福建晶旭半導體科技有限公司2英寸化合物半導體芯片生產(chǎn)項目環(huán)境影響報告

建設項目環(huán)境影響報告表（污染影響類）項目名稱：晶旭半導體2英寸化合物半導體芯片生產(chǎn)項目建設單位（蓋章）：福建晶旭半導體科技有限公司編制日期：2023年9月中華人民共和國生態(tài)環(huán)境部制1其他電子設備制造業(yè)不予批準后再次申報重大變動重新報批項目號否2類別設置原則項目情況符合情況大氣排放廢氣含有毒有害污染物1、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯氣且廠界外500m范圍內有環(huán)境空氣保護目標2的建設項目[注：1、廢氣中有毒有害污染物納入《有毒有害大氣污染物名錄》的污染物（不包括無排放標準的污染物）2、環(huán)境空氣保護目標指自然保護區(qū)、風景名勝區(qū)、居住區(qū)、文化區(qū)和農(nóng)村地區(qū)中人群比較集中的區(qū)域]本項目排放廢氣中含有氯氣且項目北側約70m為龍翔村居民住宅區(qū)，西側約280m為上杭縣符合地表水新增工業(yè)廢水直排建設項目（槽罐車外送污水處理廠的除外）；新增廢水直排的污水集中處理廠本項目廢水經(jīng)廠區(qū)內污水處理站處理后排入上杭縣佳波污水處理廠處理；不屬于新增廢水直排的污水集中處理廠不符合環(huán)境風險有毒有害和易燃易爆危險物質存儲量超過臨界量3的建設項目[注：3、臨界量及其計算方法可參考《建設項目環(huán)境風險評價技術導則》（HJ169）附錄B、附錄C]本項目有毒有害和易燃易爆危險物質存儲量為1.5264，超過臨界量符合生態(tài)取水口下游500米范圍內有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場、索餌場、越冬場和洄游通道的新增河道取水的污染類建設項目本項目不屬于取水口下游500米范圍內有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場、索餌場、越冬場和洄游通道的新增河道取水的污染類建設項目不符合海洋直接向海洋排放污染物的海洋工程建設項目本項目不屬于直接向海洋排放污染物的海洋工程建設項目不符合審批文件名稱及文號：《上杭縣人民政府關于同意實施福建上杭縣工業(yè)園區(qū)（南部產(chǎn)業(yè)園）總體規(guī)劃修編（規(guī)劃范圍局部調整）3規(guī)劃環(huán)評名稱：《福建上杭工業(yè)園區(qū)（高新區(qū)）總體規(guī)劃環(huán)境影響審批文件名稱及文號：《福建省生態(tài)環(huán)境廳關于印發(fā)福建上杭工業(yè)園區(qū)（高新區(qū)）總體規(guī)劃環(huán)境影響評價報告書審查小組意見的函》上杭工業(yè)區(qū)規(guī)劃發(fā)展定位：重點發(fā)展金銅深加工、新材料、家電衛(wèi)浴、金銀貴金屬產(chǎn)業(yè)、裝備制造業(yè)等產(chǎn)業(yè)，打造上杭縣金銅深加工基地。項目位于福建上杭工業(yè)園區(qū)，主要從事芯片制造，屬于的要求：金銅制品精深加工的禁止準入類產(chǎn)業(yè)為金屬冶煉、專業(yè)電鍍企業(yè)，限制準入產(chǎn)業(yè)為配套電鍍工序的項目。依據(jù)《福建省生態(tài)環(huán)境廳關于印發(fā)福建上杭工業(yè)園區(qū)（高新區(qū)）總體規(guī)劃環(huán)境影響評價報告書審查小組意見的函》（閩環(huán)保評〔2019〕10號）的要求：嚴格入園項目生態(tài)環(huán)境準入。做好一類污染物、持久性有機污染物不涉及金屬冶煉和電鍍工序，不涉及持久性有機污染物排放，項目產(chǎn)生的廢氣污染物經(jīng)處理后均能夠達標排放。因此項目不屬于規(guī)劃環(huán)評內禁止準入類產(chǎn)業(yè)和限制準入產(chǎn)業(yè)，符合規(guī)劃環(huán)評生態(tài)環(huán)境準入清單及審查小組意見的要求，且根據(jù)上杭縣工業(yè)區(qū)管理委員會關于福建晶旭半導體科技有限公司晶旭半導體2英寸化合物半導體芯片生產(chǎn)項目選址的說明可知，本項目不在《福建上杭工業(yè)園區(qū)（高新區(qū)）總體規(guī)劃環(huán)境影響報告書》禁止和限制準入產(chǎn)業(yè)內（詳見附），①與《福建省人民政府關于實施“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控4項目與《福建省人民政府關于實施“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管表1-2與全省生態(tài)環(huán)境總體準入要適用范圍準入要求本項目情況符合性全省空間布局約束1、石化、汽車、船舶、冶金、水泥、制漿造紙、印染等重點產(chǎn)業(yè)，要符合全省規(guī)劃布局要求。2、嚴控鋼鐵、水泥、平板玻璃等產(chǎn)能過剩行業(yè)新增產(chǎn)能，新增產(chǎn)能應實施產(chǎn)能等量或減量置換。3、除列入國家規(guī)劃的大型煤電和符合相關要求的等容量替代項目，以及以供熱為主的熱電聯(lián)產(chǎn)項目外，原則上不再建設新的煤電項目。4、氟化工產(chǎn)業(yè)應集中布局在《關于促進我省氟化工產(chǎn)業(yè)綠色高效發(fā)展的若干意見》中確定的園區(qū)，在上述園區(qū)之外不再新建氟化工項目，園區(qū)之外現(xiàn)有氟化工項目不再擴大規(guī)模。5、禁止在水環(huán)境質量不能穩(wěn)定達標的區(qū)域內，建設新增相應不達標污染物指標排放量的工業(yè)項目。本項目行業(yè)類別為C3972半導體分立器件制造（芯片制造）。1、本項目不屬于石印染等重點產(chǎn)業(yè)；2、本項目不屬于鋼等行業(yè)；3、本項目不屬于煤4、本項目不屬于氟化工產(chǎn)業(yè)；5、項目所在區(qū)域水環(huán)境質量能穩(wěn)定達標。符合污染物排放管控1、建設項目新增的主要污染物排放量應按要求實行等量或倍量替代。涉及總磷排放的建設項目應按照要求實行總磷排放量倍量或等量削減替代。涉及重金屬重點行業(yè)建設項目新增的重點重金屬污染物應按要求實行“減量置換”或等量替換”。涉新增VOCs排放項目，VOCs排放實行區(qū)域內等量替代。福州、廈門、漳州、泉州、莆田、寧德等6個重點控制區(qū)可實施倍量替代。2、新建水泥、有色金屬項目應執(zhí)行大氣污染物特別排放限值，鋼鐵項目應執(zhí)行超低排放指標要求，火電項目應達到超低排放限值。3、尾水排入近岸海域匯水區(qū)域、“六江兩溪”流域以及湖泊、水庫等封閉、半封閉水域的城鎮(zhèn)污水處理設施執(zhí)行不低于一級A排放標準。1、本項目不涉及總目產(chǎn)生的VOCs排放實行區(qū)域內等量替換。2、項目行業(yè)類別為C3972半導體分立器件制造。3、本項目生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)內污水處理站處理后排入上杭縣佳波污水處理廠處理。符合②與《龍巖市人民政府關于印發(fā)龍巖市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分根據(jù)《龍巖市人民政府關于印發(fā)龍巖市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分5區(qū)管控方案的通知》（龍政綜[2021]72號）要求，項目為C3導體分立器件制造，不屬于《龍巖市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》中污染物排放管控企業(yè)，符合環(huán)境準入要求。項目不在禁止準入的行業(yè)、工藝、產(chǎn)品及開發(fā)活動清單中，且不屬于禁止準入的表1-3與龍巖市生態(tài)環(huán)境總體準入要方案內容本項目情況符合性空間布局龍巖市閩江、九龍江、汀江流域兩岸嚴格控制新、擴建增加氨氮、總磷等主要污染物排放的項目；汀江流域范圍禁止新、擴建制漿造紙、印染、合成革及人造革項目。本項目所在地表水環(huán)境為汀江流域，所屬行業(yè)為C3972半導體分立器件制造，不屬于制漿造紙、印染、合成革及人造革項目；運營期項目無生產(chǎn)廢水產(chǎn)生；生活污水經(jīng)化糞池處理后排入上杭縣佳波第二污水處理廠處理。