GB 51401-2019 電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準

UDC

電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準中華人民共和國國家標準

GB514012019

電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準

Standardfordesignofelectronicindustryemissions

treatmentengineering專用

人人文庫

貼標處20192211發(fā)布20200104實施

S/N:155182·0510

統(tǒng)一書號：155182·0510

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部

定價：23.00元聯(lián)合發(fā)布

國家市場監(jiān)督管理總局

中華人民共和國國家標準

電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準

Standardfordesignofelectronicindustryemissions

treatmentengineering

GB51401-2019

主編部門中華人民共和國工業(yè)和信息化部

:

批準部門中華人民共和國住房和城專用鄉(xiāng)建設部

:

施行日期年月日

:202041

人人文庫

中國計劃出版社

2019北京

中華人民共和國國家標準

電子工業(yè)廢氣處理工程設計標專用準

GB51401-2019

☆

中國計劃出版社出版發(fā)行

網(wǎng)址

:

地址北京市西城區(qū)木樨地北里甲號國宏大廈座層

:11C3

郵政編碼電話發(fā)行部

:100038:(010)63906433()

三河富華印刷包裝有限公司印刷

印張千字

850mm×1168mm1/323.7593

年月第版年月第次印刷

202011202011

☆

統(tǒng)一書號

人人文庫:155182·0510

定價元

:23.00

版權所有侵權必究

侵權舉報電話

:(010)63906404

如有印裝質量問題請寄本社出版部調換

,

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部公告

2019年第321號

住房和城鄉(xiāng)建設部關于發(fā)布國家標準

電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準的公告

《》

現(xiàn)批準電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準為國家標準編號

《》專用,

為自年月日起實施其中第

GB51401—2019,202041。,3.0.3、

條款為強制性條文必須嚴格

3.0.6(1)、3.0.8、3.0.10、3.0.17(),

執(zhí)行

。

本標準在住房和城鄉(xiāng)建設部門戶網(wǎng)站

()

公開并由住房和城鄉(xiāng)建設部標準定額研究所組織中國計劃出版

,

社出版發(fā)行

。

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部

人人文庫2019年11月22日

前言

本標準是根據(jù)住房和城鄉(xiāng)建設部關于印發(fā)年工程建

《<2013

設標準規(guī)范制訂修訂計劃的通知建標號的要求由工

、>》〔2013〕6,

業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院中國電子工程設計院有限

、

公司會同有關單位共同編制完成

。

在標準編制過程中編寫組根據(jù)我國的集成電路薄膜

,(IC)、

晶體管液晶顯示器以及新型有機發(fā)光顯示器

(TFT-LCD)

為代表的電子工廠生產過程中使用的化學品種類及廢氣

(OLED)

污染因子排放的實際情況進行了廣泛的調查研究收集了有關電

,專用,

子工廠廢氣污染因子的種類和設計處理要求認真總結實踐經(jīng)驗

,,

同時考慮我國目前生產的現(xiàn)狀參考國外有關的規(guī)范標準廣泛征

,,

求了全國有關單位與個人意見最后經(jīng)審查定稿

,。

本標準的主要技術內容是總則術語基本規(guī)定工藝及工藝

:、、、

設備堿性廢氣系統(tǒng)酸性廢氣系統(tǒng)揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)特種

、、、、

廢氣系統(tǒng)除塵系統(tǒng)電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)事故通風電氣設

、、、、

計等

。

本標準中以黑體字標志的條文為強制性條文必須嚴格執(zhí)行

,。

本標準由住房和城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解

釋由工業(yè)和信息化部負責日常管理由中國電子工程設計院有限

,,

公司負責具人人文庫體技術內容的解釋執(zhí)行過程中如有意見或建議請

。,

寄至中國電子工程設計院有限公司電子工業(yè)廢氣處理工程設計

《

標準管理組地址北京市海淀區(qū)西四環(huán)北路號郵編

》(:160,:

傳真郵箱

100142,:yandong@)。

本標準主編單位工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研

:

究院

·1·

中國電子工程設計院有限公司

本標準參編單位世源科技工程有限公司

:

