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文檔簡介

1三十六、計算機、通信和(39)-81-電子元件及電子專用材料制造398-使用目超五年重新審核項目無2審查文件名稱及文號:《關于渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)總體發(fā)展規(guī)劃環(huán)境影響審查文件名稱:《沈陽市中心城區(qū)楊官單元控制性詳細規(guī)劃環(huán)境影響報告書表1.1項目與《渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園園區(qū)規(guī)項目相符性規(guī)劃范圍渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)位于東陵區(qū)北部,規(guī)劃范圍東至三環(huán)高速,南至規(guī)劃全運南路,西至沈李公路,北本項目位于渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi),詳見附圖符合規(guī)劃定位以節(jié)能環(huán)保、新能源、生物醫(yī)藥、電子商務、現(xiàn)代物流產(chǎn)業(yè)為主導,以先進裝備制造、汽車零部件生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)為延伸,打造沈陽經(jīng)濟區(qū)的生態(tài)環(huán)保、科技創(chuàng)新、園區(qū)發(fā)展與城市內(nèi)部的智力資源(科研機構、大學等)建立有效的互動機制,為其提供新型科技產(chǎn)品的生產(chǎn)基地,打造沈陽市的新產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)中心,實現(xiàn)產(chǎn)-學-研的強調功能的完備性,功能活動的多元化,打造充滿活力的城市片區(qū);利用現(xiàn)有自然資源營造良好的生活環(huán)沈陽儀表科學研究院有限公司是國家儀器儀表元器件和工藝歸口單位,項目主要進行敏感芯片及傳感器等研發(fā)生產(chǎn),屬于高端裝備制造業(yè)中的智業(yè),符合園區(qū)產(chǎn)符合準入清單(3)入?yún)^(qū)的節(jié)能環(huán)保產(chǎn)業(yè)首先應列入《國務院關于印發(fā)“十二五”節(jié)能環(huán)保產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃的通知》(國發(fā)[2012]19號但產(chǎn)業(yè)中污染較重的產(chǎn)業(yè)不宜進入園(4)生物制藥應列入《國務院關于印發(fā)生物產(chǎn)業(yè)發(fā)展單純生產(chǎn)原料藥類型的企業(yè)進入,具體要求見表7.1-(5)高端裝備制造業(yè)中,涉及冶煉等前段工序的企業(yè)本項目主要進行敏感芯片及傳感器、光學薄膜器片等研發(fā)生產(chǎn),屬于高端裝備制造業(yè)中的智能制造裝備產(chǎn)業(yè),不涉及冶煉等前段工序,符合國際新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)產(chǎn)求,滿足園區(qū)準符合3(6)限制現(xiàn)狀不符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃的企業(yè),逐步搬遷土地利用規(guī)劃渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)結合自身產(chǎn)業(yè)發(fā)展條件,通過產(chǎn)業(yè)結構優(yōu)化調整,實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)向聚集化、規(guī)模化發(fā)展:規(guī)劃結合近期實施項目及起步區(qū)內(nèi)已建設項目,由東向西、由北向南打造五個產(chǎn)業(yè)集群,分別為:高端裝備產(chǎn)業(yè)集群、保稅加工與保稅物流產(chǎn)業(yè)集群、節(jié)能環(huán)保與新能源產(chǎn)業(yè)集群、電子商務與現(xiàn)代物流集本項目位于渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園區(qū),占用地塊規(guī)劃為工業(yè)用地,符合公用工程配套規(guī)劃m3/d,水源引自東水西調工程大伙房水項目依托園區(qū)給水工程,不設置符合本項目廢水經(jīng)園區(qū)污水管網(wǎng)排入上夾河污水處理符合依托園區(qū)供電工符合冬季采暖利用地符合等公用工程均依托產(chǎn)業(yè)園區(qū),項目用地地塊規(guī)劃為工業(yè)用地,用地符合要(2)與《渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園園區(qū)規(guī)劃環(huán)評審查意見》符合性分析,表1.2項目與《渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園園區(qū)規(guī)劃環(huán)評審查意見》符合性1、古城子以北工業(yè)用地區(qū)域預留地鐵五號線停車2、石廟子獨立工業(yè)用地規(guī)劃調整為倉儲物流用3、渾南大道和新立街交叉口西南象限規(guī)劃工業(yè)用5、依托文溯街將生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)集群與東側規(guī)劃居6、規(guī)劃北側與居住用地緊鄰的工業(yè)用地、規(guī)劃區(qū)4嚴格按照《飲用水水源保護區(qū)污染防治管理規(guī)止新建、改建、擴建與供水設施和保護水源無關的建筑物;二級保護區(qū)內(nèi)禁止新建、改建、擴建排放污染物的建設項目?,F(xiàn)狀與相關規(guī)定不符的議建議對撫鞍輸油管線進行改線,即將輸油管線改至沈陽繞城高速綠化帶南側,且沿飲用水源保護區(qū)外部自東向西布設,且不在水源保護區(qū)范圍。建議保留鐵大線目前線位,輸油管線兩側一定范源廠建設規(guī)劃,主要依托沈東熱電廠供熱。渾南新區(qū)3號熱源廠在沈東熱電廠建成之前承擔臨時2、區(qū)域污水排水規(guī)劃調整:沈陽繞城高速公路以北區(qū)域進入渾南污水系統(tǒng),依據(jù)地勢分別由夾河污水處理廠和產(chǎn)業(yè)區(qū)污水處理廠處理;沈陽繞城高速公路以南區(qū)域進入規(guī)劃的桑林子污水處理廠。桑林子污水處理廠建成前,入?yún)^(qū)企業(yè)需自建2、入?yún)^(qū)產(chǎn)業(yè)具有較大的關聯(lián)性,促進區(qū)域產(chǎn)業(yè)結3、入?yún)^(qū)的節(jié)能環(huán)保產(chǎn)業(yè)首先應列入《國務院關于印發(fā)“十二五節(jié)能環(huán)保產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃的通知》(國),);5表1.3項目與《沈陽市中心城區(qū)楊官單元控制性詳細規(guī)劃》相符性《沈陽市中心城區(qū)楊官單元控制性詳細規(guī)劃》與《渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園(4)與《沈陽市中心城區(qū)楊官單元控制性詳細規(guī)劃環(huán)境影響報告書審表1.4項目與《沈陽市中心城區(qū)楊官單元控制性詳細規(guī)劃環(huán)境影響報告書審查意見》性法做好區(qū)域生態(tài)環(huán)境保護工作,區(qū)域規(guī)劃實施應依法辦理用地手續(xù)。嚴格入?yún)^(qū)項目的環(huán)境準入要求,不得入駐報告書規(guī)定的環(huán)保準入負面清單類別項目,入駐企業(yè)應6經(jīng)園區(qū)管網(wǎng)排入上夾河污水處理廠處理,廠區(qū)污水排放滿足《遼寧省污水綜合排放標準》(DB21/1627-2008)中表2標準限值與《電子工業(yè)水污染物析項目為搬遷項目,位于渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi),同時位于楊官單元控詳規(guī)劃范圍內(nèi)。根據(jù)項目土地證,項目所在地塊土地性質為工業(yè)用地(附件73),根據(jù)渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)土地利用規(guī)劃圖及楊官單元控詳規(guī)劃土地項目廠址地理條件優(yōu)越,交通方便,不在自然保護區(qū)、風景名勝區(qū)、飲用水源保護區(qū)和其他需要特殊保護的區(qū)域。項目投產(chǎn)后,對生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水、廢氣、噪聲、固廢等污染源均采取了相應的污染治理措施,可以達到相應的排放標準要求,對周圍環(huán)境影響較小,不會改變項目所在區(qū)域環(huán)境要求“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控的即不在渾南區(qū)生態(tài)保護紅線內(nèi),項目位于沈陽市環(huán)境管控單元分布示要求化污染防治措施和污染物排放控制要求項目采取嚴格的有組織和無組織廢氣污染防治措施,以確保各項廢氣達標排放。