電子顯微鏡與X射線能譜儀校準(zhǔn)方法

1、JSM-6610LV掃描電子顯微鏡與IE 250型X射線能譜儀校驗方法 1、主要內(nèi)容與適用范圍1.1本方法規(guī)定了JSM-6610LV掃描電子顯微鏡、IE 250型X射線能譜儀的技術(shù)要求、校驗條件及校驗方法。1.2本方法適用于JSM-6610LV掃描電子顯微鏡、IE 250型X射線能譜儀的校驗。2、概述JSM-6610LV掃描電子顯微鏡在石油地質(zhì)上是用于分析各種巖石和古生物化石樣品的形貌特征的分析儀器，其原理是利用聚焦高能電子束在樣品表面掃描產(chǎn)生各種信息（二次電子、背散射電子、透射電子、吸收電子等），這些信息被檢測器接收，經(jīng)過計算機圖像處理系統(tǒng)轉(zhuǎn)換成圖像。IE 250型X射線能譜儀是在掃描電鏡下

2、，利用高能聚焦電子束轟擊樣品表面，使其各種元素產(chǎn)生不同的特征X-射線，根據(jù)特征X-射線的能譜峰位及強度，可測定樣品中所含的元素及其含量。3、技術(shù)要求3.1技術(shù)性能3.1.1電子槍加速電壓：0.330KV燈絲：預(yù)對中，鎢絲探測器：二次電子探測器、高靈敏度半導(dǎo)體探測器圖像類型：背散射電子像(成分像、拓樸像、立體像)3.1.2樣品臺X-Y：樣品移動范圍125mm-100mmZ：樣品移動范圍5mm-80mm T：-10+90R：3603.1.3計算機控制系統(tǒng)3.1.4 X射線能譜儀檢出Mn譜線值為6。3.1.5 X射線能譜儀分辨率小于150KeV。3.2環(huán)境要求3.2.1室內(nèi)溫度：205 o 3.2.

3、2室內(nèi)相對濕度：60%3.2.3雜散磁場：0.3VT3.3安全可靠性3.3.1儀器配備穩(wěn)壓電源3.3.2儀器埋設(shè)專用地線3.3.3室內(nèi)整潔，配備冷暖兩用空調(diào)4、 校驗項目物鏡光柵對中、聚焦和消除像散、二次電子像清晰度、X射線能譜儀譜峰位置。5、校驗方法5.1物鏡光柵對中：最好在5,000倍以上完成此項調(diào)整。5.1.1按下光柵調(diào)節(jié)鍵，SCAN1的圖像在一定的方向上做有節(jié)奏的漂移，證實物鏡光柵不對中。5.1.2根據(jù)圖像漂移方向，細調(diào)物鏡光柵橫向及縱向控制旋紐，直至SCAN1的圖象沿對角線方向擴散或收縮。5.1.3關(guān)閉光柵調(diào)節(jié)鍵。5.2聚焦和消除像散5.2.1在5,000倍至10,000倍左右，束斑20nm-32nm條件下，上下調(diào)節(jié)聚焦移動條至合適位置，獲得初步聚焦看清圖像。5.2.2依次調(diào)節(jié)X、Y方向像散調(diào)節(jié)移動條，以消除像散。5.3二次電子像清晰度校驗5.3.1按5.1和5.2進行調(diào)試校驗5.3.2使用氧化鋅樣品在35倍、500倍、1,500倍、5,000倍、10,000倍、80,000倍條件下以SCAN4為標(biāo)準(zhǔn)掃描模式調(diào)節(jié)出清晰圖像。5.4 把X射線能譜標(biāo)樣放入掃描電鏡樣品室，啟動掃描電鏡，使其達到最好的穩(wěn)定狀態(tài)，測量標(biāo)樣譜峰位置與標(biāo)定峰位置漂移的數(shù)值。6、結(jié)果判斷6.1 按上述方法校驗后，圖像清晰，細節(jié)分明為合格，即可進行樣品分析測試，否則需要重新調(diào)