精密制造和特種加工技術(shù)李平習題答案

精密制造和特種加工技術(shù)簡介簡述常用的精密制造和特種加工的加工方法及分類。按照加工成型的原理和特點來分類，則可分為去除加工、結(jié)合加工和變形加工三大類，它們既涵蓋了利用刀具進行的切削加工和磨削加工等傳統(tǒng)加工方法，又涵蓋了非傳統(tǒng)加工方法中的利用機、光、電、聲、熱、化學、磁、原子能等能源來進行加工的特種加工方法，而且包括了利用多種加工方法的復(fù)合作用形成的復(fù)合加工方法。簡述精密制造和特種加工技術(shù)在機械制造領(lǐng)域的作用。發(fā)展先進制造技術(shù)是當前世界各國發(fā)展國民經(jīng)濟的主攻方向和戰(zhàn)略決策，同時是一個國家獨立自主、繁榮富強、經(jīng)濟持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展、科技保持先進領(lǐng)先的長遠大計。從先進制造技術(shù)的技術(shù)實質(zhì)而論，主要有精密、超精密加工技術(shù)和制造自動化技術(shù)兩大領(lǐng)域，前者追求加工上的精度和表面質(zhì)量極限，后者包括了產(chǎn)品設(shè)計、制造和管理的自動化，它們不僅是快速響應(yīng)市場需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動條件的重要手段，而且是保證產(chǎn)品質(zhì)量的有效舉措。制造自動化通過精密、超精密加工技術(shù)才能準確可靠地實現(xiàn)。兩者具有全局的決定性作用，是先進制造技術(shù)的支柱。三、特種加工對材料的可加工性及產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)工藝性有什么影響?試舉例說明。精密制造和特種加工技術(shù)的廣泛應(yīng)用引起了機械制造領(lǐng)域內(nèi)的許多變革。例如，精密制造和特種加工技術(shù)對工件材料的可加工性、零件的工藝路線、新產(chǎn)品的試制周期、產(chǎn)品零件的結(jié)構(gòu)設(shè)計、零件結(jié)構(gòu)工藝性好壞的衡量標準等產(chǎn)生了影響，具體如下。1.提高了工件材料的可加工性2.改變了零件的工藝路線3.縮短了新產(chǎn)品的試制周期4.對產(chǎn)品零件的結(jié)構(gòu)設(shè)計產(chǎn)生了很大的影響5.對傳統(tǒng)的零件結(jié)構(gòu)工藝性好壞的衡量標準產(chǎn)生了重要影響第二章精密加工一、精密加工研究包括哪些主要內(nèi)容？試結(jié)合精密切削加工對發(fā)展國防和尖端技術(shù)的重要性，提出發(fā)展我國精密切削加工的策略、研究重點及主要研究方向。精密加工的研究內(nèi)容如下：1.精密加工刀具2.精密加工機理3.精密加工機床4.穩(wěn)定的加工環(huán)境5.誤差補償6.精密測量技術(shù)精密切削主要指金剛石精密切削，多用于高精度陀螺儀、激光反射鏡和某些大型反射鏡的加工。導(dǎo)彈的精度主要取決于其內(nèi)部陀螺儀的定位精準度。天然單晶金剛石在精密加工尤其是超精密加工中有著不可替代的優(yōu)勢，因此研究金剛石在切削過程中的物理、化學特性是目前精密切削的研究重點之一。表面粗糙度是衡量精密與超精密加工精度的一個重要指標，因此，在精密切削過程中，各切削參數(shù)對表面粗糙度的影響也是精密切削研究的重點問題。精密切削加工必須能夠均勻地切除極薄的金屬層。在精密切削加工過程中，許多機理方面的問題都有其特殊性，如積屑瘤的形成、鱗刺的產(chǎn)生、切削參數(shù)及加工條件對切削過程的影響，以及它們對加工精度和表面質(zhì)量的影響，都與普通切削加工方式有著顯著的區(qū)別。因此，必須對精密切削機理進行深入研究。二、實現(xiàn)精密加工應(yīng)具備哪些基本條件？