符合3、龍巖市嚴控鋼鐵、水泥、平板玻璃等產(chǎn)能過剩行業(yè)新增產(chǎn)能；禁止在水環(huán)境質量不能穩(wěn)定達標的區(qū)域內，建設新增相應不達標污染物指標排放量的工業(yè)項目。本項目區(qū)域水環(huán)境為達標區(qū)，行業(yè)類別為C3972半導體分立器件平板玻璃等行業(yè)。符合4、嚴格控制審批高耗能、高污染和資源型行業(yè)（鋼鐵、水泥、鐵合稀土等）新增產(chǎn)能項目。本項目行業(yè)類別為C3972半導體分立器件制造，不屬于鋼鐵、水泥、鐵合金等項目。符合污染物排放管控汀江流域①汀江閩粵交界(永定縣汀江橋)以上，新建水污染型項目應實行水污染物排放量倍量削減替代。本項目生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)內污水處理站處理后同生活污水一起排入上杭縣佳波污水處理廠處氨氮申請購買總量。符合②推進畜禽類污資源化利用，推動小流域污染整本項目行業(yè)類別為C3972半導體分立器件符合環(huán)境風險管控①強化石化、化工、冶煉、危化品儲運等企業(yè)的環(huán)境風險防控；②建立和健全重點管控重金屬及危險化學品泄漏等環(huán)境風險防范體系，健全應急響應機制。③全市新建電鍍項目應集中布局在上杭金銅新材料循環(huán)產(chǎn)業(yè)園，并嚴格控制重金屬的排放量。本項目所屬行業(yè)為C3972半導體分立器件化工、冶煉等項目。符合6文號類別項目與“三線一單”相符性分析符合性五”環(huán)境影響評價改革實施方案》（環(huán)環(huán)評[2016]95生態(tài)保護紅線根據(jù)《上杭縣生態(tài)功能區(qū)劃圖》，項目選址屬于上杭縣中心城鎮(zhèn)與工業(yè)環(huán)境生態(tài)和污染物消納生態(tài)功能小區(qū)（140882305，見附圖7），項目用地未涉及飲用水源、風景區(qū)、自然保護區(qū)等生態(tài)保護區(qū)，從選址上符合生態(tài)保護紅線劃定的相關要求。符合環(huán)境質量底線項目所在區(qū)域的環(huán)境質量底線為：大氣環(huán)境質量目標為《環(huán)境空氣質量標準》(GB3095-2012）及其修改單中二級標準；周邊地表水環(huán)境目標為《地表水環(huán)境質量標準》(GB3838-2002)Ⅲ類；聲環(huán)境質量目標為《聲環(huán)境質量標準》(GB3096-2008）中3類功能區(qū)標準。根據(jù)項目所在地環(huán)境質量現(xiàn)狀調查和污染排放影響預測可知，本項目運營后對區(qū)域內環(huán)境影響較小，環(huán)境質量可以保持現(xiàn)有水平，不會對區(qū)域環(huán)境質量底線造成沖擊。符合資源利用上線項目用水、用電為區(qū)域集中供應，項目運行過程通過內部管理、設備選擇、原輔材料的選用和管理、廢物回收利用、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施，以“節(jié)能、降耗、減污”為目標，有效地控制污染。項目的水、電、氣等資源利用不會突破區(qū)域的資源利用上線。符合環(huán)境準入負面清單項目符合國家產(chǎn)業(yè)政策，符合《福建省人民政府關于實施“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控的通知（閩政〔2020〕12號）》全省生態(tài)環(huán)境總體準入要求及《龍巖市人民政府關于印發(fā)龍巖市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案的通知》（龍政綜〔2021〕72號）的要求；不屬于《市場準入負面清單》(2022年版）中禁止準入類的項目。符合④項目與《龍巖市生態(tài)環(huán)境局關于印發(fā)龍巖市環(huán)境管控單元準根據(jù)《龍巖市生態(tài)環(huán)境局關于印發(fā)龍巖市環(huán)境管控單元準入要重點管控單元（ZH35082320001上杭工業(yè)園區(qū)，上杭縣重點管控單7區(qū)、生態(tài)敏感區(qū)、生態(tài)脆弱區(qū)、生物多樣性保護優(yōu)先區(qū)、自然保護環(huán)境管控單元編碼環(huán)境管控單元名稱管控單元類別管控要求項目情況符合性分析上杭工業(yè)園區(qū)重點管控單元空間布局約束1.南崗組團不宜布置大氣污染嚴重的企業(yè)。本項目不屬于大氣污染嚴重的企業(yè)符合2、金銅制品加工產(chǎn)業(yè)禁止引入金屬冶及新材料延伸產(chǎn)業(yè)產(chǎn)業(yè)禁止引入化工硅生產(chǎn)。本項目為芯片生產(chǎn)項目，不屬于金銅制品加工產(chǎn)業(yè)符合3.農(nóng)副產(chǎn)品加工業(yè)禁止引入屠宰及水產(chǎn)品加工項目。本項目不屬于農(nóng)副產(chǎn)品加工項目符合4.嚴格控制新、擴建要污染物排放的重點行業(yè)工業(yè)項目。本項目為芯片生產(chǎn)項目，不屬于氨氮、總磷等主要污染物排放的重點行業(yè)工業(yè)項目符合污染物排放管控1.新建涉VOCs項目實行區(qū)域內等量替代。本項目實行區(qū)域內等量替代符合2.新（擴）建的有色產(chǎn)品加工水污染項目所需總量指標實行主要污染物排放等量或減量置換。本項目不屬于有色金屬壓延加工、農(nóng)副產(chǎn)品加工水污染項目符合環(huán)境風險防控建立健全環(huán)境風險完善有效的環(huán)境風險防控設施和有效和事故廢水污染地環(huán)境。本項目擬按規(guī)范建設健全環(huán)境風險防控體系，并制定環(huán)境風險應急預案，建立完善有效的環(huán)境風險防控設施和有效的攔截、降污、導流等措施符合8政綜[2021]72號）、《龍巖市生態(tài)環(huán)境局關于印發(fā)龍巖市環(huán)境管控福建晶旭半導體科技有限公司晶旭半導體2英寸化合物半導體芯片生產(chǎn)項目位于福建省龍巖市上杭縣南崗工業(yè)園區(qū)龍翔片區(qū)，已導體科技有限公司晶旭半導體2英寸化合物半導體芯片生產(chǎn)項目選不沖突。項目投入運行后對周圍環(huán)境及敏感目標的影響在可接受范分工業(yè)行業(yè)淘汰落后生產(chǎn)工藝裝備和產(chǎn)品指導目錄(2010年本)》，本項目采用的主要設備不屬于該目錄中淘汰落后設備。根據(jù)《國民照《產(chǎn)業(yè)結構調整指導目錄（2019年本）》，本項目屬于產(chǎn)業(yè)政策），9建設內容2.1項目組成情況福建晶旭半導體科技有限公司于2021年2月租用福建省龍巖市上杭縣南崗工業(yè)園區(qū)黃竹村沿河路18號上杭縣興杭工業(yè)建設發(fā)展有限公司標準廠房，建設光電集成模組生產(chǎn)項目，建設單位已于2021年2月委托龍巖市嘉誠環(huán)保科技有針對國家戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)集成電路與信息顯示市場契機（5G），靠國家2035新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略需求，積極研發(fā)制造具有自主產(chǎn)權的第四代超寬禁帶半導體產(chǎn)品，突破技術壟斷。福建晶擬新增投資100160.00萬元建設晶旭半導體2英寸化合物半導體芯片生產(chǎn)項目。棟6層食堂綜合宿舍樓，2棟甲類倉庫，配套建設氨氣儲庫、氮氣儲庫、污水處理站、事故應急池、鍋爐房、危險儲存間等濾波器芯片（項目分二期建設，其中，一期建設10條傳感濾波器芯片，年產(chǎn)4億顆傳感濾波器芯片，二期建設20條傳感濾波器芯片，年產(chǎn)8億顆傳感濾波器），術人員進行了現(xiàn)場踏勘，并根據(jù)建設單位提供的基本資料以及相關法表2-1建設項目環(huán)境影響評價分類管理目錄（摘錄）類別報告書報告表登記表三十六、計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)39電子器件制造397/顯示器件制造；集成電路制造；使用有機溶劑的；有酸洗的以上均不含僅分割、焊接、組裝的/舍綜合樓，配套建設氨氣儲庫、氮氣儲庫、污水處理站、事故應急危險儲存間、道路、廣場、綠化、配電房、倉庫、門衛(wèi)室、籃球項目分二期建設，其中，一期建設2棟3層廠房、1棟2層廠房、1棟研發(fā)辦公工程類別工程名稱建設內容主體工程1#廠房（一期工程）一層為外延車間，設置外延片生產(chǎn)線，區(qū)內設置有MOCVD外延爐、烤盤爐、尾氣處理器、酸堿清洗臺等生產(chǎn)設施二層為芯片車間，設置芯片生產(chǎn)線，區(qū)內設置有光刻機、清洗機、蒸鍍機、刻蝕機、CMP、測試機、劃片機等生產(chǎn)設施三層為封測車間，主要設備有固晶機、焊線機等。