采取的措施工藝與園區(qū)規(guī)劃、國家及地方污染防治法律法規(guī)、政策規(guī)范、導則辦法等相一致。污染物排放滿足區(qū)域環(huán)境質量改善、重點污染物排放總量控制、碳排放達峰目標控制要求,不會突本項目廢水屬間接排放,經(jīng)園區(qū)管網(wǎng)排入上夾河污水處理廠。項目排放污染物總量滿足當?shù)乜偭靠刂埔?,環(huán)評審批前已通過污染物總量控制指標審核,不會突破當?shù)厮h(huán)8項目所在規(guī)劃區(qū)的聲環(huán)境質量功能降噪等聲環(huán)境污染防治措施,以確保廠界噪聲滿足2類排放標準要求,不降低聲環(huán)境功能區(qū)劃。企業(yè)要嚴格落實環(huán)?!叭瑫r”制度,不要求區(qū)能源、水、土地等資源消耗不得突破的“天花板”。相關規(guī)劃環(huán)評應依據(jù)有關資源利用上線,對規(guī)劃實施以及規(guī)劃內(nèi)項目的資源開發(fā)利用,區(qū)分不同行業(yè),從能源資源開發(fā)等量或減量替代、開采方式和規(guī)??刂啤⒗眯屎捅Wo措施等方面提出建議,為規(guī)劃編制和審批決策提供重要依據(jù)供給,未突破規(guī)劃區(qū)能源利用上要求對照《限制用地項目目錄(2012年本)》和《禁止用地項目目錄(2012年本)》,本項目未列入限制和禁止用地目錄。根據(jù)國家發(fā)展和改1月1日起實施),項目生產(chǎn)的敏感芯片屬于鼓勵類中的第二十八分項中“信息產(chǎn)業(yè)”中的第20條:“集成電路裝備制造”;項目生產(chǎn)的傳感器屬于鼓勵類中的第二十八分項“信息產(chǎn)業(yè)”中的第21條:“新型電子元器件(片式元器件、頻率元器件、混合集成電路、電力電子敏感元器件及傳感器、新型機電元件、高密度印刷電路板和柔性電路板等)制造”;項目對外的檢測服務屬于鼓勵類中的第三十一分項“科技服務業(yè)”中的第1條:“工業(yè)設計、氣象、生物、新材料、新能源、節(jié)能、環(huán)保、測繪、海洋等專業(yè)科技服務,標準化服務、計量測試、質量認證和檢驗檢9測服務、科技普及”;項目生產(chǎn)的光學薄膜器片、管道檢測器、劃片機未(4)與《沈陽市建設項目環(huán)境準入限制政策目錄(2021年版)》符合表1.6項目與《沈陽市建設項目環(huán)境準入限制政策目錄(2021年版2.所在區(qū)域環(huán)境質量未達到國家或者地方環(huán)境4.建設項目的環(huán)境影響報告書、環(huán)境影響報告表2.除市人民政府批準建設的重大基礎設施工程求2.禁止在飲用水水源一級保護區(qū)內(nèi)新建、改建4.禁止在飲用水水源準保護區(qū)內(nèi)新建、擴建對水求2.在自然保護區(qū)的實驗區(qū)內(nèi),不得建設污染環(huán)過國家和地方規(guī)定的污染物排放標準。在自然保護區(qū)的實驗區(qū)內(nèi)已經(jīng)建成的設施,其污染物排放超過國家和地方規(guī)一般工業(yè)固體廢物貯存執(zhí)行《一般工(GB18599-2020危險廢物貯存執(zhí)行《危險廢物貯存污染控制標準》(GB18597-2001)及2013年修改項目生產(chǎn)的敏感芯片、傳感器、對外的檢測服務列入鼓勵類;項目生產(chǎn)的光學薄膜器片、管道檢測器、劃片機未列入限制類與淘汰類,即為允許2.建設項目必須符合國家發(fā)展改革委和商務部2.限制審批新建高污染和涉及光氣、氯氣、2.建設產(chǎn)生污染的項目必須遵守污染物排放的國家標準和地方標準;在3.工業(yè)建設項目應當采用能耗物耗小,污染物產(chǎn)生量少的清潔(4)與《沈陽市生態(tài)環(huán)境局關于切實加強涉VO表1.7項目與《沈陽市生態(tài)環(huán)境局關于切實加強涉VOCs建設項目環(huán)境影響評價審批工作的通知》的符合性家、遼寧省相關規(guī)定應當進入園區(qū)的要進入園區(qū)。禁止審批不符合規(guī)劃要求及規(guī)劃環(huán)評生態(tài)環(huán)境準入清單要求的建設項目。新建、改建、擴建涉VOCs排放的建設項目要嚴格排放標準審查,有行業(yè)標準應優(yōu)先執(zhí)行行業(yè)標準,無行業(yè)標準應執(zhí)行國家、遼寧省相關排放標準。既有企業(yè)的新建、改建、擴建、遷建涉VOCs排放的建設項目,要貫徹“以新帶老”原則,加強對原有項目環(huán)境問題的審查,原有項目的生產(chǎn)工藝、治理設施須按照新要求和標準,同步進行技術升級園內(nèi)與《沈陽市中心城區(qū)楊官單元控制性詳細規(guī)劃》范圍內(nèi),符合園區(qū)的準入產(chǎn)業(yè)。項目有組織排放揮發(fā)性有機物(以非甲烷總烴表征)執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標準》無組織排放揮發(fā)性有機物廠界執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標新建、改建、擴建涉VOCs排放的建設項目,其環(huán)境影響評價文件應對建設項目使用的主要原輔料的理化性質特性等進行詳細分析,明確VOCs的主要原輔材料類型、組分、含量等(附具有CMA和CNAS資質的產(chǎn)品檢測報告或使用產(chǎn)品的MSDS),明確是否屬于危險化學品AB膠;測控車間上座前清洗查,要按照應封閉全封閉、能收集全收集的制。要對照《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》(GB37822-2019)和各行業(yè)的行業(yè)標準以及排污許可證申請與VOCs物料儲存、轉移和輸送、設備與管線組件泄漏、敞開液面逸散中應當詳細描述物料儲存、轉移、配料、使工藝技術或措施,不得用密閉收集、密閉儲行描述,并分析采用的工藝技術的可行性和UV光催化/光氧化、低溫等離子等單一處理工藝。在涉VOCs廢理工藝中,含有活性炭吸附技術環(huán)節(jié)的,應當選克/克的活性炭,環(huán)境影響評價文件中應當廢氣采用二級活性炭吸附裝置參考HJ1031-2019,二級活性炭吸附屬于可行技術;項目選業(yè)排污許可證申請與核發(fā)技術規(guī)范明確要求企業(yè)置對新建、改建、擴建涉VOCs排放的建設項目,要嚴格審查其環(huán)境影響評價文件中的排污口設置情況,根據(jù)企業(yè)具體情況,盡可能采用全密閉的收集系統(tǒng)或車間統(tǒng)一收集至一個廢氣排污口,原則上同一密閉廠房只設一個VOCs排污口,由于安全等因素確需保留多個的,也要最大限度減少排污口數(shù)量,涉及不同污染物排放標準的要在合并前設置采樣口進行監(jiān)控。對于擁有多條生產(chǎn)線的項目,原則上不允許一條生產(chǎn)線設置一個排污口。大氣環(huán)境重點排污單位的新建、改建、擴建涉VOCs排放的建設項目,其環(huán)境影響評價文件審查要明確要求其所有涉VOCs廢氣排污口均應安裝揮發(fā)性有機物自動監(jiān)控設施,并與屬地生態(tài)環(huán)境部門聯(lián)網(wǎng)。其它排污單位應當配套用電監(jiān)管措施并與生態(tài)項目光學車間內(nèi)基片超聲清洗過程產(chǎn)生的揮發(fā)性有機物經(jīng)集氣罩收集后采用二級活性炭吸氣筒排放至大氣。企業(yè)不屬于度一律實行區(qū)域內(nèi)VOCs排放等量削減替代,并將替代方案落實到企業(yè)排污許可證中,納入環(huán)境執(zhí)法管理。不得審批未落實總量替代要求的綜上所述,本項目符合《沈陽市生態(tài)環(huán)境局關于切實加強涉VOCs建設項目環(huán)境影響評價審批工作的通知》的各項表1.8項目與《重點行業(yè)揮發(fā)性有機物綜合治理方案》符通過使用水性、粉末、高固體分、無溶劑、輻射固化等低VOCs含量的涂料,水性、輻射固化、植物基等低VOCs含量的油墨,水基、熱熔、無溶劑、輻射固化、改性、生物降解等低VOCs含量的膠粘劑,以及低VOCs含量、低反應活性的清洗劑等,替代溶劑型涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等,從源頭減少VOCs產(chǎn)生。工業(yè)涂裝、包裝印刷等行業(yè)要加大源頭替代力度;化工行業(yè)要推廣使用低(無)VOCs含量、低反應活性的原輔材料,加快對芳香烴、含鹵素有機化合物的綠色替代。企業(yè)應大力推廣使用低VOCs含量木器涂料、車輛涂料、機械設備涂料、集裝箱涂料以及建筑物和構筑物防護涂料等,在技術成熟的行業(yè),推廣使用低VOCs含量油墨和膠粘劑,重點區(qū)域到20(二)全面加強無組織排放控機聚合物材料等)儲存、轉移和輸送、設備與管線組件泄漏、敞開液面逸散以及工藝過程等五類排放源實施管控,通過采取設備與場所密閉、工藝改進、廢氣有效收集等措施,削醇、丙酮、乙瓶裝,運輸密項目使用的異丙醇、乙醚等密閉遵循“應收盡收、分質收集”的原則,科學設計廢氣收集系統(tǒng),將無組織排放轉變?yōu)橛薪M織排放進行控制。采用全密閉集氣罩或密閉空間的,除行業(yè)有特殊要求外,應保持微負壓狀態(tài),并根據(jù)相關規(guī)范合理設置通風量。