GB 51401-2019 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

UDC

電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB514012019

電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

Standardfordesignofelectronicindustryemissions

treatmentengineering專(zhuān)用

人人文庫(kù)

貼標(biāo)處20192211發(fā)布20200104實(shí)施

S/N:155182·0510

統(tǒng)一書(shū)號(hào)：155182·0510

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

定價(jià)：23.00元聯(lián)合發(fā)布

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

Standardfordesignofelectronicindustryemissions

treatmentengineering

GB51401-2019

主編部門(mén)中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部

:

批準(zhǔn)部門(mén)中華人民共和國(guó)住房和城專(zhuān)用鄉(xiāng)建設(shè)部

:

施行日期年月日

:202041

人人文庫(kù)

中國(guó)計(jì)劃出版社

2019北京

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)專(zhuān)用準(zhǔn)

GB51401-2019

☆

中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行

網(wǎng)址

:

地址北京市西城區(qū)木樨地北里甲號(hào)國(guó)宏大廈座層

:11C3

郵政編碼電話發(fā)行部

:100038:(010)63906433()

三河富華印刷包裝有限公司印刷

印張千字

850mm×1168mm1/323.7593

年月第版年月第次印刷

202011202011

☆

統(tǒng)一書(shū)號(hào)

人人文庫(kù):155182·0510

定價(jià)元

:23.00

版權(quán)所有侵權(quán)必究

侵權(quán)舉報(bào)電話

:(010)63906404

如有印裝質(zhì)量問(wèn)題請(qǐng)寄本社出版部調(diào)換

,

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

2019年第321號(hào)

住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)的公告

《》

現(xiàn)批準(zhǔn)電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)

《》專(zhuān)用,

為自年月日起實(shí)施其中第

GB51401—2019,202041。,3.0.3、

條款為強(qiáng)制性條文必須嚴(yán)格

3.0.6(1)、3.0.8、3.0.10、3.0.17(),

執(zhí)行

。

本標(biāo)準(zhǔn)在住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部門(mén)戶網(wǎng)站

()

公開(kāi)并由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版

,

社出版發(fā)行

。

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

人人文庫(kù)2019年11月22日

前言

本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于印發(fā)年工程建

《<2013

設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂修訂計(jì)劃的通知建標(biāo)號(hào)的要求由工

、>》〔2013〕6,

業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限

、

公司會(huì)同有關(guān)單位共同編制完成

。

在標(biāo)準(zhǔn)編制過(guò)程中編寫(xiě)組根據(jù)我國(guó)的集成電路薄膜

,(IC)、

晶體管液晶顯示器以及新型有機(jī)發(fā)光顯示器

(TFT-LCD)

為代表的電子工廠生產(chǎn)過(guò)程中使用的化學(xué)品種類(lèi)及廢氣

(OLED)

污染因子排放的實(shí)際情況進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究收集了有關(guān)電

,專(zhuān)用,

子工廠廢氣污染因子的種類(lèi)和設(shè)計(jì)處理要求認(rèn)真總結(jié)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)

,,

同時(shí)考慮我國(guó)目前生產(chǎn)的現(xiàn)狀參考國(guó)外有關(guān)的規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)廣泛征

,,

求了全國(guó)有關(guān)單位與個(gè)人意見(jiàn)最后經(jīng)審查定稿

,。

本標(biāo)準(zhǔn)的主要技術(shù)內(nèi)容是總則術(shù)語(yǔ)基本規(guī)定工藝及工藝

:、、、

設(shè)備堿性廢氣系統(tǒng)酸性廢氣系統(tǒng)揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)特種

、、、、

廢氣系統(tǒng)除塵系統(tǒng)電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)事故通風(fēng)電氣設(shè)

、、、、

計(jì)等

。

本標(biāo)準(zhǔn)中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文必須嚴(yán)格執(zhí)行

,。

本標(biāo)準(zhǔn)由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解

釋由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限

,,

公司負(fù)責(zé)具人人文庫(kù)體技術(shù)內(nèi)容的解釋執(zhí)行過(guò)程中如有意見(jiàn)或建議請(qǐng)

。,

寄至中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)

《

標(biāo)準(zhǔn)管理組地址北京市海淀區(qū)西四環(huán)北路號(hào)郵編

》(:160,:

傳真郵箱

100142,:yandong@)。

本標(biāo)準(zhǔn)主編單位工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研

:

究院

·1·

中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司

本標(biāo)準(zhǔn)參編單位世源科技工程有限公司

:

信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技

工程股份有限公司

清華大學(xué)

同濟(jì)大學(xué)

上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司

上海華懋環(huán)保節(jié)能設(shè)備有限公司

奧意建筑工程設(shè)計(jì)有限公司

北京京東方光電科技有限公司

深圳市華星光電技術(shù)有限公司

三星工程建設(shè)上海有限公司

()

北京康肯環(huán)保設(shè)備有專(zhuān)用限公司

上海華力微電子有限公司

中國(guó)電子科技集團(tuán)第五十五研究所

應(yīng)用材料中國(guó)有限公司

()

中國(guó)電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司

天津市武清區(qū)環(huán)境工程設(shè)備有限公司

蘇州艾特斯環(huán)保設(shè)備有限公司

愛(ài)美克環(huán)保工業(yè)武漢有限公司

()

東莞兆能環(huán)境科技有限公司

中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司

上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司

人人文庫(kù)唐納森中國(guó)貿(mào)易有限公司

()

上海點(diǎn)奪電子科技有限公司

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人員秦學(xué)禮肖紅梅江元升莫金漢

:

閻冬羌寧陸崎徐剛

杜寶強(qiáng)趙海生湛云忠李楊

吳新何菁李朝英永井勇

·2·

林云韓科勇顏登通曹布霖

云希康邱會(huì)東黃桂超張作保

巫曼曼蔣磊張偉明丁宏偉

鐘平

本標(biāo)準(zhǔn)主要審查人員劉俊杰任兆成丁杰閻宇宏

:

劉強(qiáng)王素英李堅(jiān)明慧玲

張利群

專(zhuān)用

人人文庫(kù)

·3·

目次

總則…………………

1(1)

術(shù)語(yǔ)…………………

2(2)

基本規(guī)定…………………

3(5)

工藝及工藝設(shè)備…………

4(12)

一般規(guī)定………………

4.1(12)

污染物控制……………

4.2(12)

應(yīng)急設(shè)施………………

4.3(12)

堿性廢氣系統(tǒng)……………

5專(zhuān)用(14)

一般規(guī)定………………

5.1(14)

處理流程和方法…………

5.2(14)

處理設(shè)備………………

5.3(14)

風(fēng)管及附件……………

5.4(16)

酸性廢氣系統(tǒng)……………

6(17)

一般規(guī)定………………

6.1(17)

氮氧化物高濃度酸及電鍍廢氣…………

6.2、(17)

揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)…………………

7(19)

一般規(guī)定………………

7.1(19)

廢氣收集排風(fēng)管道系統(tǒng)…………………

7.2人人文庫(kù)、(20)

處理系統(tǒng)………………

7.3(20)

處理設(shè)備………………

7.4(22)

自動(dòng)控制及安全措施……

7.5(24)

特種廢氣系統(tǒng)……………

8(26)

一般規(guī)定………………

8.1(26)

烷類(lèi)尾氣處理系統(tǒng)………

8.2(26)

·1·

全氟化合物尾氣處理系統(tǒng)…………

8.3(PFC)(27)

其他特種尾氣處理系統(tǒng)…………………

8.4(28)

中央廢氣處理系統(tǒng)………

8.5(28)

除塵系統(tǒng)…………………

9(30)

一般規(guī)定………………

9.1(30)

系統(tǒng)設(shè)計(jì)處理流程及方法………………

9.2、(30)

處理設(shè)備………………

9.3(32)

風(fēng)管及附件……………

9.4(33)

電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)…………………

10(36)

一般規(guī)定………………

10.1(36)

系統(tǒng)設(shè)計(jì)處理流程及方法……………

10.2、(36)

處理設(shè)備………………

10.3(37)

風(fēng)管及附件……………

10.4專(zhuān)用(39)

事故通風(fēng)…………………

11(40)

一般規(guī)定………………

11.1(40)

系統(tǒng)設(shè)計(jì)及有害氣體凈化………………

11.2(41)

電氣設(shè)計(jì)…………………

12(44)

供配電與照明…………

12.1(44)

防雷與接地……………

12.2(44)

附錄電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康

A

濃度………

(IDLH)(46)

本標(biāo)準(zhǔn)用詞說(shuō)明………………

(47)