2#廠房一層是產(chǎn)成品倉庫，2層和3層均是封測車間3#廠房（二期工程）一層是產(chǎn)成品倉庫，2層~4層均是封測車間4#廠房（二期工程）一層為外延車間，設置外延片生產(chǎn)線，區(qū)內設置有MOCVD外延爐、烤盤爐、尾氣處理器、酸堿清洗臺等生產(chǎn)設施二層為芯片車間，設置芯片生產(chǎn)線，區(qū)內設置有光刻機、清洗機、蒸鍍機、刻蝕機、CMP、測試機、劃片機等生產(chǎn)設施三層為封測車間，主要設備有固晶機、焊線機等。四層為封測車間，主要設備有固晶機、焊線機等。輔助工程CUB是動力中心區(qū)內設置高壓配電房、污水處理站（處理能力為1600t/a）、空調系統(tǒng)（冰機、天然氣鍋爐），純水系統(tǒng)設備，PCW系統(tǒng)、事故應急池（容積約680m3）等公用工程給水系統(tǒng)市政供水管網(wǎng)排水系統(tǒng)采用“雨污分流、清污分流”，雨污水均引至項目區(qū)北側龍翔大道市政雨污水管網(wǎng)排放。供電系統(tǒng)由上杭縣南崗工業(yè)園區(qū)供電管網(wǎng)供應環(huán)保工程廢水處理系統(tǒng)生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)內污水處理站（一期和二期共用一套污水處理設施，其中，研磨廢水經(jīng)研磨廢水處理設施處理后、含氟廢水經(jīng)含氟廢水處理設施處理后、有機廢水經(jīng)有機廢水處理設施處理后同酸堿廢氣一起經(jīng)中和沉淀處理）處理后同生活污水一起經(jīng)市政污水管網(wǎng)進入上杭縣佳波污水處理廠處理廢氣處理系統(tǒng)1#廠房外延片MOCWD廢氣經(jīng)燃燒+洗滌塔處理后由30m高排氣筒（DA001）排放；酸堿廢氣和沉積廢氣經(jīng)集氣罩+洗滌塔處理后由30m高排氣筒（DA002）排放；有機廢氣經(jīng)集氣罩+洗滌塔+干燥棉+活性炭吸附裝置收集后由30m高排氣筒（DA003）排放；4#廠房外延片MOCWD廢氣經(jīng)燃燒+洗滌塔處理后由30m高排氣筒（DA004）排放；酸堿廢氣和沉積廢氣經(jīng)集氣罩+洗滌塔處理后由30m高排氣筒（DA005）排放；有機廢氣經(jīng)集氣罩+洗滌塔+干燥棉+活性炭吸附裝置收集后由30m高排氣筒（DA006）排放；鍋爐燃燒廢氣經(jīng)收集后由15m高排氣筒（DA007）排放；污水處理站廢氣經(jīng)收集后經(jīng)活性炭吸附裝置處理后由15m高排氣筒（DA008）排放固廢收集系統(tǒng)建有1間一般固廢儲存間和1間危廢廢物儲存間，均位于項目區(qū)中部CUB廠房西北側，占地面積分別為20m2和60m2。項目一般固體廢物均外售給物資回收部門，危廢廢物經(jīng)收集后分類暫存于危險廢物暫存間，委托有資質單位處置；生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門清運處置隔聲降噪系統(tǒng)采用隔聲、減振等降噪措施2.1.3建設規(guī)模、原輔材料及主要設備清單序號工程名稱產(chǎn)品名稱年產(chǎn)量年工作時間1外延片生產(chǎn)線外延片56萬片（其中，一期7920h2傳感器濾波芯片生產(chǎn)線傳感器濾波芯片億顆，而且8億顆）7920h注：外延片1臺外延爐一批次5h，14片，一期一年1429批次，二期一年1286批次。傳感器濾波芯片每天工作24h，一年工作330d（其中，硫酸清洗時間3h/d，330d/a；鹽酸、硝酸、BOE清洗時間5h/d，330d/a；干法蝕刻時間為3h/d，330d/a；沉積時清潔時間為1h/d，330d/a；有機清洗、去膠、光刻、去蠟時間為8h/d，330d/a）。類別名稱重要組分、規(guī)年用量最大暫存量儲存場所一期用量二期用量總用量襯底/硅片Si/碳化硅片SiC4"&6"20萬片36萬片56萬片2.5萬片原輔材料倉庫MO源三甲基鎵/400kg800kg1200kg50kg甲類倉庫三甲基鋁/25kg40kg3kg三甲基銦/30kg50kg80kg6kg三乙基鎵/20kg二茂鎂/2kg2kg4kg0.5kg靶材金4N40kg60kg100kg原輔材料倉庫獨立隔間及保鉑4N0.8kg2.0kg0.2kg鈦4N0.8kg2.0kg0.2kg鉻4N0.8kg2.0kg0.2kg原輔材料倉庫鋁4N0.8kg2.0kg0.2kg鎳4N0.8kg2.0kg0.2kg鎢4N0.8kg2.0kg0.2kg銅4N0.8kg2.0kg0.2kg鉬4N0.8kg2.0kg0.3kgTiW靶材4N2.5kg4.0kg0.3kg金錫合金4N4kg6kg大宗氣體氫氣魚雷車裝載30000m330000m360000m326m30.62t氫氣站液氨（99.999%）液氨槽車400t600t9.8t液氨儲罐氮氣50m3氮氣罐200000m3400000m3400000m350m3氮氣罐特氣高純氦氣PHe6N47L鋼瓶2瓶2.48kg2瓶2.48kg4瓶4.96kg1.24kg特氣房（位于1#高純氧氣PO26N47L鋼瓶2瓶20.12kg2瓶20.12kg4瓶40.24kg10.06kgWF66N47L鋼瓶2瓶200kg2瓶200kg4瓶400kg100kg1.2%Kr/Ne47L鋼瓶2瓶8.72kg2瓶8.72kg4瓶17.44kg4.36kg0.95%F2/1.25%Kr/Ne47L鋼瓶2瓶8.86kg2瓶8.86kg4瓶17.72kg4.43kg特氣房（位于1#一氧化二氮/笑氣（N2O）47L鋼瓶4瓶290kg29kg47L鋼瓶4瓶200kg300kg500kg50kg三氟甲烷（CHF3）47L鋼瓶4瓶120kg300kg30kg四氟化碳（CF4）47L鋼瓶4瓶120kg300kg30kgCl247L鋼瓶4瓶200kg300kg500kg50kg5%Cl2/N247L鋼瓶4瓶25.32kg37.98kg63.3kg6.33kg5%SiH4/N247L鋼瓶4瓶23.68kg35.52kg59.2kg5.92kg烷）47L鋼瓶5.87kg5.87kg2瓶5.87kg200ppmSiH4（硅烷）47L鋼瓶4瓶23.48kg35.22kg58.70kg5.87kgSiH2Cl2(二氯氫硅)47L鋼瓶2瓶74kg185kg37kgBCl347L鋼瓶2瓶100kg4瓶200kg300kg50kgSiCl447L鋼瓶2瓶94kg2瓶94kg4瓶188kg47kgCF4(80%)--O2(20%)47L鋼瓶2瓶32.22kg2瓶32.22kg4瓶64.44kg封裝PCB板陶瓷板20萬片30萬片50萬片3萬片原輔材料倉庫銀膠500g/罐20kg3kg元器件貼片電200萬300萬500萬20萬片無鉛錫膏500g/罐20kg20kg40kg3kg光刻膠正性光刻膠（酚醛樹脂類）瓶裝600L1000L2.05t1600L3.28t0.328t原材料倉庫，冰柜負性（聚乙烯醇肉醇肉桂酸瓶裝300L0.624t600L1.248t900L1.872t40L0.083t去蠟液乙二胺油酸酯（EDO-86）&胺基糖酯瓶裝3000L3.24t3000L3.24t6000L6.48t250L0.27t甲類倉庫化學品正膠顯影液（2.3%TMAH)瓶裝10000L8.66t16000L13.856t26000L22.516t1000L0.866t負膠顯影液（2.3%TMAH)瓶裝3000L2.598t5000L4.33t8000L6.928400L0.346t甲類倉庫去膠液（NMP70%+30%有機堿）瓶裝10000L10.80t20000L21.60t30000L32.40t1500LH2O2（30%）瓶裝6000L16000L20000L300LIPA（異丙醇）瓶裝，EL級10000L7.85t20000L30000L23.55t0.235tACE（丙酮）瓶裝，EL級6000L4.74t10000L7.9t16000L12.64t200L酒精（99.5%無水乙醇）瓶裝600L0.6