大功率磁控濺射電源主電路的研究的開題報告

大功率磁控濺射電源主電路的研究的開題報告開題報告題目：大功率磁控濺射電源主電路的研究一、研究背景及意義磁控濺射技術(shù)是一種常用的薄膜制備技術(shù)，已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于電子、光電、航空等領(lǐng)域，但磁控濺射設(shè)備的大功率電源主電路設(shè)計方面卻存在一些問題，如功率因數(shù)低、能量利用率不高等。因此，研究大功率磁控濺射電源主電路的設(shè)計原理及優(yōu)化措施具有重要的意義。二、研究內(nèi)容和研究方法1.研究內(nèi)容：（1）了解大功率磁控濺射電源主電路的基本工作原理；（2）分析大功率磁控濺射電源主電路中存在的問題及其產(chǎn)生原因；（3）研究主電路的拓撲結(jié)構(gòu)，優(yōu)化其設(shè)計，提高功率因數(shù)和能量利用率；（4）選取有效的元器件，包括開關(guān)管、電容、電感等，進行性能測試；（5）利用PSIM等軟件進行仿真分析，驗證設(shè)計參數(shù)的合理性。2.研究方法：（1）文獻資料調(diào)研法；（2）實驗測試法；（3）電路仿真分析法。三、預期結(jié)果及其實際應(yīng)用1.預期結(jié)果：（1）設(shè)計一種功率因數(shù)和能量利用率均較高的大功率磁控濺射電源主電路；（2）通過實驗測試和仿真驗證，驗證設(shè)計參數(shù)的合理性，提高磁控濺射設(shè)備的制備效率。2.實際應(yīng)用：研究成果可應(yīng)用于磁控濺射設(shè)備的制造領(lǐng)域，提高設(shè)備的制備效率，為相關(guān)行業(yè)的發(fā)展做出貢獻。四、進度安排1.調(diào)研文獻和相關(guān)資料，了解磁控濺射電源主電路的基本原理及研究現(xiàn)狀，預計用時2周。2.設(shè)計主電路拓撲結(jié)構(gòu)，選擇適當?shù)脑骷?，進行性能測試并得出實驗結(jié)果，預計用時4周。3.通過PSIM等軟件進行仿真分析，優(yōu)化設(shè)計參數(shù)，預計用時4周。4.實驗驗證和結(jié)果分析，預計用時2周。5.撰寫畢業(yè)論文，預計用時4周?？傆嬛芷冢?6周。五、參考文獻[1]張麗容.大功率磁控濺射電源的設(shè)計與研究[D].中國科學技術(shù)大學,2009.[2]KANGXF,ZHOUY,YUJG.Acurrent-sourceresonantconverterwithsynchronousrectifierforlarge-powermagnetronsputteringpowersupply[J].JournalofSemiconductors,2014,35(7):074001.[3]陳瓊珠.吸收式型磁控濺射電源的優(yōu)化與研究[D].安徽大學,2