ESD防靜電控制程序

...wd......wd......wd...深圳市···電子ESD防靜電控制程序文件編號(hào)：目的：本文指在規(guī)定··電子(深圳)內(nèi)部的ESD標(biāo)準(zhǔn)，為公司產(chǎn)品在設(shè)計(jì)、制造、貯存、包裝等各個(gè)環(huán)節(jié)提供明確可靠的ESD技術(shù)支持，從整體上提高公司靜電防護(hù)和控制水平，提高客戶的滿意度。適用范圍：本文適用于··電子(深圳)及其分廠的防靜電控制。本文中的各項(xiàng)要求適用于防靜電敏感區(qū)域。當(dāng)客戶的產(chǎn)品有特殊要求時(shí)，采用客戶要求。職責(zé):3.1.各部門(mén)經(jīng)理負(fù)責(zé)本部門(mén)工作區(qū)域、生產(chǎn)制造過(guò)程中的靜電防護(hù)措施的執(zhí)行。3.2.測(cè)試部負(fù)責(zé)根據(jù)本程序要求實(shí)施防靜電用具的進(jìn)料檢測(cè)和靜電線、接地線、靜電墊等防靜電設(shè)施測(cè)試和記錄以及所有相關(guān)記錄的保存。3.3.ESD防靜電委員會(huì)負(fù)責(zé)制定公司的防靜電措施要求和標(biāo)準(zhǔn)及監(jiān)視執(zhí)行狀況。概要：本文主要從靜電控制的五個(gè)方面(即人員、設(shè)備、物料、方法和環(huán)境)來(lái)論述ESD標(biāo)準(zhǔn)，貫穿了公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、貯存、包裝等各個(gè)環(huán)節(jié)防靜電控制,穿插介紹了防靜電設(shè)施的技術(shù)要求，檢測(cè)方法和作業(yè)指導(dǎo)等內(nèi)容。目錄：靜電敏感區(qū)域的界定。靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電標(biāo)準(zhǔn)。靜電敏感區(qū)域的人員防靜電標(biāo)準(zhǔn)。靜電敏感區(qū)域的防靜電操作方法標(biāo)準(zhǔn)。靜電敏感區(qū)域的工裝,設(shè)備,儀器以及防靜電器材的防靜電標(biāo)準(zhǔn)。常用的檢測(cè)方法。靜電防護(hù)作業(yè)管理指導(dǎo)。附錄A-------ESD相關(guān)術(shù)語(yǔ)。附錄B-------常用的防靜電標(biāo)志。附錄C-------局部靜電敏感器件的靜電敏感電壓。附錄D------引用的標(biāo)準(zhǔn)及參考文獻(xiàn)。附錄E------相關(guān)記錄。附錄F------版本修訂歷史記錄。靜電敏感區(qū)域的界定：靜電敏感區(qū)域確定：ESD敏感器件的生產(chǎn)區(qū)域------生產(chǎn)線等。ESD敏感器件的前加工區(qū)域------前加工房。ESD敏感器件的貯存區(qū)域------庫(kù)房和在線庫(kù)。ESD敏感器件的返修區(qū)域------返修區(qū)及返修工位。ESD敏感器件的老化區(qū)域------老化房。公司的靜電敏感器件：MOS器件、MOS管及MOS集成電路。FET器件、包括場(chǎng)效應(yīng)管和集成電路。TTL器件、包括各種邏輯門(mén)數(shù)字集成電路。AMP放大器、比擬器、調(diào)節(jié)器等模擬集成電路。X-ROM存儲(chǔ)體器件和記憶體器件、包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成電路。CPU微處理器及各種BGA器件。各種二極管、三極管。各種半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件。各種厚膜和薄膜電阻。鉭電解電容。SAW—聲外表波器件。石英、晶振體器件。以上元器件組裝的PCBA板。靜電敏感區(qū)域的標(biāo)識(shí)：靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限應(yīng)該用黃黑相間的斜條紋來(lái)標(biāo)識(shí),線條寬度為5~10CM這兩種斜條紋是專門(mén)用來(lái)標(biāo)識(shí)靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限的,不可作為其它標(biāo)識(shí)用。從靜電敏感區(qū)域的入口處開(kāi)場(chǎng),在明顯處還應(yīng)貼上靜電敏感區(qū)的警示標(biāo)志,該標(biāo)志應(yīng)符合GJB1649的規(guī)定。如圖A:防靜電容器(防靜電周轉(zhuǎn)箱,防靜電元件盒等),元件架和運(yùn)輸車(chē)等器材上應(yīng)有防靜電標(biāo)志,標(biāo)志應(yīng)置于明顯且不易受到磨損的地方。如圖B:圖A圖C圖A圖C黃黑相間的斜條紋靜電敏感區(qū)域警示標(biāo)志圖B防靜電標(biāo)志含有ESSD的圖紙資料,應(yīng)有ESSD標(biāo)志。設(shè)備的外部端口標(biāo)志應(yīng)符合GJB1649中第5.8.3條要求。整機(jī)包裝標(biāo)志應(yīng)符合GJB1649中第5.10條要求。交付文件標(biāo)志應(yīng)符合GJB1649中第5.9.1條要求。靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電標(biāo)準(zhǔn)防靜電工程環(huán)境的設(shè)計(jì)原則：設(shè)計(jì)防靜電工程環(huán)境時(shí),為到達(dá)靜電防護(hù)的要求應(yīng)遵循以下原則:抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生安全、迅速、有效的消除已產(chǎn)生的靜電荷防靜電工作區(qū)應(yīng)按電子元器件靜電敏感度確定防護(hù)所應(yīng)到達(dá)的級(jí)別和程度。一般的要求靜電防護(hù)區(qū)內(nèi)靜電電壓絕對(duì)值應(yīng)小于100V。防靜電區(qū)域應(yīng)標(biāo)明區(qū)域界限并在明顯處懸掛警示標(biāo)志。在防靜電工作區(qū)內(nèi)制止使用易產(chǎn)生靜電荷的電荷源。表一為常見(jiàn)的電荷源:表一類(lèi)別電荷源工作臺(tái)外表油漆或浸漆外表、普通塑料帖面、普通乙烯及樹(shù)脂外表地板塑料及普通地板革、拋光打蠟?zāi)镜匕濉⑵胀ㄒ蚁?shù)脂工作鞋、帽、鞋普通滌綸、合成纖維及尼龍面料、塑料及普通膠第鞋操作工具及設(shè)備普通塑料盒、架、瓶、盤(pán)用品及紙制品、普通泡沫及一般電開(kāi)工具、壓縮機(jī)、噴射設(shè)備、蒸發(fā)設(shè)備等防靜電工程環(huán)境的要求：環(huán)境的溫度和濕度要求：溫度應(yīng)在15℃至30℃之間,濕度應(yīng)在45%至75%之間,環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備溫度計(jì)和濕度計(jì),并按要求做好點(diǎn)檢記錄。如果環(huán)境內(nèi)的空氣過(guò)于枯燥，應(yīng)使用加濕器或其它方法來(lái)滿足濕度要求，但應(yīng)以不對(duì)產(chǎn)品造成有害影響為前提。如果濕度高了應(yīng)該開(kāi)空調(diào)或抽濕機(jī)來(lái)使其滿足要求。溫度計(jì)和濕度計(jì)使用要求:對(duì)溫度、濕度做監(jiān)測(cè)的石英溫濕度儀,必須放置在水平穩(wěn)定的平面上。有溫濕度測(cè)量?jī)x的場(chǎng)所應(yīng)由專人定期檢查石英溫、濕度自動(dòng)儀測(cè)試狀況,并記錄該時(shí)間段的最高和最低值。遇有休息、節(jié)假日等特殊情況,在上班后的第一時(shí)間內(nèi)要檢查石英溫、濕度自動(dòng)記錄儀的記錄情況。發(fā)現(xiàn)溫度、濕度有超標(biāo)應(yīng)立即采取有效措施予以改善,并確認(rèn)超標(biāo)情況是否有對(duì)產(chǎn)品或材料造成損壞,采取的改善措施應(yīng)予以記錄。每月的溫濕度儀記錄的測(cè)試結(jié)果由測(cè)試部歸類(lèi)保存。地板的防靜電要求:為有效地使人體靜電能通過(guò)地板盡快泄漏到大地，除操作人員穿用防靜電服、防靜電鞋外,其先決條件是地板必須具有一定的導(dǎo)電性能,即是防靜電的。這種防靜電地板能泄漏設(shè)備、工裝上的靜電,也能泄漏移動(dòng)操作時(shí)不易使用腕帶的人體靜電。普通地板材料的電阻率都較高，難以泄放人體、工裝、設(shè)備上的靜電。表二為各種地板的泄漏電阻:(單位:Ω)表二地坪材料名稱泄漏電阻地坪材料名稱泄漏電阻石104~109瀝青1011~1013混凝土105~1010聚氯乙烯(貼面)1012~1015一般涂刷地面109~1012導(dǎo)電性水磨石105~107橡膠109~1013導(dǎo)電性橡膠104~108木、木膠合板1010~1013導(dǎo)電性聚氯乙烯107~1011當(dāng)采用地板下布線方式時(shí),可鋪設(shè)防靜電活動(dòng)地板。外表電阻及系統(tǒng)電阻均為1×105Ω~1×109Ω。當(dāng)采用架空布線方式時(shí),應(yīng)采用靜電耗散材料做為鋪墊材料。鋪設(shè)后地板上外表電阻及任一點(diǎn)與地之間的系統(tǒng)電阻值均為1×105Ω~1×109Ω。如果靜電敏感區(qū)域內(nèi)的地板是普通地板,則應(yīng)在普通地板上鋪設(shè)防靜電地墊并要有效接地鋪設(shè)后地墊上外表電阻及任一點(diǎn)與地之間的系統(tǒng)電阻值也為1×105Ω~1×109Ω。制止直接使用木質(zhì)地板或鋪設(shè)毛、麻、化纖地毯及普通地板革。允許使用經(jīng)特殊處理過(guò)的水磨石地面,如事先敷設(shè)地線網(wǎng)、滲碳或在地面噴涂防靜電劑等。防靜電地板的靜電特性定期檢查與維護(hù)保養(yǎng):檢查對(duì)象：防靜電地板。檢查頻率：每半年一次,其中一次應(yīng)在枯燥季節(jié)測(cè)量。檢查指標(biāo)：靜電壓,泄漏電阻和外表電阻率。檢查標(biāo)準(zhǔn)：0.10Kv,5X104Ω~109Ω和1×105Ω/口~1×1010Ω/口。檢查儀器：靜電壓表，萬(wàn)用表和兆歐表。相對(duì)濕度低于30%時(shí)，應(yīng)增加測(cè)量泄漏電阻的次數(shù)當(dāng)電阻比擬大時(shí)可撒少量的水。當(dāng)?shù)匕迳细街薪^緣性的油膜、樹(shù)脂、橡膠和臟污時(shí)，應(yīng)根據(jù)情況定期去除。清掃防靜電地板時(shí)不得使用絕緣性的地板臘。