試結(jié)合金剛石刀具的精密切削，簡述切削用量對加工質(zhì)量的影響及主要控制技術(shù)。刀具材料及其結(jié)構(gòu)是實現(xiàn)精密切削加工的重要條件；1.各切削參數(shù)對表面粗糙度的影響2.刀具磨損對表面粗糙度的影響在進行常規(guī)切削時，切削深度對切削力的影響大于進給量對切削力的影響，而在進行精密切削時則不同，進給量對切削力的影響大于切削深度對切削力的影響。這主要是因為在進行精密切削時，通常采用微量切削方法，僅從數(shù)量上進給量一般大于切削深度。對比不同的兩種刀具材料，天然金剛石刀具與工件間的摩擦系數(shù)遠小于硬質(zhì)合金刀具，而且天然金剛石刀具能刃磨出極小的刃口半徑，因此在進行精密切削時，采用天然金剛石刀具所產(chǎn)生的切削力要明顯比其他材料刀具小。三、精密磨削加工分為哪兩大類？各有何特點？精密磨削加工分為固結(jié)磨料加工和游離磨料加工；固結(jié)磨料加工特點①磨削能力強、耐磨性好、耐用度高，可保持較長時間的切削性，修整次數(shù)少，易于保持粒度；易于控制加工尺寸及實現(xiàn)加工自動化。②磨削力小、磨削溫度低，從而可減少裂紋、燒傷等缺陷，加工表面質(zhì)量好。③磨削效率高，加工成本低。游離磨料加工特點①磨料流加工屬于彈性加工，因此在不破壞工件原有精度的前提下，可進一步提高工件的表面質(zhì)量。②磨料流加工屬于冷態(tài)加工，在光整加工表面不會產(chǎn)生變質(zhì)層及殘余拉應(yīng)力，由于磨料對工件的擠壓和劃擦產(chǎn)生了壓應(yīng)力，因此提高了加工表面的物理機械性能。③磨料流加工的加工質(zhì)量穩(wěn)定，磨料使用壽命長，在加工過程中產(chǎn)生的碎屑不能超過半固態(tài)黏彈性介質(zhì)體積的10%，當磨料流中的大部分磨料顆粒變鈍時，可更換磨料流以重新恢復(fù)其切削性能。④磨料流加工的加工范圍廣，既可加工典型零件表面，又適用于一些光整加工方法接觸不到的內(nèi)表面光整加工。四、試述精密磨削機理。精密磨削主要依靠砂輪的精細修整，使磨粒具有等高性和微刃性，磨削后加工表面存在大量極細微的磨削痕，殘留高度極小，加上無火花磨削階段的作用，獲得高精度和小表面粗糙度。因此，精密磨削的機理主要有以下幾點。1.磨粒的微刃性2.磨粒的等高性3.微刃的滑擦、擠壓、拋光作用五、在一般情況下，精密與超精密機床通常采用哪種軸承?試述幾種常用主軸軸承的特點，并說明為什么目前大部分精密與超精密機床均采用空氣靜壓軸承。目前精密機床使用的是性能更好的液體靜壓軸承和空氣靜壓軸承，其中空氣靜壓軸承剛度低、承載能力不高，因此多用于超精密機床，而大型精密機床多采用液體靜壓軸承。液體靜壓軸承的特點：液體靜壓軸承的回轉(zhuǎn)精度很高（0.1um)，轉(zhuǎn)動平穩(wěn)，無振動?？諝忪o壓軸承的特點：具有很高的回轉(zhuǎn)精度，熱變形誤差也很小。由于空氣的黏度小，主軸在高速轉(zhuǎn)動時空氣溫升很小，因此造成的熱變形誤差也很小?？諝忪o壓軸承的剛度較低，只能承受較小的載荷。在進行超精密切削時，切削力很小，空氣靜壓軸承能滿足要求，所以在超精密機床中得到了廣泛的應(yīng)用。六、試述在線檢測和誤差補償技術(shù)在精密加工中的作用?，F(xiàn)在超精密機床一般都裝有在線檢測系統(tǒng)，以檢測機床運動部件的位移位置，并和數(shù)空系統(tǒng)組成閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)，以保證加工的尺寸精度。目前超精密機床使用的雙路雙頻激光干涉測距儀的分辨率為0.01um，測量精度為0.1um，但高精度的雙路雙頻激光干涉測距儀對環(huán)境的要求過高，在實際生產(chǎn)中難以保證其測量精度。七、常用的微量進給裝置有哪幾種?試結(jié)合其在精密與超精密機床中的應(yīng)用談?wù)勂渥饔眉疤攸c。