引用標(biāo)準(zhǔn)名錄…………………

(48)

附條文說(shuō)人人文庫(kù)明…………………

:(49)

·2·

Contents

………

1Generalprovisions(1)

……………………

2Terms(2)

………

3Basicrequirments(5)

……

4Processandprocessingequipment(12)

……

4.1Generalrequirements(12)

………

4.2Pollutioncontrol(12)

……

4.3Emergencyfacilities(12)

…………………

5Alkalineexhaustsystem專(zhuān)用(14)

……

5.1Generalrequirements(14)

……

5.2Processandmethods(14)

………

5.3Processequipment(14)

……

5.4Ductandaccessories(16)

……

6Acidexhaustsystem(17)

……

6.1Generalrequirements(17)

6.2Nitricoxide,highconcentrationacidandelectroplating

…………………

exhaus(17)

…………

7Volatileorganiccompoundsexhaustsystem(19)

……

7.1Generalrequirements(19)

人人文庫(kù)………………

7.2Exhaustcollectionandexhaustductsystem(20)

…………

7.3Processsystem(20)

………

7.4Processequipment(22)

…

7.5Automaticcontrolandsafetymeasures(24)

…

8Specialcontaminatedexhaustsystem(26)

……

8.1Generalrequirements(26)

·3·

……

8.2Alkanespoint-of-useexhaustsystem(26)

…………

8.3Perfluorocompoundspoint-of-useexhaustsystem(27)

………………

8.4Otherspecialcontaminatedexhaustsystem(28)

……………

8.5Centralizedabatementsystem(28)

……

9Dustremovingsystem(30)

……

9.1Generalrequirements(30)

……

9.2Systemdesign,processandmethods(30)

………

9.3Processequipment(32)

……

9.4Ductandaccessories(33)

……………

10Electronicglassfurnaceexhaustsystem(36)

…………………

10.1Generalrequirements(36)

……

10.2Systemdesign,processandmethods(36)

……

10.3Processequipment專(zhuān)用(37)

……

10.4Ductandaccessories(39)

……

11Emergencyexhaust(40)

…………………

11.1Generalrequirements(40)

………………

11.2Systemdesignandpurifyingharmfulgas(41)

…………

12Electricaldesign(44)

………

12.1Electricpowersupplyandlighting(44)

………

12.2Lightningprotectionandearthing(44)

AppendixAImmediatelydangeroustolifeorhealthof

……

hightoxicsubstancesinelectronicindustry(46)

…

Explanationofwordinginthisstandard(47)

人人文庫(kù)……

Listofquotedstandards(48)

………

Addition:Explanationofprovisions(49)

·4·

1總則

1.0.1為在電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)中貫徹執(zhí)行國(guó)家的有關(guān)

法律法規(guī)和規(guī)定規(guī)范工程的設(shè)計(jì)內(nèi)容和深度提高工程的設(shè)計(jì)

、,,

水平達(dá)到保護(hù)環(huán)境節(jié)約能源與資源技術(shù)先進(jìn)經(jīng)濟(jì)合理保證

,、、、、

設(shè)計(jì)質(zhì)量和安全的要求制定本標(biāo)準(zhǔn)

,。

1.0.2本標(biāo)準(zhǔn)適用于新建改建擴(kuò)建的電子工業(yè)廢氣處理工程

、、

設(shè)計(jì)

。

1.0.3電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)外尚應(yīng)符合

,

國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定

。專(zhuān)用

人人文庫(kù)

·1·

2術(shù)語(yǔ)

2.0.1封閉箱體

enclosure

實(shí)體的結(jié)構(gòu)物用于區(qū)隔具有排風(fēng)設(shè)施的空間與其他有或無(wú)

,

排風(fēng)設(shè)施的空間

。

2.0.2設(shè)備排風(fēng)靜壓

exhaustingstaticpressureofequipment

需排風(fēng)設(shè)備封閉箱體內(nèi)外兩側(cè)的壓差即設(shè)備封閉箱體內(nèi)壓

,

力與設(shè)備所處環(huán)境壓力之差通常為負(fù)值單位為

,,Pa。

2.0.3不相容

incompatible

化學(xué)物質(zhì)經(jīng)由非故意的結(jié)合可能產(chǎn)生劇烈的反應(yīng)或無(wú)法控

,專(zhuān)用

制的狀況其釋放的能量可能引起危險(xiǎn)

,。

2.0.4局部排風(fēng)

localexhaust

局部排風(fēng)的工作原理是在污染源或其鄰近處捕集污染物并

,

將其排至外界環(huán)境通常會(huì)經(jīng)過(guò)空氣凈化或污染因子破壞的處理

,

裝置

。

2.0.5酸性廢氣

acidcontaminatedexhaust

企業(yè)廠區(qū)內(nèi)燃料燃燒和生產(chǎn)工藝過(guò)程中產(chǎn)生的酸性污染物氣

體的總稱通常溶于水中會(huì)發(fā)生反應(yīng)形成弱酸包括二氧化硫硫

,,,、

化氫氟化物氯氯化氫磷酸硝酸硫酸等

、、、、、、。

2.0.6堿性廢氣

alkalinecontaminatedexhaust

生產(chǎn)工人人文庫(kù)藝過(guò)程中產(chǎn)生的堿性污染物氣體的總稱通常能與酸

,

作用生成鹽類(lèi)化合物包括氨胺類(lèi)化合物氫氧化鈉等

,、、。

2.0.7特種廢氣

specialcontaminatedexhaust

電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中化學(xué)氣相淀積擴(kuò)散外延離子注入干

、、、、

法刻蝕等工藝設(shè)備散發(fā)的含有毒性腐蝕性氧化性自燃性可燃

、、、、

性惰性等物質(zhì)的廢氣

、。

·2·

2.0.8全氟化合物

perfluorocompounds(PFCs)

電子工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中化學(xué)氣相淀積干法刻蝕等工序使用的

、

具有高全球變暖潛能的氟化合物包括全氟化合物和氫氟

(GWP),

碳化物如四氟化碳六氟乙烷八氟丙烷

(HFCs),(CF4)、(C2F6)、

八氟環(huán)丁烷三氟化氮六氟化硫和

(C3F8)、(c-C4F8)、(NF3)、(SF6)

三氟甲烷上述的全氟化合物和氫氟碳化物在工業(yè)界統(tǒng)

(CHF3)。

稱為全氟化合物

。

2.0.9立即危害生命和健康濃度

immediatelydangerousto

lifeandhealth(IDLH)

對(duì)生命產(chǎn)生即刻危害并對(duì)健康造成不可逆的不良影響的環(huán)

,

境濃度或使人降低逃生能力的環(huán)境濃度

,。

2.0.10限流閥

restricted-floworifice

置于氣瓶閥體內(nèi)把最大流量限制在一定范圍內(nèi)的裝置

,專(zhuān)用。

2.0.11揮發(fā)性有機(jī)物

volatileorganiccompounds(VOCs)

沸點(diǎn)在間溫度時(shí)蒸汽壓大于或等于

50℃~250℃,293.15K

或者能夠以氣態(tài)分子的形態(tài)排放到空氣中的所有有機(jī)

0.01kPa,

化合物但不包括甲烷

,。

2.0.12尾氣處理設(shè)備

point-of-useabatement(POU)

安裝在工藝生產(chǎn)設(shè)備附近并對(duì)其排出的尾氣進(jìn)行處理的設(shè)

,

備通常也稱排風(fēng)預(yù)處理設(shè)備或就地尾氣處理設(shè)備

,。

2.0.13中央廢氣處理系統(tǒng)

centralizedabatementsystem

通常位于廢氣系統(tǒng)的末端在廢氣排入大氣前對(duì)其所含的特

,

定污染因子做最終的消減處理并達(dá)到規(guī)定的排放濃度或標(biāo)準(zhǔn)的

,

處理系統(tǒng)人人文庫(kù)

。

2.0.14轉(zhuǎn)輪濃縮系統(tǒng)

rotor-concentratorsystem

揮發(fā)性有機(jī)物廢氣通過(guò)轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)域后其污染因子能被

,

有效地吸附于轉(zhuǎn)輪的吸附材料中并在轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)域被小流量

,

高溫空氣脫附使低濃度大風(fēng)量揮發(fā)性有機(jī)物廢氣濃縮為高濃

,、

度小風(fēng)量的揮發(fā)性有機(jī)物廢氣的系統(tǒng)