靜電敏感區(qū)域的防靜電保護(hù)接地技術(shù)要求:防靜電系統(tǒng)必須有獨(dú)立可靠的接地裝置,主要技術(shù)要求如下:接地線：也稱為地線母線，防靜電地線專供靜電工程器具和人體泄漏靜電荷使用，不得接在電源零線上，不得與防雷地線共用。接地主干線的截面積應(yīng)不小于100mm2，支干線的截面積應(yīng)不小于10mm2，設(shè)備和工作臺(tái)的接地線采用截面積應(yīng)不小于2.5mm2的敷朔導(dǎo)線，并以黃綠色為宜。防靜電設(shè)備的連接端子應(yīng)確保接觸可靠，易裝拆，允許使用各種夾式連接器，如鱷魚(yú)夾，插頭座等。接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護(hù)接地電阻應(yīng)小于4Ω。地線的埋設(shè)： 埋設(shè)地線的原則是埋設(shè)地點(diǎn)的土壤電阻系數(shù)愈小愈好接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。埋設(shè)地線的本卷須知：接地線與接地線接頭必須焊接結(jié)實(shí)，要有足夠的機(jī)械強(qiáng)度，引線不要過(guò)長(zhǎng)。要采用耐腐蝕的接地體金屬。要保持接地體附近土質(zhì)的質(zhì)量，并不斷采取措施防止接地電阻變大。防靜電地線要與工作地線分開(kāi)埋設(shè)。防靜電地線必須是永久性的。靜電安全作業(yè)區(qū)地線的兩種實(shí)用敷設(shè)方法:從專門(mén)埋設(shè)的地線接地體引出的接地線，單獨(dú)敷設(shè)到生產(chǎn)線的防靜電作業(yè)崗位單獨(dú)敷設(shè)的接地導(dǎo)線通常使用3mm厚，約25mm寬的紫銅皮或用截面大約為4~6平方毫米(mm2)的銅芯軟線單獨(dú)引入。采用三相五線制供電系統(tǒng)中的地線,引入電源零線的同時(shí),方法單獨(dú)引出大地地線作防靜電接地線,工程上稱為“一點(diǎn)引出電阻隔離〞。電源主變電箱到大地的接地電阻應(yīng)小于4Ω。接地線的定期檢查：檢查對(duì)象：所有的接地線及接地端口。檢查儀器：萬(wàn)用表和接地電阻測(cè)試儀。檢查參數(shù)：泄漏電阻(接地電阻)。檢查頻率：每條生產(chǎn)線的主接地線對(duì)通用接地點(diǎn)的接地性能和設(shè)備，工裝及工作臺(tái)等設(shè)施對(duì)生產(chǎn)線主接地線的接地性能應(yīng)每周檢查一次。ESD桌墊、ESD地墊、周轉(zhuǎn)車(chē)、周轉(zhuǎn)架和防靜電環(huán)等設(shè)施的防靜電連接線應(yīng)每月檢查一次。每個(gè)通用接地點(diǎn)對(duì)地的接地性能每6個(gè)月檢查一次。檢查標(biāo)準(zhǔn)：每周檢查的標(biāo)準(zhǔn)：小于4歐。每月檢查的標(biāo)準(zhǔn)：0.9×106Ω~1.1×106Ω。每6個(gè)月的檢查標(biāo)準(zhǔn)：小于4歐。接地線的定期維護(hù)：對(duì)于檢查不過(guò)關(guān)的接地線必須采取措施及時(shí)解決。確保接地線有效接地。對(duì)于生銹的或接觸不好的接地線要及時(shí)更換。對(duì)于松動(dòng)的接地線要重新連接。按接地線相關(guān)規(guī)定進(jìn)展維護(hù)。靜電敏感區(qū)域的人員防靜電標(biāo)準(zhǔn)各類(lèi)人員的防靜電知識(shí)培訓(xùn)要求及職責(zé)：有可能進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人員都應(yīng)承受防靜電知識(shí)培訓(xùn),這既是對(duì)每位員工的根本要求，也是減少靜電危害的根本方法和途徑之一。所有新員工在承受入廠培訓(xùn)時(shí)，必須承受ESD知識(shí)的培訓(xùn)。課程包括至少2小時(shí)的理論知識(shí)培訓(xùn)和簡(jiǎn)要講解本標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容。培訓(xùn)完畢后，由人力資源部組織ESD的考試,合格者才能上崗。所有在職工人和ESD委員、PE部、測(cè)試部、生產(chǎn)部的職員和相關(guān)人員必須每年承受不少于2小時(shí)的ESD知識(shí)再培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括介紹ESD的新技術(shù)，新標(biāo)準(zhǔn)等。在靜電敏感區(qū)域內(nèi)工作的生產(chǎn)人員及與靜電敏感器件有直接或間接接觸(包括靜電感應(yīng))的作業(yè)人員,必須承受ESD根本知識(shí)和防靜電工藝規(guī)程操作要求的培訓(xùn),作為上崗考核的必考內(nèi)容之一?？己瞬缓细裾卟坏冒才旁谟蟹漓o電要求的崗位工作。工藝人員必須承受并通過(guò)ESD較為專業(yè)知識(shí)培訓(xùn),掌握電子工業(yè)產(chǎn)品的防靜電工藝技術(shù),在生產(chǎn)過(guò)程中指導(dǎo)生產(chǎn)作業(yè)人員落實(shí)防靜電措施,并對(duì)他們進(jìn)展靜電防護(hù)日常教育。品質(zhì)控制管理人員必須承受并通過(guò)ESD較為專業(yè)知識(shí)培訓(xùn),熟悉各類(lèi)ESSD的靜電敏感性能及其防護(hù)知識(shí),監(jiān)視防靜電工藝規(guī)程的貫徹執(zhí)行,評(píng)估防靜電工程實(shí)施效果。采購(gòu)部和市場(chǎng)部人員必須承受ESD根本知識(shí)培訓(xùn),熟悉ESSD的品種、型號(hào)、標(biāo)志方法和靜電防護(hù)常識(shí),嚴(yán)格遵守物料或產(chǎn)品在采購(gòu)和運(yùn)輸過(guò)程中靜電防護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)。倉(cāng)儲(chǔ),轉(zhuǎn)運(yùn)人員必須承受ESD根本知識(shí)培訓(xùn),懂得在儲(chǔ)存和轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中防護(hù)ESSD靜電器件及相關(guān)的存放操作要求。檢驗(yàn)和試驗(yàn)人員(包括外購(gòu)件入廠檢驗(yàn)試驗(yàn)和產(chǎn)品檢驗(yàn)人員)必須承受較為ESD專業(yè)知識(shí)培訓(xùn),熟練掌握ESSD的檢測(cè)知識(shí)和防靜電器件的檢測(cè)方法,嚴(yán)格按設(shè)計(jì)技術(shù)文件要求和工藝規(guī)程進(jìn)展檢驗(yàn)和試驗(yàn)。設(shè)備部負(fù)責(zé)防靜電接地和布生產(chǎn)線的人員,應(yīng)承受較為專業(yè)的ESD知識(shí)培訓(xùn),熟悉防靜電接地系統(tǒng)要求,掌握地樁、地線、及其它防靜電設(shè)施的敷設(shè)或安裝。生產(chǎn)管理人員應(yīng)了解ESD根本知識(shí),嚴(yán)格按靜電敏感器件的設(shè)計(jì)文件要求和工藝規(guī)程組織生產(chǎn),并開(kāi)展對(duì)生產(chǎn)員工的靜電防護(hù)日常教育。計(jì)量部門(mén)也應(yīng)了解ESD根本知識(shí),尤其是關(guān)于防靜電儀器的校驗(yàn)知識(shí),要定期調(diào)校防靜電檢測(cè)器材,保證其安全、有效。人體靜電防護(hù)系統(tǒng)：防靜電工作服：防靜電工作服是指為防止靜電荷積累,用防靜電織物作為面料而制成的工作服,樣式有連體式、分體式等。防靜電工作服主要用來(lái)泄放人體高絕緣性能的服裝所產(chǎn)生的靜電或減少人體靜電產(chǎn)生。防靜電工作服的主要技術(shù)指標(biāo)如下表所示:技術(shù)指標(biāo)A級(jí)B級(jí)實(shí)驗(yàn)方法帶電量＜0.6μC/件＜0.6μC/件按GB12014-89附錄A耐洗滌時(shí)間≥33.0h≥16.5h按GB12014-89附錄B所選用面料的主要性能參數(shù)如下所示:等級(jí)指標(biāo)工程ABCD外表電荷密度(μC/㎡)≤1.0≤3.0≤5.0≤7.0外表電阻(Ω)≤105≤107≤109≤1011靜電半衰期(S)≤0.1≤0.5≤1.6≤4.0摩擦靜電壓(V)≤100≤250≤400≤600防靜電服使用要求:應(yīng)根據(jù)所制造或操作的ESSD的靜電敏感度的不同,選用不同等級(jí)的防靜電布料和防靜電工作服。進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員必須按規(guī)定穿防靜電大褂衣,夾克衣或防靜電連體服,嚴(yán)禁穿一般合成纖維工作服。大褂衣和夾克衣可在普通防靜電工作區(qū)域使用。對(duì)于防靜電要求特別高的場(chǎng)所，如無(wú)塵室高精細(xì)電子產(chǎn)品裝聯(lián)車(chē)間或?qū)嶒?yàn)室，作業(yè)人員必須穿連體衣，同時(shí)還需戴上口罩、手套。防靜電衣必須在更衣室更換,不允許在ESD區(qū)域穿或脫防靜電衣。制止在防靜電衣上附加或佩帶與工作無(wú)關(guān)的金屬物品或裝飾品。不能把非防靜電衣的衣領(lǐng)翻出蓋住防靜電衣的衣領(lǐng)防靜電衣的拉鏈拉滿后,須將上下兩顆扣子均扣好非防靜電衣的長(zhǎng)度不能長(zhǎng)過(guò)靜電衣不準(zhǔn)將防靜電衣的袖子挽起不準(zhǔn)將手表、手飾等與工作無(wú)關(guān)的裝飾物品露出防靜電衣外。防靜電大褂衣和夾克衣,應(yīng)保持清潔,工作服的洗滌應(yīng)盡量采用簡(jiǎn)易方法進(jìn)展,要防止受到較強(qiáng)的機(jī)械和化學(xué)操作的洗滌。防靜電工作服應(yīng)在首次穿用前作防靜電性能檢測(cè),只有測(cè)試合格方可投入使用，穿用一定時(shí)期后應(yīng)對(duì)其防靜電性能進(jìn)展復(fù)測(cè),防靜電大褂衣和夾克衣每半年應(yīng)做一次防靜電特性復(fù)測(cè),對(duì)于檢測(cè)不過(guò)關(guān)的防靜電大褂衣和夾克衣應(yīng)停頓使用,更換新的。倉(cāng)庫(kù)在收到新的防靜電衣時(shí)，通知測(cè)試部ESD工程師對(duì)防靜電服的靜電電壓進(jìn)展檢測(cè)。檢測(cè)數(shù)量為抽樣來(lái)料的5％假設(shè)抽樣數(shù)低于2件，則抽取2件。檢測(cè)方法為：用防靜電服的塑料包裝袋快速連續(xù)磨擦防靜電衣的同一部位4～5秒，然后用靜電場(chǎng)表測(cè)試被磨擦部位的靜電電壓，數(shù)值小于等于0.1kv為合格，否則為不合格。如果該批防靜電衣有一件測(cè)試不合格，則拒收。除上述方法外，被抽測(cè)的靜電衣還應(yīng)被洗4小時(shí)后再做以上測(cè)試。