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電容式測(cè)量原理,通過(guò)安裝在負(fù)載和傳感器之間的桿件來(lái)傳遞力和力矩。該傳感器可同時(shí)測(cè)量機(jī)械臂末端的六個(gè)方向的力和力矩,并且能夠?qū)崿F(xiàn)1所示。傳感器由底座、傳感器主體、桿件和1C=其中,C為電容值,ε為電容器內(nèi)的介電常數(shù),Ad為電容器板間的距離。通過(guò)調(diào)整電容器內(nèi)的介電常數(shù)、面積和板間距離,解耦電路的具體實(shí)現(xiàn)如圖2所示。為了分離出每個(gè)力和力矩的響應(yīng),2時(shí)測(cè)量機(jī)械臂末端的六個(gè)方向的力和力矩,并且實(shí)現(xiàn)了力和力矩的解耦。傳感器采用了電容式測(cè)量原理,通過(guò)安裝在負(fù)載和傳感器之間的桿件來(lái)劉利東陳文炯機(jī)器人六維力矩傳感器的研制[J].機(jī)械設(shè)計(jì)與制造,2016,42(1):52-55.張路李鵬飛機(jī)器人六維力矩傳感器的解耦算法設(shè)計(jì)[J].傳感器與微系統(tǒng),2018,37(3):57-61.邢文,郝曉東.電容式六維力矩傳感器的設(shè)計(jì)與研究[J].測(cè)控技術(shù),2017,36(2):14-18.
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