真空磁控濺射鍍膜設(shè)備中羅茨泵的保養(yǎng)與維護(hù)

真空磁控濺射設(shè)備的真空度高低及穩(wěn)定性直接決定了鍍膜產(chǎn)品性能，真空條件控制是鍍膜的關(guān)鍵技術(shù)之一。通過(guò)開(kāi)發(fā)使用羅茨泵關(guān)鍵零部件的安裝、拆卸裝置，可以有效降低羅茨泵的日常自主保養(yǎng)成本和周期。羅茨泵是容積真空泵的一種，在泵腔內(nèi)，有2個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，一個(gè)轉(zhuǎn)子由連接軸直接由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，另一個(gè)轉(zhuǎn)子通過(guò)安裝在羅茨泵轉(zhuǎn)子上的齒輪進(jìn)行傳動(dòng)。通過(guò)轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。圖1為羅茨泵結(jié)構(gòu)示意圖。圖1羅茨泵結(jié)構(gòu)示意圖羅茨泵使用過(guò)程的維護(hù)（1）軸套拆卸裝置：以前的方法不但耗時(shí)較長(zhǎng)，并且很容易對(duì)主軸表面造成損傷，從而保證不了泵腔內(nèi)的真空度。為此，研制了一個(gè)由軸套夾、連接桿、連接面、沖擊塊和端面組成的裝置，通過(guò)沖擊塊在連接桿上的空行軌跡對(duì)端面施加作用力，使其端面向外拉伸，通過(guò)連接桿帶動(dòng)軸套夾向外運(yùn)行，快速的將硬度較高的且與軸靜密封的軸套拆卸下來(lái)。軸承拆卸裝置示意圖見(jiàn)圖2。圖2軸承拆卸裝置圖（2）轉(zhuǎn)子安裝固定裝置：為解決人工安裝出現(xiàn)的問(wèn)題，在羅茨泵驅(qū)動(dòng)端安裝可調(diào)整角度的驅(qū)動(dòng)軸固定裝置，如圖3所示。首先將該裝置的固定環(huán)套入羅茨泵傳動(dòng)桿內(nèi)，通過(guò)固定銷(xiāo)插入固定環(huán)和傳動(dòng)桿原有銷(xiāo)孔內(nèi)。然后通過(guò)在兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間插入0.3mm的塞尺，在豎直轉(zhuǎn)子和羅茨泵內(nèi)壁之間插入1mm的塞尺，確定轉(zhuǎn)子的位置，將連接板根據(jù)角度固定到帶有螺紋的支撐桿上，用螺母緊固好，防止在緊固齒輪過(guò)程中出現(xiàn)位移。圖3轉(zhuǎn)子安裝固定裝置圖（3）活塞安裝裝置：研制的一種活塞環(huán)安裝工具如圖4所示，使用該工具可以有效降低活塞的安裝難度，有利于活塞快速放置到套筒內(nèi)，而且放置過(guò)程中避免了活塞環(huán)的損壞，保證了活塞的密封性能。可實(shí)現(xiàn)活塞的快速安裝，在任何需要更換活塞的地方均能使用，無(wú)使用場(chǎng)所的限制。圖4活塞環(huán)安裝工具圖真空磁控濺射鍍膜過(guò)程中，設(shè)備狀態(tài)對(duì)生產(chǎn)工藝控制難度的影響很大，設(shè)備損耗快，維護(hù)頻繁，通過(guò)輔助裝置的開(kāi)發(fā)