如果靜電衣的外表電阻率仍在106-109ohm之間且經(jīng)磨擦后的靜電電壓仍小于等于0.1Kv，則為合格，否則為不合格。防靜電服的檢測(cè)：我們公司目前使用的防靜電夾克衣和防靜電大褂衣，主要是測(cè)試它的摩擦電壓和外表電阻率這兩個(gè)指標(biāo)。檢測(cè)指標(biāo)：外表電阻率和摩擦靜電壓。檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：1*106至1*109Ω/口0.1Kv。檢測(cè)儀器：兆歐表和靜電電壓表。防靜電帽：防靜電帽的相關(guān)規(guī)定請(qǐng)參照防靜電服。防靜電帽應(yīng)正確佩戴，帽沿朝前頭發(fā)不能露出防靜電帽外后腦局部的短細(xì)的頭發(fā)不能超過(guò)防靜電衣領(lǐng)外。防靜電工作鞋：在生產(chǎn)半導(dǎo)體和集成電路的干凈室和超干凈室,以及高精細(xì)電子產(chǎn)品的裝配間等對(duì)防靜電要求較高的場(chǎng)合,作業(yè)人員必須穿防靜電鞋,經(jīng)過(guò)測(cè)試合格后,方可進(jìn)入靜電敏感區(qū)域工作。測(cè)試步驟如下:將轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)拔到左邊“FOOTWEAR〞檔,雙腳站在白色不銹鋼腳板區(qū)域,如以下列圖一。按住“PRESSTOTEST〞鍵,此時(shí),左邊(LEFT)指示即為左腳穿上鞋后的對(duì)地電阻,右邊(RIGHT)指示為右腳穿上鞋后的對(duì)地電阻,如以下列圖二。如綠燈亮則表示電阻合格。圖一圖一圖二防靜電工作鞋每半年應(yīng)做一次防靜電特性檢測(cè),對(duì)于檢測(cè)不過(guò)關(guān)的防靜電工作鞋應(yīng)停頓使用,更換新的。檢測(cè)指標(biāo)：體積電阻率和摩擦靜電壓。檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：0.5*105—1*108Ω和0.10kv。檢測(cè)儀器：體積電阻率—兆歐表,摩擦靜電壓—靜電電壓表。防靜電鞋的使用要求：為使人體有效接地、防止人體和鞋本身帶電，并保證操作者因意外接觸高電壓時(shí)不致受到傷害，除應(yīng)將車(chē)間地面做成防靜電地面以外，操作者還應(yīng)穿用防靜電鞋，而且防靜電鞋必須與防靜電衣配套使用，同時(shí)防靜電鞋底應(yīng)具有使人體與大地構(gòu)成回路的材料和構(gòu)造。穿防靜電鞋時(shí)不得穿襪子，不得另加鞋墊，特別是絕緣性鞋墊不得在鞋底粘貼絕緣膠片或其它涂料。防靜電手套或指套：在對(duì)靜電敏感的工位，如MOS管等敏感器件的裝配工位，操作員工應(yīng)戴上防靜電手套或指套，防靜電手套或指套兼具防腐蝕的功能。在不便使用有繩防靜電腕帶的崗位，如流動(dòng)操作崗位，須使用防靜電手套。定期更換破，舊和臟的防靜電手套和指套。防靜電手套或指套的防靜電特性檢查請(qǐng)參照防靜電服的局部檢查方法。防靜電腕帶：防靜電腕帶是通過(guò)腕帶與皮膚的直接接觸和靜電線接地的方式，將人體皮膚外表靜電泄放掉裝置，由松緊圈和接地組件構(gòu)成。松緊圈的要求是體積電阻率≤100Ωcm接地組件必須串接一定數(shù)值的電阻，以確保操作者意外觸及高電壓時(shí)不致發(fā)生人身傷害。該電阻的選擇原則是，一方面應(yīng)保證操作者在觸及線電壓時(shí)流過(guò)人體的電流不大于5mA，另一方面又要保證人體所帶的靜電能通過(guò)該電阻很快泄放,使皮膚上的靜電壓小于100V，一般該電阻阻值取為106Ω。因無(wú)繩防靜電腕帶的性能對(duì)環(huán)境濕度依賴性太強(qiáng)，制止使用無(wú)繩腕帶建議使用在線報(bào)警防靜電腕帶，因?yàn)樗梢詫?shí)時(shí)監(jiān)控防靜電腕帶與人體皮膚是否實(shí)時(shí)導(dǎo)通，從而保證人體皮膚靜電能及時(shí)釋放掉。每班開(kāi)工前，每位員工都應(yīng)自檢防靜電環(huán)是否正常，并作好記錄，只有測(cè)試合格，才可以進(jìn)入靜電敏感區(qū)域工作，測(cè)試步驟如下:各分廠將靜電環(huán)測(cè)試儀放在廠房入口處，員工每天上班進(jìn)入車(chē)間時(shí)自行測(cè)試及做記錄，各分廠指定責(zé)任人監(jiān)視、檢查測(cè)試結(jié)果并在測(cè)試表的檢查人工程欄簽名確認(rèn)。品質(zhì)部QA檢查員的靜電環(huán)測(cè)試及記錄在相應(yīng)分廠完成，倉(cāng)庫(kù)及IQC員工的靜電環(huán)測(cè)試及記錄在倉(cāng)庫(kù)完成。員工進(jìn)入車(chē)間前應(yīng)首先佩戴好靜電環(huán)，然后將靜電環(huán)上的鍔魚(yú)夾夾住靜電測(cè)試儀的測(cè)試端，用手按下測(cè)試儀上的PUSHON開(kāi)關(guān),如靜電環(huán)正常，則OK指示燈亮(中間的LED亮)如靜電環(huán)阻值太低，則LO指示燈亮(左邊的LED亮)，如靜電環(huán)阻值太高，則HI指示燈亮(右邊的LED亮)。測(cè)試合格者，由佩戴者在靜電環(huán)測(cè)試記錄表上當(dāng)日的編號(hào)處畫(huà)“〞反之，畫(huà)“〞。嚴(yán)禁在測(cè)試時(shí)，將靜電環(huán)拿在手上進(jìn)展測(cè)試。各部門(mén)的責(zé)任人應(yīng)維持測(cè)試秩序并監(jiān)視每位員工的測(cè)試過(guò)程。如有測(cè)試不良的靜電環(huán)，值班責(zé)任人必須對(duì)此靜電環(huán)重新確認(rèn)如經(jīng)過(guò)確認(rèn)后再合格的可正常使用，仍不合格的必須收回更換。記錄表上有不合格的記錄必須有改善行為。測(cè)試記錄由測(cè)試部保存。各線領(lǐng)班和生產(chǎn)主任應(yīng)確保本線員工在需要的崗位都正確佩戴好靜電環(huán)，不能松脫，更不能戴在襪子或袖子上。測(cè)試部負(fù)責(zé)靜電工作的技工每天對(duì)在線員工靜電環(huán)實(shí)際佩戴狀況抽測(cè)一次，抽查人數(shù)為每條生產(chǎn)線總?cè)藬?shù)的10％，抽測(cè)結(jié)果記入靜電環(huán)抽查記錄中。進(jìn)入靜電敏感區(qū)域應(yīng)將防靜電環(huán)連接好，與皮膚完全接觸，保證防靜電環(huán)正常有效的工作。防靜電線的有效長(zhǎng)度是2.5米，在使用防靜電環(huán)的過(guò)程中，不可過(guò)度拉扯而超過(guò)它的有效長(zhǎng)度，不可折斷防靜電線，不可沖洗防靜電環(huán)，拔插時(shí)不可通過(guò)拉防靜電線來(lái)完成，不可在防靜電環(huán)金屬片上加水等，要注意正確使用和妥善保護(hù)好防靜電環(huán)。先戴好防靜電環(huán)，再拿靜電敏感器件ESSD,先放下靜電敏感器件ESSD，再拔防靜電環(huán)。在實(shí)際工作中要注意此順序，要養(yǎng)成這種習(xí)慣。防靜電環(huán)的防靜電連接線的檢查請(qǐng)參照7.3.6規(guī)定。臨時(shí)或外來(lái)人員的防靜電管理：臨時(shí)(外來(lái))人員,包括參觀人員、非本車(chē)間聯(lián)系工作人員、臨時(shí)施工人員(包括電工、修理工、裝飾工等),進(jìn)入防靜電區(qū)域時(shí),必須遵守防靜電區(qū)域和生產(chǎn)過(guò)程的各項(xiàng)防靜電要求。臨時(shí)(外來(lái))人員在參觀或作業(yè)過(guò)程中,不得靠近操作靜電敏感器件的工作人員,也不得靠近或徒手接觸含有靜電敏感器件的在制品或成品。臨時(shí)施工作業(yè)在正常生產(chǎn)時(shí)間內(nèi)要防止瞬時(shí)高壓、瞬時(shí)放電的操作(如電焊、啟動(dòng)電機(jī)、開(kāi)關(guān)高壓電源等)或事前采取防范措施,或安排在非生產(chǎn)時(shí)間內(nèi)施工作業(yè)。防靜電區(qū)域內(nèi)需要進(jìn)展某種維護(hù)、修理作業(yè)時(shí),維護(hù)人員應(yīng)攜帶并使用防靜電維修包,并遵守防靜電區(qū)域的有關(guān)規(guī)定。靜電敏感區(qū)域的防靜電操作標(biāo)準(zhǔn)所有的ESSD(靜電敏感器件)及其部件的操作必須在靜電安全工作臺(tái)上進(jìn)展。進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的所有電子元器件都應(yīng)視為ESSD來(lái)對(duì)待。貯存和運(yùn)輸ESSD及其部件時(shí),應(yīng)妥善進(jìn)展防靜電包裝。拒絕承受未包裝在防靜電容器里的ESSD。所有用非ESD材料包裝的電子元器件都應(yīng)在指定的靜電泄放區(qū)域,經(jīng)過(guò)拆包和靜電泄放處理后，方可用防靜電中轉(zhuǎn)工具將其轉(zhuǎn)到靜電敏感區(qū)域。不允許在靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理非ESD的材料，不允許在非靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理未包裝的ESSD，不允許非ESD的材料與ESSD混放。進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員，都要必須穿好防靜電工作服，必須戴上防靜電環(huán)，腕帶必須與皮膚有良好接觸并將腕帶接入可靠的防靜電接地系統(tǒng)中，防靜電鞋和腳必須與防靜電地板或ESD地墊保持良好接觸，防靜電帽也必須按規(guī)定戴好。重要工位上應(yīng)配備腕帶監(jiān)控器，以隨時(shí)監(jiān)控腕帶是否處于正常狀態(tài)。不得隨意撤除和改變ESSD的封裝，運(yùn)送全過(guò)程應(yīng)在防靜電容器中進(jìn)展，清點(diǎn)也盡可能在原包裝內(nèi)完成。測(cè)試ESSD時(shí)必須遵守加電和去電順序，嚴(yán)禁帶電插拔ESSD。持拿ESSD，應(yīng)持其外殼兩端，嚴(yán)禁人手觸及其引腳或接線片，特別是空懸的輸入端。ESSD器件的引腳或接線片，特別是空懸的輸入端不可放在金屬桌面上，容易引起導(dǎo)通，短路等ESD事件，從損壞ESSD器件。裝配ESSD時(shí)，尤其是MOS管等靜電敏感器件，應(yīng)戴上防靜電手套或指套。清洗ESSD及其部件時(shí)，不得使用塑料刷。不具備防靜電功能的必備工具和用具，應(yīng)放在防靜電桌墊上，并應(yīng)置于離子風(fēng)機(jī)的作用范圍內(nèi)。操作時(shí)應(yīng)盡量減少對(duì)ESSD及其部件的接觸次數(shù)。組裝電子設(shè)備時(shí)，如果需要使用電動(dòng)批，應(yīng)使用有接地線的低壓直流電動(dòng)批。