ESO設(shè)備安全查核訓練

2010.12.29AUOProprietary&ConfidentialESO設(shè)備安全查核訓練課程工程師安全教育訓練系列之蘇州環(huán)安部Agenda

引言

Sign-Off制度簡介Level1查核Level2查核Level3查核

常見查核缺失與重點

引言——落實sign-off可避免下列意外事件因設(shè)備廠商在機臺端排氣未標示排氣種類導致hookup廠商配錯排氣管路(酸排→堿排)，使制程廢氣未處理排放至大氣中。24hr氮氣保壓、測漏以避免因管路焊道不佳，化學品/氣體從焊道上的砂孔外泄，化學品管路仍需保壓測試。valvebox相關(guān)閥件在氮氣flush時應(yīng)先行測試，以避免送氣后發(fā)生閥件無法調(diào)壓或關(guān)閉之狀況。多次發(fā)生機臺設(shè)備工程師、廠務(wù)hookup工程師在送酸前未確認管路銜接工程是否完成，進行toolrelease時確認所有管路是否完成銜接作業(yè)化學及氣體管路因趕工而忽略相關(guān)管路標示導致配錯管路。焊道過深，管路強度減弱。焊道砂孔為泄漏點。標準管路焊道表面光滑平整，無任何砂孔。

Sign-off制度簡介

toolsafetyreviewmeetingvendor簡介機臺并說明安全設(shè)計相關(guān)證明文件完整性討論toolrelease前驗機-確認是否符合安全規(guī)范-safetyinterlock功能測試洽談規(guī)格AUO機臺設(shè)備安全規(guī)范GuaranteeLetter相關(guān)證明文件list設(shè)備工程師廠驗確認是否符合AUO機臺設(shè)備安全規(guī)范裝機sign-off查核EQ3stagesign-offchecklistPRGuaranteeLetter設(shè)備工程師設(shè)備工程師corp.&siteESHPO設(shè)備工程師siteESH設(shè)備工程師設(shè)備工程師corp.&siteESH設(shè)備工程師siteESH項目式查核(ex.smalltoolsafetyreview)MOC設(shè)備請購流程確保裝機完成，符合法規(guī)要求；避免裝機時或后續(xù)發(fā)生事故/隱患。ESOEquipmentInstallationSign-off執(zhí)行ESO目的一、使用110V以上電源之機臺設(shè)備;（除工作桌、個人電腦、臨時電器設(shè)備、檢測設(shè)備、施工設(shè)備等）適用范圍110V二、使用制程危害物質(zhì)（HazardousProcessMaterial－HPM）(國內(nèi)稱之為危險化學品之設(shè)備。)【除CDA&水之外的所有液/氣體】三、移機之設(shè)備，廠務(wù)Hook-up；四、自動化/倉儲系統(tǒng)。五、具有其它特殊危害之設(shè)備。設(shè)備裝機負責工程師完成設(shè)備安全查核表單查核。追蹤廠務(wù)查核缺失改善。完成設(shè)備查核缺失改善。完成各項簽核流程。廠務(wù)部門完成廠務(wù)安全查核表單查核。提供各項簽核所需資料。完成廠務(wù)查核缺失改善。ESH稽核各階段之檢查執(zhí)行狀況。確認、核可各階段之查核已完成。協(xié)助供應(yīng)特殊氣體、化學品前安全確認。權(quán)

