電火花加工方法

1、蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院專 班 姓 學(xué)蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院 特種加工專題論文 電火花加工技術(shù)業(yè) _10_機(jī)_械_工_程_及_其_自_動(dòng)_化_級(jí) _機(jī)_電_（_3_）_班名_劉_曉_軍號(hào) _1_06_10_01_1 指導(dǎo)老師 _ _寧_會(huì)_峰蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院摘要 ：電火花加工的原理是基于工具和工件之間脈沖性放電時(shí)的電腐現(xiàn)象 來(lái)蝕除多余的金屬，以達(dá)到對(duì)零件的尺寸、形狀及表面質(zhì)量預(yù)定的加工要 求。電火花加工主要優(yōu)點(diǎn)是適合于難切削材料，可以加工特殊及復(fù)雜形狀 的零件。電火花加工主要用于加工金屬等導(dǎo)電材料，但在一定條件下也可 以加工半導(dǎo)體和非導(dǎo)體材料。由于電火花加工具有許多傳統(tǒng)切削加工所無(wú)

2、法比擬的優(yōu)點(diǎn)，因此其應(yīng)用領(lǐng)域日益擴(kuò)大。關(guān)鍵字 ：電火花加工 不接觸加工 電蝕加工第一章 電火花加工技術(shù)的產(chǎn)生與發(fā)展一、電火花加工的概念 電火花加工是利用浸在工作液中的兩極間脈沖放電時(shí)產(chǎn)生的電蝕作 用蝕除多余的金屬， 以達(dá)到對(duì)零件的尺寸、 形狀及表面質(zhì)量的加工要求的 特種加工方法，又稱放電加工或電蝕加工，英文簡(jiǎn)稱 EDM【 1】。二、電火花加工技術(shù)的產(chǎn)生背景 【2】提到電火花加工，我們首先就會(huì)想到特種加工技術(shù)。特種加工技術(shù)有別 于傳統(tǒng)的機(jī)械加工，他的產(chǎn)生不是偶然的。第二次世界大戰(zhàn)后，特別是進(jìn) 入 20 世紀(jì) 50 年代以來(lái)，隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，各個(gè)行業(yè)，尤其是國(guó) 防工業(yè)部門，要求尖端科技產(chǎn)品

3、向高精度、高速度、大功率、小型化方向 發(fā)展，以及在高溫、高壓、重載荷或腐蝕環(huán)境下長(zhǎng)期可靠的工作。為了適 應(yīng)這些要求，各種新結(jié)構(gòu)、新材料和復(fù)雜形狀的精密零件大量出現(xiàn)，其結(jié) 構(gòu)和形狀越來(lái)越復(fù)雜，材料的性能越來(lái)越強(qiáng)韌，對(duì)精度要求越來(lái)越高，對(duì)蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院加工表面粗糙度和完整性要求越來(lái)越嚴(yán)格，使現(xiàn)代機(jī)械制造面臨著一系列 嚴(yán)峻的任務(wù)。如：各種難切削材料的加工問(wèn)題；各種特殊復(fù)雜型面的加工 問(wèn)題；各種超精密、光整零件的加工問(wèn)題；特殊零件的加工問(wèn)題等。要解決上述一系列的問(wèn)題，僅僅依靠傳統(tǒng)的切削加工方法很難實(shí)現(xiàn)，有 些甚至無(wú)法實(shí)現(xiàn)。為此，人們相繼探索、研究新的加工方法。特種加工就 是在這種前提條件下產(chǎn)