采用局部集氣罩的,距集氣罩開口面最遠處的VOCs無組織排放位置,控制風速應不低于項目基片清洗設備上方安裝集氣罩收集揮發(fā)性有速應不低于0.3建設適宜高效的治污設藝,提高VOCs治理效率。低濃度、大風量廢氣,宜采用沸石轉輪吸附、活性炭吸附、減風增濃等濃縮技術,提高VOCs濃度后凈化處理;高濃度廢氣,優(yōu)先進行溶劑回收,難以回收的,宜采用高溫焚燒、催化燃燒等技術。油氣(溶劑)回收宜采用冷凝+吸附、吸附+吸收、膜分離+吸附等技術。低溫等離子、光催化、光氧化技術主要適用于惡臭異味等治止采用水或水溶液噴淋吸收處理。采用一次性活性炭吸附技術的,應定期更換活性炭,廢舊活性炭應再生或處理處置。有條件的工業(yè)園區(qū)和產(chǎn)業(yè)集群等,推廣集中噴涂、溶劑集中項目基片超聲清二級活性炭吸附定期更換活性炭,廢活性炭委托有資質單位處規(guī)范工程設計。采用吸附處理工藝的,應滿足《吸附法工業(yè)有機廢氣治理工程技術規(guī)范》要求。采用催化燃燒工藝的,應滿足《催化燃燒法工業(yè)有機廢氣治理工程技術規(guī)范》實行重點排放源排放濃度與去除效率雙重控制。車間或生產(chǎn)設施收集排放的廢氣,VOCs除確保排放濃度穩(wěn)定達標外,還應實行去除效率控制,去除效率不低于80%;采用的原輔VOCs初始排放清洗設備上方安經(jīng)二級活性炭吸附裝置處理(處實施精細化管控。推行“一廠一策”制度。加強企業(yè)運行管理。企業(yè)應系統(tǒng)梳理VOCs排放主要環(huán)節(jié)和工序,包括啟停機、檢維修作業(yè)等,制定具體操作規(guī)程,落實到具體責任人。健全內(nèi)部考核制度。加強人員能力培訓和技術交流。建立管理臺賬,記錄企業(yè)生產(chǎn)和治污設施運行的關鍵參數(shù),在線監(jiān)控參數(shù)要確項目將于建成投度,建設單位并制定完善的操作等內(nèi)容。表1.9項目與《揮發(fā)性有機物污染防治技術政策鼓勵使用通過環(huán)境標志產(chǎn)品認證的環(huán)保型涂料、油墨、項目使用的清洗劑、膠合劑均將采購通過環(huán)境標志產(chǎn)品認證的環(huán)淘汰以三氟三氯乙烷、甲基氯仿和四氯化碳為清洗劑或項目不采用三氟三氯乙烷、甲基氯仿和四氯化碳為清洗劑或溶劑溶劑的生產(chǎn)工藝。清洗過程中產(chǎn)生的廢溶劑宜密閉收集,有回收價值的廢溶劑經(jīng)處理后回用,其他廢溶劑應含VOCs產(chǎn)品的使用過程中,應采取廢氣收集措施,提高廢氣收集效率,減少廢氣的無組織排放與逸散,并對鼓勵企業(yè)自行開展VOCs監(jiān)測,并及時主動向當?shù)丨h(huán)保表1.10項目與《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》(GB37822-2019)符合VOCs物料應儲存于密閉的容器、包裝袋、儲罐、儲庫、料倉中,放于等給料方式密閉投加。無法密閉投加的,應在密閉空間內(nèi)操作,或進行VOCs物料應采用氣力輸送方式或采用密閉固體投料器等給料方式密閉投加。無法密閉投加的,應在密閉空間內(nèi)操作,或進行局部氣體收集,廢氣應排至除塵設施、VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)。c)VOCs物料卸無法密閉的,應采取局部氣體收集措施,廢品柜內(nèi)?;逑丛O備上方安裝集氣罩收集揮發(fā)性有機物(以非甲烷總烴表征)再經(jīng)二級活性炭吸附裝置凈化(處理效率84%)統(tǒng)基片清洗設備上方安裝集氣罩收集揮發(fā)性有機物,收集廢氣再經(jīng)二級活性炭吸附裝置凈氣收集處理系統(tǒng)應與生產(chǎn)工藝設備同步運行,項目揮發(fā)性有機物(以非甲烷總烴表征)排放滿足《大氣污染物綜合排放標準》業(yè)監(jiān)測制度,制訂監(jiān)測方案,對污染物排放狀況及其對周邊環(huán)境質量的本次評價制定相應監(jiān)測方案,并要求企業(yè)按對照《遼寧省人民政府關于印發(fā)遼寧省大氣污染防治行動計劃實施方案的通知》(遼政發(fā)〔2014〕8號)(以下簡稱遼寧省“氣十條”)、《遼寧省人民政府關于印發(fā)遼寧省水污染防治工作方案的通知》(遼政發(fā)〔2015〕79號)(以下簡稱遼寧省“水十條”)、《遼寧省人民政府關于印發(fā)遼寧省土壤污染防治工作方案的通知》(遼政發(fā)〔2016〕58號)表1.11項目與遼寧省“水十條、氣十條、土十條“水十條、氣十條、土十條”要求氣十條(三)11.嚴控“兩高行業(yè)”新增產(chǎn)能。嚴格落實國家高能耗、高污染和資源性行業(yè)準取經(jīng)濟、技術、法律和必要的行政手段,提前一年完成鋼鐵等21個重點行業(yè)的全省“十二五”落后產(chǎn)能淘汰任務。項目不屬于落后產(chǎn)能,屬于鼓勵結構和規(guī)模,重大項目原則上布局在優(yōu)化開發(fā)區(qū)和重點開發(fā)區(qū)。加強產(chǎn)業(yè)政策在產(chǎn)業(yè)轉移過程中的引導與約束作用,嚴格限制在生態(tài)脆弱或環(huán)境敏感地區(qū)建設“兩高”建設位置不屬于生態(tài)脆弱或環(huán)境敏感地區(qū),符合規(guī)劃產(chǎn)業(yè)布局要塵和揮發(fā)性有機污染物納入總量控制管理。沈陽市新建火電、鋼鐵、石化、水泥、有色金屬冶煉、化工等六大行業(yè)以及燃煤鍋爐項目,要執(zhí)行大氣污染物特別排放限值。對未能通過能評、環(huán)評審查的項目,有關部門不得審批、核準、備案,不得提供土地,不得發(fā)放生產(chǎn)許可證、安全生產(chǎn)許可證,不得供水供電,金融機構不得提項目生產(chǎn)過程產(chǎn)生揮發(fā)性有機推進綠色施工,強化封閉圍擋、裸露土方覆蓋、進出車輛沖洗、材料堆放遮蓋等環(huán)節(jié)管控,在城市市區(qū)內(nèi)的主要施工工地出口、料堆等易產(chǎn)生揚塵的位置,安裝視頻項目施工期將加強施工揚塵整治,采取圍擋、定期灑水降塵等水十條比例的水域面積,新建項目一律不得違規(guī)占用水域。基本完成國有河湖管理范圍和水利工程管理保護范圍劃定,依法依規(guī)逐步確定管理范圍內(nèi)的土地使用權屬。環(huán)保、水利、海洋漁業(yè)、國土資源等部門在編制生態(tài)保護、水利發(fā)展、海洋漁業(yè)發(fā)展、土地利用等相關規(guī)劃時,密切配合,做好銜接,按照有關法律法規(guī)和技術標準要求,將海洋岸線生態(tài)脆弱敏感區(qū)域、海洋資源超載區(qū)域,河道管理范圍內(nèi)的城市河道、水域保護區(qū)域納入規(guī)劃紅線管控范圍,制定項目占地為工業(yè)用地,不涉及水土十條(五)16.防范建設用地新增污染。排放重點污染物的建設項目,在開展環(huán)境影響項目酸堿中和池、危廢間做重點糞池、測控車間固廢庫房、光學車間固廢庫房做一般防滲措施,(9)與沈陽市人民政府關于實施“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控的意見(沈政發(fā)〔2021〕10號)符合性分析,詳見表1.12項目與沈陽市人民政府關于實施“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控的意見(沈政發(fā)〔2021〕10號)符合性分析項目位于渾南東湖街道,位于渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園根據(jù)劃定環(huán)境管控單元的類型特征,從空間布局約束、污染物排放管控、環(huán)境風險防控和資源利用效率四方面制定針對性的生態(tài)環(huán)境準入要求,建立“l(fā)+N”生態(tài)環(huán)境準入清單管控體系“1”為境保護優(yōu)先為原則,禁止或限制大規(guī)模、高強度的工業(yè)和城鎮(zhèn)建設,嚴守生態(tài)環(huán)境底線,確保利用效率為重點,人口集中區(qū)以有效降低資源環(huán)境負荷、強化精細化管理為重點;環(huán)境質量超項目位于重點管控單元內(nèi),項目運營期各項污染物在采取相應的環(huán)保措施表1.13項目與沈陽市生態(tài)環(huán)境準入清單單元名稱ZH2101122東湖街道設,強化城中村、老舊城區(qū)和城鄉(xiāng)結合部污水截流、收集,現(xiàn)加快實施雨污分流改//0023GB39731-2020、ZH21011220026求,禁止淘汰類和限制類的項成區(qū)、地級市及以上城市規(guī)劃區(qū)除熱電聯(lián)產(chǎn)以外的燃煤發(fā)電項目和大氣污染防治重點控制區(qū)除“上大壓小”和熱電聯(lián)產(chǎn)以萬千瓦以上超超臨界機組,平能源供熱的區(qū)域內(nèi),不得建設燃煤或生物質燃料鍋爐。城市建成區(qū)的改建生物質燃料鍋爐市建成區(qū)原則上不再新建每小時40噸/小時及以下的燃煤鍋放建設項目要嚴格執(zhí)行(行業(yè)、國家或省級)排放標準,加強無組織排放控制,制定《揮發(fā)性有機物無業(yè)執(zhí)行“一廠一策”管/“一廠一策”制度;表1.14項目與遼寧省“十三五“揮發(fā)性有機物污染防治與削減工作實施方案相符性分析產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃、以及土地、環(huán)保、質量、安全、能耗等要求,制定“散亂污”企業(yè)劃范圍內(nèi),符合產(chǎn)業(yè)政排放,不屬于“散亂污”。