責送電/測試/供應(yīng)非制程危害物質(zhì)前需完成一階段。Level-1Level-2Level-3設(shè)備移交制程或制造前需完成第三階段。CDASOPTraining供應(yīng)制程危害物質(zhì)前完成第二階段。查核時機水電缺失分類說明一、A類：風險特別高，若不符合及易造成嚴重危害，未改善前不可送電/送氣/使用學品；二、B類：風險較高，若不符合佷可能造成危害，未提出改善對策前不可送電/送氣/使用化學品；三、C類：風險一般，若不符合不會影響第一、二階段的裝機安全查核之進行；（B類及C類項目缺失及不符合項目，須于機臺交機前修改完成；）NO查核項目改善NO查核項目改善NO查核項目改善EQ提供機臺操作手冊設(shè)備工程師向廠務(wù)提出裝機之電、氣等需求，從環(huán)安領(lǐng)取表單；于機臺張貼查核證明；EQLevel-2CheckEQ機臺測試SOP建立1、裝機安全查核證明；2、施工狀態(tài)表(表單貼至現(xiàn)場）裝機前Level-2EQLevel-3Check流程Level-31、ESOLevel-3Check1.資料包含各保養(yǎng)規(guī)范及測試資料；2.Level-3查核完畢后，各項數(shù)據(jù)、窗體送交環(huán)安部存查；步驟查核項目備注FE進行Hookup工程EQ裝機測試EQLevel-1Check1、ESOLevel-1Check－FE；2、ESOLevel-1Check－EQ；FE完成廠務(wù)端供電、氣、水；各系統(tǒng)管理二次配檢查表；Turnon有害能量、輻射、鐳射前需完成所有Level-1查核；Level-11、ESOLevel-2Check－FE；1、ESOLevel-2Check－EQ；EQ提出申請并完成簽核；Move-in前由EQ提出至ESH&FE移交制造/制程步驟設(shè)備MoveIn/裝機前：EQ須提出裝機需求至FE&ESH，并于機臺定位后張貼【查核證明】&【施工狀態(tài)表】；三.維修空間二.逃生方向四.電氣接線、標示一.消防設(shè)施重點1第一階段查核/Level-1：八.其它相關(guān)安全設(shè)施六.管路標示五.Interlock、EMO設(shè)置七.危害警告標示(中/英)續(xù)重點2【廠務(wù)部分】：A各廠務(wù)系統(tǒng)供應(yīng)非HPM前完成二次配管路查核；B完成電盤至設(shè)備端的接電，并符合Level-1之要求；C完成消防設(shè)施的各項安全要求；D廠務(wù)在領(lǐng)取表單后，于Hook-Up時開始自行填此表單。步驟A、廠房及建筑物的消防設(shè)備1、建筑消防設(shè)施是否上線？2、自動撒水系統(tǒng)經(jīng)過測試功能是否正常？3、是否在機臺前后的走道上的天花板均裝置撒水頭以涵蓋整個機臺?4、廠務(wù)火警警報探測器(偵煙/偵溫探測器)是否經(jīng)過測試且功能正常?【廠務(wù)部分】B.電氣系統(tǒng)1.廠務(wù)相關(guān)電源線路由分電盤至機臺端之聯(lián)機及連接點正確?2.供應(yīng)電盤端己標示使用機臺、附屬設(shè)備編號與機臺主開關(guān)位置.3.機臺端電源標示包含位置、供應(yīng)盤位置、供應(yīng)回路編號,以及電盤開關(guān)編號和電壓.插座都標示有breaker編號及電盤編號。4.接地？緊急電力?設(shè)備標示正確否?5.各管路的空間、標識（走向）是否完善？6.管路保壓是否完成？【設(shè)備部分】：A設(shè)備連接端各標示須和電盤保持一致；BEMO&Interlock的設(shè)置是否涵蓋整個操作區(qū)域；CTurnon有害能量/輻射/激光等之前，須完成所有Level-1檢查；D設(shè)備應(yīng)在自行安表單要求裝機的同時，關(guān)心廠務(wù)部分進展及安全要求。

步驟A.一般事項B.凈空1. 所有相關(guān)管路源頭與銜接點，且于轉(zhuǎn)彎點及穿墻前加管路標示清楚。2. 非HPM之管路于使用前是否經(jīng)過飽壓或測漏測試確認管路無泄漏之疑慮?主機臺正面操作區(qū)及主信道寬度須有一公尺。機臺及相關(guān)附屬設(shè)備之維修信道寬度至少須有80公分。機臺維修空間須足夠電盤或控制盤門完全開啟。C.電氣系統(tǒng)（EQ）漏電斷路保護若有接UPS之設(shè)備，UPS是否正確標示出其所支持的機臺?機臺及廠務(wù)電盤上方若有可能的泄漏源，電盤是否做好必要的保護措施?電線管理是否適當?如避免絆倒、拉扯電線,及維持良好的整潔。有濕式制程或電氣組件相當有可能接觸到液體之機臺，是否有漏電斷路器裝置，且此裝置是否有合格認證?易燃物品及設(shè)施:相關(guān)設(shè)備裝于危險區(qū)或電氣相關(guān)組件暴露于易燃物之霧氣中，其電氣用品應(yīng)為防爆型。D.緊急停機裝置1、EMO是否有適當中英文標示?2、EMO的設(shè)置是否覆蓋整個操作區(qū)域?3、EMO切斷此系統(tǒng)電力供應(yīng)時是否含設(shè)備附屬UPS?4、若己安裝EMO防護蓋，此設(shè)置于緊急情況時仍可以掌握跟壓按?5、確認EMO復歸后不會重新激活此設(shè)備?E.有害能量與防護1.所有機械危害之防護及標示適當否(中、英文標示)?(擠壓收縮、切斷、移動、往復運動)2.所有機械臂移動范圍適當圍籬且有防護?3.高低溫危害防護及標示適當否(溫度大于60℃之熱表面、冷凍劑)。4.電氣危害之防護及標示適當否?(直流電>50伏特、交流電>30伏特)己確認之危害位置Identifyhazardlocations:(之前相同機臺己查核此項者可免填，資料見機臺名稱)機械危害Mechanicalhazards:熱危害Thermalhazards:其它危害Otherhazards:F.雷射 1、雷射分類等級:

