潔凈室的建造特點(diǎn)

潔凈室的建造特點(diǎn)建造的潔凈室必須保證生產(chǎn)工藝所要求的各項(xiàng)參數(shù)建造的潔凈室要具有一定的靈活性建造潔凈室需要較大的投資潔凈室運(yùn)行耗電量大運(yùn)行費(fèi)用高（一）建造投資費(fèi)用高高級(jí)別潔凈室的建造費(fèi)用很高，一般來(lái)說(shuō)，100級(jí)垂直單向流的潔凈室，其室內(nèi)裝修（墻、頂、地、門、窗等）和空調(diào)凈化系統(tǒng)（包括制冷空調(diào)設(shè)備和管道配件、凈化設(shè)備和配件等）的初投資大約為10000元人民幣/m2；如果加上純水制備設(shè)備和系統(tǒng)管道，純氣發(fā)生和系統(tǒng)管道，廢水治理設(shè)備和管道，消防系統(tǒng)，供配電和自控系統(tǒng)，真空清掃系統(tǒng)等等，其單位面積的建造投資費(fèi)用要高達(dá)25000~30000元人民幣/m2。就拿已投產(chǎn)的上海華虹NEC超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線潔凈室舉例來(lái)說(shuō)，華虹NEC為月投片30000片8"硅片集成電路前工序生產(chǎn)線，有潔凈室面積約12000m2，其中10000m2是在中心部位，另2000m2在邊跨上。在中心部位的10000m2潔凈室中有4000m2的1級(jí)、10級(jí)和100級(jí)的垂直單向流潔凈室，另外6000m2分別為1000級(jí)和10000級(jí)的非單向流潔凈室，總送風(fēng)量約6,400,000m3/h。于1998年底建成投產(chǎn)。該項(xiàng)目總投資約100億人民幣，其中動(dòng)力設(shè)備和土建投資為20億人民幣，占總投資的五分之一。單核心部分的10000m2的潔凈室的建造費(fèi)用就高達(dá)6000萬(wàn)美元（約5億人民幣）（日本三機(jī)株式會(huì)社施工），折合每平方米建造費(fèi)用約50000元人民幣/m2。（二）運(yùn)行管理費(fèi)用大因?yàn)楦呒?jí)別潔凈室凈化風(fēng)量大，新風(fēng)量也大，溫濕度要求嚴(yán)格，所以空氣熱濕處理和空氣輸配的能量消耗大，耗電多，運(yùn)行費(fèi)用貴。還拿上述華虹NEC為例，其核心部分10000m2潔凈室總的送風(fēng)量為6,400,000m3/h，輸送凈化空氣的風(fēng)機(jī)耗電量為3840Kw/h，全年電費(fèi)為1659萬(wàn)元（每度電按0.6元/設(shè)計(jì)），空氣熱濕處理的耗電量約10000Kw/h，全年電費(fèi)為6000萬(wàn)人民幣。全年空調(diào)凈化系統(tǒng)本身的運(yùn)行費(fèi)用就高達(dá)7659萬(wàn)元人民幣。折合每年單位面積的運(yùn)行費(fèi)用為7659元/m2年。（三）靈活適應(yīng)性強(qiáng)因?yàn)?，科學(xué)技術(shù)的發(fā)展很快，高科技的產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，尤其是電子工業(yè)的發(fā)展更是日新月異，像集成電路的發(fā)展2~3年就更新一代，TFT-LCD的發(fā)展速度更快1~2年就上一個(gè)臺(tái)階。這就要求為其服務(wù)的高級(jí)別的潔凈室必須能適應(yīng)其發(fā)展速度，有極好的靈活性和適應(yīng)性。因?yàn)榻ㄔ煲粋€(gè)潔凈廠房是百年大計(jì)，不是一、二年就會(huì)拆掉重建。因此，在設(shè)計(jì)和建造潔凈廠房時(shí)，就要考慮到工藝的發(fā)展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應(yīng)性。從一個(gè)潔凈廠房的靈活適應(yīng)角度，可將其分為三個(gè)層次，第一是不可變的部分。無(wú)論怎樣改都不能改變的部分。如基礎(chǔ)、梁、柱等結(jié)構(gòu)部分；第二是可變但不容易變的部分。如潔凈室的圍護(hù)、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。如動(dòng)力、空氣、水、氣體溶劑的供給部分和廢氣、廢水、廢料等排放部分。（四）安全、可靠性好從前面（一）、（二）兩條特點(diǎn)可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價(jià)。但是為了生產(chǎn)出高可靠、高質(zhì)量的高科技產(chǎn)品也必須具備這樣的生產(chǎn)環(huán)境。因?yàn)?，建造潔凈室的目的是為使用，是為了得到高成品率合格產(chǎn)品。為了達(dá)此目的，設(shè)計(jì)和建造潔凈室必須把安全可靠放在第一位。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風(fēng)速、壓力等所有