日前較成熟的微量進給裝置有彈性變形微量進給裝置和電致伸縮微量進給裝置兩種。彈性變形微量進給裝置工作穩(wěn)定可靠，精度重復(fù)性好，適用于手動操作。電致伸縮微量進給裝置能進行自動化控制，有較好的動態(tài)特性，可以用于誤差在線補償。八、試述在超精密機床中使用的摩擦驅(qū)動裝置的工作原理和結(jié)構(gòu)特點。下圖為雙摩擦輪摩擦驅(qū)動裝置，和導(dǎo)軌運動體相連的驅(qū)動桿夾在兩個摩擦輪之間，上摩擦輪用彈簧壓板壓在驅(qū)動桿上的，當彈簧壓板的壓力足夠時，摩擦輪和彈簧壓板之間無滑動；兩個摩擦輪均由靜壓軸承支撐，可以無摩擦運動；下摩擦輪和驅(qū)動電動機相連，帶動下摩擦輪轉(zhuǎn)動，靠摩擦力帶動驅(qū)動桿，帶動導(dǎo)軌做非常平穩(wěn)的直線運動。第三章數(shù)控電火花加工一、在電火花加工中，間隙液體介質(zhì)的擊穿機理是什么?工具電極與工件緩慢靠近，兩電極間的電場強度逐漸增大，由于兩電極的微觀表面凹凸不平，因此在兩電極間距離最近的A、B處電場強度最大。工具電極與工件之間充滿著液體介質(zhì)，液體介質(zhì)中不可避免地含有雜質(zhì)及自由電子，它們在強大的電場作用下，形成了帶負電的粒子和帶正電的粒子，電場強度越大，帶電粒子就越多，最終導(dǎo)致液體介質(zhì)被電離、擊穿，形成放電通道。二、什么是極性效應(yīng)？在電火花加工中，如何充分利用極性效應(yīng)？極性效應(yīng)是指在電火花加工過程中，由于正負極性不同而導(dǎo)致兩電極去除量存在差別的現(xiàn)象。從提高加工生產(chǎn)率和降低工具電極損耗的角度來看，極性效應(yīng)越顯著越好，在電火花加工中必須充分利用極性效應(yīng)，最大限度地降低工具電極損耗，并合理選用工具電極的材料,根據(jù)工具電極對材料的物理性能、加工要求選用最佳的電規(guī)準，正確地選用加工極性，以達到工件的蝕除速度最高，工具電極損耗盡可能小的目的。三、有沒有可能或在什么情況下可以用工頻交流電源作為電火花加工的脈沖直流電源？在什么情況下可以用直流電源作為電火花加工用的脈沖直流電源?在不需要“極性效應(yīng)”、不需考慮電極損耗率等的情況下，可以直接用220V的50Hz交流電作為脈沖電源進行軋輥電火花對磨和齒輪電火花跑合等。不過回路中應(yīng)串接限流電阻，限制放電電流不要過大。如需精規(guī)準對磨或跑合，則可在交流工頻電源上并聯(lián)RC電路（R≈500~1000Ω，C≈0.1~0.01uF)，再接到兩個工件上。在用高速轉(zhuǎn)動的金屬輪或圓片作電火花磨削、電火花切斷、下料時，如果可以不計電極損耗率，則就可以用全波整流或整流后并聯(lián)電解電容濾波的直流電源進行電火花磨削。由于工具電極高速轉(zhuǎn)動，所以一般不會產(chǎn)生穩(wěn)定電弧燒傷工件。最好是經(jīng)調(diào)壓變壓器降壓到5~100V再整流供磨削之用，一則可以調(diào)節(jié)電壓或電流，二則和220V交流電源隔離，以保障人身避免觸電的危險。四、在電火花加工中，什么是間隙蝕除特性曲線？粗、中、精加工時，間隙蝕除特性曲線有何不同?粗加工用以蝕除大部分加工余量，使型腔按預(yù)留量接近尺寸要求；中加工用于提高工件表面粗糙度等級，并使型腔基本達到要求，一般加工量不大；精加工主要保證最后加工出的工件達到要求的尺寸精度與表面粗糙度。五、在實際加工中，如何處理加工速度、電極損耗與表面粗糙度之間的關(guān)系?在電火花加工中，合理地制定電火花加工工藝主要有以下兩種方法。第一，先主后次。第二，采用各種手段，兼顧各方面。其中常見的方法如下。(1)粗、中、精加工逐檔過渡式加工方法。(2)先用機械加工去除大量的材料，再用電火花加工保證加工精度和表面質(zhì)量。(3)采用多電極。六、電火花加工機床有哪些主要用途？電火花加工機床主要用于加工各種高硬度的材料（如硬質(zhì)合金和淬火鋼等）和復(fù)雜形狀的模具、零件，以及切割、開槽和去除折斷在工件孔內(nèi)的工具（如鉆頭和絲錐）等。