Alllaserclasses:Class______注1:Class1指正常操作下有雷射發(fā)生但不造成傷害性。注2:3b之雷射若眼睛直視會造成傷害。包括反射光之光束，正常狀況下，3b雷射之擴散光不會造成傷害。注3:分類4之電射不但直視及反射光會造成傷害。而且擴散光亦會造成傷害.此類電射可能會造成皮膚如冋火灼傷之危害。2、電射系統(tǒng)己由機臺制造商確認符合相關(guān)國際標準，且在此機臺外側(cè)有明顥的合格標示3、雷射光源附近己加防護外罩，張貼危險警示標幟。5、所有與雷射相關(guān)之安全聯(lián)鎖皆功能正常?6、己降低窗口孔之雷射危害等級至Class1以下?F.雷射 7、有使用分類3b或4之雷射否?若有完成下列問題:a.密閉性b.安全聯(lián)鎖.包括電力供應(yīng).c.防護區(qū)己告示d.提供鎖匙控制之開關(guān)e.可拆缷之維修控制儀表板亦有安全聯(lián)鎖。f.人員接觸分類3b或4之電射作業(yè)時，機臺本身是否有防護屏障或人員有配戴防護器具或有雷射劑量監(jiān)控。g.警示系統(tǒng)己運作否?h.有開放性光束暴露之可能性時，雷射區(qū)己公告成管制區(qū)域?i.己指定且使用適當光學密度之眼部防護具?j.員工操作開放性光束己接受安全使用訓練?G.輻射1.是否有放射源?(如果有的話，請與ESH單位聯(lián)絡(luò))2.所有與輻射相關(guān)之安全聯(lián)鎖皆功能正常?3.輻射相關(guān)警告標示己張貼完成?4.輻射必要之阻絕擋板皆設(shè)置正常?紫外光源5.如果有害的存在的話，此光源是否被隔絕或以安全連銷防護?6.RF/微波源是否己被鑒定并標示?7.RF是否接地?5R1.5R60°R60°Level-2：

廠務(wù)：A提供氣體/化學品需求確認單所需資料；B完成氣體/化學品供應(yīng)所需要求。

（未使用化學危險物品，不需進行Level-2的查核）

步驟設(shè)備：A提出氣體/化學品需求單；B完成氣體/化學品需求確認單簽核流程；

Level-2：

【廠務(wù)部分】A、開孔等均已做好防火填塞；B、洗眼器的設(shè)置，并加以標示；C、有無偵測及ERC監(jiān)控；D、機臺之消防設(shè)備是否完善；E、通風、排氣系統(tǒng)是否完善；F、化學廢液、廢棄物質(zhì)處置是否得當；G、氣體化學品傳送系統(tǒng)是否完善；管路偵測防火填塞消防設(shè)施廢棄處理傳送系統(tǒng)【設(shè)備部分】A、機臺操作或維修?若是，這些局限空間之入口是否有標示?B、機臺之消防設(shè)備，并聯(lián)至ERC；C、安全相關(guān)之連鎖裝置是否完善；D、個人防護裝備有無配備齊全；E、通風、排氣有無完善；F、MSDS及應(yīng)急設(shè)施；消防設(shè)備連鎖裝置個人防護應(yīng)急措施Level-3：

設(shè)備：完成設(shè)備各項SOP的建立，其SOP及附帶表單中須包含Level-3中所規(guī)范的內(nèi)容要求。步驟Level-3查核重點設(shè)備安全保養(yǎng)（PM）程序設(shè)備安全操作（Operation）程序相關(guān)人員已受教育訓練各階段查核缺失及不符合項目已改善完成已建立操作保養(yǎng)規(guī)范？與機臺操作保養(yǎng)相關(guān)的特殊危害訊息已納入操作保養(yǎng)規(guī)范之中？PM規(guī)范文件已明確定義所有必要之上鎖或標示事項？操作保養(yǎng)規(guī)范有明確定義穿戴之個人防護具（PPE）？操作保養(yǎng)規(guī)范有適當說明緊急停機開關(guān)（EMO）和安全聯(lián)鎖之功能?Level-3查核項所有LEVEL1、2待改善項目均經(jīng)工安工程師簽名確認完成？員工已接受個人防護用具的訓練，包含使用方式與挑選合適的個人防護用具?員工已接受危害通識訓練？包含各化學品之危害及標示方式？物質(zhì)安全資料表備置于現(xiàn)場？5、保養(yǎng)規(guī)范有明訂以下要求：緊急停機開關(guān)（EMO）和安全聯(lián)鎖至少一年測試一次，或當維修過程使緊急停機開關(guān)（EMO）和安全連鎖失效時需重新測試？6、操作保養(yǎng)規(guī)范有明訂機臺緊急關(guān)機程序、第一時問點應(yīng)變程序及其它緊急應(yīng)變措施（如泄漏處理，停電處理等）？7、輻射機臺之PM規(guī)范包括輻