295t1000L1.0492t1600L1.6787t200L0.210t冰乙酸（99%）瓶裝600L1000L1600L200L硫酸（98%）瓶裝600L1000L1600L2.944t0.367t鹽酸（37%）瓶裝600L0.7074t1000L1600L1.8864t200L0.236t硝酸（98%）瓶裝600L0.959t1000L1.615t1600L2.584t200L0.323tBOE瓶裝600L0.672t1000L1600L200L0.224tAB膠瓶裝200L0.42t400L0.84t600L30L0.063t增粘劑瓶裝200L300L研磨研磨液瓶裝600L1000L1600L拋光液瓶裝600L1000L1600L廢水處理絮凝劑袋裝25.4t44t原輔材料倉庫片堿袋裝3.0t0.5t氯化鈣袋裝5.6t7.8t廢氣處理活性炭袋裝24.0344.6668.69t3.00干燥棉袋裝24片軟水制備過濾膜袋裝2.4t3.9t0.5t燃料天然氣管道輸送56萬m356萬m33m0.0037不在廠區(qū)報警裝置+水噴淋裝置；④氨、氫氣和氮氣儲罐采用管道表2-5主要涉及的原輔材料理化、毒理序號名稱化學品標識理化性質危險特性毒理指標1三甲基鎵CAS號：1445-79-0EINECS215-897-6常溫常壓下為無色透明有毒液體。在空氣中易氧化，在室溫自燃，燃燒時發(fā)出金屬氧化物白煙。高溫時自行分解。它在已烷、庚烷等脂肪族飽和烴和甲苯、二甲苯等芳香族烴中以任何比例相溶。熔點：-15.8℃;沸點：55.8℃;液體密度：1151kg/m3）；蒸汽壓5.1KPa（-10℃)三甲基鎵接觸皮膚能引起組織破壞和燒傷。三甲基鎵的燃燒產(chǎn)物氧化物白煙，能刺激和腐蝕眼、皮膚和呼吸道粘膜，損傷支氣管、肺和腎，嚴重時可引起肺水腫。無數(shù)據(jù)資料2三甲基鋁CAS號：75-24-1EINECS200-853-0無色液體。密度：0.688壓）；遇水反應強烈一級自燃物品，接觸空氣、氧氣、水發(fā)生強烈化學反應，能引起燃燒，分解時放出有毒氣體/3三甲基銦CAS號：3385-78-2EINECS222-200-9沸點：135.8℃（101.3kPa閃點：18.0℃;在高溫下不穩(wěn)定。如暴露在空氣中極易自燃。遇水劇烈反應釋放易燃氣體，可引起燃燒爆炸。生產(chǎn)與使用時應在惰性氣體中操作，避免與水接觸并對人體做好防護措施/4三乙基鎵CAS號：1115-99-7EINECS214-232-7一種無色液體。比重1.0586(30℃)，熔點-82.3℃,沸點142.6℃。密度：1.058g/cm3；三乙基鎵在蒸氣中呈單體，在空氣中燃燒，發(fā)出猛烈的火焰。三乙基鎵溶于乙醚、苯等有機溶劑，遇冷水迅速分解產(chǎn)生二乙基氫氧化鎵和乙烷。危險品標志：F，C/5二茂鎂CAS號：1284-72-6又稱“雙（環(huán)戊二烯）鎂”。白色固體，對空氣和潮濕敏感。熔點：危險品標志：F/6氫氣CAS號：1333-74-0EINECS215-605-7氫氣是無色并且密度比空氣小的氣體（在各種氣體中，氫氣的密度最小。熔點：-259.2℃;沸點：-252.77℃（20.38K）；標準狀況下，1升氫氣的質量是0.089克。當空氣中的體積分數(shù)為4%-75%時，遇到火源，可引起爆炸。易燃級別：4易爆級別：1毒性級別：0/7氨氣CAS號：7664-41-7EINECS215-605-7無色氣體。有強烈的刺激氣味。密度：0.7710。相對密度0.5971(空氣的液體。在常溫下加壓即可使其液化(臨界溫也易被固化成雪狀固體。熔點-77.75℃。溶于水、乙醇和乙醚。在高溫時會分解成氮氣和氫氣，有還原作用。與空氣混合能形成爆高熱能引起燃燒爆炸。與氟、氯等接觸會發(fā)生劇烈的化學反應。若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。TLVTN:34mg/m3;ACGIH25ppm，17mg/m38氮氣CAS號：7717-37-9無色無臭氣體，熔點：-209.8℃;沸點：-195.6℃;相對密度（水=10.81微溶于水、乙醇若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險ACGIH窒息性氣體9氬氣CAS號：7440-37-1無色無臭的惰性氣體，熔點：-189.2℃;沸點：-185.7℃;相對密度（水=11.40飽和蒸氣壓：202.64kPa若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險/氦氣CAS號：7440-59-7無色無臭的惰性氣體，熔點：-272.1℃;沸點：-268.9℃飽和蒸氣壓：202.64kPa（-268℃);不溶于水、乙醇曝露于高熱或火焰時，鋼瓶內壓力會上升，大部分的鋼瓶皆被設計可由瓶閥的破裂片釋放高壓氣體，如果破裂片失效，會導致爆炸。/氪氣CAS號：7439-90-9無臭無色，壓縮液化氣體。熔點：-157℃;沸點：-153℃;蒸汽密度（空氣=12.92；危害效應：窒息/氧氣CAS號：7782-44-7無色無臭氣體。熔點：-218.8℃;沸點：-183.1℃;飽和蒸氣壓：2506.6kPa溶于水、乙醇易燃物，能氧化大多數(shù)活性物質與易燃物(如乙炔、甲烷等)形成有爆炸性的混合物。/N2OGB2.2類無色、無臭帶有微甜氣與乙醚、乙烯等易燃閾限值TLV未氣，氧化亞氮）22017（壓縮的22018（液化的）。UNNo.1070（壓縮的）CODE01，2101-2頁2類。味的非易燃氣體，液化氣也無色。室溫時穩(wěn)定。相對密度：1.98(氣體)，1.226(液體)。溶于水、乙醇、乙醚、濃硫酸。氣體和有機性氣體能起助燃作用，從而加劇火焰的燃燒，刺激性小于氨氧化物，吸入90%以上的氣體時可引起深度麻醉，長期吸入高濃度時有窒息危險。從麻醉后蘇醒過來后心情愉快，被認為無細胞毒性。設定硅烷H4）21050。UNNo.2203。IMDGDE2111-2頁2類。副危險3類。易燃氣體，毒害品。無色帶有令人討厭的臭味。相對密度0.68(-185℃)，熔點界溫度-4℃,蒸汽密度1.1．遇水緩慢水解。不溶于乙醇、乙醚和苯。在常溫下穩(wěn)定，高溫時能自燃。為強還原劑。在400℃左右完全分解成硅和氫，與鹵素和氧化劑接觸劇烈反應。能與空氣形成爆炸性混合物，爆炸極限燃，遇熱源和火源有燃燒爆炸的危險，并釋放出劇毒氣體。有眼睛、粘膜和呼吸器官。/六氟化硫（SF GB2.2類22021。原鐵規(guī)：不燃氣體，No.1080IMDGCODE2114頁2類無色、無臭、非易燃液化氣體。特點是相對密度極大，約為空氣的5倍左右。相對密度熔點-50.8℃,-63.8℃升華，>800℃時分解，臨力3.81×105Pa，蒸汽密度6.6。難溶于水，微溶于醇。對熱及化學品都非常穩(wěn)定。藥理上被認為是惰性氣體。但一氟化硫、四氟化硫和五氟化硫等氣體都是非常毒的刺激性氣體，有類似光氣對呼吸系統(tǒng)的危害作用，如商品中混有上述物質則會引起中毒。TWA：1000ppm(5970mg/m3)二氯硅烷H2Cl2)CAS:4109-96-0第2.3類有毒氣體無色氣體。熔點(℃)：-122；沸點(℃)：8.3；自燃溫度(℃)：58；相對密度（水）1.26；蒸汽壓：167.16KPa(20℃)，溶于苯、乙醚等多數(shù)有機溶劑。易燃，其蒸氣能與空氣形成范圍廣闊的爆炸性混合物。遇熱源和明火有燃燒爆炸的危險。與鹵素及其它氧化劑劇烈反應。遇水或水蒸氣劇烈反應，生成鹽酸煙霧。/氯氣（Cl2GB2.3類23002（液黃綠色有刺激性臭味的氣體。在空氣中不燃。一般可燃物大都能在氯氣3.5ppm時可感到臭味；15ppm)化的）。原鐵規(guī)：劇毒氣體，31001。UNNo.1017。IMDGCODE2028頁2類。副危險6.1類在常溫下7.09×105Pa以上壓力時為液體，液態(tài)氯呈現(xiàn)金黃色。相對密度3.214，熔點7.71×105Pa，蒸氣壓6.40×105Pa(20℃)，蒸汽密度2.49。氯可從溴或碘的鹽中將它們置換出來。能與有機物和無機物進行取代和加成反應。干的氯稍不活潑，濕氯能直接與大多數(shù)元素結合。中燃燒。它能與許多化學品猛烈反應發(fā)生爆炸或生成爆炸性物質。幾乎能對金屬和非金屬都起腐蝕作對眼睛和呼吸系統(tǒng)的粘膜有極強的刺激性。對皮膚也有強刺激性，形成可見刺激癥狀和水瘡。時對眼睛和呼吸道有刺激作用，并感到疼感及胸部緊迫感；50ppm時瞬間可引起嚴重損粘痰及咯血；100ppm時瞬間可引起呼吸困難，脈搏減少，發(fā)紺；1000ppm時立即死亡。