信息產業(yè)電子第十一設計研究院科技

工程股份有限公司

清華大學

同濟大學

上海電子工程設計研究院有限公司

上海華懋環(huán)保節(jié)能設備有限公司

奧意建筑工程設計有限公司

北京京東方光電科技有限公司

深圳市華星光電技術有限公司

三星工程建設上海有限公司

()

北京康肯環(huán)保設備有專用限公司

上海華力微電子有限公司

中國電子科技集團第五十五研究所

應用材料中國有限公司

()

中國電子系統(tǒng)工程第四建設有限公司

天津市武清區(qū)環(huán)境工程設備有限公司

蘇州艾特斯環(huán)保設備有限公司

愛美克環(huán)保工業(yè)武漢有限公司

()

東莞兆能環(huán)境科技有限公司

中國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司

上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司

人人文庫唐納森中國貿易有限公司

()

上海點奪電子科技有限公司

本標準主要起草人員秦學禮肖紅梅江元升莫金漢

:

閻冬羌寧陸崎徐剛

杜寶強趙海生湛云忠李楊

吳新何菁李朝英永井勇

·2·

林云韓科勇顏登通曹布霖

云?？登駮|黃桂超張作保

巫曼曼蔣磊張偉明丁宏偉

鐘平

本標準主要審查人員劉俊杰任兆成丁杰閻宇宏

:

劉強王素英李堅明慧玲

張利群

專用

人人文庫

·3·

目次

總則…………………

1(1)

術語…………………

2(2)

基本規(guī)定…………………

3(5)

工藝及工藝設備…………

4(12)

一般規(guī)定………………

4.1(12)

污染物控制……………

4.2(12)

應急設施………………

4.3(12)

堿性廢氣系統(tǒng)……………

5專用(14)

一般規(guī)定………………

5.1(14)

處理流程和方法…………

5.2(14)

處理設備………………

5.3(14)

風管及附件……………

5.4(16)

酸性廢氣系統(tǒng)……………

6(17)

一般規(guī)定………………

6.1(17)

氮氧化物高濃度酸及電鍍廢氣…………

6.2、(17)

揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)…………………

7(19)

一般規(guī)定………………

7.1(19)

廢氣收集排風管道系統(tǒng)…………………

7.2人人文庫、(20)

處理系統(tǒng)………………

7.3(20)

處理設備………………

7.4(22)

自動控制及安全措施……

7.5(24)

特種廢氣系統(tǒng)……………

8(26)

一般規(guī)定………………

8.1(26)

烷類尾氣處理系統(tǒng)………

8.2(26)

·1·

全氟化合物尾氣處理系統(tǒng)…………

8.3(PFC)(27)

其他特種尾氣處理系統(tǒng)…………………

8.4(28)

中央廢氣處理系統(tǒng)………

8.5(28)

除塵系統(tǒng)…………………

9(30)

一般規(guī)定………………

9.1(30)

系統(tǒng)設計處理流程及方法………………

9.2、(30)

處理設備………………

9.3(32)

風管及附件……………

9.4(33)

電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)…………………

10(36)

一般規(guī)定………………

10.1(36)

系統(tǒng)設計處理流程及方法……………

10.2、(36)

處理設備………………

10.3(37)

風管及附件……………

10.4專用(39)

事故通風…………………

11(40)

一般規(guī)定………………

11.1(40)

系統(tǒng)設計及有害氣體凈化………………

11.2(41)

電氣設計…………………

12(44)

供配電與照明…………

12.1(44)

防雷與接地……………

12.2(44)

附錄電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康

A

濃度………

(IDLH)(46)

本標準用詞說明………………

(47)

引用標準名錄…………………

(48)

附條文說人人文庫明…………………

:(49)

·2·

Contents

………

1Generalprovisions(1)

……………………

2Terms(2)

………

3Basicrequirments(5)

……

4Processandprocessingequipment(12)

……

4.1Generalrequirements(12)

………

4.2Pollutioncontrol(12)

……

4.3Emergencyfacilities(12)