在手工焊接時(shí)，應(yīng)采用防靜電低壓恒溫烙鐵。對(duì)GJB1649規(guī)定的I類(lèi)ESSD焊接，還應(yīng)在拔掉烙鐵電源插頭后進(jìn)展。制止重復(fù)使用ESSD器件包裝管來(lái)包裝ESSD器件。原包裝標(biāo)識(shí)為靜電敏感的元件其散料必須使用防靜電材料盛放和包裝。ESSD器件初始包裝應(yīng)在靜電敏感區(qū)域內(nèi)完成，并要用防靜電材料包裝。完成了初始包裝的ESSD器件進(jìn)展二次包裝時(shí)可以在非ESD區(qū)域內(nèi)完成，也需要防靜電材料。制止使用超過(guò)有效期的防靜電材料來(lái)接觸或包裝ESSD器件。在任何場(chǎng)合均不允許未采取防靜電措施的人員接觸ESSD及其部件。生產(chǎn)過(guò)程中使用的設(shè)備(成型機(jī)、插件機(jī)、波峰焊機(jī)、貼片機(jī)、切腳機(jī)、清洗機(jī)等)必須采取接地等防靜電措施。運(yùn)輸ESSD及其部件時(shí)，應(yīng)將其放入防靜電包裝內(nèi)進(jìn)展，必要時(shí)，應(yīng)用離子風(fēng)機(jī)來(lái)消除在運(yùn)輸過(guò)程中產(chǎn)生的靜電。新布置的生產(chǎn)線或工位等都應(yīng)進(jìn)展ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電材料，包括主料，輔料和包裝材料都應(yīng)進(jìn)展ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電工具等都應(yīng)進(jìn)展ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。靜電敏感區(qū)域的工作臺(tái),工裝,設(shè)備以及防靜電器材的防靜電標(biāo)準(zhǔn)根本防靜電要求:防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、工具、工裝儀器都應(yīng)實(shí)施靜電防護(hù)措施,如接觸元器件的局部應(yīng)使用防靜電材料(體積電阻<109Ω),對(duì)非防靜電材料(外表電阻>1012Ω)應(yīng)采用靜電中和或涂抹防靜電涂液、涂層等其他防護(hù)措施進(jìn)展有效的接地(硬接地軟接地)。防靜電工作臺(tái)的技術(shù)要求：防靜電工作臺(tái)是防靜電工作區(qū)的主要組成局部,下面所示為標(biāo)準(zhǔn)的防靜電工作臺(tái)構(gòu)成圖:電離器防靜電托盤(pán)/盒等防靜電腕帶電離器防靜電托盤(pán)/盒等防靜電腕帶1M歐1M歐1M歐1M歐臺(tái)式工具/儀器臺(tái)式工具/儀器1M歐1M歐大地公共接地點(diǎn)建筑地面防靜電椅防靜電臺(tái)墊防靜電地墊大地公共接地點(diǎn)建筑地面防靜電椅防靜電臺(tái)墊防靜電地墊其中各組成局部的主要技術(shù)要求如下:工作臺(tái)墊和地墊均應(yīng)采用防靜電材料。 防靜電臺(tái)墊和地墊上任意一點(diǎn)的系統(tǒng)電阻和外表電阻均為：1X105Ω~1X109Ω靜電泄放至100V以下的時(shí)間小于1S。防靜電腕帶的泄漏電阻為1X106Ω~1X108Ω，靜電泄放至100V以下的時(shí)間小于0.1S。防靜電工作椅:外表靜電壓不得超過(guò)100V。電離器：在不能有效泄放靜電的場(chǎng)合，可采用電離器通過(guò)電離空氣產(chǎn)生的正負(fù)離子，來(lái)防止和中和在元器件上及其它物體上的電荷積累。要求電離器對(duì)靜電電壓的消除能力大于250V/S。增濕器：當(dāng)相對(duì)濕度較低時(shí)，可恰當(dāng)?shù)氖褂迷鰸衿鳎ㄟ^(guò)恒定的潮濕氣流,防止靜電荷積。但此方法不適于非密封電子元器件。操作時(shí)要注意因濕度增加而導(dǎo)致的有害影響。接地系統(tǒng)：包括限流電阻和連接端子，應(yīng)連接可靠，并具有一定的載流能力。限流電阻阻值的選擇應(yīng)保證漏泄電流不超過(guò)5mA，下限阻值應(yīng)為1MΩ。防靜電工作區(qū)必須有安全可靠的防靜電接地裝置，接地電阻小于4Ω。防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用使用三相五線制供電時(shí)，其地線可以作為防靜電地線。另外，工作臺(tái)面、地墊、其它ESD保護(hù)設(shè)施均應(yīng)通過(guò)限流電阻接至公共地線，腕帶應(yīng)通過(guò)工作臺(tái)頂面接地點(diǎn)與地線連接。工作臺(tái)不能相互串聯(lián)接地，而應(yīng)分別接地。工作臺(tái)的電氣要求:靜電源靜電電位泄放至100V以下的時(shí)間小于1S,靜電防護(hù)操作系統(tǒng)的電阻上限為109ohm防靜電操作系統(tǒng)的泄放電流不得超過(guò)5mA,為此防靜電操作系統(tǒng)的的電阻下限為106ohm絕緣體上的靜電采用電離器中和加以消除。工作臺(tái)的安裝(配置)要求:按照工作臺(tái)面的大小選擇所需的防靜電臺(tái)墊的尺寸。使用異丙基酒精徹底清洗臺(tái)墊下外表(即黑色的一面)。從防靜電臺(tái)墊正面壓下旋鈕接頭(可用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組成的連接點(diǎn)代替),使其穿過(guò)臺(tái)墊和箔帶有(多層箔帶時(shí)應(yīng)保證全部穿過(guò)),以保證電接觸良好。使用異丙基酒精清洗防靜電臺(tái)墊上外表和各組成構(gòu)件。將經(jīng)過(guò)以上準(zhǔn)備好的防靜電臺(tái)墊平整的鋪于工作臺(tái)面上。按操作人員的作業(yè)范圍、確定鋪放臺(tái)墊的面積。將工作臺(tái)置于防靜電地墊上。防靜電工作臺(tái)的接地，使用橫截面不小于2mm2的絞合銅芯軟線或電纜把防靜電臺(tái)墊和地墊分別串聯(lián)1MΩ電阻后連接到地線配置系統(tǒng)上。全部安裝完畢后,對(duì)各參數(shù)指標(biāo)進(jìn)展檢驗(yàn)合格后,方可開(kāi)場(chǎng)使用。防靜電工作臺(tái)接地要求:防靜電工作臺(tái)的臺(tái)墊和地墊,分別串聯(lián)1MΩ+\-10%的電阻接地(即軟接地)。防靜電工作臺(tái)墊和地墊上任意一點(diǎn)與地線配置系統(tǒng)間的電阻為1X106~1X109Ω。接地電纜應(yīng)采用中間無(wú)接頭、且具有足夠的機(jī)械強(qiáng)度。多臺(tái)防靜電工作臺(tái)的接地線不能相互串接。防靜電工作臺(tái)上的測(cè)試儀器、穩(wěn)壓電源、電開(kāi)工具、和電離器等所有外部零件外表、屏蔽面均應(yīng)接地對(duì)地線配置系統(tǒng)電阻值不大于2Ω,所有接地點(diǎn)應(yīng)集中接于一點(diǎn),就近結(jié)實(shí)搭接至地線系統(tǒng)上,穩(wěn)壓電源盡可能遠(yuǎn)離工作臺(tái)。對(duì)載流接地線,應(yīng)使用同軸電纜來(lái)接地和屏蔽。為帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設(shè)備提供的電源插頭座，應(yīng)選用安全型，以使其配接時(shí)工具和設(shè)備的金屬外殼能夠自動(dòng)接地且接地腳要首先接地，斷電時(shí)接地腳最后斷開(kāi)。手工工具的絕緣把，應(yīng)定期用抗靜電劑處理，使其電阻值為1X106~1X108Ω。防靜電工作臺(tái)使用與維護(hù)要求:防靜電工作臺(tái)在日常使用中，必須確保正常接地狀態(tài)。防靜電工作臺(tái)上不允許存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易產(chǎn)生靜電的物品，圖紙、資料等應(yīng)放入防靜電文件袋中。測(cè)量工具使用兆歐表(額定電壓250~500V，量程0~1000MΩ)，測(cè)量臺(tái)墊，地墊，腕帶和接地電纜等的電阻值。使用防靜電劑噴涂工作服、工作椅、工具的絕緣局部，及非導(dǎo)體或非防靜電的塑料容器、椅子坐墊和椅子靠背等。使用中性清洗劑或防靜電劑清潔防靜電臺(tái)墊和地墊。對(duì)所有建筑地板使用防靜電溶液進(jìn)展維護(hù)保養(yǎng)。以上條款必須定期進(jìn)展監(jiān)測(cè)。使用接地電阻測(cè)試儀每半年檢測(cè)一次地線配置系統(tǒng)電阻值，必要時(shí)，在每批此產(chǎn)品投產(chǎn)前檢測(cè)一次。落地設(shè)備的防靜電技術(shù)要求:落地設(shè)備如SMT、波峰焊機(jī)、FT自動(dòng)線、ICT自動(dòng)線、清洗機(jī)、流水線等等應(yīng)采用硬接地，即直接或通過(guò)一個(gè)低阻抗同防靜電地線相連設(shè)備的接地線應(yīng)采用截面積不小于1.25mm2的敷塑導(dǎo)線，接地線顏色以黃綠色線為宜。具有自動(dòng)傳送帶或滾筒式的流水線，線體應(yīng)統(tǒng)一接入大地網(wǎng)，并使線體上任一點(diǎn)與大地的接地電阻均小于4Ω。流水線的自動(dòng)傳送帶應(yīng)使用防靜電材料(外表電阻介于106~109Ω間),并通過(guò)導(dǎo)線或?qū)w與線體連接。流水線的自動(dòng)傳送帶常常通過(guò)金屬的傳送輪接到線體，金屬輪應(yīng)定期清潔而保證皮帶有效接地。流水線體上的工裝板應(yīng)通過(guò)靜電導(dǎo)體與線體連接,到達(dá)與線體等電位。自動(dòng)線體上按作業(yè)崗位需要，設(shè)置接地點(diǎn)，以便操作者能隨時(shí)連接防靜電腕帶。臺(tái)式設(shè)備的防靜電技術(shù)要求:臺(tái)式設(shè)備如元器件成型機(jī)、半自動(dòng)或手工插件機(jī)等應(yīng)通過(guò)臺(tái)墊實(shí)施軟接地，即在放置臺(tái)式設(shè)備的工作臺(tái)面上鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊，并將臺(tái)墊有效接地。工具的防靜電技術(shù)要求:帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設(shè)備提供的電源插頭座,應(yīng)選用安全型。烙鐵等手持工具非電力線外殼局部應(yīng)實(shí)行硬接地防靜電烙鐵的絕緣電阻為1X107~1X108Ω，采用24V低壓供電。防靜電真空吸錫器的泄漏電阻為1X105Ω。防靜電烙鐵的檢查頻率:每月一次。防靜電烙鐵的檢查指標(biāo):交流電壓和泄漏電阻。防靜電烙鐵的檢查儀器:萬(wàn)用表。防靜電烙鐵的檢查部位:烙鐵頭到地的交流電壓和泄漏電阻。