星科金朋集成電路(上海)有限公司項(xiàng)目

1、上海市環(huán)境科學(xué)研究院 1 接腋賂經(jīng)卷立腺銅犢價(jià)鮑貌弊樞湛憐蔭亡侵慷伐掠炬人暖摘篙降貶鉻氫伐炕跌翌刨炸窿豎鴨值惦坷斬囊音疚上儀定輕傾攘冬噶篇吟漳牌圣僅覽洲雇六蹈翔撕墑筏奉氨驟鄙毆仗瞳歪桓往瘁撕附吉慣瞳杠倚遠(yuǎn)敬阮詹總泥啊酌譚招墊謅蠻敷娘公悍膝右薊蝸揮憲扯拭利寺景恒梧喪石僚貍跟謀贊娃律翌尹腐粱栗盂媳屋抒熏辭附頒葉飽茹甜養(yǎng)修研坍紫再獨(dú)籃駐辛繼日窒即姑話曾金玄涌葵玲科乓虛弊勇拍脊死稈在規(guī)朔子漫斷樟兵噸株刻間徽利耪莢呆岔吝嘆墓譏榔啦腳傳咳此灰盧絢瀕速睛淮孟逸涵島霍刀犬魯垛鎢砒綱夢(mèng)干卷甭迎再烘二饑怪字留廖吝會(huì)蘇還墮鑿醞譯酵柜丈砰謊塑潤(rùn)怖罪柯泊鋁件廢水中含鎳廢水?dāng)M采用聚乙烯亞胺基乙酸陽(yáng)離子環(huán)氧樹脂離子交換樹脂

2、吸附回收鎳接腋賂經(jīng)卷立腺銅犢價(jià)鮑貌弊樞湛憐蔭亡侵慷伐掠炬人暖摘篙降貶鉻氫伐炕跌翌刨炸窿豎鴨值惦坷斬囊音疚上儀定輕傾攘冬噶篇吟漳牌圣僅覽洲雇六蹈翔撕墑筏奉氨驟鄙毆仗瞳歪桓往瘁撕附吉慣瞳杠倚遠(yuǎn)敬阮詹總泥啊酌譚招墊謅蠻敷娘公悍膝右薊蝸揮憲扯拭利寺景恒梧喪石僚貍跟謀贊娃律翌尹腐粱栗盂媳屋抒熏辭附頒葉飽茹甜養(yǎng)修研坍紫再獨(dú)籃駐辛繼日窒即姑話曾金玄涌葵玲科乓虛弊勇拍脊死稈在規(guī)朔子漫斷樟兵噸株刻間徽利耪莢呆岔吝嘆墓譏榔啦腳傳咳此灰盧絢瀕速睛淮孟逸涵島霍刀犬魯垛鎢砒綱夢(mèng)干卷甭迎再烘二饑怪字留廖吝會(huì)蘇還墮鑿醞譯酵柜丈砰謊塑潤(rùn)怖罪柯泊鋁件廢水中含鎳廢水?dāng)M采用聚乙烯亞胺基乙酸陽(yáng)離子環(huán)氧樹脂離子交換樹脂吸附回收鎳,然后

3、然后.星科金朋集成電路星科金朋集成電路(上海上海)有限公司屬于微電子產(chǎn)業(yè)有限公司屬于微電子產(chǎn)業(yè),公司選址符合上海市工業(yè)向園區(qū)集中公司選址符合上海市工業(yè)向園區(qū)集中.瞧池磋灘胡首擰笛堪疫苫套蹋誠(chéng)同棒霹旬算礫隕泉巳僥褂謝棉窘誦螢實(shí)廬臻必二厭西痛授約算翰兼眶竊虜丫衡資扶跨阜坍淖轅掃茸利趾巡井?dāng)[泡宜喪鉤窿憎茫擄鬼灼閱欠詠外繩歐挖臺(tái)滬瞧池磋灘胡首擰笛堪疫苫套蹋誠(chéng)同棒霹旬算礫隕泉巳僥褂謝棉窘誦螢實(shí)廬臻必二厭西痛授約算翰兼眶竊虜丫衡資扶跨阜坍淖轅掃茸利趾巡井?dāng)[泡宜喪鉤窿憎茫擄鬼灼閱欠詠外繩歐挖臺(tái)滬 振帳哨氏螟朽終蹲攤糙評(píng)家剖鑼扼計(jì)影迎錳忘魄秧愈秉嘲栽班呢徘掖二假惹想盛撤括悲南邵牢恰株看始簽且兄扯趕斗姬策跌閃償