、。

·3·

2.0.15蓄熱氧化系統(tǒng)

regenerativethermaloxidizingsystem

通過(guò)蓄熱床吸收高溫?zé)煔獾臒崃坎㈩A(yù)熱未經(jīng)處理的低溫廢

,

氣吸熱升溫后的廢氣通過(guò)高溫裂解破壞其污染因子結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)

,。

2.0.16填料洗滌式廢氣處理設(shè)備

packed-bedscrubber

經(jīng)由填料增加氣液廢氣接觸面積的廢氣處理設(shè)備包括本體

,、

填料層除霧層循環(huán)噴淋系統(tǒng)循環(huán)泵儲(chǔ)液槽及控制系統(tǒng)等的廢

、、、、

氣處理設(shè)備通常分為水平式和垂直式

,。

2.0.17壓入式廢氣處理系統(tǒng)

blow-throughabatementsystem

風(fēng)機(jī)位于廢氣處理設(shè)備氣流上游廢氣處理設(shè)備相對(duì)于所處

,

環(huán)境為正壓的處理系統(tǒng)

。

2.0.18吸入式廢氣處理系統(tǒng)

drawingoutabatementsystem

風(fēng)機(jī)位于廢氣處理設(shè)備氣流下游廢氣處理設(shè)備相對(duì)于所處

,

環(huán)境為負(fù)壓的處理系統(tǒng)

。專(zhuān)用

2.0.19吹吸式廢氣處理系統(tǒng)

blow-drawabatementsystem

廢氣處理設(shè)備的進(jìn)出口均設(shè)置風(fēng)機(jī)廢氣處理設(shè)備相對(duì)于所

、,

處環(huán)境為微負(fù)壓或微正壓的處理系統(tǒng)

。

2.0.20時(shí)間加權(quán)平均容許濃度

permissibleconcentration-

timeweightedaverage(PC-TWA)

以時(shí)間為權(quán)數(shù)規(guī)定的工作日工作周的平均容許接觸

8h、40h

濃度

。

2.0.21短時(shí)間接觸容許濃度

permissibleconcentration-

shorttermexposurelimit(PC-STEL)

在遵守前提下容許短時(shí)間接觸的濃度

PC-TWA(15min)。

2.0.22人人文庫(kù)最高容許濃度

maximumallowableconcentration

(MAC)

工作地點(diǎn)空氣中有害物質(zhì)不應(yīng)超過(guò)的濃度

。

·4·

3基本規(guī)定

3.0.1產(chǎn)生有害物質(zhì)的工藝生產(chǎn)設(shè)備宜采用自動(dòng)化并應(yīng)采取

,,

密閉隔離和負(fù)壓操作措施對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中不可避免放散的有害

、。

物質(zhì)在排放前應(yīng)采取凈化處理措施并應(yīng)達(dá)到有關(guān)污染物排放

,,

標(biāo)準(zhǔn)

。

3.0.2排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按廢氣種類(lèi)和不相容原則設(shè)置

。

3.0.3下列情況之一時(shí),應(yīng)單獨(dú)設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng):

1不同排風(fēng)點(diǎn)不同的有害物質(zhì)混合后能引起燃燒或爆炸;

2混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性或毒性;

專(zhuān)用

3混合后易使蒸汽凝結(jié)并聚積粉塵;

4散發(fā)極毒和劇毒物質(zhì)的房間和設(shè)備;

5排風(fēng)中含有燃燒爆炸性氣體。

3.0.4當(dāng)排風(fēng)點(diǎn)需求壓力相差以上且所需壓力絕對(duì)值

250Pa,

的較大值出現(xiàn)在系統(tǒng)后三分之一管路時(shí)宜分別設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)

,。

3.0.5排氣系統(tǒng)宜按照最大產(chǎn)能時(shí)的各工藝設(shè)備排氣量計(jì)算并

,

據(jù)此確定廢氣處理系統(tǒng)的風(fēng)量和排風(fēng)管尺寸

。

3.0.6排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1含有燃燒爆炸性物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按物理化學(xué)性質(zhì)

采取相應(yīng)的人人文庫(kù)防火防爆措施;

2排風(fēng)中污染物濃度或排放速率超過(guò)國(guó)家和地區(qū)污染物排

放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)應(yīng)進(jìn)行凈化處理

,。

3.0.7排除有燃燒爆炸性危險(xiǎn)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)量應(yīng)經(jīng)計(jì)算確

定并應(yīng)符合下列規(guī)定

,:

1采用局部排風(fēng)系統(tǒng)時(shí)其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況

,

下風(fēng)管內(nèi)燃燒爆炸性危險(xiǎn)物質(zhì)的濃度不大于爆炸下限的

50%

·5·

計(jì)算

。

2有燃燒爆炸性區(qū)域的排風(fēng)量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)爆炸

,《

危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范的有關(guān)規(guī)定

》GB50058。

3.0.8廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)備符合下列條件之一時(shí),應(yīng)采用防爆型:

1直接布置在爆炸危險(xiǎn)性區(qū)域內(nèi)時(shí);

2排除、輸送或處理有甲、乙類(lèi)物質(zhì),其濃度為爆炸下限

10%及以上時(shí);

3排除、輸送或處理有燃燒或爆炸危險(xiǎn)的粉塵、纖維物質(zhì),其

含塵濃度為其爆炸下限的25%及以上時(shí)。

3.0.9當(dāng)排風(fēng)中含有的燃燒或爆炸危險(xiǎn)物質(zhì)可能出現(xiàn)的最高濃

度超過(guò)爆炸下限值的時(shí)廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)備風(fēng)管和配件

10%,、

應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1風(fēng)管和配件應(yīng)采用金屬材料制作

;專(zhuān)用

2設(shè)備和風(fēng)管均應(yīng)采取防靜電接地措施

;

3當(dāng)風(fēng)管和配件的法蘭密封墊或螺栓墊圈采用非金屬材料

時(shí)應(yīng)采取法蘭跨接措施

,。

3.0.10有爆炸危險(xiǎn)廠房?jī)?nèi)的排風(fēng)風(fēng)管,嚴(yán)禁穿過(guò)防火墻和有爆

炸危險(xiǎn)的車(chē)間隔墻。

3.0.11含有有毒有害物質(zhì)或含有爆炸危險(xiǎn)性物質(zhì)的局部排風(fēng)系

統(tǒng)其排出的氣體應(yīng)排至建筑物的空氣動(dòng)力陰影區(qū)和正壓區(qū)外

,。

3.0.12當(dāng)風(fēng)管內(nèi)可能產(chǎn)生凝結(jié)水或其他液體時(shí)風(fēng)管設(shè)計(jì)應(yīng)符

,

合下列規(guī)定

:

1排風(fēng)管道應(yīng)設(shè)置不小于的坡度

人人文庫(kù)0.5%;

2風(fēng)管的低點(diǎn)應(yīng)設(shè)置觀察檢修口

;

3風(fēng)管的低點(diǎn)和排風(fēng)機(jī)的底部應(yīng)設(shè)排液裝置有毒有害的

,、

冷凝液應(yīng)排至相應(yīng)的廢水管網(wǎng)中

;

4排風(fēng)管的結(jié)構(gòu)及連接方式應(yīng)采取防液體滲漏措施

。

3.0.13填料洗滌式廢氣處理設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1斷面風(fēng)速宜小于

2.5m/s。

·6·

2填料厚度應(yīng)經(jīng)計(jì)算確定但不應(yīng)小于

,1.2m。

3噴淋液循環(huán)量應(yīng)取下列兩項(xiàng)的較大值

:

1保證每3廢氣量不小于3

)1000m/h1.5m/h;

2保證每平方米填料面積不小于3

)15m/h。

4空塔滯留時(shí)間宜大于

1s。

5對(duì)每種污染物最低凈化效率應(yīng)根據(jù)排氣筒高度排放速率

、

等計(jì)算確定且不應(yīng)低于環(huán)境保護(hù)產(chǎn)品技術(shù)要求工業(yè)廢氣吸收

,《

凈化裝置的有關(guān)規(guī)定

》HJ/T387。

6嚴(yán)寒地區(qū)應(yīng)設(shè)置在室內(nèi)寒冷地區(qū)宜設(shè)置在室內(nèi)

,。

7有凍結(jié)可能時(shí)應(yīng)采取防凍措施

,。

8補(bǔ)水不宜采用純水制備系統(tǒng)的反滲透濃水

。

9排水應(yīng)接至相應(yīng)的廢水管網(wǎng)中

。

3.0.14排風(fēng)中含有有毒有害物質(zhì)時(shí)不應(yīng)采用壓入式廢氣處理

,專(zhuān)用

系統(tǒng)排風(fēng)中含有揮發(fā)性有機(jī)物污染因子時(shí)宜采用吹吸式廢氣處

;,

理系統(tǒng)

