特殊氣體安全

1

氣體輸送系統(tǒng)安全

第一頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。2

氣體輸送系統(tǒng)安全Afterthistraining,youwillbeableto:了解半導(dǎo)體/電子行業(yè)氣體種類(lèi)及特性了解低溫氣體的危害及防護(hù)了解如何確保氣體輸送系統(tǒng)安全了解如何正確操作鋼瓶了解gas-handling設(shè)備及其功能了解系統(tǒng)輸送系統(tǒng)的部件及其功能了解gascabinet和VMB/P第二頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。3設(shè)計(jì)準(zhǔn)則氣體輸送系統(tǒng)的三大設(shè)計(jì)準(zhǔn)則

SafetyProcessControl工藝控制（流量、壓力等）

PurityControl純度控制（純度/顆粒度）第三頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。4氣體分類(lèi)一根據(jù)氣體儲(chǔ)存形式不同，分為：BulkGas大宗氣體（特指Ar,N2,O2,He,H2）SpecialtyGas特種氣體(SiH4,NH3,CF4,etc.)CompressedDryAir干燥壓縮空氣第四頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。5

氣體分類(lèi)一—大宗氣體BulkGas大宗氣體--N2/Ar/O2通常半導(dǎo)體工廠，廠務(wù)N2/Ar/O2以液態(tài)儲(chǔ)存在槽罐內(nèi)第五頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。6氣體分類(lèi)一—大宗氣體低溫液體在常壓下沸點(diǎn)低于-240oF(-115oC)例如

O2液化溫度(-297oF)(-183oC)

Ar液化溫度(-302oF)(-186oC)

N2液化溫度(-320oF)(-196oC)

oC=(oF-32)*5/9第六頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。7氣體分類(lèi)一—大宗氣體低溫液體危險(xiǎn)性低溫蒸氣擴(kuò)散低溫液體可能引起凍傷第七頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。8氣體分類(lèi)一—大宗氣體低溫氣體的其它危險(xiǎn)低溫可能會(huì)引起周?chē)锲返膿p傷危險(xiǎn)危險(xiǎn)包括過(guò)冷過(guò)大的體積膨脹霧第八頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。9氣體分類(lèi)一—大宗氣體低溫引起的破裂第九頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。10膨脹率第十頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。11氣體分類(lèi)一—大宗氣體低溫危險(xiǎn)防護(hù)提供排風(fēng)系統(tǒng)正確操作氣瓶正確的系統(tǒng)設(shè)計(jì)適當(dāng)?shù)膫€(gè)人防護(hù)設(shè)備第十一頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。12氣體分類(lèi)一—大宗氣體BulkGas大宗氣體--H2/He由于H2和He的液化溫度極低，加之自然界游離態(tài)氣體極少，故H2和He一般以高壓氣態(tài)形式儲(chǔ)存在鋼瓶?jī)?nèi)（國(guó)外使用液態(tài)儲(chǔ)存），并且以鋼瓶組供應(yīng)H2常用電解水得到，He從礦石中提煉得到（絕大部分產(chǎn)自美國(guó)）H2液化溫度(-423oF)(-253oC),He液化溫度(-452oF)(-269oC)

絕對(duì)零度為-273oC第十二頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。13氣體分類(lèi)一—特種氣體什么是SpecialtyGas特種氣體大宗氣體&CDA以外的氣體空氣中極稀有氣體（如Xe氙氣）不存在空氣中，人工合成之氣體（如AsH3砷烷）特殊用途之超高純氣體（又稱(chēng)電子級(jí)氣體）

第十三頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。14氣體分類(lèi)二根據(jù)氣體危險(xiǎn)性，氣體分為：不可燃?xì)怏w(N2,SF6,NF3等)可燃性氣體(H2,SiH4,CH4等)氧化性氣體(O2,N2O等)毒性氣體(AsH3,PH3等）腐蝕性氣體(Cl2,DCS等）第十四頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。15氣體分類(lèi)二—常見(jiàn)危險(xiǎn)符號(hào)不可燃性等級(jí)

可燃性等級(jí)

氧化性等級(jí)

毒性等級(jí)

