斜塊式測微儀檢定器檢定規(guī)程

JJG525—20141斜塊式測微儀檢定器檢定規(guī)程1范圍本檢定規(guī)程適用于分度值為1μm、0.2μm、0.1μm和0.02μm斜塊式測微儀檢定器的首次檢定、后續(xù)檢定和使用中的檢查。2概述斜塊式測微儀檢定器(以下簡稱檢定器)是一種利用螺旋副和斜塊或螺旋副、斜塊和杠桿組合的原理,給出準確長度位移量的計量器具,主要用于電感式、電容式或光柵式測微儀以及氣動量儀和扭簧比較儀等幾何量計量器具的檢定或校準。檢定器按其結構形式分為斜塊螺旋副式和杠桿斜塊螺旋副式兩類,其外形見圖1、圖2。圖1斜塊螺旋副式檢定器1—旁向測頭裝夾支架;2—軸向測頭裝夾支架;3—上斜塊;4—刻度尺;5—讀數(shù)鼓輪;6—微分螺桿;7—測砧;8—底座;9—下斜塊圖2杠桿斜塊螺旋副式檢定器1—上斜塊;2—杠桿;3—軸向測頭裝夾支架孔;4—彈簧支點;5—刻度尺;6—讀數(shù)鼓輪;7—微分螺桿;8—微分筒測桿;9—測砧;10—下斜塊;11—底座;12—杠桿測頭JJG525—201423計量性能要求3.1上斜塊工作面和測砧的表面粗糙度3.1.1上斜塊工作面的表面粗糙度Ra:0.025μm。3.1.2測砧表面粗糙度Ra:0.05μm。3.2上斜塊工作面的平面度上斜塊工作面的平面度限:0.3μm,不允許凹陷(平面工作臺邊緣1mm范圍內(nèi)允許塌邊)。3.3刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓的距離刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓的距離應不大于0.4mm。3.4杠桿測頭的測力杠桿測頭的測力限:(0.7±0.1)N。3.5儀器示值誤差示值誤差范圍應符合表1的要求。3.6回程誤差回程誤差限應符合表1的要求。3.7示值重復性示值重復性應不大于表1的要求。表1計量性能要求μm結構形式斜塊斜度杠桿比分度值測量范圍示值誤差范圍限誤差限示值重復性斜塊螺旋副式1∶10/1(0~50)0.50.20.03任意10001.2(0~2000)2.01∶50/0.2(0~10)0.250.100.02(0~400)0.800.15杠桿斜塊螺旋副式1∶501∶20.1(0~5)0.100.050.01任意500.300.10(0~200)0.601∶100.02(0~1)0.0600.0500.010(0~40)0.1004通用技術要求4.1外觀4.1.1首次檢定的檢定器各工作面上無銹跡、碰傷、顯著劃痕及影響準確度的其他缺陷;在非工作面上應無脫漆和鍍層脫落的現(xiàn)象。34.1.2刻度尺和讀數(shù)鼓輪上的刻線應平直、清晰,不應有斷線、線結和長短粗細不一的現(xiàn)象,數(shù)字應規(guī)范、清晰。4.1.3檢定器上應標有制造商名稱(或注冊商標)、型號和出廠編號。4.1.4后續(xù)檢定和使用中檢查的檢定器,工作面允許有不影響準確度的缺陷。4.2各部分的相互作用4.2.1微分筒的轉(zhuǎn)動應平穩(wěn),不應有卡滯、配合松弛、松緊不一等現(xiàn)象。4.2.2刻度尺棱邊應平直,并與讀數(shù)鼓輪上的刻線平行。4.2.3上斜塊移動應靈活,始終保持與微分筒測桿上的鋼球接觸。上斜塊在全行程中間位置時,微分筒測桿中心應位于測砧中心。4.2.4裝夾支架沿立柱上下移動應靈活,裝夾軸心線無明顯的傾斜,緊固螺釘作用應有效、可靠。5計量器具控制計量器具控制包括首次檢定、后續(xù)檢定和使用中的檢查。5.1檢定條件檢定條件見表2。表2檢定條件結構形式室溫℃室溫的變化量℃·h-1相對濕度%斜塊螺旋副式20±3≤1.0<65杠桿斜塊螺旋副式20±1≤0.3<65測量前將檢定器置于檢定室內(nèi)平衡溫度的時間不少于24h,檢定器具在檢定室內(nèi)平衡溫度的時間不少于6h。5.2檢定項目和主要檢定器具檢定項目和主要檢定器具見表3。