4、生和發(fā)展起來(lái)的。三、電火花加工技術(shù)的產(chǎn)生20 世紀(jì) 40 年代，前蘇聯(lián)鮑洛拉扎林柯夫婦研究開關(guān)觸點(diǎn)遭受火花 放電腐蝕損壞的有害現(xiàn)象和原因，發(fā)現(xiàn)電火花的瞬時(shí)高溫可使局部的金屬 融化、氣化而被蝕除掉，開創(chuàng)和發(fā)明了變有害的電蝕為有用的電火花加工 方法，用銅桿在淬火鋼上加工出小孔，可用軟的工具加工任何硬度的金屬 材料，首次擺脫了傳統(tǒng)的切削加工方法，直接利用電能和熱能來(lái)去除金屬， 獲得“以柔克剛”的效果。之后隨著脈沖電源和控制系統(tǒng)的改進(jìn)，而迅速 發(fā)展起來(lái)。最初使用的脈沖電源是簡(jiǎn)單的電阻 - 電容回路。四、電火花加工技術(shù)的發(fā)展 120 世紀(jì) 50 年代脈沖電源改進(jìn)為電阻 -電感- 電容等回路。同時(shí)，還采用

5、脈沖發(fā)電機(jī)之類 的所謂長(zhǎng)脈沖電源，使蝕除效率提高，工具電極相對(duì)損耗降低。隨后又出 現(xiàn)了大功率電子管、閘流管等高頻脈沖電源，使在同樣表面粗糙度條件下 的生產(chǎn)率得以提高。蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院20 世紀(jì) 60 年代出現(xiàn)了晶體管和可控硅脈沖電源， 提高了能源利用效率和降低了工具電 極損耗，并擴(kuò)大了粗精加工的可調(diào)范圍。20 世紀(jì) 70 年代出現(xiàn)了高低壓復(fù)合脈沖、 多回路脈沖、等幅脈沖和可調(diào)波形脈沖等電源， 在加工表面粗糙度、加工精度和降低工具電極損耗等方面又有了新的進(jìn)展。 在控制系統(tǒng)方面，從最初簡(jiǎn)單地保持放電間隙，控制工具電極的進(jìn)退，逐 步發(fā)展到利用微型計(jì)算機(jī)，對(duì)電參數(shù)和非電參數(shù)等各種因素進(jìn)行適時(shí)控

6、制。電火花技術(shù)的發(fā)展不僅僅局限于脈沖電源的改進(jìn)，目前，國(guó)際上對(duì)電火 花加工技術(shù)甚至其他特種加工技術(shù)的研究主要集中在三方面微細(xì)化加 工，應(yīng)用領(lǐng)域的拓寬以及廣泛采用自動(dòng)化技術(shù)。第二章 電火花加工的工作原理進(jìn)行電火花加工時(shí)，工具電極和工件分別接脈沖電源的兩極，并浸入工蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院作液中，或?qū)⒐ぷ饕撼淙敕烹婇g隙。通過(guò)間隙自動(dòng)控制系統(tǒng)控制工具電極 向工件進(jìn)給，當(dāng)兩電極間的間隙達(dá)到一定距離時(shí)，兩電極上施加的脈沖電 壓將工作液擊穿，產(chǎn)生火花放電。 在放電的微細(xì)通道中瞬時(shí)集中大量的 熱能，溫度可高達(dá)一萬(wàn)攝氏度以上，壓力也有急劇變化，從而使這一點(diǎn)工 作表面局部微量的金屬材料立刻熔化、氣化，并爆炸式地

7、飛濺到工作液中， 迅速冷凝，形成固體的金屬微粒，被工作液帶走。這時(shí)在工件表面上便留 下一個(gè)微小的凹坑痕跡，放電短暫停歇，兩電極間工作液恢復(fù)絕緣狀態(tài)。 緊接著，下一個(gè)脈沖電壓又在兩電極相對(duì)接近的另一點(diǎn)處擊穿，產(chǎn)生火花 放電，重復(fù)上述過(guò)程。這樣，雖然每個(gè)脈沖放電蝕除的金屬量極少，但因 每秒有成千上萬(wàn)次脈沖放電作用，就能蝕除較多的金屬，具有一定的生產(chǎn) 率。 在保持工具電極與工件之間恒定放電間隙的條件下，一邊蝕除工件 金屬，一邊使工具電極不斷地向工件進(jìn)給，最后便加工出與工具電極形狀 相對(duì)應(yīng)的形狀來(lái)。因此，只要改變工具電極的形狀和工具電極與工件之間 的相對(duì)運(yùn)動(dòng)方式，就能加工出各種復(fù)雜的型面。工具電極常用