腐蝕性等級(jí)第十五頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。16氣體分類(lèi)二—不可燃?xì)怏w常見(jiàn)不可燃?xì)怏w種類(lèi)（通常指類(lèi)似的惰性氣體）不可燃?xì)怏w之危險(xiǎn)性窒息性——

取代肺中的氧氣壓強(qiáng)——

單位面積所承受的壓力能量——

氣體在狀態(tài)轉(zhuǎn)變過(guò)程中產(chǎn)

生的能量第十六頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。17氣體分類(lèi)二—不可燃?xì)怏w氧氣被其他氣提所取代之危害:19.5% 人類(lèi)正常生活所需要的最低氧氣濃度極限15-19.5% 工作能力下降，冠狀動(dòng)脈，肺部和循環(huán)系統(tǒng)出現(xiàn)先期癥狀，12-14% 呼吸，脈搏加快，漸漸失去知覺(jué)10-12% 呼吸，脈搏進(jìn)一步加快，喪失判斷能力，嘴唇發(fā)紫8-10% 無(wú)意識(shí)，嘔吐6-8% 8分鐘死亡率100%，6分鐘死亡率50%，4-5分鐘尚可恢復(fù)4% 40秒鐘內(nèi)昏迷，抽搐，停止呼吸，直至死亡第十七頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。18氣體分類(lèi)二—可燃?xì)怏w常見(jiàn)可燃?xì)怏w種類(lèi)H2/SiH4等可燃?xì)怏w之危險(xiǎn)性窒息性壓力可燃性爆炸可能性第十八頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。19氣體分類(lèi)二—可燃?xì)怏w第十九頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。20

氣體分類(lèi)二—可燃?xì)怏w燃燒過(guò)后的不銹鋼氣瓶第二十頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。21氣體分類(lèi)二—可燃?xì)怏w可燃性氣體的危險(xiǎn)防護(hù)保證空氣的流動(dòng)，配備排風(fēng)正確的鋼瓶操作流程使用防爆設(shè)備避免任何火化產(chǎn)生的可能第二十一頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。22

氣體分類(lèi)二—氧化性氣體

用途：

O2–

無(wú)法呼吸時(shí)，醫(yī)生會(huì)用來(lái)維持呼吸

N2O-“笑氣”，牙醫(yī)會(huì)用來(lái)做麻醉劑這種氣體怎么會(huì)有危險(xiǎn)性?第二十二頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。23氣體分類(lèi)二—氧化性氣體引燃物

燃料氧化燃燒三角形（三者缺一不可）普通燃料木頭碳燃?xì)馊加脱趸锶剂箱X不銹鋼碳鋼引燃物壓縮且隔熱(如柴油機(jī))沖擊高速度摩擦其他引燃物第二十三頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。24氣體分類(lèi)二—氧化性氣體用于氧化性氣體輸送系統(tǒng)的材料必須:材料兼容（與活潑的氧化性氣體不反應(yīng)）對(duì)材料系統(tǒng)作特殊清潔處理(Oxygenclean)過(guò)高含氧量的危害當(dāng)含氧量>=23.5%時(shí)，燃燒特性發(fā)生改變可燃范圍增大自燃溫度下降通常不會(huì)燃燒的物質(zhì)在高氧環(huán)境會(huì)燃燒通常會(huì)燃燒的物質(zhì)在高氧環(huán)境會(huì)極易燃燒，且燃燒速度極快第二十四頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。25氣體分類(lèi)二—氧化性氣體氧化性危險(xiǎn)防護(hù)提供排風(fēng)系統(tǒng)正確操作氣瓶使用相容的原料避免引燃點(diǎn)確認(rèn)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)那逑吹诙屙?yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。26氣體分類(lèi)二—毒性氣體例如AsH3PH3B2H6毒性氣體之危險(xiǎn)性對(duì)身體毒害中毒途徑吸入通過(guò)皮膚吸收吞食注射第二十六頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。27氣體分類(lèi)二—毒性氣體專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)TWA