美國ACGIH生產(chǎn)環(huán)境化學物質閾限值(TLV):TWA0.5ppm(1.5mg/m3)STEL:1ppm(3.0mg/m3)三氯化硼（BC GB2.2類22023。原鐵規(guī)：一級無機酸性腐蝕物UNNo.1741。IMDGCODE2020頁2類。副危險8類無色帶有強烈窒息性臭味的液體或氣體，在潮濕空氣中可形成白色腐蝕性濃厚煙霧。相對密度1.35(12℃)，熔點-107℃,沸點-12.5℃,蒸汽壓：蒸氣密度4.03。非易燃氣體。有極強反應性。遇水發(fā)生爆炸性分解，散發(fā)出有刺激性的和腐蝕性的有機物等可發(fā)生激烈反應。遇潮氣對大多數(shù)金屬有強腐蝕性，兼有氯化氫和硼兩者的毒性。長期接觸會侵犯胃神經(jīng)。刺激性極強，接觸氣體能刺激眼睛、皮膚和呼吸系統(tǒng)，液體能灼傷眼睛和皮膚。/SiCl4CAS:10026-04-7EINECS:233-054-0無色或淡黃色發(fā)煙液體，有刺激性氣味，易潮解。熔點(℃)：-70；沸點(℃)：57.6；相對蒸飽和蒸氣壓(kPa)：55.99(37.8℃)；溶解性：可混溶于苯、氯仿、石油醚等多數(shù)有機溶劑。該品不燃，具強腐蝕性、刺激性，可致人體灼傷。對眼睛及上呼吸道有強烈刺激作用。高濃度可引起角眼直接接觸可致角膜及眼瞼灼傷。皮膚接觸后可引起組織壞死。LC50:54640mg/kg（大鼠經(jīng)口）20三氟甲烷CHF3（氟仿，氟利昂23）GB2.2類22032。UNNo.1984。IMDGCODE2120頁2類無色非易燃的氣體。密度：1.246，熔點-160℃,沸點-84℃,蒸汽密度2.4。不燃，受熱分解釋放高濃度時產(chǎn)生麻醉作用閾限值TLV未設定21化碳（CF氟甲烷，氟利GB2.2類22033。UNNo.1982。IMDGCODE2116頁2類無色非易燃的氣體。蒸汽密度3.1。受熱鋼瓶內壓增加有爆炸的危險。低毒。對呼吸道有刺激，高濃度時具有麻醉作閾限值TLV未設定22正性光刻膠RD-2900丙二醇甲醚醋酸酯（60%-90%）、酚醛樹脂（10%~35%）、重氮萘醌磺酸酯化物紅棕色或者酒紅色澄清粘稠液體；閃點：42.2℃（閉杯）相對密度（水=1）：相對蒸汽密度（空氣=1）：＞1；飽和蒸氣壓：0.505kPa（25℃)溶解性1.5g/100g水爆炸上/下限%：7.0-1.5（V/V）易燃液體（1）經(jīng)口：未分類（ATEmix>5000mg/kg）（2）經(jīng)皮膚24h：未分類（ATEmix＞5000mg/kg）23負性光刻膠D-NL-70丙二醇甲醚醋酸酯（50%-90%）、酚醛樹脂（10%~50%）黃色或者亮黃色澄清粘稠液體；閃點：42.2℃（閉杯）相對密度（水=1）：相對蒸汽密度（空氣=1）：＞1；飽和蒸氣壓：0.505kPa（25℃)溶解性1.5g/100g水爆炸上/下限%：7.0-1.5（V/V）易燃液體（1）經(jīng)口：未分類（ATEmix>5000mg/kg）（2）經(jīng)皮膚24h：未分類（ATEmix＞5000mg/kg）24UV膠CAS:9050-06-0EINECS:685-083-7一種必須經(jīng)過紫外線光照射才能固化的一類膠粘劑。由高分子材料和感光材料組成，主要成份為桂皮酸乙烯樹脂類。不含任何有機溶劑。沸點365℃//（760mmHg），閃光點189.5℃。正膠經(jīng)曝光顯影后可溶于顯影液，負膠則不行。同樣一塊模具，正膠和負膠曝光顯影后圖形是相反的。25去蠟液混合物乙二胺油酸酯EDO-86:15.7%；C13異丙醇酰胺DF-21:12.1%；精油乳化劑AG1202:2%；水：余量無色有輕微氣味的透明液體；不溶于水沸程：185-220℃閃點：50-65℃蒸氣壓：2psi（21.1℃)易燃液體，皮膚刺激性；燃燒產(chǎn)生有毒氣體對眼睛有刺激性26顯影液有毒，四甲基氫氧化銨用去離子水稀釋的強堿溶液四甲基氫氧化銨、表面活性劑、水的混合物，比例為2:1:97，透明有氨味液體，沸點大于揮發(fā)速率比乙醚慢不燃刺激性。對皮有刺激作用27NMP（N-吡咯烷/無色透明液體，沸點與水混溶，溶于乙醚，丙酮及各種有機溶劑，稍有氨味，化學性能穩(wěn)對銅稍有腐蝕性。具有粘度低，化學穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性好，極性高，揮發(fā)性低，能與水及許多有機溶劑無限混溶等優(yōu)點。//27雙氧水51001。一級無機酸性腐蝕物UNNo.201腐蝕品無色透明液體，深層時略帶淡藍色。相對密度：1.4426(25℃)，冰點：折光率：1.4067(25℃)，飽和蒸氣壓206.6Pa，臨力21683.6Pa。爆炸極限26~100%。與水互溶。溶于醇類、乙二醇、吡啶、醋酸酯、酸類和酮。爆炸性強氧化劑。本身不燃，但能與可燃物反應并產(chǎn)生足夠的熱量引起著火，最終可導致爆炸。其爆炸危險主要是因與有機物反應或雜質催化分解而產(chǎn)生。毒性主要是由過氧化氛的活性氧化作用所引起。可通過呼吸道吸入、皮膚接觸吸收美國ACGIH生產(chǎn)環(huán)境化學物質閥限值(TLV):TWA:(1.4mg/m3)雙氧水是微酸性液體，具有漂白作用。本身不燃，但分解放出的氧能強烈助燃。遇強氧化齊時也可被還原。對熱、雜質、沖擊、酸度，強光等均敏感，極易發(fā)生分解。和吞入等途徑引起中揮發(fā)性低，且具有強烈燒灼感，蒸汽吸入和吞入中毒的可能性小。28IPA丙CAS號：67-63-0EINECS200-661-7異丙醇是正丙醇的同分異構體，物色透明液體，有似乙醇和丙酮混合物的氣味，可溶于水，也可溶于醇、醚、苯、氯仿等多數(shù)有機溶劑，密度0.785g/cm3。熔點：易燃，具刺激性接觸高濃度蒸致惡心、嘔吐、觸可致皮膚干燥、皸裂。29丙酮（A有毒是一種無色透明液體，熔點:-94.6℃、沸點：56.5℃、易溶于水和甲醇、乙醇、乙醚、氯仿、吡啶等有機溶劑。易燃、易揮發(fā)，化學性質較活潑。有特殊的辛辣氣味。30酒精CAS號：無色液體，有酒香。78.3℃,相對密度（水=1）：0.79；飽和蒸氣點：12℃。氯仿、甘油等多種有機物易燃，其基氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火，高熱能引起燃燒爆炸。與氧化劑接觸發(fā)生化學反應或引起燃燒。在火場中，受熱的容器有爆炸危險。其蒸氣比空氣重，能在較低處擴散到相當遠的地方，遇火源會著火回燃TLVTN:OSHA1000ppm，1880mg/m3;ACGIH1000ppm，1880mg/m331冰乙酸CAS號：無色透明液體，有刺激性酸臭。熔點：16.6℃;引燃溫度：463℃;溶于水、醚、甘油，不溶于二硫化碳易燃，具腐蝕性、強刺激性，可致人體灼傷。屬低毒類32硫酸CAS號：7664-93-9無水硫酸為無色油狀液體，通常使用的是它的各種不同濃度的水溶密度：1.8305g/cm3,熔遇水大量放熱，可發(fā)生沸濺。與易燃物(如苯)和可燃物(如糖、纖維素等)接觸會發(fā)生劇烈反應，其至引屬中等毒性。急性毒性:LD502140mg/kg(大鼠經(jīng)口);點：10.371℃;沸點-5mmHg。與水任意起燃燒。遇電石、高氯酸鹽，雷酸鹽，硝酸鹽，苦味酸鹽，金屬粉末等猛烈反應，發(fā)生爆炸或燃燒。有強烈的腐蝕性和吸水性。LC50510mg/m3,2小時(大鼠吸入)；320mg/m3,2小時(小鼠吸入)33磷酸CAS號：7664-38-2純磷酸為無色結晶，無臭，具有酸味。熔點：42.4℃（純品沸點：260℃;與水混溶，可混溶于乙醇等多種有機溶劑遇金屬反應放出氫氣，能和空氣形成爆炸性混合物，受熱分級產(chǎn)生劇毒氧化磷煙氣。含油腐蝕性急性毒性LD50：1530mg/kg（大）；2740mg/kg（兔經(jīng)皮）34鹽酸CAS號：7647-01-0無色或淡黃色發(fā)煙液體，有刺鼻的酸味。度（水=1）：1.20；飽和蒸氣壓：30.66kPa溶于堿液。能與一些活性金屬粉末發(fā)生反應，放出氫氣。遇氰化物能產(chǎn)生劇毒的氰化氨氣體。與堿發(fā)生中合反應，并放出大量的熱。具有較強的腐蝕性。TLVTN:7.5mg/m335硝酸CAS號：7697-37-2純品為無色透明發(fā)煙液（無水），沸點：86℃（無水）；相對蒸汽密度（空氣=1）：2.17；飽和蒸氣壓：4.4kPa（20℃)。與水混溶。強氧化劑。能與多種物質如金屬粉末、電石、硫化氫、松節(jié)油等猛烈反應，甚至發(fā)生爆炸。與還原劑，木屑、棉花、稻草或廢紗頭等接觸，引起燃燒并散發(fā)出劇毒的棕色煙霧。具有強腐飩性。TLVTN:OSHA2ppm，5mg/m3;ACGIH2ppm，5.2mg/m336氫氟酸CAS號：7664-39-3無色透明有刺激性臭味的液體，商品一般為40%水溶液。熔點：-83.1℃（純）；沸點：120℃（35.3%相對密度（水=11.26（75%）；與水混溶。本品不燃，但能與大多數(shù)金屬反應，生成氫氣而引起爆炸。遇H發(fā)泡劑立即燃燒。腐蝕性極強。TLVTN:2.6mg/m37氧化銦錫(ITO)CAS號：50926-11-9氧化銦錫是一種混合物，透明茶色薄膜或黃偏灰色塊狀，由90%In2O3和10%SnO2混合而成。熔點287℃;密度：7.156g/cm3；/IARC致癌物分類：2B(Vol.201838AB膠又叫兩液混合硬化膠A組分為本膠：環(huán)氧樹B組分為硬化劑，或含有催化劑和其他助劑。//39增粘劑酚醛樹脂CAS號：9003-35-4本項目所用增粘劑主要為酚醛樹脂。熱塑性樹脂狀物，相對分子質量半液態(tài)//40無鉛錫膏80-90%錫、2-4%銀、4-6%松香、低于2%四乙二醇二甲醚、低于1%銅琥珀色膠黏體，輕微醚>275℃,熔點217-220℃,不溶于水不燃大鼠經(jīng)口LD50:5140mg/kg序號設備名稱設備型號單位數(shù)量備注一期二期合計外延片生產(chǎn)車間1MOCVD外延爐晶旭自研臺2030--2烤盤爐HBM-1000G臺4483燃燒式尾氣處理器NSGB1.5K套54吸附式尾氣處理器NSOD200S套465酸堿清洗臺手動套1126XRD布魯克臺1127PL測試儀Plato臺1128霍爾測試儀臺1129AFM原子力顯微鏡BrukerIcon3100臺112CV電學測試Cvmap92ASystem臺112芯片車間1步進式光刻機（Stepper）Nikoni7/i8/i10/i11臺358/2接觸式光刻機（Aligner）SUSSMA6臺246/345678920212223272829303132自動勻膠機國產(chǎn)-3C臺69//////2臺研磨////////////////////自動顯影機國產(chǎn)-4D臺822HMDS（高溫真空烘套112SEM（電子顯微鏡）進口套112金相顯微鏡臺66橢偏儀臺112自動有機清洗臺套448自動酸堿清洗臺套224爐管清洗臺套112手動清洗臺套112甩干機臺66撕金機臺112反應離子刻蝕機（RIE）套246耦合等離子體刻蝕機（ICP）套246磁控濺射（Sputter）套246離子束刻蝕機（IBE）套246電子束金屬蒸鍍機（E-gun）套224等離子設備（Plasma）套246等離子化學氣相沉積儀（PECVD）套246低壓化學氣相沉積儀(LPCVD）套112鎢化學氣相沉積（WCVD）套134原子層沉積（ALD）套224深硅刻蝕機套246鍵合機（bonding）套48尾氣處理器臺46退火爐（RTA）臺224四探針儀進口臺11233臺階儀Dektak150臺111/34COW測試機臺111/35上蠟機臺37/36研磨機臺37/37CMP臺358/38自動貼片機臺112/39自動劃片機臺5/40自動裂片機臺55/41翻轉倒膜機臺112/42擴張機臺112/43COT測試機臺20/44全自動目檢機（AOI）臺325/45體式顯微鏡臺20/封測車間1固晶機臺203050/2烤箱臺553等離子清洗機套1234焊線機臺50505磨壓機臺486切割機臺8207打碼機臺3368測試機臺20309回流焊臺235AOI檢測臺235氣站1氫氣魚雷車(租用)26m3輛2氫氣站2液氨槽車（租用）9.8t/2.0MPa輛2氨氣供應站3氮氣罐50m3套1氮氣站公輔設備1RO反滲透系統(tǒng)180m3/h套1/2純水制備系統(tǒng)40m3/h套13空壓系統(tǒng)每臺700m3/h臺24天然氣鍋爐2100kW，3t/h臺25冷卻塔3600m3/h座26冰機4000冷噸臺3/7真空系統(tǒng)1000HP套1/8廢排氣系統(tǒng)50000m3/h套1/9污水處理系統(tǒng)300T/D套1/部UCB廠房內，氫氣儲罐、液氨儲罐、2.2工藝流程和產(chǎn)污環(huán)節(jié)污染因素名稱排放特性/性質污染因子廢氣G1含氨廢氣、NOx氨、NOxG2有機廢氣丙酮、氯化氫、硫酸霧G3刻蝕廢氣Cl2G4沉積廢氣NOxG5光刻有機廢氣VOCs（以非甲烷總烴表征）G6刻蝕廢氣氟化物G7光刻有機廢氣VOCs（以非甲烷總烴來表征）G8刻蝕廢氣Ar、HeG9沉積廢氣NOxG10光刻有機廢氣VOCsG11光刻有機廢氣VOCsG12酸堿、有機廢氣HF、異丙醇G13沉積廢氣NOxG14光刻有機廢氣VOCsG15刻蝕廢氣氟化物G16酸廢氣硫酸霧、BOEG17光刻有機廢氣VOCs（以非甲烷總烴表征）G18刻蝕廢氣氟化物G19有機酸、廢氣硫酸霧、BOE、異丙醇G20光刻有機廢氣VOCsG21酸廢氣HFG22有機廢氣丙酮、異丙醇G23光刻有機廢氣VOCs（以非甲烷總烴表征）G24酸廢氣BOEG25廢膠氣VOCs（以非甲烷總烴表征）廢水W1沖洗廢水氫氧化鈉/磷酸W2沖洗廢水硝酸/鹽酸/硫酸/雙氧水/丙酮W3沖洗廢水拋光液W4沖洗廢水顯影液W5沖洗廢水顯影液W6沖洗廢水顯影液W7沖洗廢水氫氟酸或氟化銨W8沖洗廢水顯影液W9沖洗廢水氫氟酸、異丙醇、NMPW10沖洗廢水顯影液W11沖洗廢水硫酸、氫氟酸W12沖洗廢水顯影液W13沖洗廢水異丙醇、硫酸、氫氟酸、NMPW14沖洗廢水顯影液W15沖洗廢水氫氟酸、金蝕刻液、銅蝕刻液W16沖洗廢水研磨液、顆粒物W17沖洗廢水顯影液W18沖洗廢水氫氟酸、金蝕刻液、銅蝕刻液W19沖洗廢水顆粒物生活污水等廢液L1廢液氫氧化鈉/磷酸L2廢有機、廢酸溶液硝酸/鹽酸/硫酸/雙氧水/丙酮L3拋光廢液拋光液L4顯影廢液顯影液L5顯影廢液顯影液L6顯影廢液顯影液L7酸廢液緩沖氧化物刻蝕液（氫氟酸（49%）與水或氟化銨與水混合而成）L8顯影廢液顯影液L9有機、酸廢液氫氟酸、異丙醇、NMPL10顯影廢液顯影液L11酸廢液硫酸、氫氟酸L12顯影廢液顯影液L13有機、酸廢液異丙醇、硫酸、氫氟酸、NMPL14顯影廢液顯影液L15酸廢液氫氟酸、金蝕刻液、銅蝕刻液L16顯影廢液顯影液L17酸廢液氫氟酸、金蝕刻液、銅蝕刻液S1不合格基/S2不合格外延片/S3貴金屬廢料/S4貴金屬廢料/S5貴金屬廢料/S6貴金屬廢料/S7貴金屬廢料/S8砂輪廢料/S9貴金屬廢料/S10廢砂輪/S11不合格芯片/S12廢AB膠/S13廢金屬線材/S14廢硅膠/S15金屬廢料/S16電子廢料/步進式光刻機、接觸式光刻機、自動勻膠機、自動顯影機、甩干機、撕金機、反應離子刻蝕機、耦合等離子體刻蝕機、沉積儀、鍵合機、研磨機等設備產(chǎn)生的機械噪聲連續(xù)Leq（A）與項目有關的原有環(huán)境污染問題），電半導體倒裝芯片及其集成發(fā)光芯片模組規(guī)模）；導體倒裝芯片及其集成發(fā)光芯片模組規(guī)?；?.4.1現(xiàn)有工程工藝流程4kg/a,產(chǎn)生的焊接煙塵可忽略不計，因此焊接/焊線工序排測：基板通電，檢測燈具是否能正常工作；將2.3.2現(xiàn)有工程污染物排放及治理情況水污染源及治理措施污水產(chǎn)生量4t/d，生活污水經(jīng)化糞池處大氣污染源及治理措施檢測點位采樣日期2021年12月8日2021年12月9日評價項目/頻次2nd3rd2nd3rd標準限值達標情況二樓有機廢氣排氣筒進口#標干流量m3/h2.45×1032.50×1032.41×1032.54×1032.46×1032.59×103//非甲烷總烴實測濃度mg/m3//產(chǎn)生速率kg/h0.0350.0350.0340.0360.0280.040//二樓有機廢氣排氣筒出口#標干流量m3/h2.58×1032.64×1032.55×1032.65×1032.62×1032.71×103//非甲烷總烴實測濃度mg/m34.594.294.614.082.99達標排放速率kg/h0.0120.0110.0120.0113達標三樓有機廢氣排氣筒進口#標干流量m3/h942894917998974//非甲烷總烴實測濃度mg/m36.495.656.66//產(chǎn)生速率kg/h35.48×10-36.52×10-335.50×10-36.93×10-3//三樓有機廢氣標干流量m3/h957988//非實測濃度mg/m3達標排氣筒出口#甲烷總烴排放速率kg/h33331.92×10-33達標檢測點位采樣日期2021年12月8日2021年12月9日評價項目/頻次2nd3rd2nd3rd標準限值達標情況上風向○5#非甲烷總烴mg/m30.