8、導(dǎo)電性良好、熔點(diǎn)較高、易加工的耐電蝕材料，如銅、石 墨、銅鎢合金和鉬等。在加工過(guò)程中，工具電極也有損耗，但小于工件金 屬的蝕除量，甚至接近于無(wú)損耗。工作液作為放電介質(zhì)，在加工過(guò)程中還起著冷卻、排屑等作用。常用的 工作液是粘度較低、閃點(diǎn)較高、性能穩(wěn)定的介質(zhì)，如煤油、去離子水和乳 化液等【3】。第三章 電火花的加工特性蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院一、電火花屬于不接觸加工。工具電極和工件之間并不直接接觸，而是 有一個(gè)火花放電間隙，這個(gè)間隙一般是在 0.050.3mm之間，有時(shí)可能達(dá)到 0.5mm 甚至更大，間隙中充滿工作液，加工時(shí)通過(guò)高壓脈沖放 電，對(duì)工件 進(jìn)行放電腐蝕。二、加工過(guò)程中沒(méi)有宏觀切削力?；?/p>

9、花放電時(shí)，局部、瞬時(shí)爆炸力的平 均值很小，不足以引起工件的變形和位移。三、可以加工任何難加工的金屬材料和導(dǎo)電材料。由于加工中材料的去 除是靠放電時(shí)的電、熱作用實(shí)現(xiàn)的，材料的可加工性主要取決于材料的導(dǎo) 電性及熱學(xué)特性，如熔點(diǎn)、沸點(diǎn)、比熱容、導(dǎo)熱系數(shù)、電阻率等，而幾乎 與其力學(xué)性能 （ 硬度、強(qiáng)度等 ）無(wú)關(guān)。這樣可以突破傳統(tǒng)切削加工對(duì)刀具的 限制，可以實(shí)現(xiàn)用軟的工具加工硬、韌的工件甚至可以加工聚晶金剛行、 立方氮化硼一類的超硬材料。目前電極材料多采用紫銅或石墨，因此工具 電極較容易加工。四、可以加工形狀復(fù)雜的表面。由于可以簡(jiǎn)單地將工具電極的形狀復(fù)制 到工件上，因此特別適用于復(fù)雜表面形狀工件的加工，

10、如復(fù)雜型腔模具加 工等。特別是數(shù)控技術(shù)的采用，使得用簡(jiǎn)單的電極加工復(fù)雜形狀零件成為 現(xiàn)實(shí)。 可以加工特殊要求的零件可以加工薄壁、 彈性、低剛度、 微細(xì)小孔、 異形小孔、深小孔等有特殊要求的零件。由于加工中工具電極和工件不直 接接觸，沒(méi)有機(jī)械加工的切削力，因此適宜加工低剛度工件及微細(xì)加工。電火花加工是與機(jī)械加工完全不同的一種新工藝。 隨著工業(yè)生產(chǎn)的發(fā) 展和科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，具有高熔點(diǎn)、高硬度、高強(qiáng)度、高脆性，高粘性和 高純度等性能的新材料不斷出現(xiàn)。具有各種復(fù)雜結(jié)構(gòu)與特殊工藝要求的工 件越來(lái)越多，這就使得傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法不能加工或難于加工。因此，蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院人們除了進(jìn)一步發(fā)展和完善機(jī)械