…………………

5Alkalineexhaustsystem專用(14)

……

5.1Generalrequirements(14)

……

5.2Processandmethods(14)

………

5.3Processequipment(14)

……

5.4Ductandaccessories(16)

……

6Acidexhaustsystem(17)

……

6.1Generalrequirements(17)

6.2Nitricoxide,highconcentrationacidandelectroplating

…………………

exhaus(17)

…………

7Volatileorganiccompoundsexhaustsystem(19)

……

7.1Generalrequirements(19)

人人文庫………………

7.2Exhaustcollectionandexhaustductsystem(20)

…………

7.3Processsystem(20)

………

7.4Processequipment(22)

…

7.5Automaticcontrolandsafetymeasures(24)

…

8Specialcontaminatedexhaustsystem(26)

……

8.1Generalrequirements(26)

·3·

……

8.2Alkanespoint-of-useexhaustsystem(26)

…………

8.3Perfluorocompoundspoint-of-useexhaustsystem(27)

………………

8.4Otherspecialcontaminatedexhaustsystem(28)

……………

8.5Centralizedabatementsystem(28)

……

9Dustremovingsystem(30)

……

9.1Generalrequirements(30)

……

9.2Systemdesign,processandmethods(30)

………

9.3Processequipment(32)

……

9.4Ductandaccessories(33)

……………

10Electronicglassfurnaceexhaustsystem(36)

…………………

10.1Generalrequirements(36)

……

10.2Systemdesign,processandmethods(36)

……

10.3Processequipment專用(37)

……

10.4Ductandaccessories(39)

……

11Emergencyexhaust(40)

…………………

11.1Generalrequirements(40)

………………

11.2Systemdesignandpurifyingharmfulgas(41)

…………

12Electricaldesign(44)

………

12.1Electricpowersupplyandlighting(44)

………

12.2Lightningprotectionandearthing(44)

AppendixAImmediatelydangeroustolifeorhealthof

……

hightoxicsubstancesinelectronicindustry(46)

…

Explanationofwordinginthisstandard(47)

人人文庫……

Listofquotedstandards(48)

………

Addition:Explanationofprovisions(49)

·4·

1總則

1.0.1為在電子工業(yè)廢氣處理工程設計中貫徹執(zhí)行國家的有關

法律法規(guī)和規(guī)定規(guī)范工程的設計內容和深度提高工程的設計

、,,

水平達到保護環(huán)境節(jié)約能源與資源技術先進經(jīng)濟合理保證

,、、、、

設計質量和安全的要求制定本標準

,。

1.0.2本標準適用于新建改建擴建的電子工業(yè)廢氣處理工程

、、

設計

。

1.0.3電子工業(yè)廢氣處理工程設計除應符合本標準外尚應符合

,

國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定

。專用

人人文庫

·1·

2術語

2.0.1封閉箱體

enclosure

實體的結構物用于區(qū)隔具有排風設施的空間與其他有或無

,

排風設施的空間

。

2.0.2設備排風靜壓

exhaustingstaticpressureofequipment

需排風設備封閉箱體內外兩側的壓差即設備封閉箱體內壓

,

力與設備所處環(huán)境壓力之差通常為負值單位為

,,Pa。

2.0.3不相容

incompatible

化學物質經(jīng)由非故意的結合可能產生劇烈的反應或無法控

,專用

制的狀況其釋放的能量可能引起危險

,。

2.0.4局部排風

localexhaust

局部排風的工作原理是在污染源或其鄰近處捕集污染物并

,

將其排至外界環(huán)境通常會經(jīng)過空氣凈化或污染因子破壞的處理

,

裝置

。

2.0.5酸性廢氣

acidcontaminatedexhaust

企業(yè)廠區(qū)內燃料燃燒和生產工藝過程中產生的酸性污染物氣

體的總稱通常溶于水中會發(fā)生反應形成弱酸包括二氧化硫硫

,,,、

化氫氟化物氯氯化氫磷酸硝酸硫酸等

、、、、、、。

2.0.6堿性廢氣

alkalinecontaminatedexhaust

生產工人人文庫藝過程中產生的堿性污染物氣體的總稱通常能與酸

,

作用生成鹽類化合物包括氨胺類化合物氫氧化鈉等

,、、。

2.0.7特種廢氣

specialcontaminatedexhaust

電子產品生產過程中化學氣相淀積擴散外延離子注入干

、、、、

法刻蝕等工藝設備散發(fā)的含有毒性腐蝕性氧化性自燃性可燃

、、、、

性惰性等物質的廢氣

、。

·2·

2.0.8全氟化合物

perfluorocompounds(PFCs)

