2023半導(dǎo)體行業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)

半導(dǎo)體行業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)目 次前言 II1范圍 12規(guī)范性引用文件 13術(shù)語(yǔ)和定義 24水污染物排放控制要求 35水污染物監(jiān)測(cè)要求 5監(jiān)測(cè)一般要求 5監(jiān)測(cè)要求 56達(dá)標(biāo)判定 77實(shí)施與監(jiān)督 8I半導(dǎo)體行業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)范圍本文件規(guī)定了半導(dǎo)體企業(yè)的水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)限值、監(jiān)測(cè)要求、達(dá)標(biāo)判定、實(shí)施與監(jiān)督。環(huán)境保護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)、建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收及其投產(chǎn)后的污染控制與管理。規(guī)范性引用文件（包括所有的修改單適用于本文件。GB/T7466水質(zhì)總鉻的測(cè)定GB/T7467水質(zhì)六價(jià)鉻的測(cè)定二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7470GB/T7471水質(zhì)鎘的測(cè)定雙硫腙分光光度法GB/T7475水質(zhì)銅、鋅、鉛、鎘的測(cè)定原子吸收分光光度法GB/T7484水質(zhì)氟化物的測(cè)定離子選擇電極法GB/T7485水質(zhì)總砷的測(cè)定二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法GB/T7494水質(zhì)陰離子表面活性劑的測(cè)定亞甲藍(lán)分光光度法GB/T11893水質(zhì)總磷的測(cè)定鉬酸銨分光光度法GB/T11901水質(zhì)懸浮物的測(cè)定重量法GB/T11907水質(zhì)銀的測(cè)定火焰原子吸收分光光度法GB/T11910水質(zhì)鎳的測(cè)定丁二酮肟分光光度法GB/T11912水質(zhì)鎳的測(cè)定火焰原子吸收分光光度法HJ/T60水質(zhì)硫化物的測(cè)定碘量法2 3 4 3 HJ84水質(zhì)無(wú)機(jī)陰離子(F-、Cl-、NO-、Br-、NO-、PO3-2 3 4 3 HJ/T195水質(zhì)氨氮的測(cè)定氣相分子吸收光譜法HJ/T199水質(zhì)總氮的測(cè)定氣相分子吸收光譜法HJ/T200水質(zhì)硫化物的測(cè)定氣相分子吸收光譜法HJ/T399水質(zhì)化學(xué)需氧量的測(cè)定快速消解分光光度法HJ484水質(zhì)氰化物的測(cè)定容量法和分光光度法HJ485水質(zhì)銅的測(cè)定二乙基二硫代氨基甲酸鈉分光光度法HJ486水質(zhì)銅的測(cè)定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法HJ487水質(zhì)氟化物的測(cè)定茜素磺酸鋯目視比色法2HJ488水質(zhì)氟化物的測(cè)定氟試劑分光光度法HJ489水質(zhì)銀的測(cè)定3,5-Br-PADAP分光光度法HJ490水質(zhì)銀的測(cè)定鎘試劑2B分光光度法2HJ493水質(zhì)樣品的保存和管理技術(shù)規(guī)定1HJ494水質(zhì)采樣技術(shù)指導(dǎo)HJ495水質(zhì)采樣方案設(shè)計(jì)技術(shù)指導(dǎo)HJ501水質(zhì)總有機(jī)碳的測(cè)定燃燒氧化-非分散紅外吸收法HJ535水質(zhì)氨氮的測(cè)定納氏試劑分光光度法HJ536水質(zhì)氨氮的測(cè)定水楊酸分光光度法HJ537水質(zhì)氨氮的測(cè)定蒸餾-中和滴定法HJ636水質(zhì)總氮的測(cè)定堿性過(guò)硫酸鉀消解紫外分光光度法HJ637水質(zhì)石油類和動(dòng)植物油類的測(cè)定紅外分光光度法HJ659水質(zhì)氰化物等的測(cè)定真空檢測(cè)管-電子比色法HJ667水質(zhì)總氮的測(cè)定連續(xù)流動(dòng)-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ668水質(zhì)總氮的測(cè)定流動(dòng)注射-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ670水質(zhì)磷酸鹽和總磷的測(cè)定連續(xù)流動(dòng)-鉬酸銨分光光度法HJ671水質(zhì)總磷的測(cè)定流動(dòng)注射-鉬酸銨分光光度法HJ694水質(zhì)汞、砷、硒、鉍和銻的測(cè)定原子熒光法HJ700水質(zhì)65種元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法HJ776水質(zhì)32種元素的測(cè)定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ828水質(zhì)化學(xué)需氧量的測(cè)定重鉻酸鹽法HJ908水質(zhì)六價(jià)鉻的測(cè)定流動(dòng)注射-二苯碳酰二肼光度法HJ970水質(zhì)石油類的測(cè)定紫外分光光度法（試行）HJ1069水質(zhì)急性毒性的測(cè)定斑馬魚(yú)卵法HJ1147水質(zhì)pH值的測(cè)定電極法HJ1226水質(zhì)硫化物的測(cè)定亞甲基藍(lán)分光光度法《污染源自動(dòng)監(jiān)控管理辦法》（2005年9月19日國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局令第28號(hào)）《環(huán)境監(jiān)測(cè)管理辦法》（2007年7月25日國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局令第39號(hào)）術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。半導(dǎo)體企業(yè) semiconductorindustry從事半導(dǎo)體分立器件或集成電路的制造、封裝測(cè)試的企業(yè)?，F(xiàn)有企業(yè) existingfacility本文件實(shí)施之日前已建成投產(chǎn)或環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件已通過(guò)審批的半導(dǎo)體企業(yè)。新建企業(yè) newfacility本文件實(shí)施之日起環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件通過(guò)審批的新建、改建和擴(kuò)建的半導(dǎo)體工業(yè)建設(shè)項(xiàng)目。直接排放 directdischarge排污單位直接向環(huán)境水體排放水污染物的行為。間接排放 indirectdischarge排污單位向污水集中處理設(shè)施排放水污染物的行為。2特別排放限值 specialdischargelimitvalues染物排放行為而制定的水污染物排放限值。污水集中處理設(shè)施 concentratedwastewatertreatmentfacilities（污水集中處理設(shè)施，以及其他由兩家及兩家以上排污單位共用的污水處理設(shè)施。排水量 effluentvolume企業(yè)或生產(chǎn)設(shè)施排放到企業(yè)法定邊界外的廢水量，包括與生產(chǎn)有直接或間接關(guān)系的各種外排廢水（含廠區(qū)生活污水、冷卻廢水、鍋爐和電站廢水等）。單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量 benchmarkeffluentvolumeperunitproduct用于核定水污染物排放濃度而規(guī)定的生產(chǎn)單位產(chǎn)品的污水排放量上限值。稀釋倍數(shù) dilutionlevelDD=1；250ml1000ml（即體積分?jǐn)?shù)為25％），D=4。最低無(wú)效應(yīng)稀釋倍數(shù) lowestineffectivedilution測(cè)試中不產(chǎn)生測(cè)試效應(yīng)的最低稀釋倍數(shù)，本文件指不少于90％的斑馬魚(yú)卵存活時(shí)水樣的最低稀釋倍數(shù)，用LID表示。水污染物排放控制要求12。表1 第一類水污染物排放限值單位：mg/L序號(hào)污染物項(xiàng)目排放限值特別排放限值污染物排放監(jiān)控位置1總鎘（按Cd計(jì)）0.050.01車間或生產(chǎn)設(shè)施廢水排放口2總鉻（按Cr計(jì)）0.50.53六價(jià)鉻（按Cr6+計(jì)）0.10.14總砷（按As計(jì)）0.20.15總鉛（按Pb計(jì)）0.20.1車間或生產(chǎn)設(shè)施廢水排放口6總鎳（按Ni計(jì)）0.50.17總銀（按Ag計(jì)）0.30.13表2 第二類水污染物排放限值單位：mg/L（pH值除外）序號(hào)污染物項(xiàng)目直接排放限值特別排放限值間接排放限值污染物排放監(jiān)控位置1氟化物（按F計(jì)）10820企業(yè)廢水總排放口2總銅（按Cu計(jì)）0.40.41.03總鋅1.01.01.54硫化物（按S計(jì)）1.01.01.05總氰化物（按CN-計(jì)）0.20.20.26pH（無(wú)量綱）6.0～9.06.0～9.06.0～9.07懸浮物（SS）60304008化學(xué)需氧量（COD）60505009氨氮1084510總氮15107011總磷1.00.58.012石油類3.01.01513陰離子表面活性劑（LAS）1.00.52014總有機(jī)碳（TOC）20151502廢水處理廠商定間接排放限值，并簽訂協(xié)議報(bào)當(dāng)?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境主管部門備案。12注：執(zhí)行水污染物特別排放限值的地域范圍、時(shí)間，由省級(jí)生態(tài)環(huán)境主管部門或設(shè)區(qū)市人民政府規(guī)定。