《微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器性能檢測(cè)方法（報(bào)批稿）》編制說(shuō)明

1《微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器性能檢測(cè)方法》編制說(shuō)明江蘇省是全國(guó)MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)基地之一，聚集了大量MEMS23限公司、翼捷安全設(shè)備（昆山）有限公司等7位專家參加了審查，專家聽為規(guī)范微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器性能檢測(cè)方法，提升產(chǎn)品質(zhì)量，本標(biāo)準(zhǔn)主要包括微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器性能檢測(cè)條件和檢測(cè)方法，2．第二章列出了規(guī)范引用文件。主要包括GB/T34004-2017《家用和4箱內(nèi)利用靜態(tài)配氣原理充滿試驗(yàn)氣體，以檢測(cè)傳感器在試驗(yàn)氣體中的信號(hào)輸出。因靜態(tài)配氣能更好的模擬傳感器的實(shí)際使用環(huán)境，且傳感器體積非常小，易受氣流沖擊影響，利用動(dòng)態(tài)配氣原理配制的試驗(yàn)氣體氣流較大，才能測(cè)試，且不同的傳感器預(yù)熱時(shí)間不同，因此明確了待試驗(yàn)的樣品應(yīng)在規(guī)定的環(huán)境條件下通電預(yù)熱后方可進(jìn)行檢測(cè)，預(yù)熱時(shí)間以產(chǎn)品使用說(shuō)明書為準(zhǔn)；又因傳感器需要配套的檢測(cè)裝置才能正常工作以及讀取輸出信號(hào)，因此傳感器送檢同時(shí)提供檢測(cè)裝置，在測(cè)試傳感器信號(hào)輸出時(shí)把傳感器安MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的優(yōu)點(diǎn)有功耗低、檢出限低、靈敏度高等。針對(duì)以上特點(diǎn)，標(biāo)準(zhǔn)中設(shè)置了功率、最低檢測(cè)濃度、靈敏度參數(shù)，以體現(xiàn)在功率的檢測(cè)方法中，因傳感器體積非常小，不便于接入功率計(jì)進(jìn)行傳感器最低檢測(cè)濃度主要針對(duì)傳感器標(biāo)識(shí)的最低檢測(cè)濃度進(jìn)行驗(yàn)證，s-V0s-V0s-5r靈敏度采用了氣體傳感器靈敏度通用檢測(cè)方法，主要參照J(rèn)B/T此3項(xiàng)參數(shù)為氣體傳感器的常規(guī)檢測(cè)參數(shù)，反映的是氣體傳感器的基本性能。因標(biāo)準(zhǔn)中測(cè)試時(shí)讀取的是傳感器的原始輸出信號(hào)值（電壓、電阻等），因此示值誤差計(jì)算時(shí)需要借助傳感器響應(yīng)曲線（制造商提供），將輸出信號(hào)值轉(zhuǎn)化為濃度值，才能計(jì)算示值誤差。響應(yīng)時(shí)間與恢復(fù)時(shí)間采用MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的缺點(diǎn)主要有選擇性差，易中毒等。標(biāo)準(zhǔn)中通過(guò)將傳感器暴露在已知或使用方要求的干擾氣體中計(jì)算干擾影響因子，暴檢驗(yàn)傳感器的抗干擾氣體性能、抗中毒性能，對(duì)制造商在傳感器的性能改善方面具有重要的指導(dǎo)意義。檢測(cè)方法主要參考GB/T34004-2017和GB4）耐溫濕度性能、耐振動(dòng)、跌落性能、長(zhǎng)除了常規(guī)條件下的性能檢測(cè)，標(biāo)準(zhǔn)還參考了GB/T34004-2017、JB/T了耐溫濕度性能、耐振動(dòng)、跌落性能、長(zhǎng)期穩(wěn)定性試驗(yàn)等，用以模擬實(shí)際7．附錄部分主要給出了測(cè)試箱示意圖及測(cè)試箱內(nèi)氣體濃度的計(jì)算方目前國(guó)內(nèi)外針對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器的檢測(cè)沒有相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)，文件編制格式嚴(yán)格遵循GB/T1.1—2020的要求，主要參考了GB/T6氣體傳感器》、GB12358-2006《作業(yè)場(chǎng)所環(huán)境氣體檢測(cè)報(bào)警儀通用技術(shù)型可燃?xì)怏w探測(cè)器》等標(biāo)準(zhǔn)，結(jié)合本團(tuán)隊(duì)試驗(yàn)結(jié)果，針對(duì)性的編制了微機(jī)本標(biāo)準(zhǔn)編制過(guò)程中無(wú)重大分歧意見。標(biāo)準(zhǔn)編制組與行業(yè)專家經(jīng)過(guò)多次全防護(hù)的各類氣體傳感器、室內(nèi)外環(huán)境監(jiān)測(cè)用低濃度氣體傳感器、氫燃料電池汽車用氫氣傳感器、電子潔凈廠房?jī)?nèi)痕量氣體傳感器等。前期選擇省本標(biāo)準(zhǔn)承擔(dān)單位為蘇州市計(jì)量測(cè)試院，參與單位為蘇州慧聞納米科技史蘇娟蘇州市計(jì)量測(cè)試院研究員級(jí)高級(jí)工程師標(biāo)準(zhǔn)起草負(fù)責(zé)人，組織標(biāo)準(zhǔn)起草工作，總體負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)審定撰寫，組織標(biāo)準(zhǔn)審查、報(bào)批等工作方丹蘇州市計(jì)量測(cè)試院高級(jí)工程師組織推進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)制定程序和進(jìn)度，負(fù)責(zé)協(xié)調(diào)標(biāo)準(zhǔn)定制過(guò)程中所需資源，協(xié)助標(biāo)準(zhǔn)審查、報(bào)批等工作耿彥紅蘇州市計(jì)量測(cè)試院高級(jí)工程師組織討論標(biāo)準(zhǔn)編寫思路，確定標(biāo)準(zhǔn)制定框架，開展標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證王瑞蘇州市計(jì)量測(cè)試院工程師協(xié)助討論標(biāo)準(zhǔn)編寫思路，協(xié)助開展標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證董亮華蘇州市計(jì)量測(cè)試院工程師參與標(biāo)準(zhǔn)制定相關(guān)文獻(xiàn)調(diào)研，協(xié)助整理標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)技術(shù)文檔。7徐春蘇州市計(jì)量測(cè)試院工程師參與標(biāo)準(zhǔn)制定相關(guān)文獻(xiàn)調(diào)研，協(xié)助