電子工業(yè)生產過程中化學氣相淀積干法刻蝕等工序使用的

、

具有高全球變暖潛能的氟化合物包括全氟化合物和氫氟

(GWP),

碳化物如四氟化碳六氟乙烷八氟丙烷

(HFCs),(CF4)、(C2F6)、

八氟環(huán)丁烷三氟化氮六氟化硫和

(C3F8)、(c-C4F8)、(NF3)、(SF6)

三氟甲烷上述的全氟化合物和氫氟碳化物在工業(yè)界統(tǒng)

(CHF3)。

稱為全氟化合物

。

2.0.9立即危害生命和健康濃度

immediatelydangerousto

lifeandhealth(IDLH)

對生命產生即刻危害并對健康造成不可逆的不良影響的環(huán)

,

境濃度或使人降低逃生能力的環(huán)境濃度

,。

2.0.10限流閥

restricted-floworifice

置于氣瓶閥體內把最大流量限制在一定范圍內的裝置

,專用。

2.0.11揮發(fā)性有機物

volatileorganiccompounds(VOCs)

沸點在間溫度時蒸汽壓大于或等于

50℃~250℃,293.15K

或者能夠以氣態(tài)分子的形態(tài)排放到空氣中的所有有機

0.01kPa,

化合物但不包括甲烷

,。

2.0.12尾氣處理設備

point-of-useabatement(POU)

安裝在工藝生產設備附近并對其排出的尾氣進行處理的設

,

備通常也稱排風預處理設備或就地尾氣處理設備

,。

2.0.13中央廢氣處理系統(tǒng)

centralizedabatementsystem

通常位于廢氣系統(tǒng)的末端在廢氣排入大氣前對其所含的特

,

定污染因子做最終的消減處理并達到規(guī)定的排放濃度或標準的

,

處理系統(tǒng)人人文庫

。

2.0.14轉輪濃縮系統(tǒng)

rotor-concentratorsystem

揮發(fā)性有機物廢氣通過轉輪的吸附區(qū)域后其污染因子能被

,

有效地吸附于轉輪的吸附材料中并在轉輪的脫附區(qū)域被小流量

,

高溫空氣脫附使低濃度大風量揮發(fā)性有機物廢氣濃縮為高濃

,、

度小風量的揮發(fā)性有機物廢氣的系統(tǒng)

、。

·3·

2.0.15蓄熱氧化系統(tǒng)

regenerativethermaloxidizingsystem

通過蓄熱床吸收高溫煙氣的熱量并預熱未經(jīng)處理的低溫廢

,

氣吸熱升溫后的廢氣通過高溫裂解破壞其污染因子結構的系統(tǒng)

,。

2.0.16填料洗滌式廢氣處理設備

packed-bedscrubber

經(jīng)由填料增加氣液廢氣接觸面積的廢氣處理設備包括本體

,、

填料層除霧層循環(huán)噴淋系統(tǒng)循環(huán)泵儲液槽及控制系統(tǒng)等的廢

、、、、

氣處理設備通常分為水平式和垂直式

,。

2.0.17壓入式廢氣處理系統(tǒng)

blow-throughabatementsystem

風機位于廢氣處理設備氣流上游廢氣處理設備相對于所處

,

環(huán)境為正壓的處理系統(tǒng)

。

2.0.18吸入式廢氣處理系統(tǒng)

drawingoutabatementsystem

風機位于廢氣處理設備氣流下游廢氣處理設備相對于所處

,

環(huán)境為負壓的處理系統(tǒng)