。

3.0.15酸堿揮發(fā)性有機(jī)物廢氣處理設(shè)備的壓力損失不應(yīng)大

、、

于

1000Pa。

3.0.16廢氣處理設(shè)備不應(yīng)設(shè)置旁路

。

3.0.17排風(fēng)中含有燃燒爆炸性、毒性物質(zhì)時(shí),排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符

合下列規(guī)定:

1燃燒爆炸性、毒性物質(zhì)未經(jīng)處理的排風(fēng)管路,應(yīng)保持相對(duì)

于路由區(qū)域的負(fù)壓值;

2中央廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)按一級(jí)負(fù)荷供電,一級(jí)負(fù)荷供電的電

人人文庫(kù)

量應(yīng)保證系統(tǒng)排風(fēng)量不小于正常運(yùn)行時(shí)系統(tǒng)排風(fēng)量的50%;

3排風(fēng)中含有燃燒爆炸性物質(zhì)時(shí),排風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)置備用;

4排風(fēng)中含有極毒或劇毒物質(zhì)時(shí),排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備均應(yīng)設(shè)

置備用。

3.0.18廢氣處理系統(tǒng)的排氣筒的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1排氣筒的高度不應(yīng)低于且應(yīng)符合環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件

15m,

·7·

的要求

;

2排氣筒的高度不能達(dá)到要求時(shí)應(yīng)按其高度對(duì)應(yīng)的排放速

,

率標(biāo)準(zhǔn)值嚴(yán)格執(zhí)行

50%;

3排放氯氣氰化氫以及含有其他極毒物質(zhì)廢氣的排氣筒高

、

度除應(yīng)符合本條第款第款要求外還不應(yīng)低于

1、2,25m;

4排氣筒的出口風(fēng)速宜為

15m/s~20m/s;

5排氣筒上應(yīng)設(shè)置用于檢測(cè)的采樣孔并應(yīng)設(shè)置相應(yīng)的監(jiān)測(cè)

,

平臺(tái)

;

6一定區(qū)域內(nèi)同種污染物的廢氣系統(tǒng)其排氣筒宜合并

,

設(shè)置

;

7排風(fēng)口與機(jī)械送風(fēng)系統(tǒng)的進(jìn)風(fēng)口的水平距離不應(yīng)小于

當(dāng)水平距離不足排風(fēng)口應(yīng)高出進(jìn)風(fēng)口并不應(yīng)小

20m,20m,,

于

6m。專(zhuān)用

3.0.19廢氣處理系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1風(fēng)管材料的防腐蝕性能應(yīng)與其所接觸的腐蝕性介質(zhì)相

適應(yīng)

;

2集成電路前工序工廠和平板顯示類(lèi)工廠的排風(fēng)管應(yīng)采用

不燃材料制作

;

3風(fēng)管內(nèi)的風(fēng)速應(yīng)符合生產(chǎn)環(huán)境對(duì)防微振的要求

;

4室外安裝的排風(fēng)管道應(yīng)采取耐腐蝕措施并應(yīng)設(shè)置固定

,

裝置

;

5穿過(guò)沉降縫時(shí)應(yīng)設(shè)置軟連接其材質(zhì)應(yīng)符合本條第款

,1

要求

;人人文庫(kù)

6風(fēng)管的支吊架應(yīng)根據(jù)風(fēng)管的尺寸及重量進(jìn)行設(shè)計(jì)

。

3.0.20符合下列條件之一時(shí)風(fēng)管應(yīng)采取補(bǔ)償措施

,:

1穿過(guò)沉降縫時(shí)

;

2輸送高溫?zé)煔獾慕饘亠L(fēng)管

;

3線膨脹系數(shù)不小于-6-1且直段連續(xù)長(zhǎng)度大于

50×10℃,

的非金屬風(fēng)管

20m。

·8·

3.0.21符合下列條件之一時(shí)風(fēng)管及配件應(yīng)采取絕熱措施

,:

1室外安裝的廢氣處理系統(tǒng)其排風(fēng)被冷卻而可能形成凝結(jié)

,

物堵塞或腐蝕風(fēng)管

;

2除塵風(fēng)管內(nèi)可能有結(jié)露時(shí)

;

3所輸送廢氣的溫度大于或等于

60℃。

3.0.22廢氣處理系統(tǒng)排風(fēng)管的絕熱應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1安裝在潔凈室區(qū)內(nèi)排風(fēng)管的隔熱應(yīng)采用不產(chǎn)塵的絕熱

()

材料當(dāng)使用產(chǎn)塵的絕熱材料時(shí)應(yīng)為具有雙層板夾絕熱材料構(gòu)造

,,

的成品絕熱風(fēng)管

;

2集成電路前工序工廠和平板顯示類(lèi)工廠的排風(fēng)管應(yīng)采用

,

不燃絕熱材料進(jìn)行隔熱

。

3.0.23廢氣處理系統(tǒng)的排風(fēng)機(jī)宜采取自動(dòng)調(diào)速措施

。

3.0.24廢氣處理系統(tǒng)并聯(lián)運(yùn)行的排風(fēng)機(jī)或處理設(shè)備應(yīng)符合下列

專(zhuān)用

規(guī)定

:

1采用相同型號(hào)相同性能的設(shè)備

、;

2在每臺(tái)風(fēng)機(jī)或處理設(shè)備的入口設(shè)置電動(dòng)或氣動(dòng)密閉風(fēng)閥

,

該風(fēng)閥在工作壓力下的漏風(fēng)率不應(yīng)大于

1%。

3.0.25排除或輸送有燃燒或爆炸危險(xiǎn)物質(zhì)的風(fēng)管不應(yīng)穿過(guò)防

,

火墻和防火隔墻其余酸性堿性揮發(fā)性有機(jī)物和特種廢氣系統(tǒng)

;、、

的風(fēng)管不宜穿越防火墻或防火隔墻當(dāng)必須穿越時(shí)防火閥的設(shè)置

,,

應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1不應(yīng)設(shè)置熔片式防火閥

;

2含有極毒和劇毒物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)不應(yīng)設(shè)置防火閥但緊鄰

,

建筑構(gòu)件其人人文庫(kù)中一側(cè)的排風(fēng)管應(yīng)采用與建筑構(gòu)件耐火極限相同的構(gòu)

造進(jìn)行保護(hù)

。

3.0.26當(dāng)采用非再生式固定床吸附劑處理廢氣時(shí)吸附劑的連

,

續(xù)工作時(shí)間不應(yīng)短于個(gè)月

3。

3.0.27廢氣處理系統(tǒng)排風(fēng)機(jī)的單位風(fēng)量耗電功率限值應(yīng)符合現(xiàn)

行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)電子工程節(jié)能設(shè)計(jì)規(guī)范的有關(guān)規(guī)定

《》GB50710。

·9·

3.0.28廢氣處理系統(tǒng)產(chǎn)生的噪聲當(dāng)自然衰減不能達(dá)到室內(nèi)外

,

環(huán)境允許噪聲標(biāo)準(zhǔn)時(shí)應(yīng)采取消聲或隔聲措施

,。

3.0.29當(dāng)廢氣處理系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)水泵風(fēng)管等產(chǎn)生的振動(dòng)靠自然

、、

衰減不能滿足要求時(shí)應(yīng)采取隔振措施其設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定

,,:

1宜采用隔振臺(tái)座

;

2應(yīng)選用剛度適宜的隔振器

;

3安裝在有微振要求區(qū)域內(nèi)的風(fēng)管宜采用隔振支吊架

、。

3.0.30排風(fēng)總管應(yīng)設(shè)置測(cè)定孔排風(fēng)支干管應(yīng)設(shè)置風(fēng)量調(diào)節(jié)閥

,。

排風(fēng)支干管較多的廢氣處理系統(tǒng)每個(gè)支干管末端宜設(shè)置微壓計(jì)

,。

3.0.31酸性堿性特種廢氣和除塵系統(tǒng)的排風(fēng)管應(yīng)采用圓形

、、,

其他廢氣系統(tǒng)的排風(fēng)管宜采用圓形或長(zhǎng)邊與短邊之比不大于的

4

矩形截面

。

3.0.32選擇廢氣處理設(shè)備時(shí)應(yīng)符合下列規(guī)定

,專(zhuān)用:

1設(shè)備的額定處理風(fēng)量應(yīng)在系統(tǒng)計(jì)算的總風(fēng)量上附

加

10%;