業(yè)涂裝、包裝印刷等高VOCs排放建設項目的環(huán)保準入門檻,實行嚴格的控制措施。未納入《石化產(chǎn)業(yè)規(guī)劃布局方案》的新建煉化項目一律不得建設。新建涉VOCs含量的原輔材料,加強廢氣收集藥行業(yè)加快生物酶合成法等技術開發(fā)推廣;橡膠制品行業(yè)推廣采用串聯(lián)法混煉、常壓連續(xù)脫硫工藝。涂料、油墨、染料制造行業(yè)推廣使用密閉化生產(chǎn)裝備。采取密閉生產(chǎn)工藝,推廣使用無泄漏、低泄漏設備,采用先進的物料輸送、分離設備和進出料方式,封閉所有不必要的開口,盡可能提高設備的密閉性和自動化水表1.15項目與《2020年揮發(fā)性有機物治理攻堅方案》制過二級活性炭吸附后經(jīng)15m高 采用活性炭吸附技術的,應選擇碘值不低于800毫克/克的活性表1.16項目與《遼寧省深入打好污染防治攻堅戰(zhàn)實施方案》相展項目冬季供暖采用地源熱泵供實施揮發(fā)性有機物原輔材料源頭替代行動。完善揮發(fā)性有機物產(chǎn)品標準體項目光學車間基片清洗廢氣經(jīng)集氣罩收集后通過二級活性炭吸附建設內(nèi)容藝歸口單位。為實現(xiàn)擴充研發(fā)與生產(chǎn)空間,擴大科研規(guī)模,形成新的產(chǎn)業(yè)布局,實現(xiàn)快速發(fā)展,沈陽儀表科學研究院有限公司計劃將沈陽儀表科學研究院有限公司(大東廠區(qū))與沈陽儀表科學研究院有限公司(高科路廠區(qū))搬遷至根據(jù)《中華人民共和國環(huán)境影響評價法》、《建設項目環(huán)境保護管理條例》、《建設項目環(huán)境影響評價分類管理名錄》等有關規(guī)定,企業(yè)研發(fā)產(chǎn)品類序號別123456//在接受委托后,我公司選派環(huán)評技術人員趕赴現(xiàn)場進行實地踏勘,并收集了建設項目及其它有關資料,根據(jù)國家有關法律、法規(guī)、政策、環(huán)境影響評價技術測器10臺,劃片機150臺,同時對外承擔鋼筋混凝土結構,占地面積5023.6m2,建筑面積8588m2,南主要對外承擔儀表元器件、傳感器質量檢驗、檢測、鑒定活構,占地面積5580.06m2,建筑面積13110.65m2,南北寬1條濾光片生產(chǎn)線,1條反光鏡生產(chǎn)線,年產(chǎn)光學薄膜器片建設3#廠房1座(研發(fā)大樓鋼筋混凝土結構,南北寬17.84m,東西長76.44m,占地面積1774m2,建筑面積品固廢20m2定期委托有資質單位處置1臺2臺3只4器套器套5只6本項目原輔材料及能源消耗見表2.4,主要原輔料理化性質詳見表2.5。主1/2/3/4/5/6器/7/8/9////劃/片/機////1片1片1片1年1個1個1年1年1年器1年1年1年1年1年1卷1管1年1管1管1萬1年力器1年1年1年40萬水/////電/////1年無色透明液體,有微弱的特殊氣味,熔點(-2)℃,沸點:158℃;蒸氣壓無色或微黃色發(fā)煙液體,有刺鼻的酸味,熔點(-114.8)℃,沸點:108.6℃;蒸無色透明油狀液體,熔點(℃):10.5;蒸氣壓(KPa0.13/145.8℃;蒸氣密度無色透明液體,刺激性臭味,蒸氣壓(KPa1.59/20℃;相對密度(水=1無色透明有臭味的液體,有刺激性氣味,熔點/凝固點(℃):-35(純);沸點(℃):120(35.3%);閃點(℃):112;蒸氣密度(空氣=11.27(75%,25℃);醚8:1:1無色透明液體,有刺鼻的酸味,蒸氣密度(空氣/無色透明液體,有刺激性氣味,熔點/凝固點(℃):360.4;沸點、初沸點和沸程(℃):1320;相對密度(水=12.04;可溶于水銨102-110;閃點(℃):80℃;爆炸上限%(V/V25%;爆炸下限%(V/V16無色透明易流動液體,特殊性辛辣氣味,熔點/凝固點(℃):-94.9;沸點、初沸點和沸程(℃):56.53;閃點(℃):-20;蒸氣壓(KPa53.32(39.5℃);蒸乙醇、乙醚、氯仿、油類、烴類等多數(shù)有機溶劑;自燃溫度(℃):465著回燃。若遇高熱,容器內(nèi)壓增大,有開裂和爆炸的危險無色透明液體,有特殊香味,熔點/凝固點(℃):-114.5;沸點、初沸點和沸程(℃):78.32;閃點(℃):16;炸上限%(V/V19.0;爆炸下限%(V/V=10.789;溶解性:溶于水、醇、醚、苯、氯仿配系數(shù):<0.28;自燃溫度(℃):363無色透明液體,有煤油氣味,熔點/凝固點(℃):<-73,沸點、初沸點和沸程(℃):40~80;閃點(℃):<-20;爆炸上限%(V/V8.7;爆炸下限%酮無色透明油狀液體,微有胺的氣味,pH值:弱堿性,熔點/凝固點(℃):-24.4;沸點(℃):202;閃點(℃):86;蒸氣壓(KPa21.60;蒸氣密度(空氣=13.4;/外觀與性狀:無色透明液體,有似乙醇和丙酮混合物的氣味。熔點(℃):-88.5;沸點(℃):80.3;相對密度(水=10.79;相對蒸氣密度(空氣=12.07;飽和蒸氣壓(kPa4.40(20℃);燃燒熱(kJ/mo11984.7;臨界溫度點(℃):12;引燃溫度(℃):399;爆炸上限%(V/V12.7;爆炸下限%烷無色液體,沸點>100℃,閃點:閉杯27℃,相對密度(相對水)0.82,動粘滯):):/1臺22臺33/臺24臺15/臺36/臺17/臺18/臺29/臺3/臺3/臺1/臺2/臺4/臺1/臺2/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺5/臺4/臺1/臺4/臺2/臺2/臺8/臺1//套1器/臺3/臺1/臺4/臺2/臺4/臺4/套1/臺4/臺4/臺2/臺1/套5/套5/臺5XDBZ-1000T/臺4/臺1/臺1/臺1/臺3/臺1器/臺4/臺1/臺1/臺1/臺/臺3/臺2/臺/臺2/臺4/臺1/臺2/臺1/臺/臺6/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1//臺1/臺1NTH200-70A2/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺2/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1/臺1//臺1/臺1/臺1/臺1大變徑內(nèi)檢測器設備(φ762)/臺1漏磁內(nèi)檢測器設備(φ508)/臺1打孔盜油內(nèi)檢測器設備(φ457)/臺1測徑內(nèi)檢測器設備(φ1422)/臺1/臺3//套3//套1//套1序號排放、損耗、循環(huán)及純水量t/a1002003004005006007008009001010000900t/a和池900t/a 洗、腐蝕化學清洗、腐蝕廢水800t/a測控車間純水制備7200t/a劃片沖洗廢水純水0.5t/a0.05t/a測控車間元件清洗9000.5t/a元件清洗廢水純水設備濃水420t/a新鮮水 上夾河污水處理廠基片清洗廢水 耐壓試驗廢水 生活廢水900t/a和池900t/a 洗、腐蝕化學清洗、腐蝕廢水800t/a測控車間純水制備7200t/a劃片沖洗廢水純水0.5t/a0.05t/a測控車間元件清洗9000.5t/a元件清洗廢水純水設備濃水420t/a新鮮水 上夾河污水處理廠基片清洗廢水 耐壓試驗廢水 生活廢水劃片沖洗光學車間基片清洗 純水 光學車間 純水 光學車間純水制備反光鏡清洗廢水 純水設備濃水光學車間反光鏡機加沖洗 光學車間反光鏡機加沖洗反光鏡機加沖洗廢水檢測車間耐壓試驗用水檢測車間氣密試驗用水化糞池說明:測控車間使用的純水電阻率為18MΩ.cm(25℃),濃水量與純水量產(chǎn)生比為1:1;光學車間使用的純水電阻率為14MΩ.cm(25℃),濃水量與純水量////////工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)利用超聲波清洗機超聲波的空化作用和清洗劑(異丙醇、501清洗劑、酸鈉)的清潔脫水作用,實現(xiàn)玻璃表面的高度潔凈,清洗過程產(chǎn)生清洗廢水與),干燥槽:1個,尺寸為340×420×400(L×W×Hmm);通過電加熱干燥,干燥槽內(nèi)的異丙醇揮發(fā)可進一步干燥去除基片表面的水分,干燥槽內(nèi)的異純水純水基片2號純水槽3號純水槽廢水廢水純水純水7號純水槽4號洗劑槽5號純水槽廢水廢水廢水異丙醇純水純水8號純水槽11號脫水槽10號純水槽廢水廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢異丙醇廢水異丙醇異丙醇13號脫水槽12號脫水槽廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:異丙醇廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:異丙醇廢水1號洗劑槽純水純水基片2號純水槽3號純水槽廢水廢水純水純水7號純水槽4號洗劑槽5號純水槽廢水廢水廢水異丙醇純水純水8號純水槽11號脫水槽10號純水槽廢水廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢異丙醇廢水異丙醇異丙醇13號脫水槽12號脫水槽廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:異丙醇廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:異丙醇廢水1號洗劑槽純水、2012B洗劑6號洗劑槽廢水純水9號純水槽廢水異丙醇14號干燥槽廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢異丙醇利用檢測設備(Cary100、Avnspec-2048FFSPU等),對基片進行光譜檢驗,光譜合格基片進行下一步工序,不合格的基片統(tǒng)一收集,暫存光學車間固本過程采用真空鍍膜機(NVC900DA、EPD-1300等)將膜料沉積到玻璃基④利用檢測設備(Cary100、Avnspec-2048FFSPU等),對基片進行光譜檢驗,光譜合格基片進行下一步工序,不合格的基片統(tǒng)一收集,暫存光學車間固利用激光切割機對基片進行切割塑性,切割產(chǎn)生少量的基片廢料,統(tǒng)一收利用擦拭紙、乙醇、乙醚對基片進行擦拭清潔,通過顯微鏡對基片表面進行檢驗,擦拭清潔過程產(chǎn)生揮發(fā)性有機物,不合格的基片統(tǒng)一收集,暫存光學利用試驗箱對基片進行環(huán)境實驗,在不同溫度濕度條件下,對基片進行光譜檢驗,光譜合格基片進行下一步工序,不合格的基片統(tǒng)一收集,暫存光學車膠合過程使用環(huán)氧樹脂膠(AB膠),將多片濾光片半成品粘合在一起,該過程為手動作業(yè)。