2023超硬磨料制品半導(dǎo)體晶圓精密磨削用砂輪

超硬磨料制品半導(dǎo)體晶圓精密磨削用砂輪目 次前言 II112范引文件 13語(yǔ)定義 14品類 1晶精邊倒削用輪通簡(jiǎn)為角砂） 1晶精端減削用輪通簡(jiǎn)為薄砂） 35品記 10晶精邊倒削用輪 11晶精端減削用輪 116術(shù)求 11外觀 11基尺極偏差 11幾公差 13基粗度 13動(dòng)衡 14回強(qiáng)度 147驗(yàn)法 14外觀 14基尺寸 14幾公差 15基粗度 15動(dòng)衡 15回強(qiáng)度 158驗(yàn)則 15915產(chǎn)標(biāo)志 15合證志 16外裝志 1610裝運(yùn)和存 16包裝 16運(yùn)輸 16貯存 16I超硬磨料制品半導(dǎo)體晶圓精密磨削用砂輪范圍本文件適用于半導(dǎo)體晶圓精密邊緣倒角磨削和端面減薄磨削用金屬結(jié)合劑、樹脂結(jié)合劑和陶瓷結(jié)合劑及其復(fù)合結(jié)合劑金剛石砂輪。（GB/T1800.2—2020產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）線性尺寸公差I(lǐng)SO代號(hào)體系第2部分：標(biāo)準(zhǔn)公差帶代號(hào)和孔、軸的極限偏差表GB/T2493磨具回轉(zhuǎn)強(qiáng)度試驗(yàn)方法GB/T9239.1機(jī)械振動(dòng)恒態(tài)（剛性）轉(zhuǎn)子平衡品質(zhì)要求第1部分：規(guī)范與平衡允差的檢驗(yàn)GB/T16458磨料磨具術(shù)語(yǔ)GB/T35479超硬磨料制品金剛石或立方氮化硼磨具形狀總覽和標(biāo)記JB/T7425超硬磨料制品金剛石或立方氮化硼磨具技術(shù)規(guī)范GB/T16458界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。晶圓精密邊緣倒角磨削用砂輪（通常簡(jiǎn)稱為倒角砂輪）磨料層槽型及代號(hào)見表1。1表1磨料層槽型及代號(hào)槽型代號(hào)形狀示意圖圓弧底槽R梯形槽T圖中尺寸代號(hào)說(shuō)明：A——槽深；b——梯形槽底寬度；P——槽間距；P1——第1道槽中心至砂輪基準(zhǔn)面的距離；R——圓弧半徑；T——砂輪總厚度；U——磨料層厚度；V——槽開口角；X——磨料層深度。槽數(shù)用n表示。砂輪形狀及代號(hào)見表2。2表2邊緣倒角磨削用砂輪形狀及代號(hào)代號(hào)形狀示意圖1A1/R1A1/T14A1/R14A1/T圖中尺寸代號(hào)的含義見GB/T35479。砂輪基本尺寸見表3。表3邊緣倒角磨削用砂輪基本尺寸DmmTmmHmmJmmXmmUmm1031030—5～69150—202207014～19P1、P、A、R、b、V、n由供需雙方商定。晶圓精密端面減薄磨削用砂輪（通常簡(jiǎn)稱為減薄砂輪）6A26A2H6A2和6A2H型砂輪，以6A2H型為例，其形狀見圖1；基本尺寸見表4。3圖16A2H表46A26A2H單位為毫米DTHWX17535763～5520036763～55350451273～55E、K，定位孔尺寸和數(shù)量及分布圓直徑d由供需雙方商定。6A2T6A2T型砂輪形狀和基本尺寸分別見圖2和表5。4標(biāo)引序號(hào)說(shuō)明：1——水孔。