240.280.230.260.240.272達標下風向○6#0.300.340.370.350.410.33下風向○7#0.420.370.400.340.370.39下風向○8#0.360.380.350.330.360.35廠區(qū)內○9#達標排放，廢氣中非甲烷總排放符合《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物排放標準》非甲烷總烴排放濃度可達到《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物排放標準》（DB35/1782-2018）表2標準和《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》（GB序號固體廢物名稱產(chǎn)生工序及裝置屬性形態(tài)主要成分有害成分產(chǎn)廢周期危險特性產(chǎn)生量t/a處置方式1生活垃圾員工生產(chǎn)生活生活固廢固態(tài)紙、塑料等/每天/環(huán)衛(wèi)部門清運2殘次品測試一般工業(yè)固廢固態(tài)光電集成模組/每年/0.1外售廠家3廢包裝桶原料包裝危險廢物/HW49其他廢物/900-041-49固態(tài)包裝桶有機溶劑每年T/In0.5收儲規(guī)范，交由福建龍麟環(huán)境工程有限公司處置4清洗廢液清洗危險廢物/HW06廢有機溶劑與含有機溶劑廢物/900-404-06液態(tài)有機溶劑有機溶劑每季R0.8收儲規(guī)范，交由福建龍麟環(huán)境工程有限公司處置5廢活性炭廢氣處理危險廢物/HW49其他廢物/900-039-49固態(tài)活性炭有機物每半年T收儲規(guī)范，交由福建龍麟環(huán)境工程有限公司處置無組織排放的非甲烷總烴濃度可達到《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物排放標準》無組織排放控制標準》（GB37822-2019）附錄A表A.1標準；項目廠界噪聲均三、區(qū)域環(huán)境質量現(xiàn)狀、環(huán)境保護目標及評價標準本項目位于福建省龍巖市上杭縣南崗工業(yè)園區(qū)龍翔片區(qū)，所在地表水環(huán)境為汀江流域南崗水廠取水口下游200米至李家坪渡口，執(zhí)行《地表水環(huán)境Ⅰ-Ⅲ類水質比例為100%；汀江流域國省控斷面Ⅰ-Ⅲ汀江（韓江）流域國省控斷面Ⅰ-Ⅲ類水質比例為100%；閩江流域國省控斷首要污染物為臭氧，SO2、NO2、PM10、PM2/zwgk/sjfb/hjsj/zlph/202307/t202城市綜合指數(shù)達標比例天數(shù)（%）SO2NO2PM10PM2.5CO-95perO3-8h-90per首要污染物龍巖2.6099.4933200.8臭氧設區(qū)市縣級城市達標比例天數(shù)（%）綜合指數(shù)首要污染物龍巖上杭縣臭氧本項目位于龍巖市上杭縣南崗工業(yè)園區(qū)龍翔片區(qū)，區(qū)域大氣環(huán)境質量可），根據(jù)現(xiàn)場踏勘，項目西南側約280m為上杭縣醫(yī)院，北側約70m為龍翔村居民住宅區(qū)，廠界外500米范圍內沒有文物古跡、風景名勝區(qū)及沒有地下水集中式飲用水源和熱水、礦泉水、溫泉等特殊地下水資源 環(huán)境要素環(huán)境保護目標名方位距離規(guī)模環(huán)境功能環(huán)境要素環(huán)境保護目標名方位距離規(guī)模環(huán)境功能 稱上杭縣醫(yī)院西南側280米800人《環(huán)境空氣質量標準》 龍翔村北側70米150人改單中的二級標準水環(huán)境汀江北側1000m/（GB3838-02）Ⅲ類水準3.3污染物排放控制標準3.3.1廢水排放標準(GB39731-2020)表1間接排放標準；員工生活污水經(jīng)化糞池處理后達到《污類別執(zhí)行標準及級別指標標準限值單位生產(chǎn)廢水《電子工業(yè)水污染物排放標準》(GB39731-2020)表1間接排放標準pH6~9（無量綱）無量綱CODCr500mg/L400mg/LNH3-N45mg/L總氮（以N計）70mg/L氟化物20mg/LTOC200mg/L生活污水《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質標準》（GB/T31962-2015）pH6.5~9.5（無量綱）無量綱CODCr500mg/LBOD5350mg/L400mg/LNH3-N45mg/L污水處理站接管口上杭縣佳波污水處理廠納管標準pH6.5~9.5（無量綱）無量綱CODCr300mg/LBOD5mg/L250mg/LNH3-N35mg/L總氮（以N計）45mg/L表3-5《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標準》(GB18918-2002)標準來源、類別主要指標標準值單位《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標準》 (GB18918-2002)一級A標準pH值6-9無量綱COD60mg/LBOD52020NH3-N8總磷1動植物油33.3.2廢氣排放標準有組織氯化氫、顆粒物、氯氣、二氧化硫、硫酸霧、氟化物、非甲烷總氨的排放濃度參照執(zhí)行江蘇省《半導體行業(yè)污染物排放標準》氣污染物綜合排放標準》(DB31/933-2015)表A.4排囪不低于8m，新建鍋爐房的煙囪周圍半徑200m污水處理站硫化氫、氨執(zhí)行《惡臭污染物排放標準》(GB14554-93)表1排放限值，見表3-8。食堂油煙執(zhí)行《飲食業(yè)油煙排放標準（試行）》無組織硫酸霧、氯化氫、氟化物排放濃度執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標總烴排放執(zhí)行福建省《工業(yè)涂裝工序揮發(fā)性有機物排放標準》（DB35/1783-2018）中相關排放標準；同時，根據(jù)福建省生態(tài)環(huán)境廳《關于國家和地方相關大氣污染物排放標準執(zhí)行相關事項的通知》（閩環(huán)保大氣表3-6大氣污染物排放標準（有組織）污染物最高允許排放濃度mg/m3最高允許排放速率kg/h排放高度m標準來源顆粒物2330《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)表2二級標準氯化氫30氯氣650.8730硫酸霧458.8030氟化物9.00.5930非甲烷總烴5330異丙醇40//江蘇省《半導體行業(yè)污染物排放標準》(DB32/3747-2020)表3排放限值氨//丙酮//上海市《大氣污染物綜合排放標準》(DB31/933-2015)表A.4排放限值序號鍋爐類別污染物排放濃度（mg/m3）煙囪最低高度要求1燃氣鍋爐顆粒物208m2二氧化硫503氮氧化物2004煙氣黑度≤1污染物周界惡臭污染物排放濃度限值(mg/m3)排放標準值排氣筒高度（m）排放速率（kg/h）氨4.9硫化氫0.060.33臭氣濃度a202000備注a：臭氣濃度單位為無量綱。表3-9食堂油煙最高允許排放濃度和油煙凈化設施最低去除效率規(guī)模小型大型最高允許排放濃度（mg/m3）2.0凈化設施最低去除效率（%）6075表3-10項目無組織廢氣大氣污染物排放限值污染物無組織排放監(jiān)控濃度限值標準來源監(jiān)控點濃度限值(mg/m3)氯化氫企業(yè)邊界監(jiān)控點濃度限值0.2《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)表2二級標準硫酸霧企業(yè)邊界監(jiān)控點濃度限值氟化物企業(yè)邊界監(jiān)控點濃度限值0.02氨企業(yè)邊界監(jiān)控點濃度限值江蘇省《半導體行業(yè)污染物排放標準》(DB32/3747-2020)表3排放限值非甲烷總烴企業(yè)邊界監(jiān)控點濃度限值2.0揮發(fā)性有機物排放標廠區(qū)內監(jiān)控點濃度限值8.0廠界內監(jiān)控點處任意一次濃度值30《揮發(fā)性有機物無組37822-2019）附錄A表項目北側廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》類別級別標準限值標準來源晝間夜間運營期≤65≤55《