膠合作業(yè)后期需要進行擦膠作業(yè),采用無塵紙蘸取少量的酒精和乙醚混合溶液擦去多余的膠和灰塵,膠合擦拭過程產(chǎn)生揮發(fā)性有機物及擦封裝作業(yè)是采用環(huán)氧樹脂膠將組合的濾光片粘合在鋁制外殼中,部分采用手工作業(yè),部分采用鏡片自動組裝機(AT-1000)。封裝作業(yè)后期也需要進行擦膠作業(yè),采用無塵紙蘸取少量的酒精和乙醚混合溶液擦去多余的膠和其它污染利用檢測設備(Cary100、Avnspec-2048FFSPU等),對基片進行光譜檢洗劑、2021B清洗劑、純水基片清洗基片檢驗光譜檢驗激光切割固廢:廢基片固廢:廢基片固廢:廢基片鋁制外殼、擦拭紙、乙醇、乙醚環(huán)氧樹脂膠(AB膠、擦拭紙、乙醇、乙醚環(huán)境檢驗膠合封裝成品檢驗包裝入庫廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢基片廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢基片廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢基片洗劑、2021B清洗劑、純水基片清洗基片檢驗光譜檢驗激光切割固廢:廢基片固廢:廢基片固廢:廢基片鋁制外殼、擦拭紙、乙醇、乙醚環(huán)氧樹脂膠(AB膠、擦拭紙、乙醇、乙醚環(huán)境檢驗膠合封裝成品檢驗包裝入庫廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢基片廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢基片廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢基片三氧化二鋁、二氧化硅、五氧化二鈮、氧化鈦、五氧化二鉭、氧化鉿光學鍍膜廢氣:揮發(fā)性有機物廢水:基片清洗廢水固廢:廢異丙醇表面檢驗表面檢驗利用鉆床(Z4120B、Z4116B),使用金剛石鉆頭,在水和石英砂的共同作用下,對反光鏡玻璃毛坯進行鉆孔。毛坯鉆孔主要產(chǎn)生少量的研磨沖洗廢水、利用車床(SZ-M70-800*2),使用金剛石磨頭,在新鮮水沖刷和冷卻的作用下,對反光鏡進行磨削,使反光鏡內(nèi)表面呈拋物面或橢球形。數(shù)控成型主要利用單軸機(PDJ-半軸-10*2),使用鐵質磨頭,在水和石英砂的共同作用下,對反光鏡內(nèi)表面進行粗磨,提高內(nèi)表面的光潔度和面形精確度。該過程主石英砂、新鮮水氧化鈰膜料、新數(shù)控成型數(shù)控精研廢水:研磨沖洗廢水噪聲:機加噪聲廢水:研磨沖洗廢水噪聲:機加噪聲三氧化二鋁、二氧化硅、五氧化二鈮、氧化鈦、五氧化二鉭、氧化鉿成品檢驗毛坯打孔利用拋光機(SP80B),使用拋光布輪,在氧化鈰膜料和新鮮水的共同作用石英砂、新鮮水氧化鈰膜料、新數(shù)控成型數(shù)控精研廢水:研磨沖洗廢水噪聲:機加噪聲廢水:研磨沖洗廢水噪聲:機加噪聲三氧化二鋁、二氧化硅、五氧化二鈮、氧化鈦、五氧化二鉭、氧化鉿成品檢驗毛坯打孔采用超聲波清洗機(NSD-120324SH)利用超聲波的空化作用和洗劑的清潔采用無塵紙蘸取少量的乙醇和乙醚擦拭反光鏡表面,提高反光鏡潔凈度,采用真空鍍膜機(EPD-1300等)將膜料沉積到玻璃基片上,所用原料為三對鍍膜完成的反光鏡進行反光檢驗,檢驗合格產(chǎn)品包裝入庫,檢驗不合格石英砂、新鮮水廢水:研磨沖洗廢水廢水:研磨沖洗廢水固廢:廢石英砂、廢玻璃粉噪聲:機加噪聲501清洗劑、純水磁路、鋼刷定制插接件、線纜定制電路皮碗、萬向節(jié)定制腳輪定制電子元器件定制機加外委元器件程序寫入標準件定制系統(tǒng)調試磁路、鋼刷定制插接件、線纜定制電路皮碗、萬向節(jié)定制腳輪定制電子元器件定制機加外委元器件程序寫入標準件定制系統(tǒng)調試將定制的機械件(磁路、鋼刷、皮碗、萬向節(jié)、腳輪等)與定制的電子件(插接件、線纜、電池、電子元器件等)組裝,項目管道檢測器僅涉及元件組機械裝配出廠檢測根據(jù)目標客戶和市場需求,設計國內(nèi)先進、國際領先的高端裝備,滿足客戶和市場對劃切工藝的需求。應用相應的發(fā)明專利和實用新型專利技術,設計具有核心競爭力的裝備。具體包括機械結構設計、電氣控制設計、激光及光路設計、視覺識別設計、外觀設計等,完成獨有的具有核心技術的產(chǎn)品(裝備)根據(jù)設計好的圖紙,按需采購、加工關鍵零部件,采用外部協(xié)作和直接采購的方式進行,采購、外協(xié)的零部件(激光器、電主軸、導軌、電機、機加工XYZ極軸系底座機加外委機加外委焊接外委名牌外協(xié)入庫檢驗根據(jù)整機裝配工藝圖紙、規(guī)范、標準等,應用專有技術(專利技術)完成XYZ極軸系底座機加外委機加外委焊接外委名牌外協(xié)入庫檢驗應用獨有的軟件著作權,編制設備控制軟件,應用控制軟件完成設備整機的測試和工藝調試,滿足設備自動對準、自動劃切功能和自動上下料的功能。在工藝驗證、設備測試階段,應用專利技術完成相關測試,達到設備出廠標機加外委包裝外售項目檢測車間的檢測服務主要承擔儀表元器件、傳感器檢測活動(包括委托檢驗、鑒定檢測、質量仲裁、質量咨詢等);壓力管道元件(膨脹節(jié)、補償項目檢測車間使用數(shù)字式電動振動試驗系統(tǒng)等設備對儀表元器件、傳感器的基本結構性能,穩(wěn)定性進行檢測篩選,試驗過程中使用數(shù)字多用表對傳感器的電阻輸出值進行監(jiān)控,使用高低溫加濕試驗箱在高溫高濕環(huán)境下考察電子元壓力管道元件(波紋管、補償器、金屬軟管、鋼制管件等)主要試驗環(huán)節(jié)使用直讀光譜儀對元件的材料化學成分進行分析檢驗,使用萬能試驗機對使用膨脹節(jié)綜合性能試驗裝置測量元件剛度,使用載荷傳感器測量元件力對元件進行密封,試驗介質為新鮮自來水,通過壓力表檢測元件耐壓性對元件進行密封,試驗介質為壓縮空氣,將通入壓縮空氣的元件放入水槽將元件安裝到耐火試驗箱內(nèi)實驗臺上,點火試驗,耐火試驗使用液化氣,新鮮水新鮮水新鮮水耐壓試驗尺寸氣密試驗廢水:耐壓試驗廢水廢水:耐壓試驗廢水耐火試驗新鮮水新鮮水新鮮水新鮮水耐壓試驗尺寸氣密試驗廢水:耐壓試驗廢水廢水:耐壓試驗廢水耐火試驗新鮮水尺寸無損檢測材料試驗試驗耐壓試驗疲勞試驗鋼制管件檢測主要工藝流程尺寸無損檢測材料試驗耐壓試驗廢水:耐壓試驗廢水旋轉、套筒、球形補償器檢測主要工藝流程尺寸無損檢測材料試驗扭矩試驗耐壓試驗疲勞試驗廢水:耐壓試驗廢水新鮮水尺寸無損檢測材料試驗耐壓試驗氣密試驗耐火試驗疲勞試驗廢水:耐壓試驗廢水液化氣廢氣:耐火試驗廢氣(?)敏感芯片生產(chǎn)工藝流程清洗過程主要為清除硅片表面雜質,在清洗操作臺上對單晶硅片進行化學清洗,清洗過程使用硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水及純水,清洗工序產(chǎn)生化學清洗廢水、清洗廢氣(氟化物、氨氣、氯化氫、硫酸霧)及廢清洗劑利用高純氧氣,對清洗后的硅片在氧化爐內(nèi)氧化,將硅片在氧化環(huán)境中電加熱到900~1100℃的高溫,在硅片表面上生長一層均勻的氧化硅薄膜;或利用高純氮氣,對清洗后的硅片在氧化爐內(nèi)氧化,將硅片在氧化環(huán)境中電加熱到900~1100℃的高溫,在硅片表面上生長一層均勻的氮化硅薄膜,氧化過程無污光刻電阻是按照設計要求在硅片表面形成精確圖形的過程,在涂膠機上對硅片進行涂膠(使用正性光刻膠),將紫外光通過掩膜版照射到硅片表面(硅片表面附有一層光刻膠薄膜)引起曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生曝光反應;再通過顯影技術(使用顯影液)溶解去除發(fā)生曝光反應的光刻膠,使掩膜版上的圖形被復制到光刻膠薄膜上,利用刻蝕技術將圖形轉移到基片上,再利用剝離液去除光刻完成的硅片在帶有通風櫥的實驗室清洗操作臺上進行化學清洗,清洗過程使用硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水及純水,清洗工序產(chǎn)生化學清洗廢水、清洗廢氣(氟化物、氨氣、氯化氫、硫酸霧)及廢清洗劑(廢硫酸、廢利用高純氮氣、高純氬氣、硼離子注入源在離子注入機上對硅片進行硼離離子注入完成后的硅片在帶有通風櫥的實驗室清洗操作臺上利用超聲清洗機進行化學清洗,清洗過程使用硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水及清洗工序產(chǎn)生化學清洗廢水、清洗廢氣(氟化物、氨氣、氯化氫、硫酸霧)及退火再擴散工序與氧化工序相同,利用高純氧氣或高純氮氣,在氧化爐內(nèi)對硅片進行氧化,將硅片在氧化環(huán)境中電加熱到900~1100℃的高溫,在硅片表面上生長一層均勻的氧化硅薄膜或氮化硅薄膜。