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1、第三章 固體中的擴(kuò)散 diffusion,固體中的擴(kuò)散,相圖,凝固,固體相變的基本原理,課程主要內(nèi)容,擴(kuò)散(diffusion):由于物質(zhì)中原子(或者其他微觀粒子)的微觀熱運(yùn)動(dòng)所引起的宏觀遷移現(xiàn)象。,氣體,液體,對(duì)流,擴(kuò)散,固體,原子遷移,在固體中的原子和分子是在不停地運(yùn)動(dòng),運(yùn)動(dòng)方式:,在平衡位置附近振動(dòng) 稱之為晶格振動(dòng),離開平衡位置的遷移,固體中原子的運(yùn)動(dòng),振動(dòng),擴(kuò)散,晶格中的間隙 晶體缺陷空位、位錯(cuò)和界面,在固體中原子為什么能遷移?,熱激活 原子在平衡位置附近振動(dòng)時(shí)的能量起伏,研究擴(kuò)散可以從兩個(gè)角度: 唯象(Phenomenological Approach) 原子結(jié)構(gòu)(Atomistic
2、 approach),研究擴(kuò)散的兩個(gè)角度,理論基礎(chǔ): 熱力學(xué) (Thermodynamics) 晶體學(xué) (Crystallography),材料制備、加工和服役的許多過(guò)程與擴(kuò)散有關(guān)。 如:相變 氧化 蠕變 燒結(jié) 表面處理等,研究擴(kuò)散的意義:,Case hardened gear,固體中的擴(kuò)散,唯象理論,菲克第一定律,菲克第二定律,原子理論,擴(kuò)散機(jī)制,間隙擴(kuò)散,置換擴(kuò)散,擴(kuò)散系數(shù)的微觀本質(zhì) D, G,激活能,原子遷移率和 熱力學(xué)因子,點(diǎn)陣平面遷移和 darken方程,影響擴(kuò)散的因素,擴(kuò)散方程的解,Kirkendall效應(yīng),穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散(steady-state diffusion):系統(tǒng)各處的濃度不
3、隨時(shí)間改變,即:,1. 菲克第一定律 (Fick First Law),1唯象理論,3.1 擴(kuò)散的唯象理論,菲克第一定律,1. Fick 第一定律,1唯象理論,菲克(A.Fick)于1855年通過(guò)實(shí)驗(yàn)建立了擴(kuò)散通量(diffusion flux)與濃度梯度(concentration gradient)的關(guān)系:,J - 擴(kuò)散通量,atoms/(m2.s)或kg/(m2.s) D - 擴(kuò)散系數(shù),m2/s,- 濃度梯度,atoms/(m3.m)或kg/(m3.m),單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)垂直于擴(kuò)散方向的單位截面積的擴(kuò)散通量與該面積處的濃度梯度成正比 “-”表示擴(kuò)散方向與濃度梯度方向相反,即原子從高濃度方向
4、向低濃度方向擴(kuò)散(下坡擴(kuò)散),1. Fick 第一定律,濃度梯度一定時(shí),擴(kuò)散僅取決于擴(kuò)散系數(shù)(diffusion coefficient),擴(kuò)散系數(shù)是描述原子擴(kuò)散能力的基本物理量,并非常數(shù),與許多因素有關(guān)(包括濃度),但與濃度梯度無(wú)關(guān)。,1. Fick 第一定律,2. 穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散的實(shí)例,1唯象理論,1、 氫分離 利用一薄膜從氣流中分離氫氣,在穩(wěn)定狀態(tài)時(shí),薄膜一側(cè)的氫濃度為0.1mol/m3,另一側(cè)的氫濃度為0.01mol/m3,薄膜的厚度為100um。若氫通過(guò)薄膜的擴(kuò)散通量為1.810-6mol/(m2.s),求氫的擴(kuò)散系數(shù)。,2、空心的薄壁圓筒滲碳,2. 穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散的實(shí)例,條件: 圓筒內(nèi)外碳濃度