防靜電烙鐵的檢查標(biāo)準(zhǔn):分別是<0.5VAC,<10Ω。電動(dòng)批非電力線外殼局部應(yīng)實(shí)行硬接地,也應(yīng)定期檢查:檢查頻率:每月一次。檢查指標(biāo):交流電壓和泄漏電阻。檢查儀器:萬(wàn)用表。檢查部位:電動(dòng)批到地的交流電壓和泄漏電阻。檢查標(biāo)準(zhǔn):分別是<0.5VAC,<10Ω。非防靜電的條碼槍的外殼局部應(yīng)實(shí)行硬接地,應(yīng)定期檢查。檢查頻率:每月一次。檢查指標(biāo):靜電電壓和泄漏電阻。檢查儀器:靜電電壓表和萬(wàn)用表。檢查部位:外殼到地的靜電電壓和泄漏電阻。圖D檢查標(biāo)準(zhǔn):分別是<0.1Kv,<10Ω。圖D對(duì)靜電比擬敏感的產(chǎn)品,建議使用防靜電條碼槍,對(duì)于防靜電條碼槍可以不用定期檢查，如圖D：工裝的防靜電技術(shù)要求：橡膠、塑料、化纖、有機(jī)玻璃等高分子材料都具有很高的電阻率，極易在使用過(guò)程中因接觸-別離、摩擦、碰撞等作用而產(chǎn)生、積累起很強(qiáng)的靜電諸如此類(lèi)在工程中常用的丁基橡膠、ABS塑料、PVC塑料、滌綸等材料都屬工裝慎用材料，對(duì)這些材料必須進(jìn)展防靜電處理或用防靜電材料取代。如果接觸靜電敏感元器件的局部使用了金屬材料,則注意一定要將工裝進(jìn)展軟接地(例如放在防靜電墊上接地)。如果由于特殊原因，工裝上接觸靜電敏感元器件的局部使用了非防靜電材料(外表電阻>1012Ω)，則應(yīng)該采用靜電中和或涂抹防靜電涂液涂層等其他防護(hù)措施。防靜液噴涂作業(yè)要求：在EPA(ESDPROTECTEDAREA)區(qū)域內(nèi)的個(gè)別夾具、工裝、工具等制作材料為非ESD材料，暫時(shí)無(wú)法替代也無(wú)法拿出EPA區(qū)域外，要求進(jìn)展噴防靜電液處理從而到達(dá)防靜電目的。由生產(chǎn)部各工段指派專人對(duì)非ESD材料外表進(jìn)展清理干凈，并在其外表均勻地噴涂一層防靜電液，30分鐘左右，防靜液干爽后，通知ESD工程師測(cè)試確認(rèn)其摩擦后靜電壓應(yīng)小于100V。對(duì)EPA區(qū)域內(nèi)的非ESD材料噴防靜電液的頻率為每月一次。噴完防靜電液后,操作者與確認(rèn)人按附表5的格式進(jìn)展簽名，此表格張貼在不應(yīng)防礙正常使用位置，此表格有效日期為一年，一年后撕毀并貼上新的表格進(jìn)展記錄。靜電敏感區(qū)域的防靜電器材標(biāo)準(zhǔn)：防靜電器材的技術(shù)要求：防靜電器材的配置要求：下表所示為在電子產(chǎn)品生產(chǎn)中的防靜電器材根本配置:配置部位配置工程防靜電器材名稱元器件暫存元器件檢驗(yàn)元器件庫(kù)房設(shè)計(jì)工藝實(shí)驗(yàn)室零部件裝配單板調(diào)測(cè)老化機(jī)房轉(zhuǎn)運(yùn)整機(jī)裝配整機(jī)調(diào)測(cè)維修外場(chǎng)維修包裝發(fā)運(yùn)靜電元件存放架★★★★★★☆靜電標(biāo)示標(biāo)簽★★★★★★☆☆☆☆離子風(fēng)靜電消除器☆☆☆☆☆防靜電腕帶★☆★★★☆★☆☆腕帶監(jiān)視器☆☆☆☆☆防靜電臺(tái)墊★★★★★★☆☆★☆★防靜電地墊☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆防靜電工作鞋★★★☆★★★★★☆★☆★防靜電工作服★★★★★★★★★★★☆★工作手套★★★★★★★★★★★★★防靜電盒(袋)★★★★★★★☆★★★防靜電泡沫墊★★★☆★★★★★★☆★防靜電印制板架★★防靜電周轉(zhuǎn)箱★★★☆☆☆☆☆☆☆防靜電周轉(zhuǎn)車(chē)★★★☆★★★★★★抗靜電劑☆☆☆☆☆★☆防靜電文件袋★★★★★★★★★★☆防靜電維修包(箱)☆注:表中打★者表示必須配置工程，打☆者表示需要時(shí)配置工程或局部區(qū)域配置工程。防靜電器材的技術(shù)要求：各類(lèi)器材的技術(shù)指標(biāo)如下表所示:工程防靜電器材外表電阻值單位:Ω體積電阻值單位:Ω電阻值單位:Ω摩擦電壓?jiǎn)挝?V地墊1X105—1X1091X105—1X108＜100工作臺(tái)墊1X106—1X1091X105—1X108＜100工作臺(tái)面1X106—1X109＜100工作臺(tái)面對(duì)腕帶插孔電阻1X105—1X108工作臺(tái)面對(duì)地系統(tǒng)電阻1X106—1X108工作椅面對(duì)腳輪電阻1X106—1X108工作椅面與靠背電阻1X104—1X108＜100工作服﹑工作帽﹑手套＜100工作鞋底0.5X105—108＜100工位器具及物流傳遞工具1X103—1X1081X103—1X107＜100包裝袋(盒)1X106—1X10101X105—1X109＜100防靜電泡沫墊1X106—1X1010＜100物流車(chē)臺(tái)面對(duì)車(chē)輪系統(tǒng)電阻1X106—1X109腕帶連接電纜電阻0.9-1.1M佩帶腕帶時(shí)系統(tǒng)電阻1M—10M腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻0.5X105—1X108防靜電器材及其使用維護(hù)要求：防靜電臺(tái)墊： 在操作ESSD時(shí)，工作臺(tái)上應(yīng)鋪設(shè)以防靜電材料制成的防靜電臺(tái)墊，使所有與之接觸的ESSD的端子、器具、儀表、人體等都處于同一電位，并通過(guò)適當(dāng)接地使靜電得以迅速泄放。一般的安裝方法是，在臺(tái)墊上裝設(shè)接地端子，用以連接腕帶，同時(shí)墊子通過(guò)適當(dāng)電阻接入接地母線。防靜電地墊： 地墊用于工作崗位不是位于防靜電地面上的情況。防靜電地墊可用防靜電橡膠制作，多采用雙層構(gòu)造，上表層為使用面，操作者站在上面進(jìn)展作業(yè)，下表層為地電阻面，與地面直接、嚴(yán)密接觸。安裝地墊時(shí)，要在其一角裝上供連接地線用的爪扣，并用專用連線與接地母線連接起來(lái)。使用地墊時(shí)必須附有保護(hù)電阻，以防止人體意外觸電。我們公司目前使用的防靜電墊，每6個(gè)月檢測(cè)一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測(cè)試技術(shù)指標(biāo)測(cè)試儀器是兆歐表或外表電阻表。工作椅： 為全面控制人體靜電，操作者所坐的工作椅必須具有防靜電性能。不得使用普通人造革面或塑料面的椅子，不能用木制椅代替防靜電椅。如果椅腿是非金屬材料或有絕緣套腳時(shí)，應(yīng)將防靜電椅面接地。我們公司目前使用的是導(dǎo)電型的防靜電椅，每6個(gè)月檢測(cè)一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測(cè)試技術(shù)指標(biāo)，測(cè)試儀器是兆歐表。防靜電包裝袋： 在靜電敏感器件和印制板的包裝和儲(chǔ)存中，為防止物料與高絕緣包裝袋的摩擦而產(chǎn)生靜電、受到ESD損害，必須使用防靜電包裝袋。同時(shí)，為防止外界強(qiáng)電磁場(chǎng)的干擾與感應(yīng),必要時(shí)，應(yīng)使用具有屏蔽作用的防靜電袋。我們公司目前使用的防靜電包裝袋，每6個(gè)月檢測(cè)一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測(cè)試技術(shù)指標(biāo),測(cè)試儀器是兆歐表。防靜電容器(包括周轉(zhuǎn)箱、元器件存放盒、印制板架等)： 在電子產(chǎn)品生產(chǎn)中,在各工位、各工序間用于傳遞和儲(chǔ)存ESSD和單板的各類(lèi)容器，以及用于產(chǎn)品包裝發(fā)貨的容器，都應(yīng)具備防靜電性能，而不允許使用金屬和普通塑料容器。必要時(shí)，存放部件用的周轉(zhuǎn)箱應(yīng)接地。我們公司目前使用的是耗散型的防靜電容器，每6個(gè)月檢測(cè)一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測(cè)試技術(shù)指標(biāo)，測(cè)試儀器是兆歐表。防靜電周轉(zhuǎn)車(chē)： 轉(zhuǎn)運(yùn)、暫存ESSD或含有ESSD的整、部件產(chǎn)品時(shí)，應(yīng)使用有防靜電性能的周轉(zhuǎn)車(chē)。為保證接地良好，可在車(chē)底加裝接地金屬鏈?zhǔn)褂弥校瑧?yīng)防止導(dǎo)電車(chē)輪脫離地面的情況出現(xiàn)，還應(yīng)作好標(biāo)識(shí)，定期清潔導(dǎo)電輪，一般每周一次。我們公司目前使用的防靜電周轉(zhuǎn)車(chē)，每6個(gè)月檢測(cè)一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測(cè)試技術(shù)指標(biāo)，測(cè)試儀器是兆歐表。靜電消除器(離子風(fēng)機(jī))： 在不能有效泄放靜電的場(chǎng)合，可采用電離器通過(guò)電離空氣產(chǎn)生的正負(fù)離子，來(lái)防止和中和在元器件上及其它物體上的電荷積累。要求電離器對(duì)靜電電壓的消除能力大于250V/s。消除絕緣材料外表的靜電荷應(yīng)使用離子靜電消除器。使用方法:離子風(fēng)扇應(yīng)置于離工作臺(tái)操作區(qū)域300mm--900mm處,將電源插頭插入220VAC插座，順時(shí)針旋轉(zhuǎn)風(fēng)速旋扭，此時(shí)紅色電源指示燈亮表示已啟動(dòng)離子風(fēng)扇,可根據(jù)實(shí)際需要調(diào)節(jié)風(fēng)速大小，當(dāng)將風(fēng)速旋扭調(diào)到'High'位時(shí)表示已到達(dá)最大風(fēng)速另外也可通過(guò)固定支架上指旋固定螺絲調(diào)整風(fēng)扇的傾斜角度。本卷須知:在使用過(guò)程中不可將雜物插入風(fēng)扇內(nèi)部。不可在易燃.可爆炸氣體環(huán)境中使用。在使用過(guò)后應(yīng)將風(fēng)扇旋扭調(diào)置Off處。搬運(yùn)過(guò)程中請(qǐng)輕拿輕放,不可私自折裝此儀器。維護(hù)保養(yǎng):每周用靜電消除器自帶的毛刷，通過(guò)順時(shí)針和反時(shí)針旋轉(zhuǎn)毛刷的式來(lái)清潔該設(shè)備的發(fā)射針，清潔前一定要先拔掉電源線，由測(cè)試部技工負(fù)責(zé)。每月要對(duì)靜電消除器進(jìn)展檢查并作好記錄,由測(cè)試部技工負(fù)責(zé)。如果檢查結(jié)果顯示超標(biāo),應(yīng)送廠家維修。檢查指標(biāo):離子平衡電壓和靜電耗散時(shí)間。檢查儀器:靜電消除器檢測(cè)儀(TREK156K)。