GB/T 43603.2-2024鎳鉑靶材合金化學(xué)分析方法第2部分：鎂、鋁、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、銅、鋅、鋯、銀、鈀、錫、釤、鉛、硅含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

ICS7704030

CCSH.15.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T436032—2024

.

鎳鉑靶材合金化學(xué)分析方法

第2部分鎂鋁鈦釩鉻錳鐵

:、、、、、、、

鈷銅鋅鋯銀鈀錫釤鉛硅

、、、、、、、、、

含量的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

Methodsforchemicalanalysisofnickel-platinumtargetalloys—

Part2Determinationofmanesiumaluminiumtitaniumvanadium

:g,,,,

chromiummananeseironcobaltcoerzinczirconiumsilveralladium

,g,,,pp,,,,p,

tinsamariumleadsiliconcontents—

,,,

Inductivelycoupledplasmamassspectrometry

2024-03-15發(fā)布2024-10-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T436032—2024

.

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是鎳鉑靶材合金化學(xué)分析方法的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下

GB/T43603《》2。GB/T43603

部分

:

第部分鉑含量的測定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法

———1:;

第部分鎂鋁鈦釩鉻錳鐵鈷銅鋅鋯銀鈀錫釤鉛硅含量的測定電感耦合

———2:、、、、、、、、、、、、、、、、

等離子體質(zhì)譜法

;

第部分碳含量的測定高頻紅外檢測法

———3:。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出

。

本文件由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本文件起草單位貴研鉑業(yè)股份有限公司貴研檢測科技云南有限公司北京有色金屬與稀土應(yīng)

:、()、

用研究所有限公司有研億金新材料有限公司深圳市中金嶺南有色金屬股份有限公司國標(biāo)北京檢

、、、()

驗(yàn)認(rèn)證有限公司北礦檢測技術(shù)股份有限公司銅陵有色金屬集團(tuán)控股有限公司大冶有色設(shè)計(jì)研究院

、、、

有限公司紫金銅業(yè)有限公司南京市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)院南京市質(zhì)量發(fā)展與先進(jìn)技術(shù)應(yīng)用研究院

、、()、

山西北方銅業(yè)有限公司廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心

、。

本文件主要起草人李秋瑩趙萬春王傳軍朱武勛孫祺何姣方海燕汪原伊姚芳鮑葉琳

:、、、、、、、、、、

何劍文張強(qiáng)孫夢荷王洋鄭佩黃路路高瑞峰昝敏嬌陳曉東廖桂平肖紅新嚴(yán)鵬潘曉玲

、、、、、、、、、、、、、

劉芳美張夢甜劉朝方

、、。

Ⅰ

GB/T436032—2024

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引言

鎳鉑靶材合金廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)是保證半導(dǎo)體器件性能和發(fā)展半導(dǎo)體技術(shù)的關(guān)鍵材料不同

,,

鉑含量的鎳鉑靶材合金具有特殊的組織和性能在半導(dǎo)體制造工藝中發(fā)揮了重要作用而鎳鉑靶材合金

,,

的雜質(zhì)成分直接關(guān)系鎳鉑靶材合金的濺射性能因此鎳鉑靶材合金的化學(xué)成分分析顯得尤為重要

。,;

根據(jù)檢測對象和檢測手段的不同擬由三個(gè)部分構(gòu)成

GB/T43603,。

第部分鉑含量的測定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法目的在于規(guī)定鎳鉑靶材合金

———1:。

中鉑含量測定的電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法及適用的測定范圍

;

第部分鎂鋁鈦釩鉻錳鐵鈷銅鋅鋯銀鈀錫釤鉛硅含量的測定電感耦合

———2:、、、、、、、、、、、、、、、、

等離子體質(zhì)譜法目的在于規(guī)定鎳鉑靶材合金中鎂鋁鈦釩鉻錳鐵鈷銅鋅鋯銀

。、、、、、、、、、、、、

鈀錫釤鉛硅含量測定的電感耦合等離子體質(zhì)譜法及適用的測定范圍

、、、、;

第部分碳含量的測定高頻紅外檢測法目的在于規(guī)定鎳鉑靶材合金中碳含量測定的高

———3:。

頻紅外檢測法及適用的測定范圍

。

上述各部分文件通過明確適用范圍規(guī)范試劑材料試驗(yàn)設(shè)備和步驟并經(jīng)過多家實(shí)驗(yàn)室反復(fù)試驗(yàn)

、、、,

和驗(yàn)證給出精密度數(shù)據(jù)增強(qiáng)了不同實(shí)驗(yàn)室之間數(shù)據(jù)的一致性和可比性為檢驗(yàn)鎳鉑靶材合金的品質(zhì)建

,,

立嚴(yán)謹(jǐn)規(guī)范的標(biāo)準(zhǔn)化基礎(chǔ)

、。

Ⅱ

GB/T436032—2024

.

鎳鉑靶材合金化學(xué)分析方法

第2部分鎂鋁鈦釩鉻錳鐵

:、、、、、、、

鈷銅鋅鋯銀鈀錫釤鉛硅

、、、、、、、、、

含量的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

警示———使用本文件的人員應(yīng)有正規(guī)實(shí)驗(yàn)室工作的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)本文件并未指出所有可能的安全問

。

題使用者有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】荡胧┎⒈ＷC符合國家有關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件

。,。

1范圍

本文件描述了鎳鉑靶材合金中鎂鋁鈦釩鉻錳鐵鈷銅鋅鋯銀鈀錫釤鉛硅含量的測

、、、、、、、、、、、、、、、、

定方法

。

本文件適用于鎳鉑靶材合金中鎂鋁鈦釩鉻錳鐵鈷銅鋅鋯銀鈀錫釤鉛硅含量的測

、、、、、、、、、、、、、、、、

定測定范圍見表

。1。

表1測定范圍

測定范圍質(zhì)量分?jǐn)?shù)測定范圍質(zhì)量分?jǐn)?shù)

元素()元素()

%%

Ti0.000010~0.010Pd0.000050~0.010

Ag0.000010~0.010Pb0.000050~0.010

Sn0.000010~0.010Mg0.00010~0.010

Sm0.000010~0.010Cu0.00010~0.010

Zn0.000050~0.010Fe0.00010~0.010

Al