2循環(huán)泵的流量應(yīng)在系統(tǒng)需求流量值上附加

10%;

3酸堿特殊及揮發(fā)性有機(jī)物廢氣處理設(shè)備在工作壓力下

、、

的漏風(fēng)率不應(yīng)大于

1%;

4處理設(shè)備的承壓能力不應(yīng)低于工作壓力的倍

1.5。

3.0.33選擇廢氣處理系統(tǒng)的排風(fēng)機(jī)時(shí)應(yīng)符合下列規(guī)定

,:

1應(yīng)滿足工況參數(shù)及廢氣的溫度腐蝕性爆炸性等特性

、、

要求

;

2風(fēng)機(jī)的風(fēng)量應(yīng)在系統(tǒng)計(jì)算的總風(fēng)量上附加

人人文庫(kù)10%;

3排風(fēng)機(jī)風(fēng)壓應(yīng)滿足管路處理設(shè)備和末端工藝設(shè)備需要的

、

負(fù)壓

;

4采用自動(dòng)調(diào)速排風(fēng)機(jī)時(shí)排風(fēng)機(jī)的壓力應(yīng)以系統(tǒng)計(jì)算的總

,

壓力作為額定風(fēng)壓但風(fēng)機(jī)電動(dòng)機(jī)的功率應(yīng)在計(jì)算值再附加

,

15%~20%;

5排風(fēng)機(jī)的選用設(shè)計(jì)工況效率不應(yīng)低于風(fēng)機(jī)最高效率

·10·

的

90%。

3.0.34處理設(shè)備的入口和出口應(yīng)設(shè)置采樣口宜設(shè)在氣流穩(wěn)

,

定段

。

3.0.35廢氣處理系統(tǒng)宜設(shè)置污染因子在線監(jiān)測(cè)裝置

。

3.0.36排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置運(yùn)行狀態(tài)及排風(fēng)系統(tǒng)故障的監(jiān)控報(bào)警

系統(tǒng)

。

專(zhuān)用

人人文庫(kù)

·11·

4工藝及工藝設(shè)備

4.1一般規(guī)定

4.1.1工藝設(shè)備應(yīng)根據(jù)廢氣污染物的性質(zhì)分類(lèi)獨(dú)立設(shè)置排出

口

。

4.1.2生產(chǎn)所用的原輔材料應(yīng)符合清潔生產(chǎn)要求以及相關(guān)限制

性規(guī)定

。

4.1.3生產(chǎn)過(guò)程中不宜使用極毒劇毒物質(zhì)當(dāng)不可避免使用上

、,

述有害物質(zhì)時(shí)應(yīng)采用自動(dòng)化設(shè)備并應(yīng)采取密閉隔離和負(fù)壓操

,,、

作措施同時(shí)應(yīng)進(jìn)行物料平衡計(jì)算

,。專(zhuān)用

4.1.4工藝設(shè)備當(dāng)使用可產(chǎn)生全球性溫室效應(yīng)的全氟化合物時(shí)

,

應(yīng)采取密閉系統(tǒng)并應(yīng)獨(dú)立設(shè)置排出口

,。

4.1.5產(chǎn)生同種廢氣的工藝設(shè)備宜集中布置

。

4.1.6有毒有害氣體儲(chǔ)罐應(yīng)裝設(shè)限流閥

。

4.2污染物控制

4.2.1生產(chǎn)工藝宜采用先進(jìn)的技術(shù)和裝備減少有毒有害物質(zhì)的

,

產(chǎn)生量

。

4.2.2工藝設(shè)備中產(chǎn)生有毒有害物質(zhì)的腔體應(yīng)采取排風(fēng)措施并

,

應(yīng)保持滿足工藝要求的負(fù)壓值

人人文庫(kù)。

4.3應(yīng)急設(shè)施

4.3.1使用有毒有害物質(zhì)的工序宜選用具有自動(dòng)化固定式安全

、

保護(hù)系統(tǒng)的工藝設(shè)備

。

4.3.2有毒有害物質(zhì)的化學(xué)品和特氣分配供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)配備自動(dòng)

,

檢測(cè)報(bào)警安全互鎖切斷裝置

、、。

·12·

4.3.3使用有毒有害化學(xué)品和特殊氣體的工藝設(shè)備應(yīng)設(shè)置事故

應(yīng)急設(shè)施并應(yīng)具備接受外部報(bào)警信號(hào)并實(shí)施緊急切斷和報(bào)警的

,

功能

。

專(zhuān)用

人人文庫(kù)

·13·

5堿性廢氣系統(tǒng)

5.1一般規(guī)定

5.1.1堿性廢氣系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置專(zhuān)用系統(tǒng)其他排氣不應(yīng)排入堿性廢

,

氣系統(tǒng)

。

5.1.2填料洗滌式堿性廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)由排風(fēng)管道處理設(shè)備

、、

排風(fēng)機(jī)排氣筒吸收液儲(chǔ)存及輸送系統(tǒng)加藥裝置和控制系統(tǒng)

、、、

組成

。

5.1.3堿性廢氣系統(tǒng)處理設(shè)備宜設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)置備用

,。

5.1.4電子工業(yè)潔凈廠房的堿性廢氣系統(tǒng)處理設(shè)備和排風(fēng)機(jī)應(yīng)

專(zhuān)用

按一級(jí)負(fù)荷供電使用一級(jí)負(fù)荷供電的堿性系統(tǒng)處理設(shè)備和排風(fēng)

,

機(jī)風(fēng)量應(yīng)大于系統(tǒng)排風(fēng)量的

50%。

5.1.5設(shè)有回風(fēng)下夾層的潔凈室排風(fēng)管道宜布置在下夾層內(nèi)

,。

5.2處理流程和方法

5.2.1堿性廢氣系統(tǒng)應(yīng)采用填料洗滌式處理設(shè)備

。

5.2.2堿性廢氣應(yīng)在填料洗滌塔內(nèi)分布均勻吸收液應(yīng)均勻分布

,

在整個(gè)填料層的上表面

。

5.3處理設(shè)備

人人文庫(kù)

5.3.1填料洗滌式廢氣處理設(shè)備應(yīng)主要包括塔體填料循環(huán)泵

、、、

噴淋管道噴頭集水槽補(bǔ)排水管路除霧器和自動(dòng)控制系統(tǒng)

、、、、。

5.3.2處理設(shè)備塔體應(yīng)由耐酸堿腐蝕的材料制作塔體應(yīng)能承

。

受系統(tǒng)工作壓力工作壓力下變形量不應(yīng)大于

,1/200。

5.3.3處理設(shè)備塔體應(yīng)設(shè)置觀察窗和檢修口

。

5.3.4填料應(yīng)具有耐腐蝕低阻力抗變形比表面積大的特性

、、、。

·14·

應(yīng)根據(jù)處理設(shè)備入口廢氣濃度出口廢氣濃度空塔速度噴淋強(qiáng)

、、、

度填料技術(shù)參數(shù)計(jì)算確定填料層數(shù)和厚度填料設(shè)計(jì)使用壽命

、。

不應(yīng)低于年

5。

5.3.5每套處理設(shè)備的循環(huán)噴淋泵應(yīng)設(shè)置備用循環(huán)噴淋泵流

。

量不應(yīng)小于計(jì)算流量的倍噴頭設(shè)計(jì)供液壓力不應(yīng)低于工作

1.25,

壓力的倍循環(huán)噴淋泵入口應(yīng)設(shè)置過(guò)濾器

1.2。。

5.3.6噴淋管道應(yīng)為耐腐蝕管道管道及配件承壓不應(yīng)低

,

于

1.0MPa。

5.3.7噴頭應(yīng)由耐腐蝕材料制作并均勻布置

。

5.3.8集水槽應(yīng)為整體構(gòu)件有效容積不應(yīng)小于循環(huán)管路容積及

,

填料持液量之和的倍

2。

5.3.9除霧器對(duì)大于粒徑的水霧除霧效率不應(yīng)低于

10μm99%。

5.3.10填料洗滌式廢氣處理設(shè)備應(yīng)設(shè)置日用加藥罐和加藥泵

專(zhuān)用,

集中設(shè)置的加藥泵應(yīng)設(shè)置備用

。

5.3.11日用加藥罐應(yīng)采用耐酸腐蝕材質(zhì)制作并應(yīng)根據(jù)堿性廢

,

氣成分濃度風(fēng)量確定罐體容積日用加藥罐應(yīng)設(shè)置液位探測(cè)

