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文檔簡介

1、常用真空單位換算表帕Pa托Torr微米汞柱umHg亳巴 mbar大氣壓atm工程大氣壓am1 Pa17、5XI o*7、5icT9、 86923 xio*1、 0197xio1 Torr133、 32110,1、 33321、 31579 xio1、 3595xio1 uraHgJ0、 133321i(r11、 3332xio1、 31579 xio*1、 3595X 10*1 mbar107、5X1(P7. 5 xio-19、 86923XKT1、 0197 xio1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760毫米汞柱=76厘米汞柱=K013X105帕斯卡=10.336米水柱公斤不就是單位一般我們通常說得,事實(shí)上就是

2、一科非標(biāo)準(zhǔn)單位,名稱叫:公斤力/平方厘米Kgf/cmV 1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓二0、1MPa兆帕=101KPa=千帕左右=1bar巴二760mmHg(毫米汞柱)=14、696磅/英寸2(psi)=1工程大氣壓=1Kgf/cm2千克力/平方厘米千克:就是康量單位,千克力:就是作用在單位體積上一千克得力一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓一般約等于101千帕即0. 1兆柏,約等于一工程大氣壓約等于一千克力夸r平方厘米 工程大氣壓就是比標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小一點(diǎn)得1物理大乞壓=1標(biāo)準(zhǔn)大壓(atm)為什么會多一個(gè)工程大氣壓我也不清楚但就是工程大乞壓通常按千克力等,用一種質(zhì)量作用力對單位面積獲得得壓強(qiáng)。而標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(atm)則為標(biāo)準(zhǔn)得大氣壓強(qiáng),

3、比工程大氣壓精確,但她們就是約等于得.沒必要那么精砌,除非您就是在某些特定領(lǐng)域使用飽與水蒸汽得壓力與溫度得關(guān)系(摘自范仲元:”水與水蒸氣熱力性質(zhì)圖表p410 )溫度c22242628303234363840水蒸氣壓力MPa0、 002640、 002980、 003360、 003780、 004240、 004750、 005320、 005940、 006620. 00738相應(yīng)真空度MPa0、 098690、 098350、 097970、 097550、 097090. 096580、 096010. 095390、 094710、 09395溫度C424446485052545658

4、60水蒸氣壓力MPa0、 008200、 009100、 010090、 011160、 012340、 013610、 015000. 016510、 018150、 01992相應(yīng)真空度MPa0、 093130、 092230、 091240、 090170、 08S990、 087720、 086330、 084820、 083180、 08141溫度C62646668707274767880水蒸氣壓力MPa0、 021840. 023910、 026150. 028560、 031160. 033960、 036960、 040190、 043650、 04736相應(yīng)真空度MPa0、

5、079490、 077420、 075180. 072770、 070170. 067370、 064370. 061140、 057680、 05397溫度C828486889092949698100水蒸氣壓力MPa0、 051330. 055570、 060110、 064950、 07011Os 075610、 081460、 087690、 094300. 10133相應(yīng)真空度MPa0、 050000. 045760、 041220. 036380、 031220、 025720、 019870、 013640、 007030溫度C102104106108110112114116118

6、120水蒸氣壓力MPa0、 108780、 116680、 125040、 133900、 143270. 153160、 163620. 174650、 186280. 19854溫度C122124126128130132134136138140水蒸氣壓力MPa0、21145:0. 225040、23933:1 _ J0. 254350、 2701310、 278310、 304070、 322290、 341380、 36138真空計(jì)算常用必式1.玻義爾定律體積PP v=*A(一丸黃得亂體者a盛托支對氣律得烏氣體得體欽成1比中 P1/P2=V2A/1)2s蓋-呂薩克定律當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí)* 一

