畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）-廣譜寬光束光學(xué)系統(tǒng)的透射率測(cè)量的研究

題目：廣譜寬光束光學(xué)系統(tǒng)的透射率測(cè)量的研究題目要求：設(shè)計(jì)一種可用于瞄具、望遠(yuǎn)鏡、顯微透鏡等各種大口徑光學(xué)系統(tǒng)的新型透過率檢測(cè)系統(tǒng)。系統(tǒng)基本原理是基于PC測(cè)控平臺(tái)和雙光路調(diào)制技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)寬光譜透過率的測(cè)量系統(tǒng)，并且在此基礎(chǔ)上進(jìn)行原理分析，實(shí)驗(yàn)測(cè)量，誤差分析和校正。檢測(cè)系統(tǒng)用到了光電檢測(cè)技術(shù)，數(shù)模轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)等多種技術(shù),基于這些基本原理從而設(shè)計(jì)出對(duì)于白光和不可見光的光譜光源準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)和雙通道反射測(cè)量光路。系統(tǒng)性能要求實(shí)現(xiàn)進(jìn)行寬光譜范圍和大口徑透過率檢測(cè)功能之外，還同時(shí)保證系統(tǒng)對(duì)于由環(huán)境，儀器，材料，等各種綜合因素的引起的誤差達(dá)到最小化，對(duì)于近紅外波段(300~1600nm),測(cè)量光束直徑可達(dá)60mm,分別使用4種透過率的標(biāo)準(zhǔn)透過率板進(jìn)行標(biāo)定實(shí)驗(yàn),達(dá)到到絕對(duì)測(cè)量誤差0.5%的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。一研究課題目及研究意義：研究課題：近年來,隨著光電技術(shù)的快速發(fā)展,光電測(cè)試儀器的研制與應(yīng)用越來越廣泛。光學(xué)系統(tǒng)透過率標(biāo)志著光學(xué)儀器傳輸光輻射能的強(qiáng)弱,是光學(xué)系統(tǒng)尤其是望遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)的重要性能指標(biāo)。通過課題研究實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)系統(tǒng)透過率的測(cè)量研究尤其是大口徑，寬光譜光學(xué)系統(tǒng)的透射率測(cè)量對(duì)目前航天事業(yè)，軍事國防，民用儀器等領(lǐng)域有著重要的指導(dǎo)作用，促進(jìn)透射率測(cè)量技術(shù)的成熟，為科研事業(yè)打下鋪墊。透過率定義為:T(λ)=I1/I0式中:波長為λ、光強(qiáng)為I0(λ)的單色光垂直入射到光學(xué)系統(tǒng)，由于光學(xué)系統(tǒng)對(duì)不同波長的光的透過能力不一樣，所以透過透鏡的光強(qiáng)I1(λ)也不一樣。把透鏡對(duì)不同波長的光的透過能力稱為該透鏡的光譜透過率T(λ)。光譜透過率標(biāo)志著進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)的光線由于光學(xué)元件的反射、吸收、氣泡、表面污物和瑕疵所造成的散射等使得光通量受到的損失程度，影響光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。本次設(shè)計(jì)研究了一種用于透射式光學(xué)系統(tǒng)或鏡片透過率檢測(cè)的新型精密檢測(cè)系統(tǒng)。