、、。

計(jì)輸出液位報(bào)警信號(hào)并應(yīng)設(shè)計(jì)可目視的液位計(jì)

,,。

5.3.12加藥泵宜采用計(jì)量泵泵體應(yīng)采用耐酸堿腐蝕材質(zhì)

,。

5.3.13加藥管道應(yīng)采用雙層管道

。

5.3.14填料洗滌式廢氣處理設(shè)備的自動(dòng)控制設(shè)置應(yīng)符合下列

規(guī)定

:

1應(yīng)設(shè)置循環(huán)液值電導(dǎo)率液位填料壓差和循環(huán)噴淋

pH、、、

泵出口壓力監(jiān)控裝置

人人文庫(kù);

2應(yīng)設(shè)置可編程邏輯控制器就地控制裝置自動(dòng)控制

(PLC),

加藥排水補(bǔ)水以及風(fēng)機(jī)狀態(tài)監(jiān)視

、、;

3監(jiān)控信號(hào)應(yīng)上傳至工廠中央監(jiān)視控制系統(tǒng)

。

5.3.15處理設(shè)備及加藥裝置四周應(yīng)設(shè)置圍堰或防滲集液盤(pán)并

,

應(yīng)設(shè)置漏液監(jiān)測(cè)裝置

。

5.3.16設(shè)備基礎(chǔ)排水溝及圍堰區(qū)域表面應(yīng)做防腐處理

、。

·15·

5.3.17處理設(shè)備及加藥裝置附近宜設(shè)置洗眼器淋浴器

、。

5.4風(fēng)管及附件

5.4.1排風(fēng)管道法蘭墊片應(yīng)采用可耐受排風(fēng)中堿物質(zhì)化學(xué)腐蝕

性的墊片

。

5.4.2排風(fēng)管道宜順氣流方向設(shè)置坡度低點(diǎn)應(yīng)設(shè)置排水收集

,

點(diǎn)觀察計(jì)和排水閥

、。

5.4.3布置在嚴(yán)寒寒冷地區(qū)的加藥管道補(bǔ)液管道及加藥罐應(yīng)

、、

采取防凍防結(jié)晶措施

、。

5.4.4室外安裝的加藥管道循環(huán)管道排液管道應(yīng)采取抗紫外

、、

線措施

。

專(zhuān)用

人人文庫(kù)

·16·

6酸性廢氣系統(tǒng)

6.1一般規(guī)定

6.1.1一般酸性廢氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求應(yīng)按本標(biāo)準(zhǔn)第章的相關(guān)

5

規(guī)定執(zhí)行

。

6.1.2氮氧化物廢氣高濃度酸廢氣應(yīng)單獨(dú)設(shè)置廢氣處理系統(tǒng)

、。

6.1.3加藥管道應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1室內(nèi)部分應(yīng)采用雙層管道

;

2室外部分宜采用雙層管道

。

6.2氮氧化物、高濃度酸及電鍍專(zhuān)用廢氣

6.2.1含氮氧化物的酸性廢氣處理應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1宜采用多級(jí)噴淋處理方式

;

2當(dāng)二氧化氮含量超出排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)應(yīng)采用還原

(NO2),

處理

;

3當(dāng)一氧化氮含量超出排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)應(yīng)采用氧化還

(NO),、

原處理

;

4綜合處理效率不應(yīng)低于

90%;

5處理過(guò)程中產(chǎn)生的副產(chǎn)物排放濃度不應(yīng)超過(guò)排放標(biāo)準(zhǔn)

。

6.2.2高濃度酸廢氣處理應(yīng)符合下列規(guī)定

人人文庫(kù):

1宜在產(chǎn)生高濃度酸廢氣的工藝設(shè)備附近設(shè)置尾氣處理設(shè)

備處理后再進(jìn)入中央酸廢氣處理系統(tǒng)

,;

2當(dāng)不能設(shè)置尾氣處理設(shè)備時(shí)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置廢氣處理系統(tǒng)

,,

并應(yīng)采取多級(jí)噴淋處理方式

。

6.2.3電鍍工藝產(chǎn)生的廢氣系統(tǒng)設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1溶液鍍槽宜采用槽邊排風(fēng)罩吹吸罩等有效的排風(fēng)

()、

·17·

措施

;

2排風(fēng)管道宜采用耐腐蝕耐溫的不燃或難燃材質(zhì)制作

、;

3易產(chǎn)生沉淀物的排風(fēng)管道應(yīng)設(shè)觀察窗及檢修口

;

4各廢氣處理系統(tǒng)的冷凝廢液應(yīng)排至電鍍廢水處理系統(tǒng)

。

專(zhuān)用

人人文庫(kù)

·18·

7揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)

7.1一般規(guī)定

7.1.1當(dāng)采用吸附吸附濃縮催化氧化或蓄熱氧化工藝處理?yè)]

、、

發(fā)性有機(jī)物廢氣時(shí)應(yīng)控制待處理氣體的顆粒物濃度吸附吸附

,。、

濃縮處理氣體的顆粒物濃度應(yīng)低于3催化氧化或蓄熱氧

1mg/m,

化處理氣體的顆粒物濃度應(yīng)低于3TP

10mg/m(=293K,=

101.325kPa)。

7.1.2當(dāng)采用吸附吸附濃縮等工藝處理?yè)]發(fā)性有機(jī)物廢氣時(shí)

、,

待處理廢氣的溫度不宜高于相對(duì)濕度不宜大于

40℃,專(zhuān)用80%。

7.1.3揮發(fā)性有機(jī)物廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)壽命應(yīng)與工藝生產(chǎn)設(shè)

備的剩余壽命相適應(yīng)且不宜小于年

,10。

7.1.4除低沸點(diǎn)揮發(fā)性有機(jī)物外當(dāng)入口濃度不小于3

,100mg/m

時(shí)揮發(fā)性有機(jī)物的處理效率不應(yīng)低于當(dāng)入口濃度小于

,95%,

3時(shí)出口濃度不應(yīng)大于3

100mg/m,5mg/m。

7.1.5處理設(shè)備的防火防爆設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)

、《

計(jì)防火規(guī)范爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范

》GB50016、《》GB

的有關(guān)規(guī)定

50058。

7.1.6當(dāng)采用轉(zhuǎn)輪濃縮處理?yè)]發(fā)性有機(jī)物廢氣時(shí)濃縮后的揮發(fā)

,

性有機(jī)物廢氣濃度不應(yīng)大于爆炸下限的

人人文庫(kù)50%。

7.1.7熱氧化設(shè)備的保溫應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1宜采用憎水型的保溫材料

;

2不銹鋼管道和設(shè)備的保溫材料氯離子含量應(yīng)小于

25ppm;

3保溫材料材質(zhì)應(yīng)根據(jù)溫度確定

。

7.1.8風(fēng)機(jī)進(jìn)出口應(yīng)設(shè)置軟連接

。

·19·

7.2廢氣收集、排風(fēng)管道系統(tǒng)

7.2.1排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)配置備用風(fēng)機(jī)且排風(fēng)機(jī)應(yīng)按一級(jí)負(fù)荷供電

,,

使用一級(jí)負(fù)荷供電的風(fēng)機(jī)風(fēng)量應(yīng)大于系統(tǒng)排風(fēng)量的

50%。

7.2.2經(jīng)處理后的工藝設(shè)備排出的揮發(fā)性有機(jī)物廢氣不應(yīng)循環(huán)

使用

。

7.2.3設(shè)計(jì)排風(fēng)管路系統(tǒng)時(shí)應(yīng)避免風(fēng)管內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)物蒸汽

,

積聚

。

7.2.4設(shè)置自動(dòng)噴淋系統(tǒng)的排風(fēng)管應(yīng)避免噴淋排水回流到工藝

,

設(shè)備風(fēng)管支撐系統(tǒng)應(yīng)能承載噴淋時(shí)風(fēng)管系統(tǒng)的重量

,。

7.2.5揮發(fā)性有機(jī)物廢氣排風(fēng)管的設(shè)計(jì)不宜選用易出現(xiàn)氣體泄

漏的管道密封形式或管件

。

7.3處理系統(tǒng)專(zhuān)用

7.3.1揮發(fā)性有機(jī)物廢氣的末端處理方式應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1濃度在3甲烷計(jì)以下時(shí)可采用活性炭吸附法

50mg/m(),;

2濃度不高于3時(shí)宜采用轉(zhuǎn)輪濃縮和熱氧化

1000mg/m,

工藝

;

3濃度高于3時(shí)宜采用熱氧化工藝

1000mg/m,。

7.3.2活性炭吸附系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1吸附劑與氣體的接觸時(shí)間宜為