(TimeWeightedAverage)–工人每天8小時(shí)，每周40小時(shí)，無(wú)任何防護(hù)措施的情況下允許的最高接觸濃度，并且不會(huì)對(duì)人體產(chǎn)生傷害。＊TLV(ThresholdLimitValue)－ACGIH允許的最高接觸濃度，等同于TWAPEL(PermissibleExposureLimit)－OSHA（美國(guó)職業(yè)安全與衛(wèi)生管理局）建議的最高接觸濃度。Ceiling

－

工作中絕對(duì)不可以達(dá)到的最高濃度。IDLH(ImmediatelyDangeroustoLifeandHealth)－NIOSH（國(guó)立職業(yè)安全與健康研究所）允許的30分鐘最高接觸濃度。LC50(LethalConcentration50%)－CGA（美國(guó)壓縮氣體協(xié)會(huì)）提出的1小時(shí)內(nèi)有50%可能性死亡的濃度。第二十七頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。28氣體分類(lèi)二—毒性氣體到底有多毒?CO一氧化碳的毒性容許濃度體積濃度

(ppm-partpermillion百萬(wàn)分之一)第二十八頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。29氣體分類(lèi)二—毒性氣體有毒氣體危險(xiǎn)防護(hù)提供排風(fēng)系統(tǒng)正確操作氣瓶毒氣監(jiān)測(cè)系統(tǒng)適當(dāng)?shù)膫€(gè)人裝備培訓(xùn)第二十九頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。30氣體分類(lèi)二—腐蝕性氣體低腐蝕性HFBCl3SiCl4高腐蝕性HClBF3DCS腐蝕性氣體之危險(xiǎn)性摧毀人體生理組織腐蝕設(shè)備以下幾種氣體的危險(xiǎn)性來(lái)自腐蝕性HF,BCl3,SiCl4第三十頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。31氣體分類(lèi)二—腐蝕性氣體被腐蝕的瓶口閥第三十一頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。32氣體分類(lèi)二—腐蝕性氣體腐蝕性危險(xiǎn)的防護(hù)提供排風(fēng)系統(tǒng)正確操作氣瓶采用相容的原材料降低含水量適當(dāng)?shù)膫€(gè)人防護(hù)設(shè)備第三十二頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。33氣體分類(lèi)二—腐蝕性氣體操作腐蝕性氣體所應(yīng)配備的個(gè)人防護(hù)設(shè)備橡膠防護(hù)服橡膠手套面具SCBA可選第三十三頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。34氣瓶操作第三十四頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。35氣瓶操作單瓶運(yùn)輸車(chē)第三十五頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。36氣瓶操作雙瓶運(yùn)輸車(chē)第三十六頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。37氣瓶操作多瓶運(yùn)輸車(chē)第三十七頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。38氣瓶操作不要通過(guò)旋轉(zhuǎn)來(lái)移動(dòng)氣瓶第三十八頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。39氣瓶操作氣瓶操作原則不要機(jī)械撞擊氣瓶不要用氣瓶作為滾輪不要通過(guò)氣瓶蓋吊升氣瓶不要用磁鐵或吊索吊升氣瓶不要通過(guò)旋轉(zhuǎn)來(lái)移動(dòng)氣瓶固定住氣瓶第三十九頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。40氣瓶操作高溫會(huì)引起瓶?jī)?nèi)壓力上升低溫會(huì)引起瓶體易碎和瓶口閥實(shí)效第四十頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。41

謝謝您的支持！

上海至純潔凈系統(tǒng)有限公司第四十一頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。42

半導(dǎo)體廠房的氣體供應(yīng)方式Pipeline Cylinders YCylinders/ISOModules TubeTrailers CryogenicTanks第四十二頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。43氣體供應(yīng)方式Bulk大宗氣體

Largequantity

3methodsmaybesuppliedtothefab

1. Nitrogenplants andpipelinesN2空分站及管網(wǎng)

2. Cryogenicliquid深冷液體供應(yīng)

3. Tubetrailer魚(yú)雷管（針對(duì)H2/He）Cylinder氣體鋼瓶

Smallquantity Mostlaborintensive 1. Cryogenicliquid cylinders(dewars)

杜瓦供應(yīng)