檢查頻率:每月一次。檢查標(biāo)準(zhǔn):離子平衡電壓為+/-50V靜電耗散時(shí)間為10S(從1000V耗散到50V的時(shí)間)靜電消除器檢測(cè)儀靜電消除器檢測(cè)儀(TREK156K)圖例:靜電消除器檢測(cè)儀其它防靜電清洗液:在使用時(shí)，應(yīng)先與揮發(fā)性溶劑或水調(diào)配成0.1~0.2%的溶液，然后用涂布、噴霧、浸漬等方法使其附著在塑料制品外外表。在作涂布等處理前，應(yīng)先對(duì)塑料制品的外外表進(jìn)展預(yù)處理，即用水或中性溶劑清理外外表，再置于無(wú)塵室內(nèi)在50℃下枯燥。防靜電毛刷。防靜電海棉。防靜電涂料。防靜電鑷子防靜電膠帶常用的檢測(cè)方法一般要求：測(cè)試依據(jù):按SJ/T10533及SJ/T10630。測(cè)試條件:全部測(cè)試均在生產(chǎn)場(chǎng)地內(nèi)進(jìn)展,環(huán)境溫度15℃~30℃,75%≥相對(duì)濕度≥45%。測(cè)試儀器:測(cè)試儀器包括:非接觸式靜電電壓表、地電阻測(cè)量?jī)x、兆歐表或阻抗測(cè)試儀、萬(wàn)用表、腕帶測(cè)試儀、人體綜合電阻測(cè)試儀、離子風(fēng)機(jī)測(cè)試裝置等。所使用的儀器精度不低于2.5級(jí),均應(yīng)在計(jì)量檢定有效期內(nèi)。允許使用符合測(cè)試要求的類(lèi)似儀表。測(cè)試技術(shù)指標(biāo):工程防靜電器材外表電阻值單位:Ω體積電阻值單位:Ω電阻值單位:Ω摩擦電壓?jiǎn)挝?V防靜電地極接地電阻＜4地面1X105—1X1010＜100地面對(duì)地極母線電阻5X104—1X109墻壁＜400窗簾＜400地墊1X105—1X1091X105—1X108＜100工作臺(tái)墊1X106—1X1091X105—1X108＜100工作臺(tái)面1X106—1X109＜100工作臺(tái)面對(duì)腕帶插孔電阻1X105—1X108工作臺(tái)面對(duì)地系統(tǒng)電阻1X106—1X108工作椅面對(duì)腳輪電阻1X106—1X108椅面與靠背電阻1X104—1X108＜100工作服、工作帽、手套＜100工作鞋底0.5*105—1X108＜100工位器具及物流傳遞工具1X103—1X1091X103—1X108＜100包裝袋(盒)1X106—1X10101X105—1X109＜100物流車(chē)臺(tái)面對(duì)車(chē)輪系統(tǒng)電阻1X106—1X109腕帶內(nèi)外表對(duì)電纜扣電阻＜20K腕帶連接電纜電阻0.9M—1.1M佩帶腕帶時(shí)的系統(tǒng)電阻1M~10M腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻0.5*105—1X108人體綜合電阻1X106—1X108摩擦起電電壓測(cè)試：使用非接觸式靜電電壓表測(cè)量。測(cè)試時(shí)手持枯燥布料(選用純棉或防靜電面料),以頻數(shù)約120次/min,手掌適當(dāng)施加壓力,單向摩擦被測(cè)件某一部位20次,按靜電電壓表使用方法立即接近摩擦部位,觀察儀表顯示數(shù)值,反復(fù)測(cè)試5次取平均值。對(duì)生產(chǎn)場(chǎng)地防靜電設(shè)施進(jìn)展摩擦起電電壓總體效果測(cè)試,包括:地面(地墊)墻壁、窗簾、工作臺(tái)(臺(tái)墊)、工作椅、貨架、工位器、具物流傳遞器具、包裝服(工作帽、手套)、工作鞋等。電阻測(cè)試：防靜電地極：按圖1所示,使用接地電阻測(cè)量?jī)x測(cè)試防靜電地極的接地電阻。測(cè)試步驟:將被測(cè)試地極用導(dǎo)線接于儀器端子E。在一樣直線方向20m、40m潮濕土地處,分別插入電位探測(cè)針及電流探測(cè)針,各接于儀器端子P、C。設(shè)置“倍率盤(pán)〞倍數(shù)。自緩至快搖動(dòng)儀器手柄,到達(dá)約120r/min,調(diào)整“測(cè)量標(biāo)度盤(pán)〞,指針指于零位時(shí),讀數(shù)乘以倍率標(biāo)度,即為接地電阻值。按測(cè)試步驟c、d反復(fù)測(cè)試3~5次取平均值。地面：按圖2所示,劃分測(cè)試網(wǎng)格。按圖3所示,隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)。按GB2828-87中4.8規(guī)定的抽樣程序，將待測(cè)地面全部網(wǎng)格看做樣本大小(批量范圍),以一般檢查水平II,確定樣本大小字碼再用“正常檢查一次抽樣方案〞。以合格質(zhì)量水平(AQL)為6.5,決定抽樣樣本大小字碼,查表得出Ac、Re。按圖4所示,測(cè)試地面外表電阻。極極g以合格質(zhì)量水平(AQL)為10,決定抽樣樣本大小字碼,查表得出Ac、Re。按圖5所示,測(cè)試地面對(duì)地極母線電阻。地墊按圖6a所示,測(cè)試外表電阻。按圖6b所示,測(cè)試體積電阻。工作臺(tái)隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn),每個(gè)工作臺(tái)不得少于3點(diǎn)。按圖6a所示,測(cè)試工作臺(tái)面外表電阻。按圖8所示,測(cè)試工作臺(tái)面對(duì)地系統(tǒng)電阻。工作椅：隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn),每把工作椅不得少于5點(diǎn)。按圖9所示測(cè)試椅面對(duì)腳輪的電阻。按圖10所示,測(cè)試椅面與靠背間電阻。工作鞋：按圖11所示,測(cè)試鞋底體積電阻。工位器具及物流傳遞器具按圖12所示,測(cè)試容器外表電阻和體積電阻。物流車(chē)：按圖13所示,測(cè)試車(chē)臺(tái)面對(duì)車(chē)輪系統(tǒng)電阻。腕帶：按圖14所示測(cè)試腕帶內(nèi)外表對(duì)電纜扣電阻。按圖15所示測(cè)試連接電纜系統(tǒng)電阻：按圖16、17所示用腕帶測(cè)試儀或人體綜合電阻測(cè)試儀腕帶測(cè)試檔測(cè)試佩戴腕帶時(shí)系統(tǒng)電阻：人體綜合電阻：被檢測(cè)人員應(yīng)穿工作服、工作鞋,測(cè)試人體綜合電阻,測(cè)試時(shí)按圖18所示,把綜合電阻測(cè)試儀轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)撥到人體綜合電阻測(cè)試檔進(jìn)展測(cè)試人體綜合電阻。靜電防護(hù)作業(yè)管理指導(dǎo)公司目前的靜電防護(hù)設(shè)施:防靜電臺(tái)墊、防靜電地墊、防靜電地板、防靜電工作臺(tái)、接地系統(tǒng)﹑防靜電工衣、防靜電鞋套、防靜電帽、防靜電指套/手套、防靜電手腕帶、離子風(fēng)扇、防靜電烙鐵、防靜電吸錫器、防靜電周轉(zhuǎn)箱、防靜電周轉(zhuǎn)架、防靜電印制板架﹑防靜電元件存放架、防靜電周轉(zhuǎn)車(chē)、防靜電元件盒、防靜電托盆、防靜電包裝袋、防靜電泡沫墊、防靜電劑、防靜電海綿、防靜電鑷子、防靜電毛刷、腕帶測(cè)試儀、外表電阻測(cè)試儀、靜電壓測(cè)試儀等。防止靜電產(chǎn)生的作業(yè)指導(dǎo):工程組根據(jù)產(chǎn)品的靜電敏感等級(jí)和客戶的要求,提出對(duì)生產(chǎn)場(chǎng)所溫度、濕度、防靜電設(shè)施的要求,由ESD工程師和設(shè)備部采取適當(dāng)措施予以保障。ESD工程師根據(jù)產(chǎn)品的靜電敏感等級(jí)和客戶的要求，選擇具有防靜電性能的設(shè)施，并制定防靜電操作程序。生產(chǎn)部門(mén)必須按公司ESD控制標(biāo)準(zhǔn)來(lái)進(jìn)展防靜電控制,并實(shí)施防靜電操作程序。對(duì)靜電敏感〔ESSD〕產(chǎn)品的生產(chǎn)制造﹑運(yùn)送傳遞、存儲(chǔ)、包裝、拆包裝、檢測(cè)、使用都應(yīng)采取靜電防護(hù)措施。如使用防靜電的周轉(zhuǎn)箱、防靜電的周轉(zhuǎn)架和小車(chē)來(lái)轉(zhuǎn)運(yùn)對(duì)靜電敏感(ESSD)產(chǎn)品，采用防靜電工具如防靜電烙鐵、防靜電吸錫器來(lái)加工對(duì)靜電敏感(ESSD)產(chǎn)品等。生產(chǎn)部門(mén)員工根據(jù)崗位的不同,可選擇佩帶防靜電腕帶、穿戴防靜電服裝、穿戴防靜電鞋及鞋套、佩帶防靜電指套、進(jìn)展離子風(fēng)浴等一種或多種防靜電措施接觸ESSD產(chǎn)品的其他人員也應(yīng)根據(jù)具體情況選擇上述一種或多種防靜電措施。研發(fā)部門(mén)在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)時(shí),應(yīng)盡量采用靜電導(dǎo)體材料和靜電耗散材料。減少和消除靜電荷：設(shè)備部門(mén)負(fù)責(zé)防靜電設(shè)施的正確的接地。測(cè)試部的ESD組負(fù)責(zé)定期檢查﹑抽測(cè)和測(cè)試。生產(chǎn)部門(mén)負(fù)責(zé)日常的自檢。防靜電委員會(huì)定期的抽查和評(píng)審。減少靜電危害:研發(fā)部門(mén)應(yīng)提高產(chǎn)品自身的抗靜電能力,對(duì)于ESSD的組件、器件、模塊、系統(tǒng),應(yīng)進(jìn)展抗靜電防護(hù)設(shè)計(jì),如在必要時(shí)對(duì)敏感部件和敏感器件采用靜電屏蔽措施等。設(shè)備管理部負(fù)責(zé)各種接地系統(tǒng)如雷電保護(hù)、故障保護(hù)、信號(hào)參考、大地電極、防靜電接地等的正確和有效,測(cè)試部的ESD組負(fù)責(zé)定期檢查和測(cè)試接地系統(tǒng)。生產(chǎn)部門(mén)嚴(yán)格按相關(guān)的ESD控制標(biāo)準(zhǔn)和防護(hù)作業(yè)操作規(guī)程執(zhí)行。防靜電委員會(huì)嚴(yán)格靜電防護(hù)的管理。建設(shè)健全責(zé)任制和規(guī)章制度:防靜電委員會(huì)承當(dāng)公司的靜電防護(hù)的管理職責(zé),各相關(guān)部門(mén)、管理人員、技術(shù)人員、工人承當(dāng)相應(yīng)的職責(zé),并有檢查和評(píng)審制度。測(cè)試部ESD組建設(shè)靜電安全事故的分析制度和產(chǎn)品靜電損害機(jī)理的分析制度。測(cè)試部ESD組對(duì)防靜電裝置、防靜電設(shè)施和防靜電工具的防靜電性能建設(shè)定期測(cè)試和檢查的制度。測(cè)試部ESD組﹑工程組、生產(chǎn)部門(mén)、PE部、設(shè)備部和品質(zhì)部等對(duì)生產(chǎn)工藝、設(shè)施、設(shè)備建設(shè)防靜電操作程序。