11、加工法之外，還努力尋求新的加工方法。 電火花加工法能夠適應(yīng)生產(chǎn)發(fā)展的需要，并在應(yīng)用中顯示出很多優(yōu)異性能， 因此，得到了迅速發(fā)展和日益廣泛的應(yīng)用。第四章 電火花加工的基本規(guī)律一、影響材料放電腐蝕的主要因素1 極性效應(yīng)能量在兩極上的分配對(duì)兩個(gè)電極電蝕量的影響是一個(gè)極為重要的因素， 而電子和正離子對(duì)電極表面的撞擊則是影響能量分布的主要因素，因此， 電子撞擊和離子撞擊無(wú)疑是影響極性效應(yīng)的重要因素。但是，近年來(lái)的生 產(chǎn)實(shí)踐和研究結(jié)果表明，正的電極表面能吸附工作液中分解游離出來(lái)的碳 微粒，形成碳黑膜（覆蓋層）減小電極損耗。由此可見， 極性效應(yīng)是一個(gè)較為復(fù)雜的問(wèn)題。 除了脈寬、脈間的影響外， 還有脈沖峰值電

12、流、放電電壓、工作液以及電極對(duì)的材料等都會(huì)影響到極 性效應(yīng)。從提高加工生產(chǎn)率和減少工具損耗的角度來(lái)看，極性效應(yīng)愈顯著愈好， 加工中必須充分利用極性效應(yīng)，最大限度地降低工具電極的損耗，并合理 選用工具電極的材料，根據(jù)電極對(duì)材料的物理性能、加工要求選用最佳的 電規(guī)準(zhǔn)，正確地選用加工極性，達(dá)到工件的蝕除速度最高，工具損耗盡可 能小的目的。當(dāng)用交變的脈沖電流加工時(shí)，單個(gè)脈沖的極效應(yīng)便相互抵消，增加了工 具的損耗。因此，電火花加工一般都采用單向脈沖電源。2電參數(shù)蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院電參數(shù)主要是指電壓脈沖寬度 t i 、電流脈沖寬度 t e、脈沖間隔 t o、脈沖 頻率?、峰值電流 i e、峰值電壓

13、和極性等。改變了頻率，改善了表面粗糙度值，但加工速度幾乎不變， 電極損耗 由于脈寬變短而增加；改變了占空比， 加工速度提高了， 表面粗糙度值 稍有增大， 電極幾乎無(wú)損耗； 改變了峰值電流， 改善了表面粗糙度值， 加 工速度大大下降， 電極損耗稍有增加 【 4】。在實(shí)際生產(chǎn)時(shí)要考慮到這些因素之間的相互制約關(guān)系和對(duì)其它工藝 指標(biāo)的影響，例如脈沖間隔時(shí)間過(guò)短，將產(chǎn)生電弧放電；隨著單個(gè)脈沖能 量的增加，加工表面粗糙度值也隨之增大等等。3金屬材料熱學(xué)常數(shù) 所謂熱學(xué)常數(shù)，是指熔點(diǎn)、沸點(diǎn)（氣化點(diǎn)）、熱導(dǎo)率、比熱容、熔化熱、 氣化熱等。常見材料的熱學(xué)常數(shù)可查相應(yīng)手冊(cè)。每次脈沖放電時(shí)，通道內(nèi)及正、負(fù)電極放電點(diǎn)都

14、瞬時(shí)獲得大量熱能。而 正、負(fù)電極放電點(diǎn)所獲得的熱能，除一部分由于熱傳導(dǎo)散失到電極其它部 分和工作液中外，其余部分將依次消耗在： 使局部金屬材料溫度升高直至達(dá)到熔點(diǎn)，而每克金屬材料升高 1 C （或 1K ）所需之熱量即為該金屬材料的比熱容； 每熔化 1g 材料所需之熱量即為該金屬的熔化熱； 使熔化的金屬液體繼續(xù)升溫至沸點(diǎn)， 每克材料升高 1 C 所需之熱量 即為該熔融金屬的比熱容； 使熔融金屬氣化，每氣化 1g 材料所需的熱量稱為該金屬的氣化熱； 使金屬蒸氣繼續(xù)加熱成過(guò)熱蒸氣，每克金屬蒸氣升高 1 C 所需的熱 量為該蒸氣的比熱容蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院當(dāng)脈沖放電能量相同時(shí)，金屬的熔點(diǎn)、沸點(diǎn)、