5、保持恒定 經(jīng)過(guò)一定的時(shí)間后,系統(tǒng)達(dá)到穩(wěn) 定態(tài), 此時(shí)圓筒內(nèi)各點(diǎn)的碳濃度恒定, 則有:,1唯象理論,對(duì)于穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散,q/t是常數(shù),C 與r可測(cè),l為已知值,故作C與lnr的關(guān)系曲線,求斜率則得D.,1唯象理論,2. 穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散的實(shí)例,上圖中曲線各處斜率不等,即D不是常數(shù),1唯象理論,2. 穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散的實(shí)例,3. 非穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散Fick第二定律,濃度(C)隨時(shí)間變化非穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散。 描述非穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散Fick第二定律。,1唯象理論,一維模型,取體積元dx 在dt時(shí)間,通過(guò)1面的原子流為J1, 通過(guò)2面的原子流為J2。 J1J2, 進(jìn)入體積元dx的質(zhì)量為: (J1J2)A dt,dx很小, ,代入上式得:,1唯象理論
6、,3. 非穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散Fick第二定律,若D不隨x變化,則:,在三維情況下,如果擴(kuò)散系數(shù)是各向同性的(如立方晶體),則Fick第二定律表示為:,1唯象理論,菲克第二定律,3. 非穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散Fick第二定律,4.菲克第二定律的解,(1)誤差函數(shù)(error function)解針對(duì)無(wú)限長(zhǎng)棒擴(kuò)散問(wèn)題 兩端成分不受擴(kuò)散影 響的擴(kuò)散偶, (擴(kuò)散偶很長(zhǎng),故兩端 的成分可視為不變。),1唯象理論,求解擴(kuò)散方程數(shù)學(xué)問(wèn)題。 初始條件和邊界條件不同,其解也不同。,初始條件:,用中間變量代換,使偏微分方程變?yōu)槌N⒎址匠獭?1唯象理論,邊界條件,4.菲克第二定律的解,設(shè)中間變量 :,可得方程之通解為:,其中:A1, A2
7、 是待定常數(shù),積分號(hào)內(nèi)是誤差函數(shù)。 根據(jù)誤差函數(shù)的定義:,教材上p141表3.1列出了不同的值對(duì)應(yīng)的誤差函數(shù)值。 erf()=1, erf(-)=-erf().,1唯象理論,4.菲克第二定律的解,于是可得:,代入通解可求出待定常數(shù),并結(jié)合邊界條件可得:,可得誤差函數(shù)解:,1唯象理論,4.菲克第二定律的解,在界面上(x=0), 由于erf(0)=0,所以,如果設(shè)C1為0,則方程的解為:,1唯象理論,4.菲克第二定律的解,(2)誤差函數(shù)解針對(duì)半無(wú)限長(zhǎng)棒擴(kuò)散問(wèn)題(鋼件的滲碳) 初始條件:t=0, x0, CC0。 邊界條件:t0, x=0, CCs x=, CC0。,1唯象理論,4.菲克第二定律的解