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）表3標準4類≤70≤55《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）表4標準生活垃圾處置執(zhí)行《生活垃圾填埋場污染控制標準》（GB16889中相關要求；一般固廢執(zhí)行《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標準》廢水污染物總量控制指標：本項目生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)內污水處理站處理后同生活污水一起經(jīng)市政污水管網(wǎng)進入上杭縣佳波污水處理廠處理，控制污染）：根據(jù)總量控制原則及項目污染物排放情況，確定項目廢水污染物排放總量控大氣污染物總量控制指標：根據(jù)分析，本項目各污染物控制排放指標見表3-13總量控制指標分析表種類污染物名稱排放量（t/a）總量控制量（t/a）一期工程二期工程合計廢水COD13.99125.47925.479NH3-N3.3973.397廢氣硫酸霧0.0030.0040.0070.007HCl0.0150.0290.0440.044氟化物0.0720.1050.1780.463Cl20.0400.0590.0990.099NH30.3090.4550.7640.764非甲烷總烴0.9642.7572.757顆粒物0.1400.2810.281丙酮0.3350.5580.8930.893異丙醇0.555SO20.1590.1800.3390.339NOx3.3273.327H2S0.0010.0010.0020.002施4.1施工期環(huán)境保護措施4.1.2廢氣污染防治措施相關的法律法規(guī)，采取必要的環(huán)保措施，減少⑦施工后應該盡快對臨時占地進行植被恢復和綠化，確保綠地①施工現(xiàn)場施工單位必須執(zhí)行《建筑施工場界環(huán)境噪聲排放標準》后方可進行夜間施工。項目開工前，施工單位項目施工過程施工人員生活垃圾應集中收集交由所在地的環(huán)衛(wèi)部門清運4.2運營期環(huán)境影響和保護措施本項目廢水主要為外延片生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的堿洗沖洗廢水，芯片生產(chǎn)工序，包括酸洗/堿洗沖洗廢水、拋光沖洗廢水、顯影沖洗廢水、濕法蝕刻沖洗池子空容294.00m3，有效容積235.20m3；拋光研磨廢水排編號廢水名稱來源水質特征W11、W13、W15、W18一般酸堿廢水含氨廢氣噴淋廢水、酸洗/堿洗清洗廢水、SPM清洗廢水、濕法蝕刻清洗廢水、一般酸霧噴淋廢水pH值、CODcr、BOD5、SS、NH3-N、總氮W7、W9、W11、W13、W14、W18含氟酸性廢水濕法蝕刻沖洗廢水、含氟酸霧吸收廢水pH值、CODcr、BOD5、SS、NH3-N、總氮、氟W2（丙酮）、W10、W12、W13、W14、W17有機廢水有機洗后清洗廢水、光刻清洗廢水、去膠清洗廢水、去蠟清洗廢水NH3-N、總氮W16、W19拋光研磨廢水打薄和拋光廢水、芯片磨片廢水CODcr、BOD5、SS雙氧水、水）藥液槽、純水沖洗槽一期和二期消耗水量均為2t/d，660t/a，排外延片生產(chǎn)工序石英零部件堿洗沖洗廢水和芯片生產(chǎn)工序外延片先后要于沖洗的純水用量為150t/d，49500t/a，二期酸堿洗后用于沖洗的純水用量為期廢水排放量為162t/d，53460t/a，酸洗后沖洗廢水排入酸堿廢水池，一般酸采用異丙醇（EL級IPA）對藍寶石平片進行清洗后一期純水沖洗用水為90%，則一期廢水排放量為34.2t/d，11286t/a，二期廢水排放量為41.04t/d，洗。一期去膠沖洗用水量為90t/d，29700t/a，二期去膠沖洗用水量為108t/d，放量為97.2t/d，32076t/a，產(chǎn)生的廢水排入有機廢二期廢水排放量為86.4t/d，28512t/a，沖洗本項目SPM清洗和其他酸洗過程中主要會產(chǎn)生硫酸霧、HF、氯化氫，經(jīng)為12t/d（其中，HF噴淋水用量3t/d，硫酸霧、氯化氫噴淋水用量9t/d）排水系洗4次計（每周一次），年用水量3268.8t（9.90t/d）。排水系數(shù)取90%，則一本項目單臺鍋爐年用水量約5900t，一期和二期各用一臺，采用離子交換度的再生液以一定的速度(4-8m/h)自④正洗：以(6-10m/h)的流速，用清水自上而下清洗樹脂層，直至出水合本項目離子交換樹脂為Na型(RNa)樹鎂離子等鹽分。反沖洗水、再生廢水及單臺鍋爐定期排污水產(chǎn)生量約為50），無其他特征污染物，該部分排水作為清凈下本項目超純水系統(tǒng)制備過程包括自來水經(jīng)機械過濾、活性碳過濾、RO保安過濾器過濾、二級RO裝置、殺菌、脫氣、離子交換、超濾送至使用點，循環(huán)回水再回至終端純水箱。本項目所需的純水要求電阻率≥18MΩ·cm（25℃時），自來水轉化成超純水的轉化率約50%。根據(jù)需求一期純水消耗量約為濃縮水產(chǎn)生量約為635t/d，2.10×105t/a；二期濃縮水產(chǎn)生量約為770.6t/d，單臺空壓機冷卻循環(huán)系統(tǒng)循環(huán)總水量為476m3/d，一期和二期各用一臺，系統(tǒng)采用冷卻塔+空壓機冷卻水泵的供水方式。供/回水溫度32程中需補充自來水，自來水補水量按照循環(huán)水量的0.5%計算，即一期和二期本項目運營期廢水主要包括職工生活污水。本項目運營期一期職工220住廠員工生活用水量按150L/d?人計，不住廠員53-N池預處理后進入市政污水管網(wǎng)排入上杭縣佳表4-2項目一期生活污水污染源強及排放量核算污染物廢水量CODBOD5氨氮濃度（mg/L）/40025022035產(chǎn)生量（t/a）60722.4290.213治理措施化糞池濃度（mg/L）/34029.1產(chǎn)生量（t/a）60722.0640.9650.177處理效率/15.08%28.69%27.74%17.31%治理措施上杭縣佳波污水處理廠濃度（mg/L）/6020208產(chǎn)生量（t/a）60720.3640.049處理效率/82.45%88.72%87.34%72.09%表4-3項目二期生活污水污染源強及排放量核算污染物廢水量CODBOD5氨氮濃度（mg/L）/40025022035產(chǎn)生量（t/a）44880.9870.157治理措施化糞池濃度（mg/L）/34029.1產(chǎn)生量（t/a）44880.7990.7140.131處理效率/15.08%28.69%27.74%17.31%治理措施上杭縣佳波污水處理廠濃度（mg/L）/6020208產(chǎn)生量（t/a）44880.2690.0900.0900.036處理效率/82.45%88.72%87.34%72.09%表4-4項目總生活污水污染源強及排放量污染物廢水量CODBOD5氨氮濃度（mg/L）/40025022035產(chǎn)生量（t/a）105604.2242.6402.3230.370治理措施化糞池濃度（mg/L）/34029.1產(chǎn)生量（t/a）105603.5900.307處理效率/15.08%28.69%27.74%17.31%治理措施上杭縣佳波污水處理廠濃度（mg/L）/6020208產(chǎn)生量（t/a）105600.6340.2110.2110.084處理效率/82.45%88.72%87.34%72.09%一次降雨所能收集到最大的初期雨水量需根據(jù)當?shù)氐谋┯陱姸群驮O計的）；）；），）；（4.17m3/d）。類比華燦光電（浙江）有限公司項目，初期雨水污染濃度為期雨水池收集后，進入自建污水處理站處理后排入上杭縣佳波污水處理廠處本項目綠化面積為約10910m2，根據(jù)《城市給水工程規(guī)劃規(guī)范》(GB50282-98)，本項目綠化用水標準按1.5L/m2計算，年澆水7沉淀、pH調節(jié)2、反應、混凝、絮凝、沉淀一體化裝置處理；有機廢水經(jīng)酸表4-5項目一期水污染物產(chǎn)生及排放情pHNH3-N物//2/9/水///2//準/表4-6項目二期水污染物產(chǎn)生及排放情pHNH3-N物2502502538//2/3/水2940.3m3/a//233185.5m3/a/9//準/表4-7項目水污染物總產(chǎn)生及排放情pHNH3-N物//4/2