七、電火花穿孔加工中常采用哪些加工方法？1.直接配合法2.間接配合法3.階梯電極加工法八、電火花成型加工中常采用哪些加工方法？1.單電極平動加工法2.多電極更換加工法3.分解電極加工法4.集束電極加工法九、電火花加工時的自動進給系統(tǒng)與傳統(tǒng)加工機床的自動進給系統(tǒng)，在原理上、本質(zhì)上有何不同?為什么會引起這種不同?電火花加工時工具電極和工件間并不接觸，火花放電時需通過自動調(diào)節(jié)系統(tǒng)保持一定的放電間隙，而車、鉆、磨削時是接觸加工，靠切削力把多余的金屬除去，因此進給系統(tǒng)是剛性的、等速的，一般不需要自動調(diào)節(jié)。十、試比較常用電極（如純銅、黃銅、石墨等）的優(yōu)缺點及使用場合。(1)石墨電極。電極損耗較小，機械加工性能較好；常用的工具電極材料，機械強度差，易崩角。(2)銅電極。銅電極質(zhì)軟，加工時易變形，加工后電極表面粗糙度較大。紫銅電極可采用鍛造、放電壓力成型法制造。(3)黃銅電極價格穩(wěn)定性較好，電極損耗較大，機械加工性能一般；電極損耗大，較少用。第四章數(shù)控電火花線切割加工一、如何進行文字類零件的線切割加工？請把自己名字中的一個字加工出來。(1)進入AutoCAD軟件的繪圖界面，手動繪制需要加工的零件圖，并繪制一條直線段，設(shè)置電極絲切割起點的位置。(2)利用操作界面的“軌跡生成”指令，生成加工零件的加工軌跡，同時確定穿絲點位置和補償量。(3）將加工程序?qū)霗C床的數(shù)控系統(tǒng)，一并進行后置處理，設(shè)置電參數(shù)。(4）啟動機床電源按鈕，自動線切割加工零件。另外，如果需要，也可以自動生成數(shù)控編程代碼。二、應(yīng)用快走絲電火花線切割加工機床完成圖案的線切割加工，具體加工圖案可參考卡通人物形象（灰太狼）或自定。第五章3D打印加工一、闡述不同3D打印方法的基本原理。1.分層實體成型工藝2.立體光固化成型工藝3.選擇性激光燒結(jié)工藝4.熔融沉積成型工藝5.3D印刷工藝二、3D打印工藝過程包括哪幾個步驟？1.3D設(shè)計2.切片處理3.完成打印三、3D打印技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？1.航天科技2.醫(yī)學行業(yè)3.建筑行業(yè)4.服飾和配件5.汽車行業(yè)6.電子行業(yè)7.體育行業(yè)8.教育行業(yè)9.食品行業(yè)10.文物保護四、應(yīng)用3D打印機完成三維模型零件的加工，具體加工模型請自行設(shè)計。1.MeshLab導(dǎo)入模型2.細分模型3.點采樣4.點染色5.刪去鏤空區(qū)域6.光滑模型7.MeshLab導(dǎo)出模型8.ZBrush導(dǎo)入模型9.抽殼10.光滑處理11.簡化模型12.導(dǎo)出ZBrush13.導(dǎo)入Cura14.設(shè)置打印參數(shù)15.保存gcode文件16.脫機打印第六章其他特種加工一、按作用原理分類，電化學加工可分為哪幾類？各包括哪些加工方法？有何用途？按加工原理可以將電化學加工分為以下三大類(1)利用電化學反應(yīng)過程中陽極金屬的溶解作用來進行加工，主要有電解加工、電化學拋光等，用于內(nèi)外表面形狀、尺寸及去毛刺等加工。(2)利用電化學反應(yīng)過程中陰極金屬的沉積來進行加工，主要有電鑄加工、電鍍加工等，用于表面加工、裝飾、尺寸修復(fù)、磨具制造、精密圖案及印制電路板復(fù)制等加工。(3)利用電化學加工與其他加工方法結(jié)合的電化學復(fù)合加工工藝進行加工，主要有電解磨削、電解放電加工等，用于形狀和尺寸加工、表面光整加工、鏡面加工、高速切割等。二、電解液按酸堿度分為哪幾大類？常用的電解液有哪幾種？各有什么特點？