8、,假定滲碳一開始,表面的碳濃度就達(dá)到滲碳?xì)夥盏?碳濃度Cs ??梢缘玫酵ń?1唯象理論,進(jìn)一步可得誤差函數(shù)解:,4.菲克第二定律的解, erf(0.5)=0.5, 當(dāng),1唯象理論,4.菲克第二定律的解,1唯象理論,(3)表面涂覆層的擴(kuò)散高斯函數(shù)解,針對(duì):擴(kuò)散開始前,擴(kuò)散元素集中在無(wú)限薄的一層薄膜上。,4.菲克第二定律的解,初始條件:t=0時(shí), |x|0,C=0; x=0,C=+ 邊界條件:t 0時(shí),x= , C = 0,原始狀態(tài),擴(kuò)散后,1唯象理論,4.菲克第二定律的解,1唯象理論,4.菲克第二定律的解,在制作半導(dǎo)體元件時(shí),常在硅表面先沉積一層B,然后加熱使之?dāng)U散,形成P型半導(dǎo)體,摻雜P形成n
9、型半導(dǎo)體。,1唯象理論,4.菲克第二定律的解,利用高斯解就可以求得給定溫度下擴(kuò)散一定時(shí)間后硼在硅中的分布。,例如,已知1100時(shí)硼在硅中的擴(kuò)散系數(shù)D為410-7m2/s,硼薄膜的質(zhì)量M為9.431019原子。 則當(dāng)在1100擴(kuò)散進(jìn)行7107s后,硼表面(x=0) 的濃度為:,3.2擴(kuò)散的原子理論,1.可能的擴(kuò)散機(jī)制:,一、擴(kuò)散機(jī)制,間隙擴(kuò)散(d),空位擴(kuò)散(c),換位擴(kuò)散(a,b),推填擴(kuò)散(e),擠列擴(kuò)散(f),2.間隙擴(kuò)散(interstitial diffusion) 原子從一個(gè)間隙跳到相鄰的間隙,發(fā)生在間隙固溶體中 。,如果是大半徑原子在間隙中,遷移很困難。因?yàn)樾枰募せ钅芴摺?2擴(kuò)
10、散的原子理論,一、擴(kuò)散機(jī)制,處于間隙位置的一般是小半徑原子。,原子從一個(gè)間隙躍遷到相鄰間隙是要擠開相鄰原子, 額外的能量去克服勢(shì)壘激活能(activation energy)。,3.空位擴(kuò)散(vacancy diffusion) 大半徑原子,一般不可能位于間隙, 它的擴(kuò)散要借助于空位。 空位擴(kuò)散和原子的擴(kuò)散是一個(gè)互逆的過(guò)程。,2擴(kuò)散的原子理論,一、擴(kuò)散機(jī)制,4自擴(kuò)散(self-diffusion) 在純?cè)亟M成的固體材料中,原子的擴(kuò)散稱之為自擴(kuò)散,它也是借助于空位進(jìn)行的。,2擴(kuò)散的原子理論,一、擴(kuò)散機(jī)制,界面和位錯(cuò) 原子排列松散,高擴(kuò)散通道。,一、擴(kuò)散機(jī)制,2擴(kuò)散的原子理論,5.界面和位錯(cuò)對(duì)擴(kuò)
11、散的加速作用,若以DL、Dd、Db、Ds 分別表示: 晶內(nèi)、位錯(cuò)、晶界、自由表面擴(kuò)散系數(shù),,則有:DLDdDbDs。,二、熱激活和擴(kuò)散系數(shù),1. 熱激活 Gm 擠開鄰近的原子所需能(克服勢(shì)壘) 原子要躍遷需有比平均能量高的額外能量,2擴(kuò)散的原子理論,Gm 的來(lái)源 系統(tǒng)的能量起伏,熱激活,二、熱激活和擴(kuò)散系數(shù),: 原子從一個(gè)位置躍遷到 鄰近位置的頻(幾)率,2擴(kuò)散的原子理論,顯然,擴(kuò)散系數(shù)D與有關(guān),2. 原子躍遷的幾率,其中:P: 跳動(dòng)概率 (可躍遷的位置幾率) n1:平面上單位面積 原子數(shù),每秒從 躍遷到原子數(shù):,每秒從躍遷到原子數(shù):,二、熱激活和擴(kuò)散系數(shù),2擴(kuò)散的原子理論,3. 與擴(kuò)散系數(shù),