2. Gascylinder

氣體鋼瓶

第四十三頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。44Onsiteplants室外空分站

>廠務(wù)氮?dú)?/p>

>Fabsize>30,000sqft

(2787m2) >Reliable(oilfree compressors)Pipeline >CommonlyNitrogen >Reliable >MultipleCustomers氣體供應(yīng)方式－N2空分站及管網(wǎng)

第四十四頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。452/17/976大宗深冷液態(tài)氣體Whydowecoolgastoacryogenicstate?NitrogenOxygenArgonHydrogenHeliumLiquidtemperature: -183°C(O2)to-423°(H2)第四十五頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。46大宗深冷液態(tài)氣體Cryogenicliquid+heat=gas Liquid-to-gasexpansionratiofrom 694(N2)to857(O2)液態(tài)到氣體的膨脹率694(N2)-857(O2)第四十六頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。47Storage&SupplySystem第四十七頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。48Vaporizers蒸發(fā)器

providetheheatthatconvertstheliquidbacktoagas.

Advantages:highreliabilityandlowpower (energy)cost.高穩(wěn)定性和低能耗

Disadvantage:thegascanbeheatedonlyto ambienttemperature.氣體只能升溫至環(huán)境溫度Sizedbybothpeakandcontinuousflow.根據(jù)持續(xù)的最大流量來(lái)選擇蒸發(fā)器規(guī)格。Requireusagepatterns,peakflowsandtheirduration,andmonthlyvolumesforcorrectsizing.

根據(jù)實(shí)際使用模式、最大流量及其持續(xù)時(shí)間和月消耗量來(lái)更正蒸發(fā)器規(guī)格。

Storage&SupplySystem第四十八頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。49Storage&SupplySystemPurification

純化

Manyfabgassupplysystemsuseonsiteequipmenttofurtherpurifythegases.半導(dǎo)體工廠通常使用純化裝置來(lái)純化氣體

第四十九頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。50Storage&SupplySystemPressureRegulation&Filtering

氣體經(jīng)過(guò)μm以下級(jí)的過(guò)濾裝置和減壓閥組

第五十頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。51TubeTrailerSupply第五十一頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。52Eachtypeofcylindergaswillexhibitdifferentcharacteristics.TypesofCylinderGases第五十二頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。53Compressed&LiquidGasesCompressedGas壓縮性氣體Easilytransportedthroughpipingtothepointofuse(POU).通過(guò)管網(wǎng)容易輸送至各使用點(diǎn)Pressuredepletioninthecylinderallowsthecylindercontenttobemonitored.可以通過(guò)瓶?jī)?nèi)壓力的降低，監(jiān)測(cè)鋼瓶剩余氣體量Thepressuredropwillbeseenonthehighpressuresideofthegasdeliverysystem.壓力降可以在氣體輸送系統(tǒng)的高壓側(cè)看到。Asthepressureinthegascylinderisdepleted,thedeliverypressurewillincrease(equalize).

第五十三頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。54CompressedversusLiquidGasesLiquefiedcompressedgas液化性壓縮氣體:agasthat,whencompressedinacylinder,becomesliquidatordinarytempeatures.常溫下，氣體在鋼瓶?jī)?nèi)被壓縮成液態(tài)。Boilingpointsrange沸點(diǎn)范圍from-130oF(-90oC)to30oF(-1oC).At70oFthecylindercontainsbothliquidandgas.在室溫20oC時(shí)，鋼瓶?jī)?nèi)為液氣共存。Cylinderpressure(vaporpressure[VP])isdirectlyaffectedbyambienttemperature.鋼瓶?jī)?nèi)壓力（蒸發(fā)壓）直接受環(huán)境溫度影響。DemandfortheproductcancausethevaporpressuretodropoffandcreateaJTeffect.氣體的需求量會(huì)產(chǎn)生蒸發(fā)壓的降低并產(chǎn)生一焦耳能量第五十四頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。55Joules-Thompson(JT)Effect第五十五頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。56Cylinders:35+Gases常用鋼瓶規(guī)格:40L大鋼瓶和8L鋁瓶以N2為例：一個(gè)40L鋼瓶?jī)?nèi)，可以容納6標(biāo)準(zhǔn)立方米的N2第五十六頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。57CylinderLiquidDewarFunction:Thedewarcylinderisusedforsignificantspotrequirementswherethereisnobulkhousegassupply.