詳細(xì)闡述了系統(tǒng)的工作原理和組成,介紹了系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)、光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、控制及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計(jì)了白光和光譜光源準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)、進(jìn)行分光調(diào)制的旋轉(zhuǎn)反射鏡和完全對(duì)稱雙通道反射測(cè)量光路?？梢员ＷC系統(tǒng)減小雜光、背景光和光源波動(dòng)引起的誤差,同時(shí)使亮場(chǎng)測(cè)量成為可能。寬光譜寬光束瞄具透過率測(cè)試系統(tǒng)除了可以測(cè)量透過率外,還可以通過更換樣品室、探測(cè)器和擴(kuò)展軟件功能實(shí)現(xiàn)光譜分析、試劑檢測(cè)分析、化學(xué)物質(zhì)含量檢測(cè)、環(huán)境空氣檢測(cè)、色度測(cè)量、食品成分分析等功能,可廣泛地應(yīng)用于兵器試驗(yàn)、光學(xué)加工及檢測(cè)、大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)、汽車、食品安全、紡織印染、醫(yī)療、化學(xué)分析、科學(xué)研究等領(lǐng)域,。研究意義：為克服傳統(tǒng)方法在暗室中單通道分時(shí)測(cè)試存在的局限性。相關(guān)研究提出了一種基于相關(guān)檢測(cè)原理的雙頻雙光束光學(xué)透過率檢測(cè)方法。該方法采用調(diào)制光源直接獲取交流信息為互相關(guān)運(yùn)算提供參考信號(hào),利用互相關(guān)運(yùn)算剔除背景光干擾以獲取有效的用于透過率計(jì)算的參考信號(hào)和被測(cè)信號(hào)?？梢杂行б种聘鞣N噪聲對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,提高測(cè)試精度。實(shí)現(xiàn)亮場(chǎng)中的透過率測(cè)試,簡化了測(cè)試過程。但此方法應(yīng)用于可見光范圍內(nèi)測(cè)試,無法滿足紅外等波段的測(cè)試需求。目前還有使用分光光度計(jì)透過率檢測(cè)方法,該方法測(cè)量精度高、功能強(qiáng)大。但市場(chǎng)上的分光光度計(jì)目前幾乎全部是進(jìn)口產(chǎn)品,價(jià)格十分昂貴。本論文研究了一種新型白光和光譜透過率檢測(cè)系統(tǒng),系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了寬光譜寬光束透過率檢測(cè)而無需更換光源和探測(cè)器,可廣泛應(yīng)用于瞄具、望遠(yuǎn)鏡、照相物鏡等光學(xué)系統(tǒng)或鏡片的白光和光譜軸上點(diǎn)或軸外點(diǎn)的透過率測(cè)試。一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使系統(tǒng)調(diào)節(jié)方便,抗外界干擾能力增強(qiáng)。未來市場(chǎng)發(fā)展前景非常廣闊,對(duì)促進(jìn)生產(chǎn)力發(fā)展和社會(huì)進(jìn)步也有著重要的現(xiàn)實(shí)意義。二國內(nèi)外研究發(fā)展?fàn)顩r：國內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r：傳統(tǒng)的光學(xué)系統(tǒng)透過率的測(cè)試都是通過單通道光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的。所謂單通道檢測(cè)法,是指將被測(cè)試品放在測(cè)試光路中得到的實(shí)測(cè)值和撤掉被測(cè)試品的空測(cè)值之比,即為被測(cè)試品的光學(xué)透過率。一般都會(huì)用到積分球，分光光度計(jì)，光譜分析器等器件。單通道測(cè)試方法的優(yōu)點(diǎn)是裝置結(jié)構(gòu)比較簡單,易于操作,能滿足一般測(cè)試精度的要求，而且這種傳統(tǒng)的單通道系統(tǒng)為了避免雜散光對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,要求測(cè)試必須在暗室中進(jìn)行。