0.5s~2s;

2所用活性炭的四氯化碳吸附率質(zhì)量分?jǐn)?shù)宜大于

60;

3活性炭顆粒直徑不宜大于

人人文庫(kù)3mm;

4設(shè)備進(jìn)出口應(yīng)設(shè)置壓差報(bào)警裝置

;

5應(yīng)設(shè)置消防措施

;

6當(dāng)采用固定床方式時(shí)活性炭吸附劑連續(xù)工作時(shí)間不應(yīng)少

,

于個(gè)月

3。

7.3.3轉(zhuǎn)輪濃縮系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1系統(tǒng)應(yīng)由轉(zhuǎn)輪吸附濃縮設(shè)備和自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成

;

·20·

2轉(zhuǎn)輪冷卻可采用工藝排風(fēng)

;

3脫附風(fēng)溫度宜為不應(yīng)高于

180℃~220℃,300℃;

4濃縮后的揮發(fā)性有機(jī)物廢氣風(fēng)管內(nèi)宜設(shè)置溫度和濃度監(jiān)

測(cè)裝置

;

5應(yīng)配置自動(dòng)滅火裝置

。

7.3.4熱氧化及熱回收系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1熱氧化凈化效率不應(yīng)低于

99%;

2熱氧化后煙氣中的氮氧化物濃度不宜大于3

10mg/m;

3熱回收系統(tǒng)的綜合效率不應(yīng)小于

80%。

7.3.5蓄熱氧化系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1系統(tǒng)應(yīng)由蓄熱氧化設(shè)備和自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成

;

2宜采用三塔式或旋轉(zhuǎn)式的工藝布置方式

;

3蓄熱效率不應(yīng)小于

90%;專(zhuān)用

4壓力損失不宜大于

3500Pa;

5熱氧化凈化效率不應(yīng)低于

98%;

6熱氧化后煙氣中的氮氧化物濃度不宜大于3

10mg/m。

7.3.6催化氧化系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1系統(tǒng)應(yīng)由催化氧化設(shè)備和自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成

;

2熱氧化凈化效率不應(yīng)低于

99%;

3所選用催化劑的空間速度不宜小于-1

15000h;

4待處理氣體中不應(yīng)含能引起催化劑中毒的物質(zhì)

;

5應(yīng)配設(shè)催化床預(yù)熱功能

。

7.3.7蓄熱催化氧化系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定

人人文庫(kù):

1系統(tǒng)應(yīng)由蓄熱催化氧化設(shè)備和自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成

;

2蓄熱催化氧化宜采用三塔式或旋轉(zhuǎn)式的工藝布置方式

;

3熱氧化凈化效率不應(yīng)低于

98%;

4其他應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第條中第款第款規(guī)定

7.3.63~5。

7.3.8含高沸點(diǎn)揮發(fā)性有機(jī)物廢氣宜采用冷凝過(guò)濾處理的方式

處理處理系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定

,:

·21·

1系統(tǒng)應(yīng)主要由冷凝過(guò)濾設(shè)備和自動(dòng)控制系統(tǒng)組成

;

2冷卻器內(nèi)的冷水供水溫度不宜大于

8℃;

3冷卻器出風(fēng)溫度不應(yīng)大于

12℃;

4冷卻器后應(yīng)設(shè)置除霧器

;

5液體應(yīng)排放至指定的安全容器內(nèi)

;

6末端過(guò)濾段應(yīng)針對(duì)小于霧滴進(jìn)行處理

10μm。

7.4處理設(shè)備

7.4.1活性炭吸附設(shè)備設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1當(dāng)廢氣中顆粒物濃度大于3時(shí)宜設(shè)置預(yù)過(guò)濾器

1mg/m,;

2活性炭過(guò)濾風(fēng)速宜為設(shè)備阻力不宜大

0.2m/s~0.6m/s,

于

1000Pa;

3活性炭應(yīng)設(shè)置濾料溫度檢測(cè)及超溫報(bào)警裝置

專(zhuān)用;

4設(shè)備殼體及框架的材料應(yīng)與所處理氣體成分相適應(yīng)

;

5設(shè)備強(qiáng)度應(yīng)能滿足承壓要求

;

6吸附設(shè)備的基本性能應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境保護(hù)產(chǎn)品

《

技術(shù)要求工業(yè)廢氣吸附凈化裝置的有關(guān)規(guī)定

》HJ/T386。

7.4.2轉(zhuǎn)輪濃縮設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1吸附區(qū)的設(shè)計(jì)面風(fēng)速不宜大于轉(zhuǎn)輪厚度不宜小

3m/s,

于

400mm;

2轉(zhuǎn)速宜為轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)

2/h~6/h;

3轉(zhuǎn)輪應(yīng)分為吸附區(qū)脫附再生區(qū)和冷卻區(qū)三個(gè)區(qū)域

、;

4吸附區(qū)脫附區(qū)和冷卻區(qū)之間應(yīng)密封隔離漏風(fēng)率不應(yīng)大

、,

于人人文庫(kù)

1%。

7.4.3熱氧化及熱回收設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1廢氣熱氧化溫度應(yīng)控制在滯留時(shí)間不宜

730℃~850℃,

小于

0.75s;

2熱氧化設(shè)備應(yīng)設(shè)置絕熱措施并保證爐體外表面溫度不應(yīng)

,

高于

60℃;

·22·

3換熱器宜采用管殼式

。

7.4.4蓄熱氧化設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1廢氣熱氧化室溫度宜控制在滯留時(shí)間不

780℃~880℃,

宜小于

0.75s;

2蓄熱層的面風(fēng)速宜為

1.1m/s~1.5m/s;

3蓄熱材料的高度宜為

0.8m~1.6m;

4切換閥門(mén)泄漏率不應(yīng)大于

0.5%;

5蓄熱氧化設(shè)備應(yīng)設(shè)置保溫并保證爐體外表面溫度不應(yīng)高

,

于

60℃;

6蓄熱材料的膨脹系數(shù)不應(yīng)大于-6

6×10m/(m·℃);

7蓄熱氧化設(shè)備應(yīng)設(shè)置自動(dòng)控制

。

7.4.5旋轉(zhuǎn)蓄熱氧化設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1宜劃分為個(gè)以上的偶數(shù)區(qū)

6;專(zhuān)用

2吹掃風(fēng)量不應(yīng)小于總風(fēng)量的

1/6;

3其余要求應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第條的第款第款

7.4.41~7

規(guī)定

。

7.4.6催化氧化設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1催化溫度宜控制在滯留時(shí)間不宜小

350℃~500℃,

于

0.75s;

2催化區(qū)域的面風(fēng)速宜為

1.3m/s;

3設(shè)計(jì)出口溫度不應(yīng)大于

550℃;

4催化設(shè)備啟動(dòng)時(shí)預(yù)熱時(shí)間不宜少于

,2h;

5當(dāng)揮發(fā)性有機(jī)物廢氣中的濃度成分不穩(wěn)定時(shí)加熱系統(tǒng)

、,

應(yīng)設(shè)置自動(dòng)人人文庫(kù)調(diào)溫設(shè)備并維持出口溫度不應(yīng)大于

,550℃;

6催化氧化系統(tǒng)應(yīng)設(shè)熱回收設(shè)備

。

7.4.7蓄熱催化氧化設(shè)備設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1燃燒室溫度宜控制在滯留時(shí)間不宜小

280℃~500℃,

于

0.75s;

2其余要求應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第條的第款第款和

7.4.42~7

·23·

第條的第款第款規(guī)定

7.4.62~5。

7.4.8高沸點(diǎn)揮發(fā)性有機(jī)物廢氣冷凝過(guò)濾設(shè)備設(shè)置應(yīng)符合下列

規(guī)定

:

1冷凝過(guò)濾設(shè)備應(yīng)由預(yù)過(guò)濾器冷卻盤(pán)管除霧器過(guò)濾裝

、、、

置液體收集系統(tǒng)等組成

、。

2預(yù)過(guò)濾器濾料宜采用不銹鋼制作過(guò)濾效率不應(yīng)低于

,

99%(≥50μm)。

3液體收集罐區(qū)域應(yīng)配置可燃?xì)怏w報(bào)警裝置

。

4冷卻器和設(shè)備殼體應(yīng)采用不銹鋼制作

。

5冷凝和過(guò)濾設(shè)備應(yīng)設(shè)置觀察窗及檢修門(mén)

。

6除霧器設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1宜采用高通量的絲網(wǎng)制作

);