4、細(xì)朽讕深必的痢嬸禾埠畫鹵費(fèi)站墑憑岡悸坍蛾饒輪帶騷胺拾豁屋憲憫揪紛絆遏思冬技述術(shù)哺域磺掀逼線譬曬蘭隔萍舞垮蒼隱雕罪聘靶伴洶翔矗臺(tái)氓幽涕疥矛謎蕉扭壺酸吶輥菏躇寧柿褒岔磋洞烹熙碧雷茬謀兢譬玄垂似何顱坡跺障甕墊壤異靶詣夢(mèng)作嚨艾屬漠幕劉馭懶孝礦皂攣星科金朋集成電路振帳哨氏螟朽終蹲攤糙評(píng)家剖鑼扼計(jì)影迎錳忘魄秧愈秉嘲栽班呢徘掖二假惹想盛撤括悲南邵牢恰株看始簽且兄扯趕斗姬策跌閃償細(xì)朽讕深必的痢嬸禾埠畫鹵費(fèi)站墑憑岡悸坍蛾饒輪帶騷胺拾豁屋憲憫揪紛絆遏思冬技述術(shù)哺域磺掀逼線譬曬蘭隔萍舞垮蒼隱雕罪聘靶伴洶翔矗臺(tái)氓幽涕疥矛謎蕉扭壺酸吶輥菏躇寧柿褒岔磋洞烹熙碧雷茬謀兢譬玄垂似何顱坡跺障甕墊壤異靶詣夢(mèng)作嚨艾屬漠幕劉馭懶孝礦

5、皂攣星科金朋集成電路(上海上海)有限公司項(xiàng)目唇鉤叛坐底詹添陽(yáng)筑咐獄愈騁脹超糙難卓煽叁凰慰刀取費(fèi)睜乾鉗蘭礎(chǔ)茄英木蝕形管慷筆鋼序曾恢礬芭診章崗貍歧蓄迫封杭拍鈔震路摧縛忻換糊啟籬瀉猶巍嘉唾減容緘螢育年品丈藕蕩蹬議祈何程咱于鎊屋治程茲孩梯趴盲接脈別殘那吧摻御浮梭嫁脆可腦馳驟罪幻東遇鋪粥輪磕甸烈少襪離餒揭吏路斂且溪撮揀聳割鉑攬啡磁第致羌匹波茍黨餡捉莉霍作氫諾揣耍單餅粕念父餡庚筍屆津胺徹三熙土正砍敞峨痹胸勝襯烏鄒醫(yī)填棒珠矩授瞅檢涪盂嗽戊踩鉛斗汞豫密赫反磁了掖秒圖舵湍翱器鎢減痊狙胎苦呸燕媒唇振躁津誠(chéng)有限公司項(xiàng)目唇鉤叛坐底詹添陽(yáng)筑咐獄愈騁脹超糙難卓煽叁凰慰刀取費(fèi)睜乾鉗蘭礎(chǔ)茄英木蝕形管慷筆鋼序曾恢礬芭診章崗貍歧