退火再擴散過程無污染物排退火再擴散完成后的硅片在帶有通風櫥的實驗室清洗操作臺上進行化學清洗,清洗過程使用硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水及純水,清洗工序產(chǎn)生化學清洗廢水、清洗廢氣(氟化物、氨氣、氯化氫、硫酸霧)及廢清洗劑(廢光刻引線孔是在涂膠機上對硅片進行涂膠(使用正性光刻膠),然后將紫外光通過掩膜版照射到硅片表面(硅片表面附有一層光刻膠薄膜),引起曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生曝光反應;再通過顯影技術(使用顯影液)溶解去除曝光反應的光刻膠,在擴散電阻上開出窗口,為內(nèi)部引線制備留有連接位置,再利用剝離液去除剩余的光刻膠。光刻引線孔過程產(chǎn)生揮發(fā)性有機物、廢顯影液、廢對光刻引線孔完成后的硅片進行電阻檢測,通過顯微鏡監(jiān)測光刻工藝、離將擴散電阻通過所淀積的金屬引出,采用金屬靶材(Cr、Ni、Au、Al)在在涂膠機上對已完成淀積金屬膜的硅片進行涂膠(使用正性光刻膠),將紫外光通過掩膜版照射到的硅片表面(硅片表面附有一層光刻膠薄膜),引起曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生曝光反應;通過顯影技術(使用顯影液)溶解去除發(fā)生曝光反應的光刻膠,使電極形成有規(guī)則圖形,利用鋁蝕刻液將非曝光區(qū)域的金屬膜腐蝕掉,再利用剝離液去除剩余的光刻膠。光刻金屬膜過程產(chǎn)生揮發(fā)性有利用真空合金爐通入高純氮氣,使金屬電極與擴散電阻形成歐姆接觸,電利用氧化爐在900-1100℃的溫度下通入氮氣,在整個元件表面形成一層氮在涂膠機上對硅片正面電路的反面進行涂膠(使用正性光刻膠),將紫外光通過掩膜版照射到硅片表面(硅片表面附有一層光刻膠薄膜)引起曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生曝光反應,再通過顯影技術(使用顯影液)溶解去除發(fā)生曝光反應的光刻膠,刻蝕出硅膜片腐蝕窗口,再利用剝離液去除剩余的光刻膠。反面在膜片腐蝕設備上利用氫氧化鉀溶液對硅片腐蝕后使用石油醚清洗,形成敏感硅膜片,腐蝕清洗過程產(chǎn)生硅片腐蝕廢水,揮發(fā)性有機物、廢氫氧化鉀溶利用自動探針臺對腐蝕后的敏感硅片進行綜合性能測試,標記出合格硅利用劃片機對整個大硅片劃開分成單一小硅片,劃片過程需要使用純水沖利用顯微鏡在手動探針臺上或采用芯片外觀AOI識別設備對芯片進行分揀,不合格芯片(廢芯片)為一般固體廢物,統(tǒng)一收集暫存測控車間固廢庫房(7)傳感器產(chǎn)生工藝流程(高溫壓力傳感器生產(chǎn)工藝與高精度微型壓力傳利用超聲清洗機對燒結座、陶瓷片、壓環(huán)、金屬膜片進行超聲清洗,清洗使用丙酮、乙醇、純水,清洗過程產(chǎn)生揮發(fā)性有機物、上座前清洗廢水與廢清利用氬弧焊機,使用焊錫,通入氬氣保護,將金屬膜片焊接固定,焊接過利用硅油充灌機和真空干燥箱將硅油充灌到焊接完成的傳感器內(nèi),起到保利用手動沖壓臺將封油銷安裝到部件上后,采用氬弧焊機焊接固定,焊接面的硅油,清洗完成后,采用干燥箱進行干燥,清洗干燥產(chǎn)生揮發(fā)性有機物與高純氧氣、高純氮氣硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水、純水高純氧氣、高純氮氣正性光刻膠、正膠顯影液、剝離液硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水、純水高純氮氣、高純氧氣、硼離子注入源光刻電阻硅片離子注入退火再擴散化學清洗氧化 硅片清洗廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢顯影液、廢剝離液廢氣:氟化物、氨氣、氯酸氫、硫酸廢水:化學清洗廢水固廢:廢清洗劑廢氣:氟化物、氨氣、氯酸氫、硫酸廢水:化學清洗廢水固廢:廢清洗劑廢氣:氟化物、氨氣、硫酸霧、氯化氫廢水:化學清洗廢水固廢:廢清洗劑硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水、純水正性光刻膠、正膠顯影液、剝離液高純氮氣、高純氬氣、金屬靶材正性光刻膠、正膠顯影液、剝離液、鋁蝕刻液高純氮氣氮氣化學清洗光刻金屬膜光刻引線孔淀積金屬膜電阻檢測性能中測電極合金表面鈍化廢氣:氟化物、氨氣、氯酸氫、硫酸廢水:化學清洗廢水固廢:廢清洗劑廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢顯影液、廢剝離液廢氣:揮發(fā)性有機物、磷酸霧、硝酸霧、醋酸霧固廢:廢顯影液、廢剝離液、廢鋁腐蝕液正性光刻膠、正膠顯影液、剝離液氫氧化鉀、石油醚、純水純水包裝盒硅片腐蝕性能測試劃片反面光刻芯片分揀入庫發(fā)貨固廢:不合格芯片廢氣:揮發(fā)性有機物廢水:硅片腐蝕廢水固廢:廢石油醚、廢氫氧化鉀溶液廢水:劃片沖洗廢水廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢顯影液、廢剝離液高純氧氣、高純氮氣硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水、純水高純氧氣、高純氮氣正性光刻膠、正膠顯影液、剝離液硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水、純水高純氮氣、高純氧氣、硼離子注入源光刻電阻硅片離子注入退火再擴散化學清洗氧化 硅片清洗廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢顯影液、廢剝離液廢氣:氟化物、氨氣、氯酸氫、硫酸廢水:化學清洗廢水固廢:廢清洗劑廢氣:氟化物、氨氣、氯酸氫、硫酸廢水:化學清洗廢水固廢:廢清洗劑廢氣:氟化物、氨氣、硫酸霧、氯化氫廢水:化學清洗廢水固廢:廢清洗劑硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水、純水正性光刻膠、正膠顯影液、剝離液高純氮氣、高純氬氣、金屬靶材正性光刻膠、正膠顯影液、剝離液、鋁蝕刻液高純氮氣氮氣化學清洗光刻金屬膜光刻引線孔淀積金屬膜電阻檢測性能中測電極合金表面鈍化廢氣:氟化物、氨氣、氯酸氫、硫酸廢水:化學清洗廢水固廢:廢清洗劑廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢顯影液、廢剝離液廢氣:揮發(fā)性有機物、磷酸霧、硝酸霧、醋酸霧固廢:廢顯影液、廢剝離液、廢鋁腐蝕液正性光刻膠、正膠顯影液、剝離液氫氧化鉀、石油醚、純水純水包裝盒硅片腐蝕性能測試劃片反面光刻芯片分揀入庫發(fā)貨固廢:不合格芯片廢氣:揮發(fā)性有機物廢水:硅片腐蝕廢水固廢:廢石油醚、廢氫氧化鉀溶液廢水:劃片沖洗廢水廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢顯影液、廢剝離液硫酸、鹽酸、雙氧水、氫氟酸、氨水、純水化學清洗丙酮、乙醇、純水燒結座、陶瓷片、芯片、DC730、DC1200膜片、壓環(huán)硅油上座前清洗金絲鍵合芯片上座上膜盒保護液充罐封油銷清洗廢氣:揮發(fā)性有機物廢氣:揮發(fā)性有機物廢水:上座前清洗廢水固廢:廢清洗劑廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢汽油性能測試溫度補償廢氣:焊接煙塵膜片焊接丙酮、乙醇、純水燒結座、陶瓷片、芯片、DC730、DC1200膜片、壓環(huán)硅油上座前清洗金絲鍵合芯片上座上膜盒保護液充罐封油銷清洗廢氣:揮發(fā)性有機物廢氣:揮發(fā)性有機物廢水:上座前清洗廢水固廢:廢清洗劑廢氣:揮發(fā)性有機物固廢:廢汽油性能測試溫度補償廢氣:焊接煙塵膜片焊接氬氣、焊錫入庫發(fā)貨測控車間化學清洗、硅片腐蝕、劃片沖洗、元件清洗需使用純水,新鮮水經(jīng)EDI裝置進一步去除陰陽離子后得到純水,測控車間使用的純水電阻率為18新鮮水砂濾罐活性炭罐RO反滲透裝置廢活性炭 純水EDI裝置中間水罐濃水、廢膜濃水、廢膜光學車間基片清洗使用純水,新鮮水經(jīng)砂濾罐與離子交換樹脂過濾后經(jīng)二級新鮮水砂濾罐離子交換樹脂罐RO反滲透裝置廢離子交換樹脂純水純水EDI裝置中間水罐濃水、廢膜濃水、廢膜1234567氣89123456789磷/123456789//與項目有關的原有環(huán)境污染問題沈陽儀表科學研究院有限公司計劃將沈陽儀表科學研究院有限公司大東廠區(qū)與沈陽儀表科學研究院有限公司高科路廠區(qū)搬遷至沈陽市渾南區(qū)渾南東路49-28號。新建生產(chǎn)廠房,根據(jù)市場需求調整生產(chǎn)的產(chǎn)品類型、產(chǎn)品產(chǎn)量,提高生產(chǎn)條理坐標:E123.478936°,N41.