圖26A2T5表56A2T單位為毫米DTHWX1134150.83～55200251703～5520336.5753～5520922.51583～55250551273～55254301903～55254331553～5525535953～5528230228.63～55304371553～55304322403～5530540953～55313302373～55334342743～55354352353～55D1、E、K，安裝孔尺寸和數(shù)量及分布圓直徑d，水孔設(shè)計(jì)由供需雙方商定。1A2T/S1A2T/S型砂輪形狀和基本尺寸分別見圖3和表6。6圖31A2T/S表61A2T/SDmmTmmHmmXmm2544015510～143044215510～143604215510～14E、L2、W1、V1，安裝孔尺寸和數(shù)量及分布圓直徑d由供需雙方商定。6A2M/S6A2M/A6A2M/S和6A2M/A型砂輪形狀分別見圖4和圖5；基本尺寸見表7。7標(biāo)引序號(hào)說(shuō)明：1——安裝孔。圖46A2M/S8標(biāo)引序號(hào)說(shuō)明：1——安裝孔。圖56A2M/A表76A2M/S6A2M/A形狀代號(hào)DmmTmmHmmXmm6A2M/S255489510～146A2M/A255459510～14E、K、L2、W1、V1，安裝孔和定位孔尺寸、數(shù)量及分布圓直徑d由供需雙方商定。6A2T/S6A2T/S型砂輪形狀和基本尺寸分別見圖6和表8。9標(biāo)引序號(hào)說(shuō)明：1——水孔。圖66A2T/S表86A2T/SDmmTmmHmmXmm3804427510～14E、K、L2、W1、V1，安裝孔尺寸和數(shù)量及分布圓直徑d，水孔設(shè)計(jì)由供需雙方商定。10以GB/T35479示例1：1A1/R202mm20mm30mm6mm19mm，磨0.8mm0.38mm406M4/8100，其標(biāo)記為1A1/R-202×20×30×6×19-0.8×0.38×40°×6DM4/8B100示例2：1A1/T202mm20mm30mm6mm14mm，磨0.8mm0.5mm0.24mm4071001A1/T-202×20×30×6×14-0.8×0.5×0.24×40°×7DM20/30M1006A2、6A2H6A2T6A2、6A2H和6A2T型砂輪的產(chǎn)品標(biāo)記應(yīng)符合GB/T35479的規(guī)定。1A2T/S、6A2M/S、6A2M/A6A2T/S以GB/T354791A2T/S6A2M/S6A2M/A和6A2T/S示例：1A2T/S254mm35mm155mm7mm35mm、4mm4524M4/8100，其標(biāo)記為1A2T/S-254×35×155×7-35×4×45°×24DM4/8M100外觀砂輪外徑（D）和磨料層分布圓外徑（D1）的極限偏差應(yīng)符合表9中的規(guī)定。11表9外徑的極限偏差單位為毫米外徑范圍極限偏差晶圓精密邊緣倒角磨削用砂輪D晶圓精密端面減薄磨削用砂輪DD130＜D（D1）≤120±0.2±0.4±0.2120＜D（D1）≤300±0.5D（D1）＞300—±0.8±0.3砂輪孔徑（H）的極限偏差應(yīng)符合表10中的規(guī)定，對(duì)應(yīng)于符合GB/T1800.2—2020表6中的公差帶H6。表10孔徑的極限偏差單位為毫米孔徑范圍極限偏差18＜H≤30﹢0.013030＜H≤50﹢0.016050＜H≤80﹢0.019080＜H≤120﹢0.0220120＜H≤180﹢0.0250180＜H≤250﹢0.0290250＜H≤315﹢0.0320用戶有特殊要求的按供需雙方商定。砂輪總厚度（T）、磨料層厚度（U）和磨料層寬度（W）的極限偏差應(yīng)符合表11中的規(guī)定。