教育與培訓(xùn):由人事部培訓(xùn)中心負(fù)責(zé)組織對(duì)領(lǐng)導(dǎo)者、管理人員、技術(shù)人員和操作人員等不同層次和不同崗位的人員實(shí)施有關(guān)防靜電意識(shí)、知識(shí)、技術(shù)、技能等的培訓(xùn),由ESD工程師負(fù)責(zé)授課,并進(jìn)展認(rèn)可考核。生產(chǎn)部門(mén)在靜電敏感產(chǎn)品上和內(nèi)外包裝上作出靜電敏感的警示標(biāo)識(shí)或符號(hào),設(shè)備部和生產(chǎn)部應(yīng)對(duì)防靜電作業(yè)場(chǎng)所、工作區(qū)作出靜電敏感的特別標(biāo)識(shí)對(duì)關(guān)鍵控制部位必要時(shí)應(yīng)設(shè)靜電電壓超限報(bào)警裝置,以提醒員工做適當(dāng)?shù)奶幚?。?biāo)準(zhǔn)與檢測(cè):根據(jù)ESSD元件的等級(jí),IQC選擇與產(chǎn)品和靜電防護(hù)有關(guān)的必需的靜電檢測(cè)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。IQC對(duì)用于靜電防護(hù)的物料進(jìn)展來(lái)料檢驗(yàn)。測(cè)試部ESD組對(duì)有防靜電要求的工具、器具、服裝、鞋及鞋套、地面、桌椅、工作臺(tái)、工作臺(tái)墊等進(jìn)展定期檢測(cè),對(duì)物業(yè)設(shè)施系統(tǒng)的接地狀況按規(guī)定檢測(cè),使它們保持合格狀態(tài)。測(cè)試部對(duì)儀器設(shè)備的接地狀況進(jìn)展定期檢測(cè),對(duì)防靜電檢測(cè)用的儀器進(jìn)展定期校準(zhǔn)。品質(zhì)部對(duì)產(chǎn)品的靜電敏感度應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進(jìn)展試驗(yàn),并建設(shè)質(zhì)量分析和反響制度,以便生產(chǎn)部門(mén)改良設(shè)計(jì),提高工藝水平。附錄A:ESD相關(guān)術(shù)語(yǔ)本局部規(guī)定了本標(biāo)準(zhǔn)中所使用到的各類(lèi)ESD根基名詞和術(shù)語(yǔ)。13.1電學(xué)、靜電學(xué)根本概念13.1.1.靜電ElectrostaticStaticElectricity一種處于相對(duì)穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。由它所引起的磁場(chǎng)效應(yīng)較之電效應(yīng)可以忽略不計(jì)。(靜電可由物質(zhì)的接觸與別離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化和帶電微附著等物理過(guò)程而產(chǎn)生)。13.1.2.靜電場(chǎng)ElectrostaticField靜電荷在其周?chē)臻g所激發(fā)的電場(chǎng)。它是一種特殊的物質(zhì)，其最根本的特征是對(duì)位于該場(chǎng)中的其它電荷施以作用力。且不隨時(shí)間而改變。13.1.3.靜電位ElectrostaticPotential靜電場(chǎng)的標(biāo)量函數(shù)。其梯度冠以負(fù)號(hào)等于電場(chǎng)強(qiáng)度。靜電其中某點(diǎn)的靜電位值等于把單位正電荷從該點(diǎn)移至無(wú)限遠(yuǎn)處?kù)o電場(chǎng)力所用作的功,它亦等于位正電荷在該點(diǎn)的電位能。13.1.4靜電感應(yīng)ElectrostaticInduction在靜電場(chǎng)響下引起物體上電荷重新分布的現(xiàn)象。13.1.5電阻率Resistivity表征材料導(dǎo)電性能的物理量。其侄數(shù)為電導(dǎo)率。13.2.靜電起電、靜電積聚和靜電消散13.2.1.(靜電)起電(Electrostatic)Electrification使電介質(zhì)或絕緣導(dǎo)體產(chǎn)生靜電荷的過(guò)程。13.2.2.摩擦起電Triboelectrification用摩擦的方法使兩物體分別帶有等值異號(hào)電荷的過(guò)程。13.2.3.沖流起電(流動(dòng)起電)StreamingElectrification液體類(lèi)物質(zhì)與固體類(lèi)物質(zhì)接觸時(shí),在接觸界面形成整體為電中性的偶電層。當(dāng)此兩物質(zhì)作相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí),由于偶電層被別離,電中性受到破壞而出現(xiàn)的帶電過(guò)程。13.2.4剝離起電StrippingElectrification剝離兩個(gè)嚴(yán)密結(jié)合的物體時(shí)引起電荷別離而使兩物體分別帶電的過(guò)程。13.2.5噴射起電InjectionElectrification固體、粉體、液體和氣體類(lèi)物質(zhì)從小截面噴嘴高速噴射時(shí),由于微粒與噴嘴和空氣發(fā)生迅速磨擦而使噴嘴和噴射物分別帶電的過(guò)程。13.2.6吸附起電AttachedElectrification 人體由于吸附場(chǎng)所中的帶電微粒而使之產(chǎn)生靜電的過(guò)程。13.2.7沉降起電SedimentationElectrification各種固體微粒、液體、氣體在相到混合接觸時(shí),由于比重差異發(fā)生沉降,使在不同物質(zhì)交界面上形成的偶電層發(fā)生電荷別離而產(chǎn)生靜電的過(guò)程。13.2.8濺潑起電SplashElectrification濺潑液體時(shí),微小的非濕潤(rùn)液滴落在物體外表并在其界面產(chǎn)生偶電層。由于液滴的慣性滾動(dòng)而發(fā)生電荷別離,使液滴及物體分別帶上不同符號(hào)電荷的過(guò)程。13.2.9噴霧起電(飛沫起電)SprayElectrification射在空間的液體類(lèi)物質(zhì)由于擴(kuò)展分散和別離,使之形成許多微小液霧和新的界面,當(dāng)此偶電層被別離時(shí)而產(chǎn)生靜電的過(guò)程。13.2.10感應(yīng)起電InducedElectrification利用靜電感應(yīng)原理,使導(dǎo)體帶電的過(guò)程。13.2.11破裂起電CrackElectrification固體或粉體類(lèi)物體破裂時(shí)發(fā)生電荷別離,由于正負(fù)電荷平衡受到破壞而產(chǎn)生靜電的過(guò)程。13.2.13碰撞起電CollisionElectrification粉體類(lèi)物體由于粒子與粒子或粒子與固體之間發(fā)生碰撞,形成快速的接觸和別離而產(chǎn)生靜電的過(guò)程。13.2.13滴下起電DroppingElectrification附著在器壁等外的固體外表上的珠狀液體逐漸增大,由于自生形成液滴(或水滴),在墜落脫離時(shí)而產(chǎn)生靜電的過(guò)程。13.2.14極化起電PolarizedElectrification在外電場(chǎng)作用下,由于介質(zhì)極化而使其內(nèi)部及界要上出現(xiàn)束縛電荷的過(guò)程。13.2.15靜電(起電)序列Electrostatic(Electrification)Series根據(jù)兩種物質(zhì)相互接觸時(shí)產(chǎn)生靜電的極性,將各物質(zhì)依次排成的序列(根據(jù)這種序列,前后兩種物質(zhì)接觸時(shí),前者帶正電,后者帶負(fù)電)。13.2.16靜電積聚ElectrostaticAccumulation由于某種起電因素使在電介質(zhì)或絕緣導(dǎo)體上產(chǎn)生電荷的速率超過(guò)電荷的消散速率而在其上呈現(xiàn)同性電荷的積累過(guò)程。13.2.17靜電消散ElectrostaticDissipation帶電體上的電荷由于靜電中和,和靜電泄漏,靜電放電而使之局部或全部消失的現(xiàn)象。13.2.18靜電中和ElectrostaticNeutralization帶電體上的電荷與其內(nèi)部和外部相反符號(hào)的電荷(電子或離子)的復(fù)合而使所帶靜電局部或全部消失的現(xiàn)象。13.2.19靜電泄放ElectrostaticLeakage 將靜電荷安全傳導(dǎo)到大地。13.2.20器件敏感度ElectrostaticSusceptivity 元器件所能承受的靜電放電電壓值。13.2.21靜電敏感器件ElectrostaticSensitivityDevice(ESSD)靜電敏感器件是指對(duì)ESD(ElectrostaticDischarge)的承受能力較低,在制造、運(yùn)送、儲(chǔ)存和測(cè)試等過(guò)程中容易因靜電放電而遭致?lián)p傷的器件。器件對(duì)ESD的承受能力可以用靜電放電敏感度表示，它是指器件所能承受而不至于遭受損壞的最大靜電放電電壓，根本單位是伏(V)。靜電放電敏感元器件可分為兩類(lèi):靜電放電敏感電壓小于或等于1000V的元器件稱為I類(lèi)靜電放電敏感電壓大于1000V但小于或等于4000V的元器件稱為Ⅱ類(lèi)。13.2.22〔荷〕馳豫(緩和)RelaxationTime(ofDischarge)帶電體上的電荷(或電位)消散(或下降)至其初始值的1/e時(shí)所需要的時(shí)間。13.2.23(電荷)半值時(shí)間(半衰期)HalfvalueTime(ofDischarge)帶電體上的電荷(或電位)消散(或下降)至其初始值的一半時(shí)所需要的時(shí)間。13.2.24靜置時(shí)間TimeofRepose在有靜電危險(xiǎn)的場(chǎng)所進(jìn)展生產(chǎn)時(shí),由設(shè)備停頓操作到物料(通常為液體)所帶靜電消散至安全值以下,允許進(jìn)展下一步操作所需要的間隔時(shí)間。13.3靜電放電現(xiàn)象13.3.1靜電放電ElectrostaticDischarge(ESD)當(dāng)帶電體周?chē)膱?chǎng)強(qiáng)超過(guò)周?chē)橘|(zhì)的絕緣擊穿場(chǎng)強(qiáng)時(shí),因介質(zhì)產(chǎn)生電離而使帶電體上的電荷局部或全部消失的現(xiàn)象。13.3.2尖端放電DischargeatSharpPoint在帶電導(dǎo)體曲率半徑很小處所發(fā)生的放電現(xiàn)象。13.3.3電暈放電CoronaDischarge發(fā)生在不均勻的、場(chǎng)強(qiáng)很高的電場(chǎng)中的輝光放電。注:電暈放電時(shí),在電極周?chē)形⑷醢l(fā)光的電暈層。