15、比熱容、熔化熱、氣化熱 愈高，電蝕量將愈少，愈難加工；熱導(dǎo)率較大的金屬，會(huì)將瞬時(shí)產(chǎn)生的熱 量傳導(dǎo)散失到其它部位，因而降低了本身的蝕除量。當(dāng)單個(gè)脈沖能量一定時(shí)，脈沖電流幅值愈小，脈沖寬度愈長(zhǎng)，散失的熱 量也愈多，從而使電蝕量減少；若脈沖寬度愈短，脈沖電流幅值愈大，由 于熱量過(guò)于集中而來(lái)不及傳導(dǎo)擴(kuò)散，雖使散失的熱量減少，但拋出的金屬 中氣化部分比例增大，多耗用了氣化熱，電蝕量也會(huì)降低。因此，電極的蝕除量與電極材料的熱導(dǎo)率以及其它熱學(xué)常數(shù)、放電持續(xù) 時(shí)間、單個(gè)脈沖能量等有密切關(guān)系。4其它因素加工過(guò)程不穩(wěn)定將干擾以致破壞正常的火花放電，使有效脈沖利用率降 低。隨著加工深度、加工面積的增加，或加工型面復(fù)

16、雜程度的增加，都將 不利于電蝕產(chǎn)物的排出，影響加工穩(wěn)定性和降低加工速度，嚴(yán)重時(shí)將造成 結(jié)炭拉弧，使加工難以進(jìn)行。如果加工面積較小，而采用的加工電流較大，也會(huì)使局部電蝕產(chǎn)物濃度 過(guò)高，放電點(diǎn)不能分散轉(zhuǎn)移，放電后的余熱來(lái)不及傳播擴(kuò)散而積累起來(lái)， 造成過(guò)熱，形成電弧，破壞加工的穩(wěn)定性。電極材料對(duì)加工穩(wěn)定性也有影響。 用鋼電極加工鋼時(shí)不易穩(wěn)定， 用純銅、 黃銅電極加工鋼時(shí)則比較穩(wěn)定。脈沖電源的波形及其前后沿陡度影響著輸 入能量的集中或分散程度，對(duì)電蝕量也有很大影響。下表為常用電極材料 及其選擇。二、影響加工精度的主要因素與傳統(tǒng)的機(jī)械加工一樣， 機(jī)床本身的各種誤差， 工件和工具電極的定位、蘭州理工大學(xué)機(jī)

17、電工程學(xué)院安裝誤差都會(huì)影響到電火花加工的精度。另外，與電火花加工工藝有關(guān)的 主要因素是放電間隙的大小及其一致性、工具電極的損耗及其穩(wěn)定等。電 火花加工時(shí)工具電極與工件之間放電間隙大小實(shí)際上是變化的，電參數(shù)對(duì) 放電間隙的影響非常顯著，精加工放電間隙一般只有 0.01mm（單面），而粗 加工時(shí)則可達(dá) 0.5mm以上。目前，電火花加工的精度為 0.010.05mm。電火 花加工時(shí)，可以通過(guò)修正電極的尺寸對(duì)放電間隙進(jìn)行補(bǔ)償，以獲得較高的 加工精度。然而，放電間隙的大小實(shí)際上是變化的，影響著加工精度。1. 表面粗糙度電火花加工表面的粗糙度取決于放電蝕坑的深度及其分布的均勻程度， 只有在加工表面產(chǎn)生淺而分