表3檢定項目和主要檢定器具序號檢定項目主要檢定器具首次檢定后續(xù)檢定使用中檢查1外觀/+++2各部分的相互作用/+++3上斜塊工作面和測砧的表面粗糙度表面粗糙度比較樣塊MPE:+12%~-17%表面粗糙度測量儀MPE:±10%+--4上斜塊工作面的平面度2級平面平晶++-4表3(續(xù))序號檢定項目主要檢定器具首次檢定后續(xù)檢定使用中檢查5刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓的距離塞尺MPE:±12μm+--6杠桿測頭的測力分度值為0.1N的手持式測力儀MPE:±1%+--7示值誤差范圍2等量塊、3等量塊、0.01μm電感測微儀+++8回程誤差2等量塊、3等量塊、0.01μm電感測微儀+++9示值重復性0.01μm電感測微儀++-注:表中符號“+”表示該項應檢定,“-”表示該項可不檢定5.3檢定方法5.3.1外觀目力觀察。5.3.2各部分的相互作用目力觀察和試驗。5.3.3上斜塊工作面和測砧的表面粗糙度上斜塊工作面和測砧的表面粗糙度用表面粗糙度比較樣塊以比較法進行測量。在進行比較時,所用的表面粗糙度樣塊和被檢測量面的加工方法應盡可能相同,表面粗糙度的材料、形狀、表面色澤等也應盡可能與被檢測量面一致。判斷的準則是根據(jù)被檢測量面加工痕跡的深淺來決定表面粗糙度是否符合要求,當被檢測量面的加工痕跡深淺不超過表面粗糙度樣塊工作面加工痕跡深度時,則認為測量面的表面粗糙度不超過表面粗糙度樣塊的標稱值。仲裁檢定時,用表面粗糙度測量儀進行測量。5.3.4上斜塊工作面的平面度用2級平面平晶以技術光波干涉法進行測量。以其測得值作為上斜塊工作面的平面度。5.3.5刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓的距離在測量范圍內(nèi),用塞尺在刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓距離的最大處測量。以其測得值作為刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓的距離。5.3.6杠桿測頭的測力測量前,將電感測微儀測頭安裝在裝夾支架孔中,調(diào)整杠桿測頭位于檢定器上斜塊在全行程中間位置。用分度值不大于0.1N的手持式測力儀沿測量方向?qū)y頭向上慢慢JJG525—20145加力,在檢定器測量范圍的始、中、末三個位置進行檢定,三個位置的測力值均應滿足要求,取最大測力值作為測得值。5.3.7儀器示值誤差5.3.7.1根據(jù)檢定器的分度值和測量范圍,選用相應的2等或3等量塊以直接測量法測量,所選用的量塊等級及尺寸見表4。上斜塊工作面為平面的檢定器應借助于三筋工作臺進行測量。表4選用的量塊等級及尺寸分度值μm測量范圍μm量塊等別量塊尺寸1(0~50)2等1,1.01,1.02,1.03,1.04,1.05任意(0~1000)3等1,1.2,1.4,1.6,1.8,2.0(以1000μm分段檢定)(0~2000)0.2(0~10)2等0.991,0.993,0.995,0.997,0.999,1.001(0~400)3等1,1.10,1.20,1.30,1.400.1(0~5)2等0.991,0.993,0.995,0.997,0.999,1.001(0~200)3等1,1.10,1.20,1.30,1.400.02(0~1)2等0.991,0.993,0.995,0.997,0.999,1.001(0~40)3等1,1.10,1.20,1.30,1.405.3.7.2直接測量時,首先將電感測微儀傳感器安裝在檢定器裝夾支架中,把對零量塊放置在杠桿測頭或電感測微儀測頭下面并使檢定器對準零位,調(diào)整分辨力為0.01μm的電感測微儀示值為零。然后按選定的量塊間隔置換量塊并轉(zhuǎn)動檢定器微分筒至相應受檢點附近,當電感測微儀示值重新指零時(電感測微儀各擋位的置零順序按分辨力從低到高進行,最后以0.01μm擋位置零為準),在檢定器讀數(shù)鼓輪上讀數(shù);逐點檢定完正行程后,繼續(xù)轉(zhuǎn)動微分筒10個分度值左右,再進行反向測量。