12、n2: 平面上單位面積 的原子數(shù),二、熱激活和擴(kuò)散系數(shù),2擴(kuò)散的原子理論,對(duì)照Fick第一定律 可知: D=Pd2,假如 n1n2,則有一個(gè)定向原子流:,建立了擴(kuò)散系數(shù)與跳動(dòng)頻率、跳動(dòng)概率及晶體幾何參數(shù)等微觀量之間的關(guān)系,上式中:,二、熱激活和擴(kuò)散系數(shù),2擴(kuò)散的原子理論,4. 和擴(kuò)散系數(shù)的表達(dá)式 (1)間隙擴(kuò)散,2擴(kuò)散的原子理論,二、熱激活和擴(kuò)散系數(shù),D0:擴(kuò)散常數(shù); Q:激活能,(2)置換擴(kuò)散 置換擴(kuò)散的擴(kuò)散系數(shù)與空位有關(guān),因此,對(duì)于置換擴(kuò)散, 不僅與擴(kuò)散激活能有關(guān), 還與空位濃度有關(guān)!,二、熱激活和擴(kuò)散系數(shù),2擴(kuò)散的原子理論,置換固溶體中擴(kuò)散系數(shù)的表達(dá)式。,二、熱激活和擴(kuò)散系數(shù),2擴(kuò)散的原
13、子理論,D=Pd2(330),如果配位數(shù)為Z0,則:,5、擴(kuò)散激活能,如前所述,,兩邊取對(duì)數(shù)得:,作lnD和1/T之間的關(guān)系曲線,如圖所示。測(cè)得斜率即可求得Q。,有些材料在不同溫區(qū)擴(kuò)散機(jī)制不同,因而擴(kuò)散系數(shù)不同,在圖中不是單一的線性關(guān)系??赡苁怯蓭锥握劬€組成。,二、熱激活和擴(kuò)散系數(shù),2擴(kuò)散的原子理論,四、置換合金中的擴(kuò)散方程(Darkens equation) 1. 置換合金中的擴(kuò)散,2擴(kuò)散的原子理論,由于DA DB 導(dǎo)致 空位流,由于空位流導(dǎo)致點(diǎn)陣平面遷移,A、B兩種原子都擴(kuò)散, DA DB,2Kirkendall 效應(yīng) 點(diǎn)陣平面的遷移的驗(yàn)證,2擴(kuò)散的原子理論,四、置換合金中的擴(kuò)散方程,在純
14、銅和黃銅中嵌入鉬絲,退火后鉬絲會(huì)遷移。,3. Darken 方程 思路:將擴(kuò)散的原子流分成兩部分:,原子相對(duì)于點(diǎn)陣的運(yùn)動(dòng),2擴(kuò)散的原子理論,四、置換合金中的擴(kuò)散方程,點(diǎn)陣平面遷移掃過(guò)原子vCA,2擴(kuò)散的原子理論,四、置換合金中的擴(kuò)散方程,求點(diǎn)陣平面移動(dòng)的速率v:,摩爾濃度、摩爾密度與摩爾分?jǐn)?shù)的關(guān)系,四、置換合金中的擴(kuò)散方程,2擴(kuò)散的原子理論,四、置換合金中的擴(kuò)散方程,2擴(kuò)散的原子理論,由達(dá)肯方程可以看出,只要將擴(kuò)散第一定律和擴(kuò)散第二定律中的擴(kuò)散系數(shù)D換成合金的互擴(kuò)散系數(shù),擴(kuò)散定律對(duì)置換固溶體的擴(kuò)散仍然是適用的。,本征擴(kuò)散系數(shù)D與互擴(kuò)散系數(shù) 本征擴(kuò)散系數(shù)D是描述組元的濃度梯度所驅(qū)動(dòng)的擴(kuò)散; 互擴(kuò)