18、布均勻的放電蝕坑，才能保證加工表面有較小 的粗糙度值。為了控制放電凹坑的均勻性，需要采用等能量放電脈沖控制 技術(shù)，即檢測(cè)間隙電壓擊穿下降沿，控制放電脈沖電流寬度相等，用相同 的脈沖能量進(jìn)行加工，從而使加工表面粗糙度微觀上均勻一致。2. 加工間隙 （側(cè)面間隙 ）的影響 加工間隙的大小及其一致性直接影響電火花成形加工的加工精度。只有 掌握每個(gè)規(guī)準(zhǔn)的加工間隙和表面粗糙度的數(shù)值，才能正確設(shè)計(jì)電極的尺寸， 決定收縮量，確定加工過(guò)程中的規(guī)準(zhǔn)轉(zhuǎn)換。3. 加工斜度的影響 在加工中，不論型孔還是型腔，側(cè)壁都有斜度，形成斜度的原因，除電極側(cè)壁本身在技術(shù)要求或制造中原有的斜度外，一般都是由電極的損耗不 均勻，以及“

19、二次放電”等因素造成的。4. 楞角倒圓的原因及規(guī)律 電極尖角和楞邊的損耗，比端面和側(cè)面的損耗嚴(yán)重，所以隨著電極楞角- 10 -蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院的損耗導(dǎo)致楞角倒圓，加工出的工件不可能得到清楞。而且，隨著加工深度的增加，電極楞角倒圓的半徑增大。但超過(guò)一定加工深度，其增大的趨 勢(shì)逐漸緩慢，最后停留在某一最大值上。楞角倒圓的原因除電極的損耗外， 還有放電間隙的等距離性。凸尖楞電極由于尖角放電的等距離性，必然使 工件產(chǎn)生圓角；凹尖楞電極的尖點(diǎn)根本不起放電作用，但由于積屑也會(huì)使 工件凸楞倒圓。因此，既使電極完全沒(méi)有損耗，由于間隙放電的等距離性 仍然不可能得到完全的清楞。如果要求倒圓半徑很小，必須要

20、縮小放電間 隙工作介質(zhì)是產(chǎn)生放電的基本條件，目前主要采用液體介質(zhì)。它形成火 花擊穿放電通道，對(duì)放電通道產(chǎn)生壓縮作用，并在放電結(jié)束后迅速恢復(fù)間 隙的絕緣狀態(tài)，幫助電蝕產(chǎn)物的拋出和排除，并使工具冷卻。所以說(shuō)介質(zhì) 對(duì)于電火花加工有很大的作用。第五章 電火花加工的應(yīng)用領(lǐng)域一、電火花加工主要用于模具生產(chǎn)中的型孔、型腔加工。已成為模具制 造業(yè)的主導(dǎo)加工方法，推動(dòng)了模具行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。電火花加工零件的數(shù) 量在 3000 件以下時(shí)，比模具沖壓零件在經(jīng)濟(jì)上更加合理。按工藝過(guò)程中工 具與工件相對(duì)運(yùn)動(dòng)的特點(diǎn)和用途不同，電火花加工可大體分為：電火花成 形加工、電火花線切割加工、電火花磨削加工、電火花展成加工、非金屬

21、電火花加工和電火花表面強(qiáng)化等。二、電火花成形加工。該方法是通過(guò)工具電極相對(duì)于工件作進(jìn)給運(yùn)動(dòng)， 將工件電極的形狀和尺寸復(fù)制在工件上，從而加工出所需要的零件。它包 括電火花型腔加工和穿孔加工兩種。近年來(lái)，為了解決小孔加工中電極截- 11 -蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院面小、易變形、孔的深徑比大、排屑困難等問(wèn)題，在電火花穿孔加工中發(fā) 展了高速小孔加工，取得良好的社會(huì)經(jīng)濟(jì)效益。三、電火花線切割加工。該方法是利用移動(dòng)的細(xì)金屬絲作工具電極，按 預(yù)定的軌跡進(jìn)行脈沖放電切割。按金屬絲電極移動(dòng)的速度大小分為高速走 絲和低速走絲線切割。我國(guó)普通采用高速走絲線切割，近年來(lái)正在發(fā)展低 速走絲線切割， 高速走絲時(shí)， 金屬絲