在整個測量過程中,中途不得改變微分筒的旋轉(zhuǎn)方向,也不應對檢定器做任何調(diào)整。各受檢點的示值誤差按式(1)求得。δi=ri-(Li-L0)(1)式中:δi—第i個受檢點的示值誤差,μm;ri———檢定器上讀數(shù)值,μm;Li———受檢點上所用量塊中心長度的實際值,μm;L0———對零用量塊中心長度的實際值,μm。5.3.7.3分段測量時,首先按5.3.7.2進行第一受檢段的測量,檢定完第一受檢段后,再以第一受檢段正行程的終點,作為第二受檢段的起始點,重復上述測量過程,測量第二受檢段的各受檢點。第二受檢段各受檢點上的示值誤差值加上第一受檢段終點的示值誤差值,即得到第二受檢段各受檢點的累計誤差。JJG525—201465.3.7.4按5.3.7.2、5.3.7.3重復測量一次,取對應點兩次測量值的平均值作為該點的誤差值;以單向行程各受檢點中最大與最小示值誤差的差值作為檢定器的示值誤差范圍,取其最大值作為測得值。5.3.7.5允許用滿足測量不確定度要求的其他測量方法進行測量。5.3.8回程誤差在檢定器各點誤差值的測量數(shù)據(jù)中,取各受檢點正、反行程示值誤差差值絕對值的最大值作為測得值。5.3.9示值重復性按5.3.7.3安裝的條件下,對讀數(shù)鼓輪某一刻線重復測量9次,取最大讀數(shù)和最小讀數(shù)之差的三分之一作為測得值。5.4檢定結果的處理經(jīng)檢定符合本規(guī)程要求的檢定器出具檢定證書;不符合本規(guī)程要求的檢定器出具檢定結果通知書,并注明不合格項目。5.5檢定周期檢定器的檢定周期根據(jù)實際使用情況確定,一般不超過1年。JJG525—20147附錄A分度值為1μm檢定器(0~2)mm的示值誤差范圍檢定示例受檢點/μm02004006008001000量塊尺寸/mm11.21.41.61.82量塊偏差值/μm-0.04+0.04-0.04+0.07+0.02+0.13檢定分段檢定結果/μm(0~1)mm正行程讀數(shù)10.0+0.3+0.4+0.4+0.5+0.5讀數(shù)20.0+0.3+0.2+0.3+0.4+0.5平均值0.0+0.3+0.3+0.4+0.4+0.5示值誤差0.0+0.2+0.3+0.3+0.3+0.3反行程讀數(shù)1+0.1+0.3+0.3+0.3+0.2+0.4讀數(shù)20.0+0.2+0.3+0.3+0.3+0.5平均值0.0+0.2+0.3+0.3+0.2+0.4示值誤差+0.2+0.3+0.5+0.4+0.3+0.4回程誤差0.20.10.20.10.00.1(1~2)mm正行程讀數(shù)10.0+0.5+0.8+1.1+1.2+1.4讀數(shù)20.0+0.6+0.8+1.3+1.2+1.4平均值0.0+0.6+0.8+1.2+1.2+1.4示值誤差0.0+0.5+0.8+1.1+1.1+1.2累計誤差+0.3+0.8+1.1+1.4+1.4+1.5反行程讀數(shù)1-0.1+0.4+0.6+0.9+1.2+1.4讀數(shù)2-0.2+0.4+0.5+0.9+1.0+1.2平均值-0.2+0.4+0.6+0.9+1.1+1.3示值誤差0.0+0.5+0.8+1.0+1.2+1.3累計誤差+0.4+0.9+1.2+1.4+1.6+1.7回程誤差0.10.10.10.00.20.2正行程最大與最小誤差的差值=+1.5μm-0.0μm=1.5μm反行程最大與最小誤差的差值=+1.7μm-(+0.2μm)=1.5μm任意1mm最大與最小誤差的差值=+1.7μm-(+0.4μm)=1.3μm(0~2)mm示值誤差范圍=1.5μm回程誤差=0.2μmJJG525—20148附錄B三筋工作臺技術要求三筋工作臺的技術要求見圖B.1所示。注:1.