。專用

2.0.19吹吸式廢氣處理系統(tǒng)

blow-drawabatementsystem

廢氣處理設備的進出口均設置風機廢氣處理設備相對于所

、,

處環(huán)境為微負壓或微正壓的處理系統(tǒng)

。

2.0.20時間加權平均容許濃度

permissibleconcentration-

timeweightedaverage(PC-TWA)

以時間為權數(shù)規(guī)定的工作日工作周的平均容許接觸

8h、40h

濃度

。

2.0.21短時間接觸容許濃度

permissibleconcentration-

shorttermexposurelimit(PC-STEL)

在遵守前提下容許短時間接觸的濃度

PC-TWA(15min)。

2.0.22人人文庫最高容許濃度

maximumallowableconcentration

(MAC)

工作地點空氣中有害物質不應超過的濃度

。

·4·

3基本規(guī)定

3.0.1產生有害物質的工藝生產設備宜采用自動化并應采取

,,

密閉隔離和負壓操作措施對生產過程中不可避免放散的有害

、。

物質在排放前應采取凈化處理措施并應達到有關污染物排放

,,

標準

。

3.0.2排風系統(tǒng)應按廢氣種類和不相容原則設置

。

3.0.3下列情況之一時,應單獨設置排風系統(tǒng):

1不同排風點不同的有害物質混合后能引起燃燒或爆炸;

2混合后能產生或加劇腐蝕性或毒性;

專用

3混合后易使蒸汽凝結并聚積粉塵;

4散發(fā)極毒和劇毒物質的房間和設備;

5排風中含有燃燒爆炸性氣體。

3.0.4當排風點需求壓力相差以上且所需壓力絕對值

250Pa,

的較大值出現(xiàn)在系統(tǒng)后三分之一管路時宜分別設置排風系統(tǒng)

,。

3.0.5排氣系統(tǒng)宜按照最大產能時的各工藝設備排氣量計算并

,

據(jù)此確定廢氣處理系統(tǒng)的風量和排風管尺寸

。

3.0.6排風系統(tǒng)設計應符合下列規(guī)定

:

1含有燃燒爆炸性物質的局部排風系統(tǒng)應按物理化學性質

采取相應的人人文庫防火防爆措施;

2排風中污染物濃度或排放速率超過國家和地區(qū)污染物排

放標準時應進行凈化處理

,。

3.0.7排除有燃燒爆炸性危險物質的排風系統(tǒng)風量應經(jīng)計算確

定并應符合下列規(guī)定

,:

1采用局部排風系統(tǒng)時其風量應按在正常運行和事故情況

,

下風管內燃燒爆炸性危險物質的濃度不大于爆炸下限的

50%

·5·

計算

。

2有燃燒爆炸性區(qū)域的排風量應符合現(xiàn)行國家標準爆炸

,《

危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范的有關規(guī)定

》GB50058。

3.0.8廢氣處理系統(tǒng)的設備符合下列條件之一時,應采用防爆型:

1直接布置在爆炸危險性區(qū)域內時;

2排除、輸送或處理有甲、乙類物質,其濃度為爆炸下限

10%及以上時;

3排除、輸送或處理有燃燒或爆炸危險的粉塵、纖維物質,其

含塵濃度為其爆炸下限的25%及以上時。

3.0.9當排風中含有的燃燒或爆炸危險物質可能出現(xiàn)的最高濃

度超過爆炸下限值的時廢氣處理系統(tǒng)的設備風管和配件

10%,、

應符合下列規(guī)定

:

1風管和配件應采用金屬材料制作

;專用

2設備和風管均應采取防靜電接地措施

;

3當風管和配件的法蘭密封墊或螺栓墊圈采用非金屬材料

時應采取法蘭跨接措施

,。

3.0.10有爆炸危險廠房內的排風風管,嚴禁穿過防火墻和有爆

炸危險的車間隔墻。

3.0.11含有有毒有害物質或含有爆炸危險性物質的局部排風系

統(tǒng)其