yellwodfortkms原理.ppt_第1頁
yellwodfortkms原理.ppt_第2頁
yellwodfortkms原理.ppt_第3頁
yellwodfortkms原理.ppt_第4頁
yellwodfortkms原理.ppt_第5頁
已閱讀5頁，還剩6頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、黃光工藝原理轉(zhuǎn)矩，p.r Stripping，cleaning，film dep。mask exp。developer、film etche Alignment compensation factors、mask or plate rotation(mask or plate)orthogonalY) shift后的位置(X Sx，Y Sy) Sx，Sy-3360 X，Y方向的Shift量，Shift，X軸Rotation - Rx原始位置(X，y) rx Y=(ry rx)rx；Magnification，原始定義位置(X，Y)屬于shot，位于中心坐標(biāo)位置(X，Y) Magnificati

2、on之后的位置3360 (x (x-x) *，即位置定義(X，Y) Y) Scaling后面的位置(x x * c，y y * c)，distortion，distortion Mix and matching，grid registration errors while scannens from a perfect grid . when a single scanner is used for both the substrate and overlaying layers，These average deviations cancel out . grid registing、stage mirrors、laser、

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論