由于被測(cè)信號(hào)為直流信號(hào),測(cè)試中無法避免背景噪聲的干擾。在影響精度的各種噪聲中,有的噪聲可以通過將直流信號(hào)調(diào)制為交流信號(hào)而得到有效抑制,但背景噪聲屬于白噪聲,即使將信號(hào)調(diào)制為交流信號(hào)也無法將其削弱。同時(shí)由于無法保證實(shí)測(cè)和空測(cè)時(shí)光源強(qiáng)度的一致,也會(huì)降低檢測(cè)精度。單通道系統(tǒng)檢測(cè)誤差較大,一般精度為3%,難以滿足精度要求比較高的測(cè)試裝置的測(cè)試需求。此外，最近有單位研究出的新型測(cè)量方法如：測(cè)量玻璃透射比的光電積分測(cè)量法。與傳統(tǒng)方法相比,該方法一次性解決了實(shí)驗(yàn)光源與CIE標(biāo)準(zhǔn)照明體、光探測(cè)器的光譜靈敏度與CIE光譜光視函數(shù)不匹配的問題。給出了該方法中設(shè)計(jì)校正濾色器光譜透射比的基本算式,并用相對(duì)誤差最小對(duì)校正濾色器進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),得到了較為滿意的結(jié)果。實(shí)驗(yàn)表明,該方法測(cè)量誤差為±1%,。利用該方法所設(shè)計(jì)的測(cè)量裝置結(jié)構(gòu)簡單,測(cè)量速度快,開發(fā)成本低，但是仍然小于國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)要求的±2%國外發(fā)展?fàn)顩r：國外對(duì)于透射率測(cè)量技術(shù)主要用到了光度計(jì)并分光調(diào)制，這是利用單色儀或特殊光源提供的特定波長的單色光通過標(biāo)樣和被分析樣品，比較兩者的光強(qiáng)度來分析物質(zhì)成分的光譜儀器。然后利用CCD器件接收光信號(hào)然后做數(shù)據(jù)處理與分析，這些已經(jīng)廣泛應(yīng)用到了軍事，生物醫(yī)學(xué)，航天等各個(gè)領(lǐng)域。例如，日本東京保谷株式會(huì)社發(fā)明的測(cè)量光透射率的方法及其設(shè)備，采用的是這種測(cè)量光透射率的方法，即：從與一比值對(duì)應(yīng)的值中導(dǎo)出待檢驗(yàn)透鏡的光透射率，該比值是當(dāng)待檢驗(yàn)透鏡置于從光源所發(fā)出并到達(dá)光探測(cè)裝置的測(cè)量光光路中從而測(cè)量光通過待檢驗(yàn)透鏡時(shí)由所述光探測(cè)裝置探測(cè)到的測(cè)量光強(qiáng)度，與當(dāng)待檢驗(yàn)透鏡未置于測(cè)量光光路中從而測(cè)量光未通過待檢驗(yàn)透鏡時(shí)由所述光探測(cè)裝置探測(cè)到的測(cè)量光強(qiáng)度之比，其中測(cè)量光在測(cè)量光光線會(huì)聚于待檢驗(yàn)透鏡所在位置處或其附近的情況下通過待檢驗(yàn)透鏡。這與傳統(tǒng)的測(cè)量方法大同小異，且難以達(dá)到高精度的測(cè)量。三擬采取的研究路線：1系統(tǒng)工作原理及組成1.1系統(tǒng)原理分析：系統(tǒng)工作原理如圖1所示。光源發(fā)出的光通過反射式平行光管準(zhǔn)直擴(kuò)束,經(jīng)過旋轉(zhuǎn)反射鏡分光調(diào)制,一路作為參考光束直接經(jīng)反射式聚焦鏡聚焦照射到光電器上,另一路作為測(cè)量光束先經(jīng)過被試品再被反射式聚焦鏡聚焦到光電探測(cè)器上,經(jīng)探測(cè)器轉(zhuǎn)換輸出兩個(gè)交替變化的交變電信號(hào),此信號(hào)經(jīng)過信號(hào)分揀、鎖相放大、A/D轉(zhuǎn)換處理后,最終得到被試品的白光透過率或光譜透過率。圖1系統(tǒng)工作原理圖圖1中反射鏡1可以平移,位于圖中實(shí)線位置時(shí)用于900~1600nm波長光譜透過率測(cè)量。將反射鏡1向下平移至虛線位置,用于200~900nm波長(含白光)光譜透過率測(cè)量。