半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)不同產(chǎn)品規(guī)格的單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量執(zhí)行表3規(guī)定。表3 單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量序號(hào)適用企業(yè)產(chǎn)品規(guī)格單位單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量污染物排放監(jiān)控位置1集成電路≤6英寸芯片生產(chǎn)m3/片3.2排水量計(jì)量位置與污染物排放監(jiān)控位置一致28英寸芯片生產(chǎn)m3/片6.0312英寸芯片生產(chǎn)掩膜層數(shù)35層及以下m3/片11掩膜層數(shù)35層以上204封裝測(cè)試封裝產(chǎn)品傳統(tǒng)封裝產(chǎn)品m3/千塊產(chǎn)品2.0圓片級(jí)封裝產(chǎn)品m3/片115分立器件分立器件m3/萬(wàn)塊產(chǎn)品3.5注：本表中規(guī)定的單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量值應(yīng)按滿產(chǎn)情況進(jìn)行測(cè)算。2025114測(cè)結(jié)果采取相應(yīng)的控制措施。4表4 綜合毒性控制項(xiàng)目序號(hào)控制項(xiàng)目名稱排放水平參考值監(jiān)測(cè)位置1斑馬魚(yú)卵急性毒性a≤6企業(yè)廢水總排放口a26℃±1℃48h，90％的斑馬魚(yú)卵存活時(shí)水樣的最低稀釋倍數(shù)。水污染物排放限值適用于單位產(chǎn)品實(shí)際排水量不高于單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量的情況。若單位產(chǎn)品實(shí)際排水量超過(guò)單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量，應(yīng)按公式（1）個(gè)工作日?！谄髽I(yè)的生產(chǎn)設(shè)施同時(shí)生產(chǎn)兩種以上產(chǎn)品，可適用不同排放控制要求或不同行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，且生產(chǎn)設(shè)施產(chǎn)生的污水混合處理排放的情況下，應(yīng)執(zhí)行排放標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的最嚴(yán)格的濃度限值，并按公式（1）換算水污染物基準(zhǔn)水量排放濃度： ??

= Q總∑Fi×Qi基

??

····································································(1)式中：總C基——水污染物基準(zhǔn)排水量排放濃度，單位為毫克每升（mg/L）；Q——排水總量，單位為立方米（m3）；總Yi——某種產(chǎn)品產(chǎn)量，產(chǎn)品單位見(jiàn)表3；Qi基——某種產(chǎn)品的單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量，產(chǎn)品單位見(jiàn)表3；C實(shí)——實(shí)測(cè)水污染物排放濃度，單位為毫克每升（mg/L）。Q總與∑Yi×Qi基1，則以水污染物實(shí)測(cè)濃度作為判定排放是否達(dá)標(biāo)的依據(jù)。水污染物監(jiān)測(cè)要求監(jiān)測(cè)一般要求放狀況開(kāi)展自行監(jiān)測(cè)，保存原始監(jiān)測(cè)記錄，公布監(jiān)測(cè)結(jié)果。執(zhí)行。企業(yè)應(yīng)按環(huán)境監(jiān)測(cè)管理規(guī)定和技術(shù)規(guī)范的要求，設(shè)計(jì)、建設(shè)、維護(hù)排污口標(biāo)志。對(duì)企業(yè)排放的廢水采樣，應(yīng)根據(jù)監(jiān)測(cè)污染物的種類，在規(guī)定的污染物排放監(jiān)控位置進(jìn)行。下進(jìn)行，并記錄監(jiān)測(cè)時(shí)的實(shí)際工況。監(jiān)測(cè)要求HJ91.1、HJ493、HJ494、HJ49555相同的，也適用于本文件對(duì)應(yīng)污染物的測(cè)定。5表5 水污染物濃度測(cè)定方法標(biāo)準(zhǔn)序號(hào)污染物項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)名稱標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)1總鎘水質(zhì)鎘的測(cè)定雙硫腙分光光度法GB/T7471水質(zhì)銅、鋅、鉛、鎘的測(cè)定原子吸收分光光度法GB/T7475水質(zhì)32種元素的測(cè)定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ776水質(zhì)65種元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法HJ7002總鉻水質(zhì)總鉻的測(cè)定GB/T7466水質(zhì)32種元素的測(cè)定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ776水質(zhì)65種元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法HJ7003六價(jià)鉻水質(zhì)六價(jià)鉻的測(cè)定二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7467水質(zhì)六價(jià)鉻的測(cè)定流動(dòng)注射-二苯碳酰二肼分光光度法HJ9084總砷水質(zhì)總砷的測(cè)定二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法GB/T7485水質(zhì)汞、砷、硒、鉍和銻的測(cè)定原子熒光法HJ694水質(zhì)32種元素的測(cè)定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ776水質(zhì)65種元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法HJ7005總鉛水質(zhì)鉛的測(cè)定雙硫腙分光光度法GB/T7470水質(zhì)銅、鋅、鉛、鎘的測(cè)定原子吸收分光光度法GB/T7475水質(zhì)32種元素的測(cè)定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ776水質(zhì)65種元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法HJ7006總鎳水質(zhì)鎳的測(cè)定火焰原子吸收分光光度法GB/T11912水質(zhì)鎳的測(cè)定丁二酮肟分光光度法GB/T11910水質(zhì)32種元素的測(cè)定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ776水質(zhì)65種元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法HJ7007總銀水質(zhì)銀的測(cè)定火焰原子吸收分光光度法GB/T11907-水質(zhì)銀的測(cè)定3,5-Br2PADAP分光光度法HJ489水質(zhì)銀的測(cè)定鎘試劑2B分光光度法HJ490水質(zhì)32種元素的測(cè)定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ776水質(zhì)65種元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法HJ7008pH值水質(zhì)pH值的測(cè)定電極法HJ11479懸浮物（SS）水質(zhì)懸浮物的測(cè)定重量法GB/T1190110化學(xué)需氧量（COD）水質(zhì)化學(xué)需氧量的測(cè)定重鉻酸鹽法HJ828水質(zhì)化學(xué)需氧量的測(cè)定快速消解分光光度法HJ/T39911總有機(jī)碳（TOC）水質(zhì)總有機(jī)碳的測(cè)定燃燒氧化-非分散紅外吸收法HJ50112總氰化物水質(zhì)氰化物的測(cè)定容量法和分光光度法HJ484水質(zhì)氰化物等的測(cè)定真空檢測(cè)管-電子比色法HJ65913石油類水質(zhì)石油類和動(dòng)植物油類的測(cè)定紅外光度法HJ637水質(zhì)石油類的測(cè)定紫外分光光度法（試行）HJ9706表5（續(xù)）序號(hào)污染物項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)名稱標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)14氨氮水質(zhì)氨氮的測(cè)定氣相分子吸收光譜法HJ/T195水質(zhì)氨氮的測(cè)定納氏試劑分光光度法HJ535水質(zhì)氨氮的測(cè)定水楊酸分光光度法HJ536水質(zhì)氨氮的測(cè)定蒸餾-中和滴定法HJ537水質(zhì)氨氮的測(cè)定連續(xù)流動(dòng)-水楊酸分光光度法HJ665水質(zhì)氨氮的測(cè)定流動(dòng)注射-水楊酸分光光度法HJ66615總氮水質(zhì)總氮的測(cè)定氣相分子吸收光譜法HJ/T199水質(zhì)總氮的測(cè)定堿性過(guò)硫酸鉀消解紫外分光光度法HJ636水質(zhì)總氮的測(cè)定連續(xù)流動(dòng)-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ667水質(zhì)總氮的測(cè)定流動(dòng)注射-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ66816總磷水質(zhì)總磷的測(cè)定鉬酸銨分光光度法GB/T11893水質(zhì)磷酸鹽和總磷的測(cè)定連續(xù)流動(dòng)-鉬酸銨分光光度法HJ670水質(zhì)總磷的測(cè)定流動(dòng)注射-鉬酸銨分光光度法HJ67117硫化物水質(zhì)硫化物的測(cè)定亞甲基藍(lán)分光光度法HJ1226水質(zhì)硫化物的測(cè)定碘量法HJ/T60水質(zhì)硫化物