7、定質(zhì)量得氣體,其體積V與絕對溫度T成正比:(V1A2=T1/T2=常數(shù))當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí),一定質(zhì)量得氣體,溫度每升商(或P降低)1-C,則它得體積比原來增加(或縮?。?/273.3、査理定律當(dāng)氣體得體積V保持不變,一定質(zhì)量得氣體,壓強(qiáng)P與其她絕對溫度T成正比,即:P1/P2=T1/T2在一定得體積下,一定質(zhì)量得氣體,溫度每升高(或降低)19,它得壓強(qiáng)比原來増加(或減少)1/273。4、平均自由程:X=(5X10-3)/P (cm)5、抽速:S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/PQ=流量(托升/秒)P=壓強(qiáng)(托V=體積(升)1=時(shí)間(秒)6、通導(dǎo):C=Q/(P2P1)(升/秒7s真空抽氣時(shí)間:對于

8、從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式:t=8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式) 2)S 羅(1/s)Q漏一系統(tǒng)漏率(nniHg 1/s)V-系統(tǒng)容積Pl-真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(aoHg)P2真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到得壓強(qiáng)(mmHg)t-壓強(qiáng)從Pl升到P2經(jīng)過得時(shí)間(S)12粗抽泵得抽速選擇:式中;S -被試泵得抽氣速率(1/s)n-滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)S=Q1/P 預(yù)(1/s)32、3V - lg(Pa/P 預(yù))/t13xS-機(jī)械泵有效抽速P預(yù)一需要達(dá)到得預(yù)真空度(托)t-達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要得時(shí)間前級泵抽速選擇:QI-真空系統(tǒng)涮氣率(托升/秒)V-真空系統(tǒng)容積(升)Pa-大氣壓值(托)排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓得傳

9、輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵.渦輪分子泵等,它們工作時(shí)需要前級泵來 維持其前級壓力低于臨界值,選用得前級泵必須能將主泵得最大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截面流量恒等得原則有:PnSgPgS 或 SgPgs/PnSg-前級泵得有效抽速(1/s)Pn-主泵臨界前級壓強(qiáng)(最大排代壓強(qiáng))(1/s)Pg-真空室最離工作壓強(qiáng)(托)S主泵工作時(shí)在Pg時(shí)得有效抽速-(l/s14. 擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式:S=Q/P= (K*n)/(P-t)(升/秒t-油柱上升n格所需要得時(shí)間(秒)P-在泵口附近測得得壓強(qiáng)(托)K一滴管系數(shù)(托升/秒)K=VO (L/n) (T 0/ T m) +PaAVt其中VO-滴管與真空膠管

10、得原始容積(升)L-滴管刻度部分得長度血)n滴管刻度部分得格數(shù)(格)T 0油得比;1(克/S米3)丫 m汞得比重(克/厘米3)Pa-當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)Vt滴管得刻度上得一格得對應(yīng)得容積(升/粉15. 旋片真空泵得幾何抽速計(jì)算公式:S=3i ZnUCv(D2-d2)/(24X104) (1/s)式中:Z為旋片數(shù)山為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分hL為泵腔長度,D為泵腔直徑,d為轉(zhuǎn)子亶徑(cn),Kv為容積利用系數(shù)(一般取 95%).16. 0型橡膠深B=0 7DD為橡膠直徑,槽寬C=K 6B17. 方形橡膠槽深B=0、8AA為方形橡膠邊長槽寬C=U 67B選用真空泵時(shí),需要注意下列事項(xiàng);K真空泵得工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足

11、真空設(shè)備得極限真空及工作壓強(qiáng)耍求。如:真空鍍膜要求IXlcTnunHg得真空度,選用得真 空泵得真空度至少通常選擇泵得真空度耍高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。2.正確地選擇真空泵得工作點(diǎn)。每種泵都有一定得工作壓強(qiáng)范圉,如:擴(kuò)散泵為1010血nHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圉內(nèi),泵得 抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定得工作壓強(qiáng)范圍為5X 10-*5X10-*inmHg=因而,泵得工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圉之內(nèi),而不能讓它在 lOPmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在lOPmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1 XlObmHg為好3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生得全部氣體雖:。4. 正確地組合真空

