真空退火爐工安全技術(shù)操作規(guī)程.doc

行業(yè)資料：_真空退火爐工安全技術(shù)操作規(guī)程單位：_部門：_日期：_年_月_日第 1 頁 共 5 頁真空退火爐工安全技術(shù)操作規(guī)程6.擴散泵送電加熱,約40min以后,泵油加熱蒸發(fā),這時關(guān)閉2號真空閥,然后再打開高真空閥。7.真空度高于0.133Pa后關(guān)閉熱電偶電源,打開電離計電源,用電離計測量真空度。8.把電子電位差計的定針調(diào)到要求的溫度值,把PID調(diào)整到規(guī)定的比例帶和積分、微分時間(比例帶為40%150%,積分時間為62.5min,微分時間為54min)9.把電路電源手動給定旋鈕調(diào)到最小,開關(guān)打到自動位置,把PID調(diào)節(jié)器的手動調(diào)到最小,開關(guān)打到手動位置,并接通PID電源。10.電爐送電,調(diào)整PID的手動,使三相電流表的輸出指示基本均衡在3070A。11.待爐溫接近給定值時,把PID的爐溫控制從手動打到自動以便進行自動控制。12.保溫時間滿足要求后,如工藝要求隨爐冷卻,可關(guān)閉電爐電源。如工藝要求控制冷卻,即把PID由自動打到手動,靠手動調(diào)節(jié)冷卻。13.350以上不準關(guān)閉水源和真空系統(tǒng),關(guān)閉擴散泵時,必須首先關(guān)閉高真空閥,然后關(guān)閉3號真空閥,打開2號真空閥。14.關(guān)閉機械泵時,先關(guān)閉2號真空閥,再關(guān)閉電源。15.爐溫高于150時,不準放氣和打開爐蓋。16.工作過程中一定要嚴格遵守上述安全技術(shù)操作規(guī)程,不準脫離崗位,經(jīng)常注意檢查水源、儀器、真空度、電機、變壓器、風(fēng)扇、電表等運行是否正常,發(fā)現(xiàn)異常,及時報告處理。第 3 頁 共 5 頁真空鍍膜崗位安全操作規(guī)程1、員工著穿整潔，袖口扣緊（佩戴袖套），上衣下擺不能敞開，不得穿拖鞋、高跟鞋。2、檢查電路各控制開關(guān)能否正常斷開閉合，電壓指示38020V。3、檢查各螺釘處連接是否牢固，電控柜、主機的連接線有無松脫現(xiàn)象、接地是否良好；所有電器的開關(guān)置在零或者關(guān)的位置上。4、檢查鍍膜機室內(nèi)不銹鋼擋板的插銷是否牢固，角部有無彎曲翹曲等變形情況。5、檢查水壓、氣壓是否正常；水、油、氣是否有漏滴現(xiàn)象。6、設(shè)備中途停水時，應(yīng)立即關(guān)閉擴散泵、粗抽泵、羅茨泵，讓維持泵繼續(xù)運行。7、設(shè)備中途停氣時，應(yīng)立即關(guān)閉擴散泵、粗抽泵、羅茨泵，讓維持泵繼續(xù)運行。8、設(shè)備中途停電時，應(yīng)立即關(guān)總電源，后關(guān)擴散泵、粗抽泵、維持泵。9、擴散泵加熱時，避免人身體接觸擴散泵加熱爐、以免燙傷。10、工件旋轉(zhuǎn)時，禁止一切作業(yè)；應(yīng)待工件完全停止轉(zhuǎn)動后，才可進行上下滾筒作業(yè)。11、鍍膜作業(yè)完成后，需要打開門時，應(yīng)有作業(yè)人員扶住拉手，緩慢的將門打開，并將插銷插入固定孔中。12、操作人員必須嚴格按設(shè)備操作指導(dǎo)書和安全操作規(guī)程進行作業(yè)，注意設(shè)備本身及設(shè)備運行中的安全，特別要重視安全裝置的檢查與使