球面反射鏡2和3焦點(diǎn)重合,探測(cè)器1位于球面反射鏡2和3的焦點(diǎn)上,探測(cè)器2位于球面反射鏡的焦點(diǎn)相對(duì)于分光鏡1和2的像點(diǎn)上。分光鏡1和2對(duì)大于900nm波長的光反射、小于900nm波長的光透射。1.2系統(tǒng)主要組成寬光譜寬光束瞄具透過率測(cè)試系統(tǒng)采用雙光路雙光源雙接收器結(jié)構(gòu),主要由以下幾部分組成。(1)光源部分系統(tǒng)的光源包括白光光源和光譜光源。白光光源由標(biāo)準(zhǔn)A光源(溴鎢燈)和反射式聚光鏡組成,為系統(tǒng)提供白光透過率測(cè)量的全光譜光源。光譜光源由溴鎢燈(組成同白光光源)和單色儀組成,為系統(tǒng)提供光譜透過率測(cè)量的單色光譜光源。測(cè)紫外光譜透過率時(shí)用氘燈代替溴鎢燈即可。單色儀通過USB總線與計(jì)算機(jī)連接,由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制出光。(2)中間光路部分準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)對(duì)光源發(fā)出的光進(jìn)行準(zhǔn)直擴(kuò)束,主鏡為離軸球面反射鏡,有效口徑60mm,次鏡為圖1中的反射鏡1,反射鏡1可以繞一端旋轉(zhuǎn)?？勺児怅@調(diào)整出射光束的大小,以滿足不同瞄具測(cè)量的要求。旋轉(zhuǎn)分光調(diào)制部分光路由旋轉(zhuǎn)反射鏡、平面反射鏡2、平面反射鏡3、球面反射鏡2、球面反射鏡3、分光鏡1和分光鏡2組成,其中旋轉(zhuǎn)反射鏡、平面反射鏡3、球面反射鏡3和分光鏡2構(gòu)成參考光路,旋轉(zhuǎn)反射鏡、平面反射鏡2、球面反射鏡2和分光鏡1構(gòu)成測(cè)量光路。(3)光電接收器光電接收器包括傳感器、機(jī)械支架和引線。主要功能是接受光信號(hào),并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。根據(jù)波譜范圍分成兩組,波長在200~1100nm部分由Si光電探測(cè)器(探測(cè)器1)接收轉(zhuǎn)換,800~1700nm紅外波長部分由InGaAs光電探測(cè)器(探測(cè)器2)接收轉(zhuǎn)換。(4)信號(hào)處理、控制電路及計(jì)算機(jī)系統(tǒng)信號(hào)處理電路進(jìn)行信號(hào)的放大、濾波、A/D轉(zhuǎn)換等功能。伺服控制系統(tǒng)由控制電路、驅(qū)動(dòng)器和執(zhí)行機(jī)構(gòu)(步進(jìn)電機(jī))組成,主要完成單色儀的出光控制。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行中心總控、后期數(shù)據(jù)處理、數(shù)據(jù)分析、顯示及打?。?）系統(tǒng)測(cè)量的軟件設(shè)計(jì)采用虛擬儀器技術(shù)就能利用軟件的力量來實(shí)現(xiàn)以往用儀器才能實(shí)現(xiàn)的功能，采用虛擬儀器技術(shù)可以根據(jù)實(shí)際工作的需要，采用不同的數(shù)字信號(hào)處理方法，設(shè)計(jì)不同的完全仿儀器儀表的用戶操作界面，具有傳統(tǒng)儀器所不具備的優(yōu)點(diǎn)2總體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)包含底座組件、殼體組件、隔板組件、球面反射鏡組件、平面反射鏡1組件、光闌組件、旋轉(zhuǎn)反射鏡組件、平面反射鏡2組件、試品架組件、分光鏡組件和探測(cè)器組件11大組件組成,其中球面反射鏡組件3套,平面反射鏡2組件2套,分光鏡組件2套,探測(cè)器組件2套。球面反射鏡組件可以進(jìn)行三維調(diào)整:水平橫向25mm移動(dòng)、0-30°旋轉(zhuǎn)調(diào)整和0-4°的俯仰方位雙軸傾斜調(diào)整。平面反射鏡1組件,可以進(jìn)行四維調(diào)整:0°-30°旋轉(zhuǎn)粗調(diào)整、0°-4°的俯仰方位雙軸傾斜調(diào)整、水平橫向25mm移動(dòng)和縱向200mm移動(dòng)。