電解液可分為中性鹽溶液、酸性鹽溶液和堿性鹽溶液三大類。常用的電解液有NaCl、NaNO3、NaClO33種。NaCl電解液價廉易得，對大多數(shù)金屬而言，其電流效率很高，在加工過程中損耗小并可在低濃度下使用，因此應(yīng)用很廣。NaCl電解液的缺點是電解能力強，但散腐蝕能力也強，使得距離陰極工具較遠的工件表面也被電解，成型精度難于控制，復(fù)制精度低；對機床、設(shè)備腐蝕性大，因此適用于加工速度快而精度要求不高的工件。NaNO3電解液在濃度低于30%時，對機床、設(shè)備腐蝕性很小，使用安全，但生產(chǎn)效率低，需較大電源功率，因此適用于加工成型精度要求較高的工件。NaCIO3電解液的散蝕能力小，加工精度高，對機床、設(shè)備腐蝕性很小，適用于高精度零件的成型加工。然而，NaClO3是一種強氧化劑，雖不自燃，但遇熱分解的氧氣能助燃，因此使用時要注意防火安全。三、在電解加工中，電解液的作用是什么？對電解液有哪些基本要求？在電解加工過程中，電解液不僅作為導(dǎo)電介質(zhì)傳遞電流，而且在電場的作用下進行化學反應(yīng)，使陽極溶解能順利有效地進行。此外，電解液還擔負著及時將加工間隙內(nèi)產(chǎn)生的電解產(chǎn)物和熱量帶走的任務(wù)，起到更新和冷卻的作用。因此電解液對電解加工的生產(chǎn)率、加工精度和加工表面質(zhì)量等工藝指標有著重要的影響。由于電解液對電解加工過程有著重大的影響，因此對電解液有以下要求。(1)電導(dǎo)率要高，流動性要好，可以保證用較低的加工電壓獲得較大的加工電流；能在較低的壓力下得到較高的流速，減少發(fā)熱。(2)電解質(zhì)在溶液中的電離度和溶解度要大。一般來說，電解液中的陽離子總是具有標準電極電位，如Na+、K+等離子。(3)陽極的電解產(chǎn)物應(yīng)是不溶性的化合物，這樣便于處理，不會在陰極表面沉積。(4)性能穩(wěn)定，操作使用安全;對設(shè)備產(chǎn)生的腐蝕作用??；不易燃，不爆炸，對環(huán)境的污染和人體的危害要小。(5)價格低廉，適應(yīng)性廣，使用壽命長。四、對電解加工機床有哪些基本要求？①機床剛性強。②進給速度穩(wěn)定性高。③設(shè)備耐腐蝕性好。④電氣系統(tǒng)抗干擾性強。⑤大電流、傳導(dǎo)性好。⑥安全措施完備。五、電鑄加工的原理是什么？請闡述電鑄加工工藝過程。電鑄加工是利用電化學過程中的陰極沉積原理來進行加工的，即在原模上通過電化學方法沉積金屬，然后分離以制造或復(fù)制金屬制品。在直流電源的作用下，金屬鹽溶液中的金屬離子在陰極獲得電子而沉積在陰極母模的表面;陽極的金屬原子失去電子而成為正離子，源源不斷地補充到電鑄液中，使溶液中的金屬離子濃度保持基本不變。當母模上的電鑄層達到所需的厚度時取出，將電鑄層與型芯分離，即可獲得型面與型芯凹、凸相反的電鑄模具型腔零件的成型表面。電鑄加工的工藝過程一般為原模制作→原模表面處理→電鑄至規(guī)定厚度→襯背處理→脫?！逑锤稍铩鷻z測。六、試闡述激光加工的原理和特性。原理：激光是一種強度高、方向性好、單色性好的相干光。由于激光的發(fā)散角小、單色性好，理論上可以聚焦到尺寸與光的波長相近的（微米甚至亞微米)小斑點上，加上激光的強度高，因此可以使其焦點處的功率密度達到107~1011W/cm2，溫度可達10000℃以上。在這樣的高溫下，任何材料都將瞬時熔化甚至汽化，并爆炸性地高速噴射出來，同時產(chǎn)生方向性很強的沖擊波。因此，激光加工是工件在光熱效應(yīng)下產(chǎn)生高溫熔融和受沖擊波拋出的綜合過程。2.激光加工的特點(1)幾乎所有金屬和非金屬材料都町以進行激光加工。(2)激光能聚焦成極小的光斑，可進行微細和精密加工，如微細窄縫和微型孔的加工。(3)可用反射鏡將激光束送往遠離激光器的隔離室或其他地點進行加工。(4)激光加工時不需要刀具，屬于非接觸加工，無機械加工變形。(5)無須加工工具和特殊環(huán)境，便于自動控制連續(xù)加工，加工效率高，加工變形和熱變形小。