杜瓦適用于無(wú)液槽罐供應(yīng)，但消耗量有較大的情況下。單個(gè)杜瓦的最大供氣量150slpm應(yīng)用于N2/O2/Ar等同于10-12個(gè)鋼瓶氣量通過(guò)盤(pán)管式蒸發(fā)器壓力和溫度波動(dòng)第五十七頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。58CylinderMaterialsWhatmaterialsofconstructionarecylindersmadefrom?鋼瓶材質(zhì)Thematerialscanbesteel,鋼（使用最普遍）aluminum,鋁nickel,鎳stainless,不銹鋼Monel，鎳合金Steelconstructionisthemostinexpensiveandmonelisthemostcostlytoproduce.第五十八頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。59FabGasHandlingEquipmentCylindergascabinet氣柜Valvemanifoldbox/PVMB/P閥組箱/盤(pán)ValvestandGasisolationboxGasjungle混氣盒第五十九頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。60GasFlow第六十頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。61DistributionPiping 1. BulkGasPipingThebulkgasdeliverylinesaresuppliedfromacryogenictank,tubetrailerorbundlesThemainheaderwillbranchoffintovariousprocessareas.Theselinesmayfeedthroughapurifier. 2. CylinderGasPipingCylindergasdeliverylineissuppliedfromthegascylindertothecustomer’sproductiontool.Thelayoutofagasdistributionsystemisdeterminedbythecustomer’sneedsandcleanroomdesign.第六十一頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。62BulkGasDistributionSystemUltraHighPurity(process)systemBulkgasdistributionpipingsystemsarecharacterizedbylargepipesizeswithmultiplebranchesandtoolhook-ups.Alldeliverylinesshouldbelabeledwiththelinecontentandflowdirection.Allvalvesmustbelabeled.第六十二頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。63

CylinderGasDistributionPipingSystemSmallertubingsizesandfewertoolhookups.Valvemanifoldboxes(VMBs)Twodesignphilosophies: 1.1cylinder/1tool 2.SwitchoverSystemsorVMBs

第六十三頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。64MaterialsofConstructionTypicalMaterialsofpipeortubeconstructionforthegasindustry第六十四頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。65CylinderGasCabinet第六十五頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。66AVarietyofGasDeliverySystemsExamples:APCIGG250,450,500NorcimbusSemigasATTOCVDKC-TechThetechnicianmustknowandunderstandthesystemsinuseatthefacility.第六十六頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。67ValveManifoldBox(VMB)閥組箱Acabinetforsplittingasinglegassupplylineintomultiplesupplybranchesforprocessequipment一個(gè)氣瓶通過(guò)VMB同時(shí)供應(yīng)多臺(tái)設(shè)備。Eachbranchoperatesindependently各個(gè)分支獨(dú)立控制

ManualorautomaticoperationReplacesasmanyas8cylindergascabinets最大可至8個(gè)sticks，即1進(jìn)8出。第六十七頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。68ValveManifoldBox(VMB)閥組箱第六十八頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。69ValveManifoldBox(VMB)閥組箱第六十九頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。70GasJungle混氣盒第七十頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。71GasSystemComponents 1. Piping/tube 2. Valves 3. Regulators 4. Pressureindicators 5. Excessflowdevices 6. Filters 7. Purifiers 8. Massflowcontrollers第七十一頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。72Piping/TubePolymer-nylon,plastics,etc.MetalsCopper,304SS,316LSS,316LSSVAR,Hastelloy第七十二頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。73Piping/TubeMetalTreatments 2types: 1.Polish拋光:Chempolish(acid)

CP化學(xué)拋光

ElectropolishEP電解拋光

2.Passivation鈍化:OxygenPassivation FluorinePassivationMechanicalFittingsCompression雙卡套接頭Threaded螺紋接頭Vacuum真空接頭Faceseal面密封接頭VCR第七十三頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。74VCRMechanicalFitting第七十四頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。75MoisturePermeationThroughPlasticTubing塑料材料很少使用在半導(dǎo)體行業(yè)的氣體輸送系統(tǒng)上，因其有透濕性。第七十五頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。76ValveTypesThereare4typesofvalvesusedinafabgassystem: 1.Shutoff截止閥