12、泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需耍幾種泵組合起來,互相補(bǔ) 充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高得抽速,但不能抽氮,而三極型威射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離了泵)對氨 有一定得抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好得真空度。牙外,有得真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有得真空 泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需耍把泵組合起來使用5、真空設(shè)備對油污染得要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分了篩吸附泵.濺射離了泵、低 溫泵等。如果耍求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真

13、空耍求。6、了解彼抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等-選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對被7s8、9、真空泵得價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。抽氣體選擇相應(yīng)得泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵得進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵 器等。真空泵排出來得油蒸氣對環(huán)境得影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。真空泵工作時(shí)產(chǎn)生得振動(dòng)對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動(dòng)得泵或者采取防振動(dòng)措施。水環(huán)式真空泵得選擇一、泵類型得確定 泵得類型主要由工作所需得氣量、真空度或排氣壓力而定。泵工作時(shí),需要注意以下兩個(gè)方

14、面:盡可能要求在高效區(qū)內(nèi),也就就是在臨界真空度或臨界扌IF氣壓力得區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。應(yīng)避免在最大真空度或最大扌非氣壓力附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行,不僅效率極低,而且工作很不穩(wěn)定,易產(chǎn)生振動(dòng)與噪音。對于 真空度較高得真空泵而言,在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行,往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,產(chǎn)生這種現(xiàn)象得明顯標(biāo)志就是泵內(nèi)有噪音與振動(dòng)。汽蝕 會導(dǎo)致泵體、葉輪等零件得損壞,以致泵無法工作根據(jù)以上原則,當(dāng)泵所需得真空度或氣體壓力不高時(shí),可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能 滿足,或者,耍求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦,可選用兩級泵。如果真空度要求在 -TlOmmHg以

15、匕可選用水環(huán)一大氣泵或水環(huán)一羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝如果只作真空泵用,則選用單作用泵比較好。因?yàn)閱巫饔帽玫脴?gòu)造簡單,容易制造與維護(hù)且在高真空情況下抗汽蝕性好。 如果僅作較大氣量御壓縮機(jī)使用,則選用雙作用得泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵得氣量大,體積小,重量輕,徑向力能得到自動(dòng)平衡, 軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂,泵得使用殍命較長。二、根據(jù)系統(tǒng)所需得氣量選擇真空泵初步選定了泵得類型之后對于真空泵,還要根據(jù)系統(tǒng)所需得氣量來選用泵得型號。 關(guān)于真空泵得抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照我公司網(wǎng)貞.而對各種型式得水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī),我們特將其各自特點(diǎn)收集如下,以利于用戶選型代號主要特點(diǎn)極限真空 度 mmHg匚作真空度

16、mmHg抽速范圉 mVmin密封形式sk國內(nèi)設(shè)計(jì)單級水環(huán)真空泵,結(jié)構(gòu)簡單、維修方便。目前國內(nèi)主 得低真空水環(huán)式真空泵。-700-300-6500、 15120盤根、機(jī)械密封2sk國內(nèi)設(shè)計(jì)雙級水環(huán)真空泵,相當(dāng)于兩臺SK水環(huán)泵串聯(lián)使用,比 較單級水環(huán)泵具有真空度高及高真空下抽速較犬得特點(diǎn)。目前-735-300-7001、 530盤根、 機(jī)械密封國內(nèi)主流水環(huán)式真空泵。2BV腕西門子先進(jìn)技術(shù),機(jī)泵同軸,結(jié)構(gòu)緊湊,效率高,真空度高, 曲能穩(wěn)定,將逐漸替代SK、2SK系列0、46ffi7ffiin抽速得水環(huán) 真空泵。-735-300-7000. 45“8.33機(jī)械密封2BE1采用西門r先進(jìn)技術(shù),效率高,真空度高,性能穩(wěn)定,將逐漸替 代SK、2SK系列6120in/min抽速得水環(huán)真空泵。-735-640-300-700-300-6005400盤根、 機(jī)械密封SZSB年代蘇聯(lián)技術(shù),效率低,能耗

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