《接觸（觸針）式表面輪廓測量儀校準規(guī)范》報批稿

JJF（蘇）XX-XXXX接觸（觸針）式表面輪廓測量儀校準規(guī)范GB/T19600-2004產品幾何量技術規(guī)范（GPS）表面結構輪廓法接觸（觸針）式GB/T6062-2009產品幾何技術規(guī)范（GPSJB/T11271-2012接觸（觸凡是注明日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡不注日期的引用文1-底座；2-工作臺；3-觸針；4-傳感器；5-基準導軌；6-立柱；7-驅動箱；8-計算機；9-信號處理器JJF（蘇）XX-XXXX2序號校準項目測量標準及其他設備1X軸導軌直線度平面平晶：1級2輪廓水平分量（X軸）示值誤差激光干涉儀：MPE:±（0.03μm+1.5×10?6L輪廓標準器：U≤1/4MPEX（示例見附錄A）3輪廓垂直分量（Z軸）示值誤差量塊：3等；平面平晶：一級4角度測量示值誤差角度塊：2級或輪廓標準器：U≤1/4MPEθ5圓弧半徑測量示值誤差標準球或標準半球或輪廓標準器：直徑：U≤1/3MPER，圓度：≤1/10MPER(Φ5mm~Φ20mm和Φ40mm~Φ80mm各一個）JJF（蘇）XX-XXXX36重復性角度塊：2級注：可采用滿足測量不確定度要求的其他測量設備進行校準。在平面平晶工作面上掃描滑行，從輪廓曲線圖上確定校準范圍準器基面處開始測量，在X軸測量范圍內選擇3～5個長度段進行校準，最大長度段不在輪廓曲線中擬合各齒側邊延長線的交點，評價長度段交點間的距離li，與輪廓標準器的實際值進行比較，通過式（1）得到示值誤差ΔΔi=li?LiLi—第i段間距的樣塊標準值，mm。行程量程范圍的4/5，分別選取對應尺寸的三等量塊作為各校準點的標準器。JJF（蘇）XX-XXXX4儀正值范圍內測量其他量塊。通過式（2）得到各點的示值誤差δi。（2）選擇2～3個不同的角度值進行校準。將角度塊固定在平口鉗中，調整角度塊側邊與標準球（半球）半徑實際值之差，作為該標準球（半球）下測得的示值誤差?R1，如JJF（蘇）XX-XXXX5—輪廓儀測量結果平均值；JJF（蘇）XX-XXXX6輪廓標準器各齒側邊延長線的交點距離l校準結果的擴展不確定度，應不大于JJF（蘇）XX-XXXX7Δi=liLi+li*αli*ΔtliLi*αLi*ΔtLi(B.1)Li—第i段間距的樣塊實際值，mm；Δtli、ΔtLi—分別為輪廓儀、專用樣塊偏離標準溫度20℃的值，℃。B.4.1輪廓水平分量（X軸）示值li引入的標準不確定度分量u(li)JJF（蘇）XX-XXXX8表B.1次數123456789測得值（20）(200)B.4.2輪廓標準器校準結果引入的不確定度分量uLiB.4.3輪廓儀與輪廓標準器線膨脹系數差產生的標準不確定度分量u(δα)B.4.4輪廓儀與輪廓標準器的溫度差產生的標準不確定度分量u(δt)JJF（蘇）XX-XXXX9被測輪廓儀溫度與標準溫度20℃偏差不超過3℃。度分量u(xi)c?u(xi)u(li)1u(Li)1u(δα)u(δt)?5mm?℃?1度分量u(xi)i)u(li)1u(Li)1u(δα)u(δt)?4mm?℃?1JJF（蘇）XX-XXXXΔi=li（LiL0）+li*αli*Δtli（LiL0）*αLi*ΔtLi式中：Δi—輪廓垂直分量各校準點示值誤差，mm；Li—第i塊量塊實際值，mm；Δtli、ΔtLi—分別為輪廓儀、量塊偏離標準溫度20℃的值，℃。C.4.1輪廓儀測量重復性引入的標準不確定度分量u(li)JJF（蘇）XX-XXXX1234567899.00199.00229.00219.00119.00129.00149.00169.00179.00189.0015u(li)=0.36μmC.4.2校準用量塊引入的不確定度分量uLiC.4.3置零用量塊引入的不確定度分量uLiC.4.4輪廓儀與量塊線膨脹系數差產生的標準不確定度分量u(δα)C.4.5輪廓儀與量塊的溫度差產生的標準不確定度分量u(δt)JJF（蘇）XX-XXXX度分量u(xi)c?u(xi)u(li)1u(Li)11u(δα)u(δt)JJF（蘇）XX-XXXXΔi=riRi+ri*αri*ΔtriRi*αRi*ΔtRi(D.1)ri—輪廓儀半徑測量示值，mm；αri—輪廓儀的線膨脹系數；αRi—標準半球的線膨脹系數；Δtri、ΔtRi—分別為輪廓儀、量塊偏離標準溫度20℃的值，℃。令δα=αriαRi，δt=ΔtriΔtRi，取R≈αri≈αRi，Δt≈Δtri≈ΔtRi，則式(D.1)Δi=riRi+R*δα*ΔtR*αri*δt(D.2)D.4.1輪廓儀測量重復性引入的標準不確定度分量u(ri)JJF（蘇）XX-XXXX表D.112345678922.496622.497422.497622.497822.497722.497722.498222.497622.497622.4972u(li)=μmD.4.2標準半球的標準不確定度uRiD.4.3輪廓儀與標準半球線膨脹系數差估算產生輪廓儀與標準半球線膨脹系數差估算產生的標準不確定度分量u(δα)較小，可忽略D.4.4輪廓儀與標準半球的溫度差產生的標準不確定度分量輪廓儀與標準半球的溫度差產生的標準不確定度分量u(δt)較小，可忽略不計輪廓儀線膨脹系數應為（11.5±1）×10?6℃?1，標準半球線膨脹系數為（5.5±度分量u(xi)lc?u(xi)u(ri)1u(Ri)1JJF（蘇）XX-XXXXJJF（蘇）XX-XXXXE.4.1輪廓儀測量重復性引入的標準不確定度