yè)績預(yù)告表現(xiàn)優(yōu)異景氣度回升靜待時(shí)日,國產(chǎn)化確定性增強(qiáng)美國出口

影響較大,有待進(jìn)一步消化23H2半導(dǎo)體行業(yè)景氣度有望回升投資建議風(fēng)險(xiǎn)分析154.1、臺積電22Q4財(cái)報(bào)及業(yè)績指引

臺積電22Q4營收處于指引下限,毛利率超指引上限,高性能計(jì)算和汽車電子環(huán)比均增長10%。臺積電22Q4營業(yè)收入為199.3億美元,指引在199-207億美元之間,主要由于終端市場需求疲軟和客戶庫存調(diào)整,處于指引下限;毛利率為62.2%,指引在59.5-61.5%之間,超過指引上限,主要是由于更有利的匯率和成本改善;收入環(huán)比增速排序:其他(+28%)、高性能計(jì)算(+10%)、汽車電子(+10%)、智能手機(jī)(-4%)、物聯(lián)網(wǎng)(-11%)和DCE(-23%)。

23Q1臺積電營收指引環(huán)比減少12.2-16.2%,預(yù)計(jì)23年資本支出320-360億美元。臺積電23Q1營收指引預(yù)計(jì)在167-175億美元之間,環(huán)比減少12.2-16.2%,中值171億美元,環(huán)比減少14.2%,同比減少2.7%;毛利率指引在53.5-55.5%之間,中值54.5%,環(huán)比減少7.7pct;整體業(yè)務(wù)將受到產(chǎn)能利用率下降、海外N3晶圓廠擴(kuò)張和通脹的影響。22年的資本支出為362.9億美元,預(yù)計(jì)23年在320-360億美元之間。

預(yù)計(jì)半導(dǎo)體周期將在23H1達(dá)到底部,23H2開始復(fù)蘇。臺積電觀察到消費(fèi)電子、PC、數(shù)據(jù)中心等需求不足,預(yù)計(jì)半導(dǎo)體周期將在23H1達(dá)到底部,23H2開始復(fù)蘇,23年臺積電收入同比將小幅增長。164.2、22Q4財(cái)報(bào)及業(yè)績指引

22Q4營收符合預(yù)期,產(chǎn)能利用率下滑到79.5%,中芯京城量產(chǎn)時(shí)間推遲1-2季度。22Q4營收16.21億美元,環(huán)比-15.0%,原指引-(13~15)%,毛利率32.0%,原指引30~32%

,環(huán)比下降6.9pct,符合預(yù)期;22Q4產(chǎn)能利用率下滑至79.5%,22年全年產(chǎn)能利用率約92%。中芯深圳進(jìn)入投產(chǎn)階段,中芯京城進(jìn)入試產(chǎn)階段,中芯臨港完成主體結(jié)構(gòu)封頂,中芯西青開始土建,中芯京城因瓶頸設(shè)備交付延遲

,量產(chǎn)時(shí)間預(yù)計(jì)推遲一到兩個(gè)季度。

23年預(yù)計(jì)營收同比下降低十位數(shù),資本開支與22年持平約63.5億美元。23Q1營收預(yù)計(jì)環(huán)比下降10~12%,毛利率區(qū)間為19~21%,中值環(huán)比下降12.0pct。23年全年?duì)I收預(yù)計(jì)同比下滑10%以上,毛利率預(yù)計(jì)在20%左右;23年折舊同比增長超兩成,資本開支與22年相比大致持平(22年資本開支63.5億美元),到年底月產(chǎn)能增量與22年相近(22年新增產(chǎn)能9.3萬片)。

23H1行業(yè)周期尚在底部,下半年客戶信心將回升。展望23年,智能手機(jī)和消費(fèi)電子行業(yè)回暖需要時(shí)間,工業(yè)領(lǐng)域相對穩(wěn)健,汽車行業(yè)電子增量需求均可以抵消部分手機(jī)和消費(fèi)電子疲弱的負(fù)面影響;23H1行業(yè)周期尚在底部,下半年雖可見度依然不高,但已感受到客戶信心些許回升,新產(chǎn)品流片的儲備相對飽滿。174.3、ASML

22Q4財(cái)報(bào)及業(yè)績指引

ASML

22Q4營收符合預(yù)期,毛利率超指引,設(shè)備訂單仍供不應(yīng)求。ASML

22Q4實(shí)現(xiàn)營收64.3億歐元,原指引61-66億歐元,同比+29.0%,環(huán)比+11.3%;毛利率51.5%,原指引約49%,同比-0.3pct,環(huán)比-2.7pct;22Q4新簽訂單63億歐元,其中EUV新簽訂單34億歐元;目前在手訂單404億歐元,需求遠(yuǎn)超公司的供應(yīng)能力。

ASML預(yù)計(jì)23Q1營收環(huán)比持平,23年全年?duì)I收同比增長超25%。ASML預(yù)計(jì)23Q1營收在61-65億歐元之間,與22Q4基本持平,其中光刻機(jī)及安裝服務(wù)收入約15億歐元;毛利率在49-50%之間。預(yù)計(jì)2023年全年?duì)I業(yè)收入將同比增長超過25%,毛利率同比略有提升。

預(yù)計(jì)23H1半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的庫存將回到平衡狀態(tài),23H2將回暖。ASML觀察到消費(fèi)電子(個(gè)人電腦、手機(jī)等)需求依舊疲軟,數(shù)據(jù)中心需求有所松動(dòng),汽車電子和工業(yè)電子需求持續(xù)強(qiáng)勁;客戶預(yù)期23H1半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的庫存將回到供需平衡狀態(tài),23H2半導(dǎo)體行業(yè)將會回暖。184.4、LAM