平面反射鏡2組件可以進(jìn)行四維調(diào)整:0-30°旋轉(zhuǎn)粗調(diào)整、0-4°的俯仰方位雙軸傾斜調(diào)整、水平橫向和縱向25mm二維移動(dòng)。分光鏡組件可以進(jìn)行四維調(diào)整:0-4°的俯仰方位雙軸傾斜調(diào)整、水平橫向和縱向25mm二維移動(dòng)。3.光路部分設(shè)計(jì)為適應(yīng)光譜范圍較寬和光能損失小的要求,系統(tǒng)采用反射式雙光路雙探測(cè)器測(cè)量系統(tǒng)。反射式平行光管對(duì)光源發(fā)出的光進(jìn)行準(zhǔn)直擴(kuò)束,旋轉(zhuǎn)反射鏡實(shí)現(xiàn)參考光和測(cè)量光的分光調(diào)制,反射式聚光鏡匯聚光束,析光鏡和雙探測(cè)器實(shí)現(xiàn)分段光譜接收轉(zhuǎn)換。對(duì)入射光準(zhǔn)直擴(kuò)束的反射式平行光管和同時(shí)適用于白光光源及光譜光源的光路結(jié)構(gòu)。設(shè)計(jì)采用平面反射鏡+球面反射鏡的離軸準(zhǔn)直系統(tǒng)。球面反射鏡的焦距300mm,口徑80mm,邊緣厚度20mm,選用K9光學(xué)玻璃基體,使用時(shí)離軸量150mm;平面反射鏡大小50mm#50mm,置于球鏡的1/2焦距處。鍍膜要求在300~1600nm波譜范圍內(nèi)反射率不低于99%。分光-旋轉(zhuǎn)反射鏡光路,可以將連續(xù)光輻射分成兩路交變光脈沖。聚光-析光-探測(cè)光路實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)處理和分析。測(cè)量光譜透過率時(shí),當(dāng)測(cè)量波長900~1700nm的光譜時(shí),光譜光源發(fā)出的匯聚復(fù)合光束入射到單色儀的入射狹縫,由出射狹縫出射的單色光經(jīng)圖2中的平面反射鏡反射到球面反射鏡上。準(zhǔn)直擴(kuò)束后的光束經(jīng)可變光闌調(diào)整為所要求大小的光束照射到圖3中的旋轉(zhuǎn)反射鏡上。當(dāng)旋轉(zhuǎn)反射鏡轉(zhuǎn)至圖示虛線位置時(shí),反射光作為參考光束經(jīng)參考光路反射鏡入射到圖4中的參考光路聚焦球面鏡。參考光束經(jīng)析光鏡1反射聚焦到InGaAs探測(cè)器上。當(dāng)旋轉(zhuǎn)反射鏡轉(zhuǎn)至圖示實(shí)線位置時(shí),反射光作為測(cè)量光束經(jīng)測(cè)量光路反射鏡和被測(cè)瞄具入射到圖4中的測(cè)量光路聚焦球面鏡。經(jīng)析光鏡2反射聚焦到InGaAs探測(cè)器上。當(dāng)測(cè)量200~900nm的光譜時(shí),光譜光源發(fā)出的匯聚復(fù)合光束,準(zhǔn)直擴(kuò)束后經(jīng)過圖3和圖4的光路,得到測(cè)量和參考兩路光信號(hào)聚焦反射到圖4中的Si探測(cè)器上。系統(tǒng)設(shè)計(jì)了大口徑反射式雙通道光路系統(tǒng)和析光鏡加雙探測(cè)器結(jié)構(gòu),能夠?qū)崿F(xiàn)300~1600nm的寬光譜范圍測(cè)量,同時(shí)有效提高測(cè)量精度。4控制及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)控制及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的設(shè)計(jì)基于虛擬儀器技術(shù)?？刂葡到y(tǒng)采用計(jì)算機(jī)+多串口卡+驅(qū)動(dòng)器+步進(jìn)電機(jī)控制系統(tǒng)模式,各功能模塊均有成型產(chǎn)品,保證可靠性。數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)如圖5所示,采用計(jì)算機(jī)+數(shù)據(jù)采集卡+信號(hào)處理模塊+探測(cè)器數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)模式。