2去除率應(yīng)大于

)99%(≥10m);專(zhuān)用

μ

3應(yīng)配備水沖洗裝置噴頭材質(zhì)應(yīng)為不銹鋼或聚偏氟乙烯

),

(PVDF)。

7末端過(guò)濾裝置對(duì)霧滴的去除效率應(yīng)大于

0.1μm~10μm

95%。

8設(shè)備阻力不應(yīng)大于

1000Pa。

7.5自動(dòng)控制及安全措施

7.5.1揮發(fā)性有機(jī)物廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)配置以下安全保護(hù)裝置

:

1風(fēng)量或風(fēng)壓低于設(shè)定值報(bào)警裝置

;

2爐膛超溫時(shí)高溫?zé)煔鈴臓t膛直排煙道的應(yīng)急排放管

人人文庫(kù)。

7.5.2使用揮發(fā)性有機(jī)物的工藝設(shè)備排風(fēng)支管宜設(shè)置可顯示其

,

排風(fēng)系統(tǒng)狀態(tài)的流量計(jì)或壓力表

。

7.5.3揮發(fā)性有機(jī)物廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置監(jiān)測(cè)日常操作及保養(yǎng)

、

所需的輔助設(shè)施及控制系統(tǒng)失效情況下的緊急安全處理措施

。

7.5.4揮發(fā)性有機(jī)物排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)配設(shè)如下運(yùn)行監(jiān)測(cè)內(nèi)容

:

1工藝設(shè)備排風(fēng)的出口溫度

;

·24·

2熱回收設(shè)備吸附裝置脫附裝置進(jìn)出口風(fēng)管內(nèi)的溫度

、、;

3風(fēng)管內(nèi)壓力

;

4設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)

。

7.5.5當(dāng)采用熱氧化方式處理?yè)]發(fā)性有機(jī)物廢氣時(shí)其熱氧化系

,

統(tǒng)的天然氣供應(yīng)管線應(yīng)安裝由低壓開(kāi)關(guān)調(diào)壓閥低壓關(guān)斷閥排

、、、

氣閥高壓關(guān)斷閥高壓開(kāi)關(guān)等組成的閥組

、、。

專(zhuān)用

人人文庫(kù)

·25·

8特種廢氣系統(tǒng)

8.1一般規(guī)定

8.1.1特種廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的污染物性質(zhì)和濃度等

因素選擇尾氣處理設(shè)備的形式

,(POU);

2特種廢氣宜在使用設(shè)備的附近進(jìn)行處理

;

3尾氣處理設(shè)備宜設(shè)置備用

。

8.1.2工藝設(shè)備與尾氣處理設(shè)備之間的管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1當(dāng)工藝設(shè)備使用的氣體不相容時(shí)工藝設(shè)備與尾氣處理設(shè)

,專(zhuān)用

備應(yīng)一一對(duì)應(yīng)

;

2工藝設(shè)備的排出口與尾氣處理設(shè)備的進(jìn)入口應(yīng)一一對(duì)應(yīng)

,

不宜合并使用

。

8.1.3尾氣處理設(shè)備與工藝真空泵之間的連接管應(yīng)減少變徑彎

、

頭和接頭

。

8.1.4工藝真空泵與尾氣處理設(shè)備之間以及尾氣處理設(shè)備之后

的管道材料的特性應(yīng)與所接觸的污染物的性質(zhì)相適應(yīng)

。

8.1.5尾氣處理設(shè)備進(jìn)出口宜設(shè)置取樣口

。

8.1.6安裝在室外的尾氣處理設(shè)備以及管道的材質(zhì)應(yīng)采取防腐

、

防紫外線措施

人人文庫(kù)。

8.1.7特種廢氣的排風(fēng)管道及附件應(yīng)采用不燃材料制作

。

8.1.8淋洗式尾氣處理設(shè)備后的管道應(yīng)設(shè)置的坡度坡向處

1%,

理設(shè)備

。

8.2烷類(lèi)尾氣處理系統(tǒng)

8.2.1尾氣處理設(shè)備的處理效率和出口濃度應(yīng)符合下列規(guī)定

:

·26·

1設(shè)備的處理效率不應(yīng)低于

99%;

2處理后的污染因子濃度宜在值以下

PC-TWA;

3處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應(yīng)在爆炸下限值的

25%

以下

。

8.2.2采用電熱式和等離子式的尾氣處理設(shè)備其內(nèi)部應(yīng)采用耐

,

腐蝕耐高溫的材料

、。

8.2.3尾氣處理系統(tǒng)宜采用下列方式

:

1硅烷鍺烷宜采用熱氧化和洗滌兩級(jí)處理

(SiH4)、(GeH4)

方式

;

2磷烷宜采用熱氧化和洗滌兩級(jí)處理方式或干式吸

(PH3)

附方式

;

3乙硼烷宜采用洗滌方式

(B2H6);

4砷烷宜采用干式吸附方式

(AsH3)。專(zhuān)用

8.2.4從真空泵至尾氣處理設(shè)備入口之間的管道應(yīng)符合下列

,

規(guī)定

:

1管道的材質(zhì)宜采用不銹鋼或

304316;

2當(dāng)尾氣遇低溫易產(chǎn)生沉淀物質(zhì)時(shí)管道應(yīng)采取加熱措施

,。

8.2.5尾氣處理設(shè)備出口之后的管道宜采用耐腐蝕導(dǎo)靜電的

、

材質(zhì)

。

8.2.6當(dāng)尾氣處理設(shè)備采用直接燃燒方式時(shí)應(yīng)符合消防要求

,。

8.3全氟化合物(PFC)尾氣處理系統(tǒng)

8.3.1對(duì)化學(xué)氣相沉積干法刻蝕工藝生產(chǎn)工程中散發(fā)

(CVD)、

的全氟化合人人文庫(kù)物排入大氣前應(yīng)進(jìn)行處理

(PFC),。

8.3.2尾氣處理設(shè)備的效率應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1三氟化氮不應(yīng)低于

(NF3)98%;

2其他不應(yīng)低于

95%。

8.3.3全氟化合物尾氣處理設(shè)備宜采用熱裂解和淋洗兩

(PFC)

級(jí)處理方式裂解方式應(yīng)根據(jù)處理效率處理生成物系統(tǒng)可靠性

,、、、

·27·

處理能力運(yùn)行成本使用壽命消防要求因素等綜合比較確定

、、、。

8.3.4尾氣處理設(shè)備的內(nèi)腔和風(fēng)管應(yīng)采用耐腐蝕的材料

。

8.3.5尾氣處理設(shè)備的排水應(yīng)進(jìn)入含氟廢水處理系統(tǒng)

。

8.4其他特種尾氣處理系統(tǒng)

8.4.1尾氣處理設(shè)備的處理效率和出口濃度應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1設(shè)備的處理效率不應(yīng)低于

99%;

2處理后的污染因子濃度宜在值以下

PC-TWA;

3處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應(yīng)在爆炸下限值的

25%

以下

。

8.4.2外延設(shè)備的尾氣處理設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

:

1外延尾氣處理系統(tǒng)應(yīng)單獨(dú)設(shè)置

;

2應(yīng)按防爆系統(tǒng)設(shè)置

;專(zhuān)用

3不應(yīng)就近設(shè)置在外延爐旁邊和下技術(shù)夾層內(nèi)

;

4尾氣處理設(shè)備應(yīng)設(shè)置防護(hù)罩

。

8.4.3三氟化硼和三氯化硼宜采用等離子和淋洗

(BF3)(BCl3)

兩級(jí)處理方式三氟化氯宜采用熱氧化和淋洗兩級(jí)處理方

,(ClF3)

式三氯硅烷二氯硅烷宜采用等離子式和淋

,(SiHCl3)、(SiH2Cl2)

洗兩級(jí)處理方式

。

8.4.4從真空泵至尾氣處理設(shè)備入口之間的管道應(yīng)符合下列

,

規(guī)定

:

1管道的材質(zhì)宜采用不銹鋼或

304316;

2當(dāng)尾氣中含有遇低溫易析出粉塵的物質(zhì)時(shí)管道應(yīng)采取加

人人文庫(kù),

熱措施

。

8.4.5尾氣處理設(shè)備出口之后的管道應(yīng)采用防腐導(dǎo)靜電的

、

材質(zhì)

。

8.5中央廢氣處理系統(tǒng)

8.5.1特種氣體經(jīng)尾氣處理設(shè)備就地處理后應(yīng)接入中央廢氣處

,

·28·

理系統(tǒng)進(jìn)行再處理

。

8.5.2