修鈍銳邊,Ra單位:μm;其余Ra:0.8μm,(60~65)HRC。2.其余尺寸單位:mm。圖B.19附錄C分度值為0.2μm斜塊式測微儀檢定器(0~10)μm示值誤差范圍測量結果的不確定度評定C.1測量方法依據(jù)檢定規(guī)程,分度值為0.2μm檢定器(0~10)μm各點的示值誤差用2等量塊配0.01μm電感測微儀以直接法進行檢定;檢定器的示值誤差范圍是以單行程各受檢點中最大與最小示值誤差的差值表示。C.2測量模型y=δmax-δmin(C.1)式中:y———被檢儀器的示值誤差范圍,μm;δmax———單行程各受檢點示值誤差的最大值,μm;δmin———單行程各受檢點示值誤差的最小值,μm。其中:δi=ri-(Li-L0)(C.2)式中:δi—單行程第i個受檢點的示值誤差,μm;ri———檢定器上讀數(shù)值,μm;Li———受檢點上所用量塊中心長度的實際值,μm;L0———對零用量塊中心長度的實際值,μm?？紤]到各輸入量之間的相關性,將式C.2轉(zhuǎn)換得到δi=ri-(Li-L0)=ri-Ls-(ΔLi-ΔL0)=Δri-(ΔLi-ΔL0)(C.3)式中:δi—單行程第i個受檢點的示值誤差,μm;Δri———檢定器上兩受檢點的讀數(shù)差值,μm;Ls———受檢點間隔標稱值,常數(shù),μm;ΔLi———受檢點上所用量塊中心長度的偏差值,μm;ΔL0———對零用量塊中心長度的偏差值,μm。通過上述變換以后,可以認為各輸入量之間為不相關。C.3方差和靈敏系數(shù)f)i(Li)u2(ΔLi)+c2(ΔL0)u2(ΔL0)JJG525—201410=-1;2(Δri)+u2(ΔLi)+u2(ΔL0)C.4.1測量重復性:u1C.4.2鼓輪估讀誤差:u2C.4.3電感測微儀分辨力量化誤差:u3C.4.4用于對零量塊的尺寸偏差值:u4C.4.5用于檢定量塊的尺寸偏差值:u5C.4.6溫度偏離20℃量塊線膨脹系數(shù)的變化:u6C.4.7對零和檢定量塊的溫度差:u7C.4.8溫度偏離20℃斜塊線膨脹系數(shù)的變化:u8C.4.9三筋工作臺的形位公差:u9C.5不確定度一覽表標準不確定度分量u(xi)不確定度來源標準不確定度值u(xi)μmci=?f/?xiu(r)u1測量重復性0.01410.014u2鼓輪估讀誤差0.01610.0164u(L0)u(L)u3電感測微儀分辨力量化誤差0.00310.003u4用于對零量塊的尺寸偏差值0.01310.013u5用于檢定量塊的尺寸偏差值0.013-10.013u6溫度偏離20℃標準量塊線膨脹系數(shù)的變化0.003-10.003u7對零和檢定量塊的溫度差5.31×10-4-15.31×10-4u8溫度偏離20℃斜塊線膨脹系數(shù)的變化0.00210.002u9三筋工作臺的形位公差0.01310.013uc=0.028μmJJG525—201411C.6標準不確定度分量計算C.6.1測量重復性引入的不確定度分量u1依據(jù)規(guī)程,由測量重復性引入的不確定度分量s=0.02μm,依據(jù)規(guī)程每個受檢點要測量兩次取平均值作為測得值,則有:C.6.2鼓輪估讀誤差引入的不確定分量u2鼓輪的分度值為0.2μm,根據(jù)其刻線寬度假設估讀到1/5,認為其等概率分布在區(qū)間內(nèi),即均勻分布,依據(jù)規(guī)程每個受檢點要測量兩次取平均值作為測得值,則有:3依JJF1059.1—2012可知,對于數(shù)字顯示的測量儀器,其分辨力為δx,則由此帶來的不:確定度為u(x)=0.29δx。由于u3相對u(r)非常3..=。0.003μmC.6.4由對零用量塊尺寸偏差引入的不確定度分量u4采用2等量塊以直接法對分度值為0.2μm斜塊式測微儀的讀數(shù)鼓輪的示值誤差進0,C.6.5由檢定用量塊尺寸偏差引入的不確定度分量u5同C.6.4,可以得到C.6.6由溫度偏離20℃量塊線膨脹系數(shù)引入的不確定度分量u6定的量塊標稱尺寸均在2mm以內(nèi),假設檢定時溫度偏離20℃的差值Δt=3℃,則有:0-定的量塊標稱尺寸均在2mm以內(nèi),假設檢定時溫度偏離20℃的差值Δt=3℃,則有:u6=2mm×0.577×10-6℃-1×3℃=0.003μm由于u6相對u4、u5非常小,故可以忽略不計。