劃片機、濾光片、反光鏡、SF6微水傳感器、壓力傳感器及對外承擔儀表元器表2.13沈陽儀表科學研究院有限公司大東廠區(qū)現(xiàn)有項目環(huán)保手續(xù)123/表2.14沈陽儀表科學研究院有限公司大東廠區(qū)生產(chǎn)的產(chǎn)品一覽表1臺2件3件4件55臺6個7個8//溫度傳感器組裝生產(chǎn)灌導熱膠過程中產(chǎn)生少量揮發(fā)性有機物,經(jīng)通風櫥引至廠房外排放。生產(chǎn)濾光片使用的超聲波清洗劑揮發(fā)少量異丙醇,經(jīng)集氣罩收集后采用廠區(qū)管道測試水、傳感器清洗用水等生產(chǎn)廢水與生活污水經(jīng)市政管網(wǎng)進入沈固體廢物主要為濾光片生產(chǎn)過程產(chǎn)生廢異丙維護產(chǎn)生的廢機油、軟水制備的廢離子交換樹脂、空壓機產(chǎn)生的含油廢水為危險廢物,定期委托有資質單位處置;反光鏡生產(chǎn)產(chǎn)生的廢玻璃、濾光片生產(chǎn)過程產(chǎn)2、沈陽儀表科學研究院有限公司渾南高科路廠區(qū)位于沈陽市渾南區(qū)高科路表2.15沈陽儀表科學研究院有限公司高科路廠區(qū)現(xiàn)有項目環(huán)保手續(xù)1表2.16沈陽儀表科學研究院有限公司高科路廠區(qū)生產(chǎn)的產(chǎn)品一覽表1臺2臺沈陽儀表科學研究院有限公司高科路廠區(qū)現(xiàn)有項目噪聲主要來自于生產(chǎn)設廢汽油、廢危化品包裝、軟水制備的廢活性炭為危險廢物,定期委托有資質單位處置,測試或組裝產(chǎn)生的少量不合格產(chǎn)品為一般固體廢物,廠內(nèi)暫存后按一般固根據(jù)《污染地塊土壤環(huán)境管理辦法》(試行)第三條規(guī)定“擬收回土地使用養(yǎng)老機構等公共設施用地的疑似污染地塊和污染地塊相關活動及其環(huán)境保護監(jiān)督管理,適用本辦法”,從事過有色金屬冶煉、石油加工、化工、焦化、電鍍、制革等行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營活動,以及從事過危險廢物貯存、利用、處置活動的用地,變更為居住用地和商業(yè)、學校、醫(yī)療、養(yǎng)老機構等公共設施用地的,需要進行土壤調查;其他類型工業(yè)用地變更為居住用地和商業(yè)、學校、醫(yī)療、養(yǎng)老機構等公共因搬遷前廠區(qū)設有危廢暫存間,暫存廢活性炭、含油廢水、廢機油、廢樹脂、廢酸、廢堿、廢有機溶劑、廢顯影液等危險廢物,故建議完全搬遷前對廠區(qū)區(qū)域環(huán)境質量現(xiàn)狀根據(jù)《環(huán)境影響評價技術導則大氣環(huán)境》(HJ2.2-2018)要求,本次評價收集沈陽市生態(tài)環(huán)境局2021年環(huán)境質量公報中環(huán)境空氣質量監(jiān)測數(shù)據(jù),監(jiān)測項2能區(qū),評價標準執(zhí)行《環(huán)境空氣質量標準》(GB3095-2012)及其修改單二級標PM10NO24PM2.5不滿足《環(huán)境空氣質量標準》(GB3095-2012)及2018年修改單二級標區(qū)域達標計劃:根據(jù)中共遼寧省委、遼寧省人民政府關于印發(fā)《遼寧省深減污降碳協(xié)同增效行動。推動重點行業(yè)落后產(chǎn)能退出,推進鋼鐵、焦化、有色金屬行業(yè)技術升級。加快供熱區(qū)域熱網(wǎng)互聯(lián)互通建設,淘汰管網(wǎng)覆蓋范圍內(nèi)的燃煤鍋爐和散煤。推進工業(yè)窯清潔能源替代,以菱鎂、陶瓷等行業(yè)為重點,開展涉氣產(chǎn)業(yè)集群排查及分類治理。實施清潔取暖攻堅行動。充分發(fā)揮熱電機組和大型熱源廠能力,推進燃煤鍋爐關停整合。在空氣質量未達標的城市城中村、城鄉(xiāng)結合部,因地制宜推進供暖清潔化,有序開展農(nóng)村地區(qū)散煤替代工根據(jù)《建設項目環(huán)境影響報告表編制技術指南》(污染影響類試行“排放國家、地方環(huán)境空氣質量標準中有標準限值要求的特征污染對本項目周邊大氣環(huán)境質量進行監(jiān)測。監(jiān)測因子為非甲烷溫度(℃)晴PM10PM10由上表可知,本項目所在區(qū)域環(huán)境空氣中非甲烷總烴滿足《大氣污染物綜合排放標準詳解》第244頁參考限值;PM10滿足《環(huán)境空氣質量標準》溫度(℃)777由上表可知,項目所在區(qū)域環(huán)境空氣中TSP與氟化物滿足《環(huán)境空氣質量本項目廠界外周邊50m范圍內(nèi)不存在聲環(huán)境保護目標,本次評價不進行聲本項目位于渾南國際新興產(chǎn)業(yè)園內(nèi),用地范圍內(nèi)無生態(tài)環(huán)境保護目標,本本項目不屬于廣播電臺、差轉臺、電視塔臺、衛(wèi)星地球上行站、雷達等電項目測控車間化學清洗使用的硫酸、鹽酸、氫氟酸、氨水,上座前清洗使用過的乙醇、丙酮均在在清洗臺內(nèi)的清洗槽內(nèi)進行;光學車間基片清洗使用的異丙醇在超聲波清洗機內(nèi)的槽體內(nèi)進行;項目使用的危險化學品密閉容器包裝后貯存在車間?;穬?nèi);項目產(chǎn)生危險廢物密閉容器包裝后貯存在危廢間內(nèi)。項目測控車間化學清洗產(chǎn)生含酸、含堿廢水排入酸堿中和池內(nèi)中和后排入園區(qū)污水管網(wǎng)。在項目危廢間、酸堿中和池應做好重點防滲措施的情況下,本項目環(huán)境保護目標本項目位于沈陽市渾南區(qū)渾南東路49-28,東南側為沈陽藍英工業(yè)自動化裝備股份有限公司,西側隔路為沈陽綜合保稅區(qū),南側為沈陽儀表科學研究院有限公司(匯博裝備廠區(qū)),北側為廣德物流和沈陽拓荊科技有限公司。建設項稱容方位/mXYNW污染物排放控制標準施工期揚塵執(zhí)行《遼寧省施工及堆料場地揚塵排放標準》(DB21/2642-項目施工期施工廢水用于施工灑水防塵,不外排。施工人員生活污水排入園區(qū)污水管網(wǎng),COD、氨氮、SS等執(zhí)行《遼寧省污水綜合排放標準》施工期噪聲執(zhí)行《建筑施工場界環(huán)境噪聲排放標準》(GB12523-2011施工期建筑垃圾排放及管理按《沈陽市建筑垃圾處置管理暫行辦法》(沈存和填埋污染控制標準》(GB18599-2020);生活垃圾排放及管理執(zhí)行《沈陽項目光學車間基片清洗廢氣中揮發(fā)性有機物(以非甲烷總烴表征)執(zhí)行表3.9項目大氣污染物有組織排放標準一覽表5電子工業(yè)無行業(yè)廢氣排放標準,項目測控車間化學清洗廢氣中硫酸霧、氟化物、氯化氫及傳感器焊接的顆粒物無組織排放執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)表2新污染源無組織排放監(jiān)控濃度限值;測控車間化學清洗廢氣中氨氣無組織排放執(zhí)行《惡臭污染物排放標準》(GB14554-93)表1二級標準;光學車間膠合、擦拭廢氣、基片清洗廢氣(集氣罩未收集)、測控車間光刻廢氣、腐蝕清洗廢氣、上座前清洗廢氣、芯片上座膠合廢氣、傳感器清洗廢氣中揮發(fā)性有機物(以非甲烷總烴表征)無組織排放廠界濃度執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)表2新污染源無組織排放監(jiān)控濃度限值;無組織排放生產(chǎn)廠房外揮發(fā)性有機物(以非甲烷總烴表征)濃度執(zhí)行烷總烴標準;檢測車間耐火試驗廢氣中氮氧化物、二氧化硫無組織排放執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)表2新污染源無組織排放監(jiān)控表3.10項目大氣污染物無組織排放標準一覽表測控車間元件化學清洗、腐蝕廢水經(jīng)廠內(nèi)酸堿中和池處理后,與經(jīng)化糞池處理的生活污水、光學車間基片清洗廢水、光學車間反光鏡清洗廢水,光學車間反光鏡研磨沖洗廢水、測控車間劃片沖洗廢水、測控車間上座前清洗廢水、檢測車間耐壓試驗廢水、純水制備濃水一同排入園區(qū)污水管網(wǎng),排入上夾河污《電子工業(yè)水污染物排放標準》(GB39731-2020)表1間接排放限值,詳見表序號1pH/2/3/46/789根據(jù)《排污許可證申請與核發(fā)技術規(guī)范電子工業(yè)》(HJ1031-2019)與《電子工業(yè)水污染物排放標準》(GB39731-2020),項目傳感器基準排水量詳見表1本項目廠界四周噪聲排放執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》一般工業(yè)固體廢物貯存執(zhí)行《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標準》(GB18599-2020);危險廢物貯存執(zhí)行《危險廢物貯存污染控制標準》總量控制指標根據(jù)《遼寧省環(huán)境保護廳關于貫徹執(zhí)行環(huán)保部建設項目主要污染物排放總量指標審核及管理暫行辦法的通知》(遼環(huán)發(fā)〔2015〕17號),《建設項目主要污染物排放總量指標審核及管理暫行辦法》(環(huán)發(fā)慮本項目的工藝和排污特點及按照《遼寧省生態(tài)環(huán)境廳關于進一步加強建設項目主要污染物排放總量指標審核和管理的通知》(遼環(huán)綜//施工期環(huán)境保護措施施工期間主要產(chǎn)生的大氣污染物為各種機械設備以及汽車排放的尾氣和施工揚塵,施工揚塵主要包括土方的挖掘揚塵,建筑材料水泥、石灰、砂子等在裝卸、運輸、堆放過程中,混凝土攪拌過程中,因風力作用產(chǎn)生的揚塵;運輸(4)建筑垃圾、工程渣土等在48小時內(nèi)未能清運的,應當在施工工地內(nèi)(5)運輸車輛在除泥、沖洗干凈后方可駛出作業(yè)場所,不得使用空氣壓縮(6)應當使用預拌混凝土或者進行密閉攪拌并采取相應的揚塵防治措施,(7)對工程材料、砂石、土方等易產(chǎn)生揚塵的物料應當密閉處理。