2.Check單向閥

3.Safety安全閥

4.Cylinder鋼瓶閥第七十六頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。77ShutoffValvesPackedSealValve填塞密封閥（針閥等）BellowsSealValve波紋管密封閥DiaphragmSealValve隔膜閥第七十七頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。78CheckValves第七十八頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。79SafetyReliefValves第七十九頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。80CylinderValvesThetieddiaphragmvalveistheprimaryvalveusedinspecialtygases.隔膜閥是特氣輸送系統(tǒng)中首選閥門(mén)。第八十頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。81Regulators第八十一頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。82 RegulatorDischargeCharacteristicsHighPurity,Single-stageSS

HighPurity,Two-stageRegulator

Regulator

第八十二頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。83RegulatorTerminologyRefertoParticipantGuideAppendix第八十三頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。84PressureIndicatorsThreetypesofdevicesthatindicatepressure. 1. PressureGauge

2. PressureIndicator 3. PressureTransducer第八十四頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。85

PressureIndicators--PressureGauge壓力表儀表管內(nèi)顆粒聚集，吹掃困難1%誤差本地直接讀數(shù)三通安裝形式壓力單位

100psi=7bar=0.7MPa表壓力為相對(duì)壓力，絕對(duì)壓力＝相對(duì)壓力+大氣壓第八十五頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。86PressureIndicators--PressureTransmitter壓力傳送器帶繼電器信號(hào)輸出的壓力表無(wú)需電源第八十六頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。87PressureIndicators--PressureTransducer壓力變送器0.1%fullscaleaccuracyRequireselectricalpowersource.Teeinstallationorinlineinstall.Excellentpurgability.Pressuretransducersaresuperiortogaugesinaccuracy,particle,andperformance.第八十七頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。88ExcessFlowDevices在氣體輸送系統(tǒng)中，判斷一個(gè)異常大的氣體流量Theratingoftheexcessflowdeviceinstallationisdeterminedbytheprocessflowrequirements.Therearetwotypesofexcessflowdevices: 1. Excessflowvalve 2. Excessflowswitch第八十八頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。89ExcessFlowDevices第八十九頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。90FiltersPurposes:去除氣流中的顆粒過(guò)濾器的重要性過(guò)濾效率第九十頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。91GasFilterSelectionCriteria過(guò)濾器選型準(zhǔn)則Flowrate氣體流量GasCompatibility與氣體的兼容性Corrosives腐蝕性Reactants反應(yīng)物Outgassingperformance透氣性能第九十一頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。92GasFilterSelectionCriteria過(guò)濾器選型準(zhǔn)則Temperature氣體溫度Pressure氣體壓力ParticleRetentionRating顆粒截獲率第九十二頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。93FilterMaterialsEvaluationofafiltershouldincludeallcomponentsofthefilter.Theelastomericorteflonfilteristhemosteconomicalandcommonfilter.特氟龍是最常用且經(jīng)濟(jì)的過(guò)濾材質(zhì)Filtercomponents *Housing濾殼 *Media過(guò)濾芯 *Mediatohousingseal濾殼的密封 *Supportstructure(elastomeric)濾芯的固定架第九十三頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。94FilterMaterialsFiltermedia過(guò)濾材質(zhì) *Elastomeric塑料材質(zhì) *Ceramic陶瓷 *Metallic金屬316LSSHastelloyC-22Nickel第九十四頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。95PurifiersTherearetwotypesofpurifiers: 1.getter(metal) -regenerable 2.chemicalresin第九十五頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。96Purifiers--ApplicationsEasymaintenance/changeSafetyLifetrackingbycylinderchangesIncreasepanel&pipinglife(corrosion,contamination)Purgegaspurifierimprovescylinderpurge第九十六頁(yè)，編輯于星期六：十四點(diǎn)十分。97Purifiers--ApplicationsOtherapplicationsEpi/CVDSputtering(metalapplications)TheremaybemultiplepurifierslocatedintheArgondeliverylines.Themetalprocessmustbeparticlefree.Ifparticlesarepresenttheycouldcauseshorts