C.6.7由對零、檢定用量塊溫度差引入的不確定度分量u7對零、檢定量塊的溫度最大差Δt以在±0.04℃范圍內(nèi)估計,假設其在該范圍內(nèi)等概率分布,可得其標準不確定度u(Δt)=0.0231℃。依據(jù)規(guī)程用于檢定示值誤差的標準12由于u7相對u4、u5非常小,故可以忽略不計。C.6.8溫度偏離20℃斜塊線膨脹系數(shù)的變化引入的不確定度分量u8塊斜度比為1∶50,斜塊長度為60mm,當溫度偏離20℃最大3℃時,則有:1-塊斜度比為1∶50,斜塊長度為60mm,當溫度偏離20℃最大3℃時,則有:×60mm×0.577×10-6℃-1×3℃=0.002μm由于u8相對u4、u5非常小,故可以忽略不計。C.6.9三筋工作臺的形位公差引入的不確定度分量u9由于三筋工作臺的形位公差包含平行性和平面度,假設其均為等概率分布,可得其標準不確定度分別為0.4042μm、0.1732μm,將其合成得到0.4397μm;因為三筋工作臺長、寬分別為60mm和15mm,筋寬1.0mm,10mm以下量塊寬度為9mm,則有:×0.4397μm=0.013μmC.7合成標準不確定度uc==(0.016μm-4)2+2(0.013μm)2+(0.013μm)2+(0.013μm)2=7.63×10=7.63×10μmuc=0.028μmC.8擴展不確定度UU=2×0.028μm×2=0.079μmC.9結論由以上分析可以看出,分度值為0.2μm檢定器(0~10)μm示值誤差范圍測量結果的擴展不確定度U滿足小于1/3示值誤差范圍限的要求。13附錄D分度值為0.02μm杠桿斜塊式測微儀檢定器(0~1)μm示值誤差范圍測量結果的不確定度評定D.1測量方法依據(jù)檢定規(guī)程,分度值為0.02μm檢定器(0~1)μm各點的示值誤差用2等量塊配0.01μm電感測微儀以直接法進行檢定;檢定器的示值誤差范圍是以單行程各受檢點中最大與最小誤差的差值表示。D.2測量模型y=δmax-δmin(D.1)式中:y———被檢儀器的示值誤差范圍,μm;δmax———單行程各受檢點示值誤差的最大值,μm;δmin———單行程各受檢點示值誤差的最小值,μm。其中:δi=ri-A(Li-L0)(D.2)式中:δi—第i個受檢點的示值誤差,μm;ri———檢定器上讀數(shù)值,μm;Li———受檢點上所用量塊中心長度的實際值,μm;L0———對零用量塊中心長度的實際值,μm;考慮到各輸入量之間的相關性,將式D.2轉(zhuǎn)換得到:δi=ri-A(Li-L0)=ri-Ls-A(ΔLi-ΔL0)=Δri-A(ΔLi-ΔL0)(D.3)式中:δi—第i個受檢點的示值誤差,μm;Δri———檢定器上兩受檢點的讀數(shù)差值,μm;Ls———受檢點間隔標稱值,常數(shù),μm;ΔLi———受檢點上所用量塊中心長度的偏差值,μm;ΔL0———對零用量塊中心長度的偏差值,μm;通過上述變換以后,可以認為各輸入量之間為不相關。D.3方差和靈敏系數(shù)i(Li)u2(ΔLi)+c2(ΔL0)u2(ΔL0)+c2(A)u2(A)JJG525—201414因為杠桿比為1∶10,檢定用量塊與對零量塊其偏差值之差一般不超過0.10μm,則有:u(δi)=u2(Δri)+A2u2(ΔLi)+A2u2(ΔL0)+[-(ΔLi-ΔL0)]2u2(A)u(δi)=u2(Δri)+(-0.1)2u2(ΔLi)+0.12u2(ΔL0)+0.102u2(A)D.4不確定度來源D.4.1測量重復性:u1D.4.2鼓輪估讀誤差:u2D.4.3電感測微儀分辨力量化誤差:u3D.4.4用于對零量塊的尺寸偏差值:u4D.4.5用于檢定