在工地(8)在建筑物、構筑物上運送散裝物料、建筑垃圾和渣土的,應當采用密(10)堆場周邊應當配備高于堆存物料的圍擋、防風抑塵網(wǎng)等設施,大型(12)露天裝卸物料應當采取灑水、噴淋等抑塵措施,密閉輸送物料應當(13)施工現(xiàn)場要嚴格落實“所有裸露渣土一律覆蓋,所有運輸?shù)缆芬宦捎彩尽逼邆€百分之百要求。開工前必須做到揚塵治理方案到位、噴霧降塵機到位,并在施工現(xiàn)場明顯位置設置揚塵治理公示牌,公開參建各方揚塵治理負責人姓名、舉報電話等內(nèi)容。工程渣土和建筑垃圾運輸,必須使用具有密閉裝置的專(2)施工人員生活污水經(jīng)臨時旱廁排入園區(qū)污水管網(wǎng),排入上夾河污水處(1)嚴禁夜間(22:00~6:00期間)自由作業(yè),因特殊需要延續(xù)施工時(2)選用低噪聲的作業(yè)機械及施工方法,對產(chǎn)噪較大的設備要進行適當屏(3)為防止建筑工人受噪聲侵害,靠近強聲源的工人應戴上耳塞和頭盔,(4)加強對施工工人的素質教育,以減少施工工人違反操作規(guī)程及工作時施工期固體廢物主要是土石方施工、掃尾工程產(chǎn)生的建筑垃圾和施工人員(1)建設單位應完善施工管理,做到文明施工,加強對建筑垃圾、殘土的管理,裝運殘土要適量,確保沿途不灑漏、不揚塵,運到有關部門指定的填埋(2)對磚塊等廢物,采用一般堆放方法處理,對可再利用的廢料,進行回(3)施工工人產(chǎn)生的生活垃圾應定期由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運處理,以避免對運營期環(huán)境影響和保護措施本項目廢氣主要為光學車間基片清洗廢氣、擦拭膠合廢氣、封裝擦拭廢氣,反光鏡擦拭廢氣、測控車間化學清洗廢氣、光刻廢氣、上座前清洗廢氣、上座前膠合廢氣、傳感器焊接煙塵、傳感器清洗廢氣、檢測車間耐火試驗廢基片超聲波清洗過程,異丙醇揮發(fā)量為0.25L/h。本項目基片清洗時間為量為197kg/a,產(chǎn)生速率0.197kg/h,經(jīng)集氣罩(收集效率90%,風機風量項目使用無塵紙擦拭濾光片與反光鏡使用乙醇與乙醚,產(chǎn)生揮發(fā)性有機其中沾染在無塵紙上的乙醇量為100L,乙醚量為30L;則擦拭后完全揮發(fā)的揮),用25L,根據(jù)《膠粘劑揮發(fā)性有化合物含量》(GB33372-2020)表3膠粘劑揮產(chǎn)生量為1.375kg/a,項目濾光片膠合年工作時間為250h,則產(chǎn)生速率為項目測控車間芯片生產(chǎn)化學清洗使用硫酸、鹽酸、氫氟酸、氨水,參考P——液體蒸汽分壓力(硫酸4.77,鹽酸氫188,氟酸13,氨水F——液體蒸汽液面表面積,項目清洗槽表面經(jīng)計算,清洗過程產(chǎn)生硫酸霧產(chǎn)生速率:0.012kg/h、氯化氫產(chǎn)生速率:項目測控車間光刻工藝過程,紫外光通過掩膜版照射到附有一層光刻膠薄膜的基片表面,引起曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生化學反應,會產(chǎn)生少量的揮發(fā)性有機物,參考全國第二次污染源普查-光學儀器制造,項目光刻工藝揮發(fā)性有機物產(chǎn)生量為0.3322g/kg×原料,本項目正性光刻膠使用量為24L/a,正性光刻度為0.8g/ml,則本項目光刻工藝揮發(fā)性有機物產(chǎn)生量為6.37824g/a,項目光刻項目測控車間光刻金屬膜過程使用鋁蝕刻液(磷酸85%、硝酸70%、冰乙酸35%,8:1:1),年使用量200L,鋁蝕刻液使用過程中會揮發(fā)少量的磷酸利用剝離液去除光刻膠過程會產(chǎn)生少量的揮發(fā)性有機物,項目剝離液(密光刻膠過程揮發(fā)性有機物產(chǎn)生量為51.4kg/a,去光刻膠年工作時間為250h,產(chǎn)項目測控車間腐蝕清洗使用石油醚,項目年使用量為500L(密度0.66g/ml),清洗后廢石油醚產(chǎn)生量為450L,腐蝕清洗產(chǎn)生揮發(fā)性有機物量為33kg/a,項目腐蝕清洗工作時間為75h/a,則揮發(fā)性有機物產(chǎn)生速率為項目測控車間傳感器生產(chǎn)上座前清洗使用乙醇、丙酮,項目年使用乙醇為60L,廢丙酮量60L,則上座前清洗過程產(chǎn)生的揮發(fā)性有機物量為63.08kg/a,上座前清洗年工作時間為300h,產(chǎn)生速率為0.21kg/h,經(jīng)車間通風上座前膠合在常溫下使用DC730與DC1200膠(比重:1.4),年用量性有機物含量,DC730與DC1200膠(有機硅膠)最大揮發(fā)性有機物含量為100g/kg,則產(chǎn)生量為63g/a,項目上座前膠合年工作時間為250h,則產(chǎn)生速率項目測控車間傳感器生產(chǎn)膜片焊接與封油銷焊接采用氬弧焊,焊接過程中會產(chǎn)生少量焊接煙塵,參考全國第二次污染源普查-光學儀器制造,本項目敏感芯片及傳感器焊接顆粒物產(chǎn)生量為0.3044g/kg原料,本項目焊錫年用量為20kg/a,則本項目傳感器生產(chǎn)焊接顆粒物產(chǎn)生量為6.088g/a,項目焊接工序工作項目測控車間傳感器封油后需使用120號汽油對傳感器表面清洗,項目年染物為二氧化硫、氮氧化物,參考《天然氣標準》(GB17820-2018)一類廢氣標準,總硫含量≤20mg/m3,本次計算S取值20,廢氣量考慮過量空氣系數(shù)m3原料。本項目年使用液化氣量為0.3m3,年工作時間2h,則///////////////////////////2//2/本項目光學車間基片清洗采用活性炭吸附法處理清洗廢氣,參考《排污許高度溫度海拔織常溫N41.756747°是/織N41.756787°//////////////////////////////////////N41.755474°///是4是是是是是是是是由上表可知:項目有組織排放的揮發(fā)性有機物(以非甲烷總烴表征)滿足《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-3項目無組織排放顆粒物、二氧化硫、氮氧化物、硫酸霧、氯化氫、氟化物滿足《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-mg/m33););項目非正常工況為光學車間基片清洗廢氣處理二級活性炭吸附裝置檢修或失2參考《排污許可證申請與核發(fā)技術規(guī)范電子工業(yè)》(HJ1031-2019)中自行光學車間基片清洗使用純水,純水用量為4200t/a,清洗廢水排放量為水,純水用量1400t/a,清洗廢水排放量為1260t/a,主要污染物為COD、氨測控車間芯片生產(chǎn)化學清洗、硅片腐蝕使用純水,純水用量為1000t/a,清測控車間劃片沖洗使用純水,純水用量為8000t/a,沖洗廢水排放量為7200t/a,主要污染物為COD、氨氮、SS等;測控車間上座前清洗廢水(傳感器生產(chǎn)用檢測車間耐壓試驗廢水,新鮮水用水量為1200t/a,耐壓試驗廢水排放量為廠區(qū)共有員工419人,根據(jù)《遼寧省行業(yè)用水定額》(DB21/T1237-2020),員工生活用水量為115L/人?d,項目工作時間項目純水制備年用新鮮水量為26401t/a,純水制備產(chǎn)生濃水量為11800.5t/a;主項目傳感器用水量為0.5t/a,排水量為0.45t/a,符合《排污許可證申請與核發(fā)技術規(guī)范電子工業(yè)》(HJ1031-2019)與《電子工業(yè)水污染物排放標準》(GB39731-2020),項目傳感器基準排水量要求(0.2m3/萬只產(chǎn)品×4萬只555洗pH5555pH//合排放標準》(DB21/1627-2008)中表2標準限值;pH、氟化物、LAS排放濃度滿足《電子工業(yè)水污染物排放標準》渾南新區(qū)上夾河污水處理廠位于遼寧省沈陽市渾南區(qū)長白南路與渾南西路之排放標準》(GB18918-2002)中一級A排放標準。本項目限值與《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)表2區(qū)上夾河污水處理廠廢水入廠要求。綜上,項目廢水排放濃度滿足渾南新區(qū)上夾河污水處理廠收水要求,上夾河污水處理廠處理能力可收納處理本項目排放的污水,采用A/O處理工藝處理后的出水水質滿足《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標準》(GB18918-2002)中一級A排放標準。故本項目廢水根據(jù)《排污許可證申請與核發(fā)技術規(guī)范電子工業(yè)》(HJ1031-2019)中自行COD、氨氮、總磷、五日生化需氧量、懸浮物執(zhí)行《遼寧省污水綜合排放標準》LAS、氟化物執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放本項目噪聲源主要包括數(shù)控車床(2臺)、鉆床(2臺)、空壓機(3臺)等,各設備均安裝基礎減震,再經(jīng)過廠房隔),),減模式,預測只計算聲源至受聲點的幾何發(fā)散衰減,不考

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