雙主軸晶圓劃片機用多絲母組件 技術(shù)要求征求意見稿

3T/CASMEXXX—2024雙主軸晶圓劃片機用多絲母組件技術(shù)要求本文件規(guī)定了雙主軸晶圓劃片機用多絲母組件的術(shù)語和定義，分類與標(biāo)記，材料和熱處理，制造要求，檢驗方法，標(biāo)志、包裝、運輸和貯存。本文件適用于雙主軸晶圓劃片機用多絲母組件的制造。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T230金屬材料洛氏硬度試驗GB/T5617鋼的感應(yīng)淬火或火焰淬火后有效硬化層深度的測定GB/T6060.3表面粗糙度比較樣塊第3部分:電火花、拋(噴)丸、噴砂、研磨、銼、拋光加工表面GB/T17587.3-2017滾珠絲杠副第3部分：驗收條件和驗收檢驗GB/T191包裝儲運圖示標(biāo)志JB/T3207機床附件產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件3術(shù)語和定義雙主軸晶圓劃片機用多絲母組件Multi-wiremasterelementfordual-spindlewaferscribingmachines雙主軸晶圓劃片機用多絲母組件將多絲母的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)化為滾珠絲杠或多絲母自身的的直線運動，具備對軸承和多絲母的潤滑、防塵、預(yù)緊等功能，由多絲母、回轉(zhuǎn)支承部件組合成的組件。其組成如圖1所示:4T/CASMEXXX—2024圖1多絲母組件4分類與標(biāo)記4.1分類4.1.1多絲母組件按其預(yù)緊方式不同分為：a)墊片預(yù)緊方式（用DP表示）；b)螺紋預(yù)緊方式（用LW表示）；4.1.2多絲母組件按公稱直徑尺寸可分為（mm）：10、20、30、50、63、80…（用數(shù)字表示）。4.1.3多絲母組件按公稱導(dǎo)程可分為（mm）：5、10、16、20、25、32…（用數(shù)字表示）。4.1.4多絲母組件按其旋向不同分為：a)左旋（用L表示）；b)右旋（用R表示）。4.1.5多絲母組件按其負(fù)載滾珠圈數(shù)分為：2、3、4、5、6…（用數(shù)字表示）。4.1.6多絲母組件按其類型不同分為：a)定位型（用D表示）；b)傳動型（用C表示）。4.1.7多絲母組件按其精度等級不同分為：3、4、5、7、10，用數(shù)字表示。5T/CASMEXXX—20244.2標(biāo)記多絲母組件型號標(biāo)記方式表示如下： 示例：XJDP5010L-5-D-P5表示墊片預(yù)緊、公稱直徑50mm、公稱導(dǎo)程10mm，公稱直徑50mm、螺紋旋向左旋、負(fù)載滾珠圈數(shù)5圈、定位型、精度等級5級的多絲母組件。5原材料與熱處理5.1多絲母組件原材料進廠后應(yīng)進行表面質(zhì)量檢驗，主要包括顯微組織、外觀、形狀、表面缺陷、彎曲度的檢驗；化學(xué)成分檢驗和內(nèi)部質(zhì)量的檢驗，主要包括非金屬夾雜物、硬度、疏松、夾渣、偏析、脫碳等檢驗，合格后才能投產(chǎn)。要求原材料有良好的強度、剛性、耐磨性、耐腐蝕性、沖擊韌性、抗疲勞性，以滿足多絲母組件的精度、壽命、強度和承載能力及其他特定項目的技術(shù)要求。5.2多絲母組件常用材料為高碳鉻軸承鋼GCr15或GCr15SiMn，回轉(zhuǎn)支撐件常用材料GCr15、40CrMo、40Cr等，采用高溫淬火和回火熱處理的方式，可以增加材料的硬度和強度，提高其抗拉強度、韌性和抗疲勞性。5.3多絲母組件淬火后，多絲母滾道表面硬度不應(yīng)低于HRC58，回轉(zhuǎn)支承件經(jīng)整體淬火，硬度達(dá)到HRC58。6要求6T/CASMEXXX—20246.1外觀與結(jié)構(gòu)6.1.1多絲母組件表面硬度HRC58~62,硬度層深度0.8~1.2mm。6.1.2多絲母組件光潔度應(yīng)滿足GB/T6060.3的要求。6.1.3多絲母組件的預(yù)緊零件應(yīng)緊固，不允許松動。6.1.4多絲母組件各處油孔應(yīng)用油塞堵住，油塞應(yīng)低于外圓表面，不允許高出外圓表面。6.1.5多絲母組件應(yīng)清洗干凈、表面不許磕碰、劃傷和銹蝕等缺陷，不應(yīng)有銳邊、尖角等。6.1.6裝配后的多絲母組件應(yīng)進行跑合，其運動應(yīng)靈活、平穩(wěn)，無阻滯現(xiàn)象。6.2精度要求6.2.1多絲母組件的行程偏差和變動量應(yīng)符合GB/T17587.3-2017中第5.2條款的規(guī)定。6.2.2多絲母組件的跳動和位置公差應(yīng)符合GB/T17587.3-2017中第5.3條款的規(guī)定。6.3預(yù)加載荷多絲母組件的預(yù)加載荷應(yīng)符合GB/T17587.3-2017中第5.4的規(guī)定。7檢驗方法7.1多絲母組件硬度要求按GB/T230規(guī)定進行檢驗。7.2多絲母組件表面的硬化層深度按GB/T5617規(guī)定進行檢驗。7.3多絲母組件表面光潔度按GB/T6060.3規(guī)定進行檢驗。7.4多絲母組件行程偏差和變動量按GB/T17587.3-2017中第5.2規(guī)定進行檢驗。7.5多絲母組件跳動和位置公差按GB/T17587.3-2017中第5.3規(guī)定進行檢驗。7.6多絲母組件預(yù)加載荷按GB/T17587.3-2017中第5.4規(guī)定進行檢驗。7.7其余項目用感官及常規(guī)量具檢測。8檢驗規(guī)則8.1每件產(chǎn)品應(yīng)經(jīng)制造廠檢驗部門檢驗合格并簽發(fā)質(zhì)量合格證后方能出廠。7T/CASMEXXX—20248.2檢驗項目為本文件規(guī)定的技術(shù)要求。9標(biāo)志、包裝、運輸和貯存9.1.1在多絲母組件的非工作表面上裝配后易識別部位，應(yīng)印有永久性的清晰標(biāo)志，標(biāo)志內(nèi)容包括商標(biāo)、產(chǎn)品型號、出廠序號等。9.1.2隨行文件應(yīng)放入包裝箱內(nèi)并用塑料袋封裝，隨行文件應(yīng)包括合格證明書、使用說明書、裝箱單各一份。9.2包裝和運輸9.2.1產(chǎn)品的包裝應(yīng)符合GB/T