表11總厚度、磨料層厚度和磨料層寬度的極限偏差單位為毫米尺寸范圍極限偏差T（U、W）≤30±0.2T（U、W）＞30±0.3砂輪磨料層深度（X）的極限偏差應(yīng)符合表12中的規(guī)定。12表12磨料層深度的極限偏差單位為毫米磨料層深度范圍極限偏差X≤6﹢0.2﹣0.1X＞6﹢0.3﹣0.21（R）（b）（V）13表13晶圓精密邊緣倒角磨削用砂輪槽型尺寸的極限偏差槽型尺寸類別極限偏差P1、P、A±0.1mmR、b±0.02mmV±0.5°（J/（L2）（W1）（V1）14表14其他尺寸的極限偏差尺寸類別及對(duì)應(yīng)范圍極限偏差EE≤6±0.1mmE＞6±0.2mmJ、K±1mmd、L2、W1±0.1mmV1±0.5°晶圓精密邊緣倒角磨削用砂輪的端面圓跳動(dòng)公差和徑向圓跳動(dòng)公差、晶圓精密端面減薄磨削用砂輪的平行度公差應(yīng)符合表15中的規(guī)定。表15幾何公差單位為毫米外徑（D）范圍端面圓跳動(dòng)公差和徑向圓跳動(dòng)公差（適用于晶圓精密邊緣倒角磨削用砂輪）平行度公差（適用于晶圓精密端面減薄磨削用砂輪）D≤2500.020.02D＞250—0.03用戶有特殊要求的按供需雙方商定。

13砂輪基體的配合孔和支撐端面粗糙度不應(yīng)大于Ra1.6μm，其余表面粗糙度不應(yīng)大于Ra3.2μm。動(dòng)平衡砂輪的動(dòng)平衡應(yīng)符合GB/T9239.1—2006中平衡品質(zhì)級(jí)別G2.5的規(guī)定。砂輪應(yīng)在下類情況下進(jìn)行回轉(zhuǎn)強(qiáng)度試驗(yàn)：——新產(chǎn)品設(shè)計(jì)；——生產(chǎn)中重要原材料（結(jié)合劑、粘接劑）發(fā)生變化；——生產(chǎn)工藝發(fā)生改變；——成熟產(chǎn)品每半年周期。應(yīng)按最高工作速度的1.73倍進(jìn)行回轉(zhuǎn)，不應(yīng)破裂、產(chǎn)生裂紋和磨料層松脫。外觀裂紋和起層用10倍以上放大鏡檢查，其他目測(cè)檢查?；境叽缤鈴缴拜喭鈴胶湍チ蠈臃植紙A外徑用分度值為0.02mm的游標(biāo)卡尺測(cè)量；或用同等及以上精度的儀器測(cè)量?？讖娇讖接萌?guī)、分度值為0.001mm總厚度、磨料層厚度和磨料層寬度用分度值為0.02mm的游標(biāo)卡尺測(cè)量；或用同等及以上精度的儀器測(cè)量。磨料層深度用分度值為0.02mm的游標(biāo)卡尺測(cè)量；或用同等及以上精度的儀器測(cè)量。第1道槽中心至砂輪基準(zhǔn)面的距離用分度值為0.001mm的影像測(cè)量?jī)x測(cè)量。槽間距、槽深、圓弧半徑、梯形槽底寬度和槽開口角通過(guò)復(fù)印樣片用分度值為0.001mm的影像測(cè)量?jī)x測(cè)量。首先在數(shù)控機(jī)床上用被測(cè)砂輪磨削規(guī)格為40mm×2.0mm×20mm的石墨條制作出復(fù)印樣片，然后用影像測(cè)量?jī)x測(cè)量復(fù)印樣片的相關(guān)尺寸反推出上述槽型尺寸。14孔處厚度、凸面直徑、凹槽直徑、安裝和/或定位孔分布圓直徑、磨料結(jié)塊長(zhǎng)度或弦長(zhǎng)、磨料結(jié)塊寬度用分度值為0.02mm的游標(biāo)卡尺測(cè)量；或用同等及以上精度的儀器測(cè)量。偏斜角用角度尺或樣板測(cè)量；或用同等及以上精度的儀器測(cè)量。幾何公差將砂輪穿在心軸上并將心軸夾緊在圓跳動(dòng)檢查儀上，千分表測(cè)頭置于砂輪磨料層端面或圓周面的0.00550平行度基體粗糙度對(duì)照標(biāo)準(zhǔn)樣塊目測(cè)檢查；或用儀器