22Q4財(cái)報(bào)及業(yè)績指引

LAM

22Q4營收和毛利率符合預(yù)期。LAM

22Q4實(shí)現(xiàn)營收52.78億美元,同比+24.9%,環(huán)比+4%,原指引48-54億美元;毛利率45.1%,同比-1.7pcts,環(huán)比-0.9pct,原指引43.5-45.5%,符合預(yù)期。

LAM

23Q1營收環(huán)比大幅下滑,預(yù)計(jì)23年晶圓制造設(shè)備銷售收入同比下滑約22.2%。23Q1營收環(huán)比大幅下滑,LAM預(yù)計(jì)23Q1營收35-41億美元,環(huán)比下滑22.3-33.7%,毛利率43-45%;預(yù)計(jì)23Q2裁員約1300人,占公司整體員工數(shù)的7%左右。22年全球晶圓制造設(shè)備銷售收入約900億美元,預(yù)計(jì)2023年將下降到700億美元左右,同比下滑約22.2%,主要系NAND和DRAM客戶減少資本支出以及降低產(chǎn)能利用率為了使庫存快速達(dá)到供需平衡狀態(tài),外加美國對中國大陸出口的影響。194.5、KLA

22Q4財(cái)報(bào)及業(yè)績指引

KLA

22Q4營收略超預(yù)期,毛利率略低預(yù)期,營收增速大大超過整個(gè)WFE市場的增速。KLA

22Q4實(shí)現(xiàn)營收29.8億美元,同比+27%,環(huán)比+10%,原指引26.5-29.5億美元,略超指引上限;毛利率為61%,原指引61.5-63.5%,略低于預(yù)期,主要由非現(xiàn)金庫存儲備增加的影響;22年總營收增速(+28%)大大超過了整個(gè)晶圓廠制造設(shè)備市場的個(gè)位數(shù)增速(+8%)。

KLA預(yù)計(jì)23年全球晶圓廠制造設(shè)備市場跌幅達(dá)20%。KLA

23Q1預(yù)計(jì)營收22-25億美元,預(yù)計(jì)毛利率60.5-62.5%;公司預(yù)計(jì)23年晶圓廠制造設(shè)備市場銷售額相比22年的940-950億美元下降20%,預(yù)計(jì)存儲芯片類的設(shè)備投資跌幅將超過整體市場跌幅,其中DRAM芯片的跌幅將超過NAND芯片,消費(fèi)領(lǐng)域需求低迷使得存儲客戶通過減少投資以及降低產(chǎn)能利用率來達(dá)到庫存的供需平衡狀態(tài);預(yù)計(jì)邏輯芯片跌幅小于整體市場的跌幅,主要系先進(jìn)制程投資跌幅較小。20目

錄估值處于底部區(qū)間,22年業(yè)績預(yù)告表現(xiàn)優(yōu)異景氣度回升靜待時(shí)日,國產(chǎn)化確定性增強(qiáng)美國出口

影響較大,有待進(jìn)一步消化23H2半導(dǎo)體行業(yè)景氣度有望回升投資建議風(fēng)險(xiǎn)分析215、投資建議225.1、重點(diǎn)半導(dǎo)體設(shè)備公司估值表總市值(億元)營業(yè)收入(億元)歸母凈利潤(億元)PEPS排序證券代碼證券簡稱20A21A22E23E24E20A5.3721A22E23E24E20A

21A

22E

23E

24E

20A

21A

22E

23E

24E半導(dǎo)體設(shè)備12002371.SZYoY(%)688012.SHYoY(%)688072.SH

拓荊科技-UYoY(%)北方華創(chuàng)中微公司13136743161843871252641791752772731546560.5696.8359.9%31.0836.7%7.58145.8050.6%46.0648.2%15.62106.0%13.3260.7%27.6970.8%29.6642.3%16.86109.4%14.8168.3%28.8419.7%27.7983.9%11.1326.7%24.1919.7%7.32195.8834.3%61.6633.9%23.9253.2%19.4446.0%38.0537.4%40.2335.6%26.6358.0%20.2836.9%36.8427.7%40.0043.9%15.0034.8%32.4634.2%10.7046.2%10.3744.4%-250.7928.0%80.5830.7%33.0038.0%26.2835.2%50.1731.9%50.5425.6%35.0331.6%25.0923.7%46.7326.9%52.0230.1%19.9633.1%41.4427.7%14.7237.6%14.2036.9%-10.77100.7%10.11105.5%0.6821.0995.7%11.3812.6%3.0528.6735.9%14.5427.7%4.3138.6234.7%18.5227.4%6.2845.7%3.4843.1%9.7930.8%6.8028.3%8.9933.3%7.1718.7%4.9833.5%11.4034.7%9.5633.5%7.5634.2%3.1851.4%3.0640.2%--2.8142.2%245137122

62

46

34

22

14975822.734.363.2910.0713.973.869.3120.778.043.9716.773.113.103.538.544.92-0.110.491.972.610.983.152.430.851.992.650.590.710.930.4467

59

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36

30

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15

113-2748

461

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42

20

13

1074.0%8.29-696.1%

345.2%41.4%2.4338.1%7.484688037.SHYoY(%)688082.SHYoY(%)603690.SHYoY(%)688120.SHYoY(%)600641.SHYoY(%)300567.SZYoY(%)300604.SZYoY(%)688200.SHYoY(%)688001.SHYoY(%)300480.SZYoY(%)688630.SHYoY(%)301312.SZYoY(%)688025.SHYoY(%)芯源微盛美上海至純科技華海清科萬業(yè)企業(yè)精測電子長川科技華峰測控華興源創(chuàng)光力科技芯碁微裝智立方0.7758.4%2.661.76127.6%5.9737619748238

104

76

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22

14145

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