22、電極是直徑為 0.02 0.3mm的高強(qiáng) 度鉬絲，往復(fù)運(yùn)動(dòng)速度為 8 10m/s。低速走絲時(shí)，多采用銅絲，線電極以 小于 0.2m/s 的速度作單方向低速運(yùn)動(dòng)。線切割時(shí)，電極絲不斷移動(dòng)，其損 耗很小，因而加工精度較高。其平均加工精度可達(dá) 0.0lmm ，大大高于電火 花成形加工。表面粗糙度 Ra值可達(dá) 1.6 或更小。第六章 電火花加工的發(fā)展趨勢(shì)伴隨著難加工材料及復(fù)雜型面加工而逐步發(fā)展成熟起來(lái)的電火花加工 技術(shù)( EDM) ,已經(jīng)成為制造技術(shù)中不可缺少的加工手段之一。據(jù)統(tǒng)計(jì) ,目前 電火花加工機(jī)床已占世界機(jī)床市場(chǎng)的 6 %【 5】。目前電火花加工技術(shù)的研究與發(fā)展趨勢(shì) 【6】主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方

23、面 :(1) 加工微細(xì)化隨著工程技術(shù)領(lǐng)域?qū)ξ⑿蜋C(jī)械的迫切需求,微細(xì)加工已不再是微電子機(jī)械技術(shù)的代名詞。微細(xì)電火花加工技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域已從 簡(jiǎn)單的軸孔加工逐步拓展到微三維結(jié)構(gòu)型腔的制作中。微細(xì)電火花加工技 術(shù)有望成為三維實(shí)體微細(xì)加工的主流技術(shù)之一。(2) 加工裝置的微小型化由于電火花加工中工具電極與工件之間沒(méi)有宏觀作用力 ,因此 ,將電火花加工裝置、 尤其是電極驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行微小型- 12 -蘭州理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院化 , 使電極進(jìn)給驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的慣性得以大幅度減小, 必將更好地發(fā)揮電火花加工技術(shù)的工藝特點(diǎn)。(3) 新型元器件的成功應(yīng)用 不斷地吸收現(xiàn)代科技發(fā)展的精髓是任何制 造技術(shù)得以生存和發(fā)展的前提。

24、 目前一些新型開關(guān)元件如 IG BT ,大規(guī)模集 成電路芯片如 FPG A、DSP ,新型壓電材料等均已在電火花加工機(jī)床的脈沖 電源、 控制系統(tǒng)及驅(qū)動(dòng)裝置上得到了極為成功的應(yīng)用,大大地提高了EDM 的加工性能與工藝指標(biāo)。(4) 硬件軟件化 軟件在電火花加工機(jī)床上所占的比重日趨增大。這一 趨勢(shì)表明 ,一些新的軟件平臺(tái)、 數(shù)控技術(shù)有可能很快地融入電火花加工技術(shù) 中 , 從而將極大地提高電火花加工技術(shù)的快速響應(yīng)能力。(5) 現(xiàn)代制造模式的滲透 人工智能技術(shù)、 網(wǎng)絡(luò)制造、 綠色制造、 敏 捷制造等新概念正逐漸滲透到電火花加工領(lǐng)域中。(6) 新工藝的出現(xiàn) 借助現(xiàn)代化的研究手段 ,人們對(duì)電火花加工技術(shù) 的研究正向更深層次發(fā)展 ,新的工藝方法不斷涌現(xiàn) ,電火花加工技術(shù)的應(yīng) 用領(lǐng)域正在拓寬。相對(duì)于傳統(tǒng)的