量塊的尺寸偏差值:u5D.4.6溫度偏離20℃量塊線膨脹系數(shù)的變化:u6D.4.7對零和檢定量塊的溫度差:u7D.4.8溫度偏離20℃斜塊線膨脹系數(shù)的變化:u8D.4.9三筋工作臺的形位公差:u9D.4.10杠桿比誤差:u10D.5不確定度一覽表標準不確定度分量u(xi)不確定度來源標準不確定度值u(xi)μmci=?f/?xi|ci|·u(xi)μmu(r)u1測量重復性0.007010.0070u2鼓輪估讀誤差0.001610.0016u(L0)u(L)u3電感測微儀分辨力量化誤差0.002910.0029u4用于對零量塊的尺寸偏差值0.0126A0.00126u5用于檢定量塊的尺寸偏差值0.0126-A0.0126u6溫度偏離20℃標準量塊線膨脹系數(shù)的變化1.15×10-3-A1.15×10-4u7對零和檢定量塊的溫度差5.31×10-4A5.31×10-5u8溫度偏離20℃斜塊線膨脹系數(shù)的變化6.9×10-4A6.9×10-5u9三筋工作臺的形位公差0.013A0.0013u(A)u10杠桿比誤差0.0058-(ΔLi-ΔL0)0.0006uc=0.007μmJJG525—201415D.6標準不確定度分量計算D.6.1測量重復性引入的不確定度分量u1依據(jù)規(guī)程,由測量重復性引入的不確定度分量s=0.010μm,依據(jù)規(guī)程每個受檢點要測量兩次取平均值作為測得值,則有:D.6.2鼓輪估讀誤差引入的不確定分量u2鼓輪的分度值為0.02μm,根據(jù)其刻線寬度假設估讀到1/5,認為其等概率分布在區(qū)間內(nèi),即均勻分布,依據(jù)規(guī)程每個受檢點要測量兩次取平均值作為測得值,則有:30070μm依據(jù)JJF1059.1—2012可知,對于數(shù)字顯示的測量儀器,其分辨力為δx,則由此帶來的標準不確定度為u(x)=0.29δx。則有:u3=0.29×0.01μm=0.0029μmD.6.4由對零用量塊尺寸偏差引入的不確定度分量u4規(guī)程規(guī)定采用2等量塊以直接法對分度值為0.02μm斜塊式測微儀的讀數(shù)鼓輪的示值誤差進行檢定;2等量塊的擴展不確定度為U=0.05μm+0.5×10-6L,k=2.8,m,,則有:U=0.05μm,k=2.8,依據(jù)規(guī)程每D.6.5由檢定用量塊尺寸偏差引入的不確定度分量u5同D.6.4,可以得到:u5=μm=0.0126μmD.6.6由溫度偏離20℃量塊線膨脹系數(shù)引入的不確定度分量u6u5=2mm×0.577×10-6℃-1×1℃=1.15×10-3μm由于u6相對u4、u5非常小,故可以忽略不計u5=2mm×0.577×10-6℃-1×1℃=1.15×10-3μm由于u6相對u4、u5非常小,故可以忽略不計。D.6.7由對零、檢定用量塊溫度差引入的不確定度分量u7對零、檢定用量塊溫度最大差Δt以在±0.04℃范圍內(nèi)估計,假設其在該范圍內(nèi)等其=u6=2mm×11.5×10-6℃-1×0.0231℃=5.31×10-4μmJJG525—201416由于u7相對u4、u5非常小,故可以忽略不計。D.6.8溫度偏離20℃斜塊線膨脹系數(shù)的變化引入的不確定度分量u811×60mm×0.577×10-6℃-1×1℃=6.9×10-4μm由于u8相對u4、u5非常小,故可以忽略不計。D.6.9三筋工作臺的形位公差引入的不確定度分量u9由于三筋工作臺的形位公差包含平行性和平面度,假設其均為等概率分布,可得其標準不確定度分別為0.4042μm、0.1732μm,將其合成得到0.4397μm;因為三筋工作臺長、寬分別為60mm和15mm,筋寬1.0mm,10mm以下量塊寬度為9mm,則有:u9=×0.4397μm=0.013μm1.0mm×u9=×0.4397μm=0.013μmD.6.10由1∶10杠桿引入的不確定度分量u10將電感測微儀的測頭安裝在