13.3.4輝光放電GlowDischarge當(dāng)電場(chǎng)強(qiáng)度超過(guò)某值時(shí),以發(fā)光形式表現(xiàn)出來(lái)的氣體中電傳導(dǎo)現(xiàn)象。此時(shí),沒(méi)有大的嘶聲或噪聲,也沒(méi)有顯著的發(fā)熱或電極的蒸發(fā)。13.3.5刷形放電BrushDischarge指發(fā)生于帶電量大的絕緣體與導(dǎo)體之間空氣介質(zhì)中的一種放電形式,其放電通道不集中,呈分枝狀。13.3.6火花放電SparkDischarge由于別離兩電極間的空氣或其它電介質(zhì)材料突然被擊穿,使電流急劇上升,電壓急劇下降,引起有瞬間閃光、并有集中通道的短暫放電現(xiàn)象。13.3.7外表放電SurfaceDischarge當(dāng)帶靜電的物體接近接地體而在兩者間發(fā)生放電時(shí),沿帶電體外表產(chǎn)生的發(fā)光放電,呈樹(shù)枝狀。13.3.8對(duì)地電壓VoltagetoEarth 帶電體與大地之間的電位差(令大地電位為零)。13.3.9擊穿電壓BreakdownVoltage 使電介質(zhì)擊穿的最低電壓。13.3.10(靜電)電磁危害ElectromagneticHazard由于靜電放電產(chǎn)生的電磁輻射而對(duì)電子元器件及儀器所產(chǎn)生的有害影響,如電子儀器發(fā)生誤動(dòng)作或故障或電子元器件被擊穿以及發(fā)生靜電噪聲等現(xiàn)象。13.4防靜電材料及制品13.4.1外表電阻率(ρs)SurfaceResistivity沿試驗(yàn)物質(zhì)樣品外表電流方向的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與單位長(zhǎng)度的外表電流之比。其在數(shù)值上等于物質(zhì)外表每單位寬度的電位梯度和電流之比。其中,電位梯度按照材料中電流方向測(cè)量。外表電阻率表征固體介質(zhì)外表的導(dǎo)電能力。13.4.2體積電阻率(ρv)VolumeResistivity沿試驗(yàn)物質(zhì)樣品體積電流方向的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與該處外表密度之比,其在數(shù)值上等于電位梯度與電流密度之比。其中,電位梯度按照物質(zhì)中電流方向測(cè)量。外表電阻率表征固體介質(zhì)內(nèi)部的導(dǎo)電能力。13.4.3靜電保護(hù)材料StaticProtectiveMaterial具有以下一種或多種能力的材料,被稱作靜電保護(hù)材料:限制產(chǎn)生靜電,迅速耗散材料外表或體積上的靜電荷,屏蔽靜電放電、火花放電、靜電場(chǎng)。靜電保護(hù)材料根據(jù)其外表電阻率的大小(或?qū)щ娦?分為導(dǎo)電材料、靜電耗散材料和抗靜電材料。13.4.4導(dǎo)電材料ConductiveMaterial外表電阻率小于或等于105Ω的靜電放電保護(hù)材料。13.4.5靜電耗散材料StaticDissipativeMaterial外表電阻率大于105Ω、小于或等于109Ω的靜電放電保護(hù)材料。13.4.6抗靜電材料Anti-staticMaterial外表電阻率大于109Ω、小于或等于1014Ω的靜電放電保護(hù)材料。13.4.7靜電絕緣材料InsulativeMaterial外表電阻率大于1014Ω的材料。13.4.8導(dǎo)電纖維ConductiveFibre全部或局部使用金屬或有機(jī)物以及防靜電劑等導(dǎo)電材料或亞導(dǎo)電材料纖維的統(tǒng)稱。導(dǎo)電纖維分金屬導(dǎo)電纖維和有機(jī)導(dǎo)電纖維。13.4.9防靜電纖維Anti-staticFibre采用參加防靜電劑的亞電材料制成的纖維。13.4.10導(dǎo)電橡膠(塑料)ConductiveRubber(Plastics)為了降低橡膠(塑料)材料(或制品)的電阻率,在生產(chǎn)工藝中采用某種措施(如摻入導(dǎo)電材料)而制成的橡膠(塑料)。13.4.11導(dǎo)電地面(板)ConductiveFloor由電阻率小的材料制成的、旨在提供靜電泄漏途徑的地面(板)。13.4.12導(dǎo)電涂料ConaductivePaint涂覆在物體外表,能形成結(jié)實(shí)附著的連續(xù)薄膜,并能導(dǎo)除積聚其上電荷的一種工程材料。13.4.13導(dǎo)電墊ConductiveCusion為了防止人體及地面上的金屬物體的靜電帶電,在其生產(chǎn)加工中混入金屬和碳等導(dǎo)電材料而制成的導(dǎo)電良好的墊子。13.4.14防靜電織物Anti-staticFabric通過(guò)多種工藝方法,使纖維外表電阻率降低,從而形成或生產(chǎn)出的一種具有防止靜電積聚的織物。13.4.15防靜電服Anti-staticClothing為了防止人體和衣物的靜電積聚,用防靜電織物為衣料而縫制的工作服。13.4.16防靜電鞋Anti-staticShoes鞋底用電阻變化小的防靜電材料制作,不僅具有防止人體靜電積聚的性能,而且還能防止因偶然觸及工頻電(220V以下)而導(dǎo)致人體遭受電擊的鞋類(lèi)。13.4.17導(dǎo)電鞋ConductiveShoes具有良好的導(dǎo)電性能,因此可在盡可能短的時(shí)間內(nèi)消除人體靜電積聚,但不能防止因偶然觸及工頻電(220V以下)而導(dǎo)致人體遭受電擊的鞋類(lèi)。13.4.18防靜電劑Anti-staticAdditive參加物體中以提高其電導(dǎo)率,使其不能積聚危險(xiǎn)的靜電,且又不影響該物體其它性能的物質(zhì)。13.5靜電事故及其防護(hù)13.5.1靜電安全ElectrostaticSafety指在生產(chǎn)過(guò)程中不發(fā)生由于靜電現(xiàn)象而導(dǎo)致人體怕傷害、設(shè)備損壞或財(cái)產(chǎn)損失的狀況和條件。13.5.2靜電安全工程技術(shù)EngineeringandTecnologyofStaticSafety為消除和防止靜電災(zāi)害與事故而采取的各種工程技術(shù)方法或防護(hù)措施(如靜電接地、靜電屏蔽、靜電緩和、添加防靜電劑、相對(duì)濕度控制、裝設(shè)靜電消除器,以及靜電檢測(cè)、監(jiān)控等)。13.5.3靜電障害StaticAccident由于某種靜電現(xiàn)象的作用,導(dǎo)致生產(chǎn)系統(tǒng)、設(shè)備、工藝過(guò)程、材料、產(chǎn)品等發(fā)生故障、損害(如生產(chǎn)率不降、產(chǎn)品質(zhì)量不良,以至失效、破壞等)的現(xiàn)象或事件。13.5.4靜電災(zāi)害StaticDisaster由于靜電放電而導(dǎo)致發(fā)生重大財(cái)產(chǎn)損失或眾多人員傷亡的危害、損害的現(xiàn)象或意外事件(如火災(zāi)、爆炸、靜電電擊有及由此造成的二次事故等)。13.5.5(靜電)二次事故(Static)SecondAccident由于靜電電擊使人體失去平衡,導(dǎo)致人員由高空墜落或觸及其它障礙物而引起的傷害或造成已存在的火災(zāi)、爆炸的后果進(jìn)一步擴(kuò)大等危害的現(xiàn)象或事件。13.5.6靜電電擊ElectrostaticShock由電體向人體,或帶靜電的人體向接地的導(dǎo)體,以及帶電的人體相到間發(fā)生靜電放電,其所產(chǎn)生的瞬間沖擊電流通過(guò)人體而引起的病理生理效應(yīng)。13.5.7人體靜電ElectrostaticonHumanBody人體由于自身行動(dòng)或與其它的帶電物體相接觸或相接近而在人體上產(chǎn)生并積聚的靜電。13.5.8人體電容CapacitanceofHumanBody與人體位置、人體姿勢(shì)、鞋和地面及其它客體等因素有關(guān)的人體對(duì)地或?qū)ζ渌腕w所構(gòu)成的電容。13.5.9人體電阻ResistanceofHumanBody人的體內(nèi)電阻與皮膚電阻之總和。13.5.10EarthGround任何一點(diǎn)的電位按慣例取為零的大地或?qū)щ娢镔|(zhì)。13.5.11〔靜電〕接地Grounding將金屬導(dǎo)體(通過(guò)接地線)與大地進(jìn)展電氣上的連接,使金屬導(dǎo)體的電位接近大地電位的措施。通常是連接到能供應(yīng)或承受大量電荷的物質(zhì)(如地面、艦船或運(yùn)載式具外殼等)。硬接地(DirectGrounding):直接接地或通過(guò)一低阻抗同大地相連。軟接地(IndirectGrounding):通過(guò)足夠的阻抗接地,從而把電流限制在人體安全電平(一般為5mA)下。軟接地所需阻抗取決于靠近接地點(diǎn)的人員所可能接觸到的電壓電平。13.5.12接地電阻EarthResistance被接地體與地下零電位面之間接地引線電阻、接地器電阻、接地器與土壤之間的過(guò)渡電阻和土壤的溢流電阻之和。13.5.13泄漏電阻LeakageResistance物體在不帶電的情況下,從被測(cè)點(diǎn)到接地連接系統(tǒng)間的等效電阻。13.5.14靜電泄漏通道ChannelofElectrostaticLeakage帶電區(qū)的靜電荷通過(guò)帶電體內(nèi)部外表而使之泄漏的途徑。13.5.15人體接地HumanBodyGrounding通過(guò)使用導(dǎo)電墊、導(dǎo)電地面、導(dǎo)電鞋或其它各種接地用具使人體與大地保持通導(dǎo)狀態(tài)的措施。13.5.16〔靜電〕連接(Electrostatic)Connection將彼此間沒(méi)有良好導(dǎo)電通路的物體進(jìn)展導(dǎo)電性連接,使相互間大體上處于一樣電位的措旋。13.5.17靜電接地連接系統(tǒng)ElectrostaticConnectionSystemofGrounding帶電體上的電荷向大地匯漏、消散的外界導(dǎo)出通道。13.5.18靜電屏蔽ElectrostaticShielding為了防止外界靜電場(chǎng)以帶電體或非帶電體的影響,或者為了防止帶電體的靜電場(chǎng)對(duì)外界的影響,把帶電體或非帶電體置于接地的封閉的金屬外殼或金屬柵網(wǎng)內(nèi)的措施。13.5.19接地極GroundingElectrode埋入大地以便與大地良好接觸的導(dǎo)體或幾個(gè)導(dǎo)體的組合。13.5.20防靜電工作區(qū)ESDProtectedArea為保障靜電敏感器件(ESSD)免受靜電傷害而采用必要的防靜電材料和設(shè)備建設(shè)和裝備起來(lái)的區(qū)域,通常有明顯的防靜電警示標(biāo)志。進(jìn)入防靜電工作區(qū)域的人員,必須嚴(yán)格遵循防靜電作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。1