表面化學(xué)分析 電子能譜 X射線光電子能譜分析中X射線致材料非預(yù)期損傷的識別、評估和校正程序 編制說明_第1頁
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2《表面化學(xué)分析電子能譜X射線光電子能譜分析中X射線致材料非預(yù)期損傷的識別、評估和校正程序》種在XPS分析中X射線致材料非預(yù)期損傷的識別、評估和校正analysis—Electronspectroscopies—ProcedurescorrectingforunintendeddegradationbyX-raysinamaterialundergoinganalysisby標準，2023年列入國家標準化管理委員會頒布的制修訂國家標準計劃，項目號本文件由全國微束分析標準化技術(shù)委員會（SAC/TC608）提出并歸口。析儀器。清華大學(xué)是國家大型科學(xué)儀器中心-北京電子能譜中心的依托單位，擁有世界一流的多臺XPS、俄歇電子能譜（AES）和二次離子質(zhì)譜（32022年，起草組按照ISO18554:2016進行翻譯形成《表面化學(xué)分析電子能譜X射線光電子能譜分析中X射線致材料非預(yù)期損傷的識別、評估和校正程序》修改工作組討論稿，形成征求意見稿，提交SAC/TC38/S2024年9月，本文件《征求意見稿》上網(wǎng)征求意見，xx家單位回復(fù)均贊成標4二、國家標準編制原則、主要內(nèi)容（如技術(shù)指標、參數(shù)、公式、性能要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等）及其確定依據(jù)（包括試驗、統(tǒng)計數(shù)據(jù)），修訂國家本文件等同采用國際標準ISO18554:2016《Surfacechemicalanalysis—unintendeddegradationbyX-raysinamaterialundergoinganalysisbyX-rayX射線致材料非預(yù)期損傷的識別、評估和校正程序）。本文件的編寫按照GB/T1.1-2020《標準化工作導(dǎo)則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》和GB/T本文件規(guī)定了X射線光電子能譜(XPS)分析中，由X射線輻照導(dǎo)致試樣元素組化學(xué)性質(zhì)。本文件僅適用于X射線引起的非預(yù)期性損傷，導(dǎo)致光電子譜峰強度的ISO/TC201于2016年發(fā)布了國際標準ISO18554:2016《Surfacechemicalanalysis—Electronspectroscopies—correctingforunintendeddegradationbyX-raysinamaterialundergoinganalysis5），目前，國內(nèi)尚沒有相關(guān)國家

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