七、試闡述激光切割的激光與材料的作用過程。激光切割的原理與激光打孔的原理相似，但工件與激光束要進行相對移動。在實際加工中，采用工作臺數(shù)控技術(shù),可以實現(xiàn)數(shù)控激光切割。激光切割大多采用輸出功率在10kW以上的大功率的二氧化碳氣體激光器，對于精密切割，也可采用YAG激光器（輸出功率可達5kW)。激光既可以切割金屬，也可以切割非金屬。在激光切割過程中，由于激光對切割材料不產(chǎn)生機械沖擊和壓力，再加上激光切割的切縫小，便于自動控制，因此在實際加工中常用來加工玻璃、陶瓷、各種精密細小的零部件。二氧化碳氣體激光器切割鈦合金示意圖如圖所示。八、查相關(guān)文獻全面了解激光加工工藝及其應(yīng)用情況。1.激光打孔2.激光切割3.激光打標4.激光焊接5.激光表面處理九、試闡述電子束加工和離子束加工的基本原理、加工特點及應(yīng)用場合。兩者有什么不同？為什么？電子束加工的基本原理：電子束加工是利用高速電子的沖擊動能來加工工件的。在真空條件下，將具有很高速度和能量的電子束聚焦到加工材料上，電子的動能絕大部分轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?，使加工材料局部瞬時熔化、汽化而去除。電子束加工的特點如下。(1）電子束能夠極其微細地聚焦(可達1～0.1um)，因此可進行微細加工。(2）加工材料的范圍廣。由于電子束能量密度高，可使任何材料瞬時熔化、汽化且機械力的作用極小，不易產(chǎn)生變形和應(yīng)力，因此采用電子束加工能加工各種力學性能的導(dǎo)體、半導(dǎo)體和非導(dǎo)體材料。(3）電子束加工在真空中進行，因此污染少，加工表面不易氧化。(4）電子束加工需要整套的專用設(shè)備和真空系統(tǒng)，價格較貴，因此在生產(chǎn)中受到一定程度的限制。應(yīng)用：電子束加工常用于加工微細小孔、異形孔及特殊曲面。離子束加工的基本原理：離子束加工也是一種新興的特種加工，其原理與電子束加工的原理基本類似，也是在真空條件下，將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過加速、聚焦后投射到工件表面的加工部位以實現(xiàn)加工。所不同的是離子帶正電荷，其質(zhì)量比電子大數(shù)千倍乃至數(shù)萬倍，因此在電場中加速較慢，但一旦加速至較高速度，就比電子束具有更大的撞擊動能。離子束加工是靠微觀機械撞擊將能量轉(zhuǎn)化為熱能進行加工的。離子束加工具有以下特點。(1)離子束加工是目前特種加工中最精密、最微細的加工方法。離子刻蝕的加工精度可達納米級，離子鍍膜的加工精度可控制在亞微米級，離子注入的深度和濃度亦可精確地控制。(2)離子束加工在高真空中進行，污染少，特別適用于對易氧化的金屬、合金和半導(dǎo)體材料進行加工。(3)離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來實現(xiàn)的，是一種微觀作用，所以加工應(yīng)力和變形極小，適用于對各種材料和低剛件零件進行加工。離子束加工的應(yīng)用如下。在目前的工業(yè)生產(chǎn)中，離子束加工主要應(yīng)用于刻蝕加工(如加工空氣軸承的溝槽、加工極薄材料等)、鍍膜加工(如在金屬或非金屬材料上鍍制金屬或非金屬材料)、注入加工(如加工某些特殊的半導(dǎo)體器件)等。十、超聲波加工有哪些特性？(1)適用于加工各種硬脆材料，特別是某些不導(dǎo)電的非金屬材料，如玻璃、陶瓷、石英、硅、瑪瑙、寶石、金剛石等；也可以加工淬火鋼和硬質(zhì)合金等材料，但效率相對較低。(2)由于工具材料硬度很高，因此易于制造形狀復(fù)雜的型孔。(3)在超聲波加工中，宏觀切削力很小，不會引起變形、燒傷；表面粗糙度很小，只有0.2um，加工精度可達0.05~0.02mm；可以加