15、散系數(shù)是合金中各組元本征擴(kuò)散系數(shù)的加權(quán)平均,反映了合金系統(tǒng)的擴(kuò)散特性,不代表單一組元的擴(kuò)散性質(zhì);,本征擴(kuò)散系數(shù)D與自擴(kuò)散系數(shù)D* 自擴(kuò)散是指在沒(méi)有濃度梯度下的原子擴(kuò)散,本征擴(kuò)散過(guò)程既包含了原子的自擴(kuò)散,又包含原子在濃度梯度下引起的擴(kuò)散,一、擴(kuò)散的驅(qū)動(dòng)力 唯象理論,擴(kuò)散的驅(qū)動(dòng)力濃度梯度,,原子遷移的速度:v=BF (347) 其中:B為原子遷移率。 原子流密度:J=CiviciBiF,(348),3擴(kuò)散的驅(qū)動(dòng)力和熱力學(xué)因子,有些晶體中,原子從低濃度流向高濃度上坡擴(kuò)散,真正的驅(qū)動(dòng)力化學(xué)勢(shì)梯度,,3擴(kuò)散的驅(qū)動(dòng)力和熱力學(xué)因子,代入(3-48),3擴(kuò)散的驅(qū)動(dòng)力和熱力學(xué)因子,4影響擴(kuò)散的因素,一、溫度,可
16、知,擴(kuò)散系數(shù)與溫度直接相關(guān)。溫度越高,D越大。,溫度是影響擴(kuò)散的主要因素之一。從擴(kuò)散系數(shù)的表達(dá)式,無(wú)論是間隙機(jī)制,還是空位機(jī)制,都遵循熱激活規(guī)律。溫度提高,擴(kuò)散原子獲得能量超過(guò)能壘的幾率越大,同時(shí)晶體的平衡空位濃度也越高,這些都是提高擴(kuò)散系數(shù)的原因 eg.1: 1027比927時(shí),C在-Fe中的擴(kuò)散系數(shù)D增加3倍 eg.2:置換固溶體, D=10-810-9cm2/s, 固相線附近溫度 D=10-2010-50cm2/s,室溫下,一、溫度,4影響擴(kuò)散的因素,二、晶體結(jié)構(gòu),1. 固溶體類型 間隙固溶體,間隙原子,間隙擴(kuò)散,因此,擴(kuò)散速率高。 置換固溶體,置換擴(kuò)散,擴(kuò)散速率小。,4影響擴(kuò)散的因素,
17、2.結(jié)構(gòu)類型,4影響擴(kuò)散的因素,同素異構(gòu)晶體致密度高,擴(kuò)散系數(shù)小, 在-Fe中的擴(kuò)散系數(shù)(包括自擴(kuò)散系數(shù)和合金元素的擴(kuò)散系數(shù))比在-Fe中大。,溶解度不同晶體結(jié)構(gòu)中對(duì)合金元素的溶解度不同, -Fe中C的溶解度遠(yuǎn)大于-Fe,因此擴(kuò)散時(shí)的濃度梯度不同,同時(shí)溫度較高加速了C的擴(kuò)散,因此滲碳一 般在相區(qū)進(jìn)行。,二、晶體結(jié)構(gòu),2.結(jié)構(gòu)類型,4影響擴(kuò)散的因素,各向異性 由于晶體是各向異性,因此在不同晶體學(xué)方向上擴(kuò)散系數(shù)不同。對(duì)稱性越低,擴(kuò)散系數(shù)的各向異性越明顯。,二、晶體結(jié)構(gòu),鉍擴(kuò)散的各向異性,菱方系Bi沿C軸的自擴(kuò)散為垂直C軸方向的1/106,六方系的Zn:平行底面的自擴(kuò)散系數(shù)大于垂直底面的,因底面原子排列緊密,穿過(guò)底面困難。,3. 晶體缺陷 晶體缺陷(界面、位錯(cuò)、自由表面)有高擴(kuò)散通道的作用,但是溫度越高,這種作用越弱。,4影響擴(kuò)散的因素,二、晶體結(jié)構(gòu),D晶內(nèi)D位錯(cuò)D晶界D自由表面,四、應(yīng)力的作用 一般情況下應(yīng)力能成為擴(kuò)散驅(qū)動(dòng)力的一部分,因此會(huì)加速
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