測(cè)量時(shí)兩路光信號(hào)在探測(cè)器上產(chǎn)生的電信號(hào)經(jīng)信號(hào)處理電路處理后送入計(jì)算機(jī)。同時(shí)光電同步檢測(cè)器產(chǎn)生的信號(hào)作為測(cè)量光的同步信號(hào)也送入計(jì)算機(jī),經(jīng)過軟件處理后得出被測(cè)瞄具的光譜透過率,單色光的輸出通過計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制。圖5數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)框圖5誤差分析與系統(tǒng)標(biāo)定在白光下,分別使用透過率為90.36%,60.52%,30.44%和10.25%的標(biāo)準(zhǔn)透過率板進(jìn)行標(biāo)定實(shí)驗(yàn),進(jìn)行多次測(cè)量結(jié)果并記錄測(cè)量結(jié)果,由實(shí)驗(yàn)結(jié)果來判定,結(jié)合誤差理論分析與儀器精度原理來調(diào)整儀器精度，必須保證測(cè)試誤差0.5%范圍以內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)精密測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)透射率的測(cè)量。四進(jìn)度安排1-3周學(xué)習(xí)并了解課題，相關(guān)國內(nèi)外資料查詢，總結(jié)初步了解研究內(nèi)容4-6周外文翻譯，并完成開題報(bào)告7-9周根據(jù)開題報(bào)告，完成安排的指定內(nèi)容的相關(guān)部分論文10-13周繼續(xù)擬寫充實(shí)未完成的論文，提出本論文的難點(diǎn)，查閱解決14周進(jìn)行實(shí)驗(yàn)完成數(shù)據(jù)整理與分析15周論文格式整理與總結(jié)，更一步完善論文16周準(zhǔn)備畢業(yè)論文答辯五文獻(xiàn)綜述前言：（目的，必要性，相關(guān)概念，研究現(xiàn)狀，問題核心焦點(diǎn)，分析）光學(xué)系統(tǒng)透過率是指光學(xué)儀器的出射光通量與入射光通量之比,標(biāo)志著光學(xué)儀器傳輸某一波段光輻射能的強(qiáng)弱,是光學(xué)系統(tǒng)中除了光學(xué)特性和成像質(zhì)量以外的另一個(gè)重要性能指標(biāo)。和光學(xué)傳遞函數(shù)一樣，作為光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)評(píng)價(jià)的另一重要指標(biāo)——光學(xué)系統(tǒng)透過率，其測(cè)量也是相當(dāng)重要的，因?yàn)槠浯笮∮绊懙匠上裥旁氡雀叩?，影響到接收探測(cè)器件的接收功能，同時(shí)它也是光學(xué)系統(tǒng)系統(tǒng)能量傳輸?shù)闹匾阅苤笜?biāo)。因此對(duì)于透射率的測(cè)量尤其是寬光譜大口徑光學(xué)系統(tǒng)透射率的高精度測(cè)量更加重要。正文：（論點(diǎn)加論據(jù)，提出問題，分析問題，解決問題，進(jìn)一步闡明論文的來龍去脈，提出自己獨(dú)到的見解）目前，對(duì)于光學(xué)透射率測(cè)量相關(guān)資料所介紹的測(cè)量方法主要有這么幾種：1.（見草稿）環(huán)帶劃分測(cè)量法將測(cè)量全孔徑劃分為不等環(huán)帶，然后對(duì)每個(gè)環(huán)帶的光通量采用平行光束接上積分球，探測(cè)器等分別測(cè)量透射率，最后求和的方式，優(yōu)點(diǎn)：解決了光學(xué)積分球和光學(xué)系統(tǒng)口徑不匹配的局限，克服了大口徑光學(xué)系統(tǒng)中心區(qū)域和邊緣區(qū)域不同帶來的誤差，而且當(dāng)測(cè)量系統(tǒng)使用和光學(xué)系統(tǒng)相同的CCD做檢測(cè)器件時(shí)，可以消除其他光學(xué)器件帶來的測(cè)量誤差。缺點(diǎn)：測(cè)量誤差大，精度僅可達(dá)到2%左右，不利于當(dāng)今高精度測(cè)量研究需要。2：根據(jù)