標(biāo)準(zhǔn)解讀

《JJG 77-2006 干涉顯微鏡》與《JJG 77-1983》相比，在多個(gè)方面進(jìn)行了更新和改進(jìn)，以適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步和實(shí)際應(yīng)用需求的變化。主要變化包括但不限于：

  1. 適用范圍的擴(kuò)展：新標(biāo)準(zhǔn)不僅適用于傳統(tǒng)的光學(xué)干涉顯微鏡，還涵蓋了基于數(shù)字處理技術(shù)的新一代干涉顯微鏡系統(tǒng)，這反映了近年來干涉測量技術(shù)的發(fā)展趨勢。

  2. 術(shù)語定義的更新：隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，《JJG 77-2006》對部分專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了重新定義或增加了新的定義項(xiàng)，旨在更加準(zhǔn)確地描述相關(guān)概念和技術(shù)特點(diǎn)，確保行業(yè)內(nèi)交流的一致性和準(zhǔn)確性。

  3. 技術(shù)要求及檢驗(yàn)方法的調(diào)整：針對不同類型的干涉顯微鏡，《JJG 77-2006》提出了更為詳細(xì)的技術(shù)指標(biāo)要求，并且對于如何進(jìn)行這些指標(biāo)的檢測給出了具體指導(dǎo)。比如，增加了對非接觸式三維形貌測量系統(tǒng)的性能評價(jià)內(nèi)容，以及相應(yīng)的測試條件、步驟等。

  4. 增加了安全性和環(huán)境保護(hù)方面的要求：考慮到設(shè)備使用過程中可能涉及到的安全問題以及對環(huán)境的影響，《JJG 77-2006》特別強(qiáng)調(diào)了產(chǎn)品設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮的人體工程學(xué)因素、電磁兼容性等安全性要求；同時(shí)，也提到了關(guān)于廢棄電子產(chǎn)品回收處理的相關(guān)規(guī)定。

  5. 附錄信息的補(bǔ)充：為了更好地幫助使用者理解和執(zhí)行該標(biāo)準(zhǔn)，《JJG 77-2006》在附錄中提供了更多實(shí)用性的參考資料，如典型應(yīng)用案例分析、常見故障排除指南等，增強(qiáng)了標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)際操作指導(dǎo)意義。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2006-05-23 頒布
  • 2006-11-23 實(shí)施
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文檔簡介

中華人民共和國國家計(jì)量檢定規(guī)程 JJG772006 干 涉 顯 微 鏡 InterferenceMicroscopes 2006-05-23發(fā)布 2006-11-23實(shí)施 國 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗(yàn) 檢 疫 總 局 發(fā) 布 JJG772006 干 涉 顯 微 鏡 檢 定 規(guī) 程 JJG772006 Verification Regulationof 代替JJG771983 Interference Microscopes 本 規(guī) 程 經(jīng) 國 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗(yàn) 檢 疫 總 局 年 月 日 批 準(zhǔn) 并 自 2006 5 23 , 年 月 日起施行2006 11 23 。 歸口單位:全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會 起草單位:中國計(jì)量科學(xué)研究院 本規(guī)程委托全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋 JJG772006本規(guī)程主要起草人: 杜 華 中國計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 高思田 中國計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 參加起草人: 趙有祥 中國計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 朱小平 中國計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) JJG772006 目 錄 范圍1 (1) 引用文獻(xiàn)2 (1) 概述3 (1) 計(jì)量性能要求4 (3) 干涉濾光片的特性4.1 (3) 測微鼓輪微分筒刻線錐面的內(nèi)棱邊與固定套管刻線面之間的距離4.2 (3) 測微目鏡十字線分劃板的指標(biāo)線與毫米分劃板刻線的相對位置4.3 (3) 測微目鏡測微鼓輪刻線與毫米分劃板刻線的相符性4.4 (3) 測微目鏡的示值誤差4.5 (3) 光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量4.6 (3) 工作臺與主光軸的相互位置4.7 (4) 輔助成像裝置的特性4.8 (4) 儀器的示值誤差4.9 (4) 通用技術(shù)要求5 (4) 計(jì)量器具控制6 (5) 檢定條件6.1 (5) 檢定項(xiàng)目6.2 (6) 檢定方法6.3 (6) 檢定結(jié)果的處理6.4 (10) 檢定周期6.5 (10)附錄 干涉顯微鏡示值誤差檢定結(jié)果的不確定度評定 A (11)附錄 檢定證書和檢定結(jié)果通知書 內(nèi)頁 格式 B ( ) (16) JJG772006 干涉顯微鏡檢定規(guī)程1 范圍 本規(guī)程適用于雙光束干涉顯微鏡的首次檢定 后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn) 、 。2 引用文獻(xiàn) 本規(guī)程引用下列文獻(xiàn) : 通用計(jì)量術(shù)語及定義 JJF10011998 測量不確定度評定與表示 JJF10591999 測量儀器特性評定技術(shù)規(guī)范 JJF10942002 干涉濾光片檢定規(guī)程 JJG8121993 使用本規(guī)程時(shí) 應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本 , 。3 概述 干涉顯微鏡由干涉和顯微系統(tǒng)組成 利用光波干涉原理來測量表面粗糙度參數(shù) 它 , 。是以范圍為 的光波波長為標(biāo)尺 將被測表面與標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)鏡面相比較 (530600)nm , ,再經(jīng)顯微系統(tǒng)高倍放大后 來觀察和測量被測表面的微觀幾何形狀特性 雙光束干涉顯 , 。微鏡主要用于表面粗糙度評定參數(shù) Rz的測量 該儀器可用來測量精密加工零件的表面 。如平面 圓柱面等外表面 也可用來測量零件表面刻線 鍍層等深度 目前常用的儀器 、 , 、 。外形如圖 和圖 所示 1 2 。 調(diào)焦鼓輪 遮光屏 干涉帶寬度 方向調(diào)節(jié)螺釘 參考鏡微調(diào)螺絲 1 ;2 ;3 、 ;4 ; 工作臺縱橫向移動千分尺 工作臺 光源 可換濾光片 5,6

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