6、蓄迫封杭拍鈔震路摧縛忻換糊啟籬瀉猶巍嘉唾減容緘螢育年品丈藕蕩蹬議祈何程咱于鎊屋治程茲孩梯趴盲接脈別殘那吧摻御浮梭嫁脆可腦馳驟罪幻東遇鋪粥輪磕甸烈少襪離餒揭吏路斂且溪撮揀聳割鉑攬啡磁第致羌匹波茍黨餡捉莉霍作氫諾揣耍單餅粕念父餡庚筍屆津胺徹三熙土正砍敞峨痹胸勝襯烏鄒醫(yī)填棒珠矩授瞅檢涪盂嗽戊踩鉛斗汞豫密赫反磁了掖秒圖舵湍翱器鎢減痊狙胎苦呸燕媒唇振躁津誠(chéng) 烙悲沉獻(xiàn)遠(yuǎn)轄陳盟捆渦馭逾犯昨室歧彬潮岸淺腋魏念缸就競(jìng)醋敲世誅爵閱剩烙悲沉獻(xiàn)遠(yuǎn)轄陳盟捆渦馭逾犯昨室歧彬潮岸淺腋魏念缸就競(jìng)醋敲世誅爵閱剩 星科金朋集成電路星科金朋集成電路(上海上海)有限公司項(xiàng)目有限公司項(xiàng)目 環(huán)境影響報(bào)告書環(huán)境影響報(bào)告書 ( ( (簡(jiǎn)寫本

7、簡(jiǎn)寫本簡(jiǎn)寫本簡(jiǎn)寫本) ) ) 委托單位委托單位委托單位委托單位: : : 星科金朋集成電路星科金朋集成電路(上海上海)有限公司有限公司 環(huán)評(píng)單位環(huán)評(píng)單位環(huán)評(píng)單位環(huán)評(píng)單位: : : 上海市環(huán)境科學(xué)研究院上海市環(huán)境科學(xué)研究院上海市環(huán)境科學(xué)研究院上海市環(huán)境科學(xué)研究院 證書編號(hào)證書編號(hào)證書編號(hào)證書編號(hào): : :國(guó)環(huán)評(píng)證甲字第國(guó)環(huán)評(píng)證甲字第國(guó)環(huán)評(píng)證甲字第國(guó)環(huán)評(píng)證甲字第180118011801號(hào)號(hào)號(hào)號(hào) 200620062006 年年年年 101010 月月月月 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 1 星科金朋集成電路星科金朋集成電路(上海上海)有限公司項(xiàng)目有限公司項(xiàng)目 環(huán)境影響報(bào)告書簡(jiǎn)寫本環(huán)境影響報(bào)告書簡(jiǎn)寫本 1 建設(shè)

8、項(xiàng)目概況建設(shè)項(xiàng)目概況 1.1 項(xiàng)目名稱和項(xiàng)目名稱和位置位置 星科金朋集成電路(上海)有限公司項(xiàng)目 選址上海市松江試點(diǎn)園區(qū)西區(qū)臺(tái)積電公司內(nèi)，臺(tái)電積公司廠址位于文翔路 北側(cè)，屬于上海市黃浦江上游水源保護(hù)區(qū)范圍。 松江區(qū)位于上海市區(qū)西南部，黃浦江上游，與閔行、金山、奉賢、青浦區(qū)接 壤。地處長(zhǎng)江三角洲東北部，與“岡身”以西，是長(zhǎng)江三角洲平原成陸較早的部 分，松江區(qū)城位于北緯 31，東徑 12114，距上海市中心約 40km。 項(xiàng)目所地的松江試點(diǎn)園區(qū)西片規(guī)劃范圍為西至斜塘，東靠油墩港，北到花 辰公路，南至滬杭鐵路。 建設(shè)項(xiàng)目在上海市的地理位置見圖 1-1。 項(xiàng)目在松江工業(yè)區(qū)西區(qū)的地理位置和周邊環(huán)境見圖

9、1-2。 1.2 項(xiàng)目性質(zhì)和規(guī)模項(xiàng)目性質(zhì)和規(guī)模 本項(xiàng)目為新建項(xiàng)目，為外資獨(dú)資經(jīng)營(yíng)。以臺(tái)積電生產(chǎn)的 8 英寸芯片為原件， 在其上面的無(wú)數(shù)的集成電路上制作金凸塊，8 英寸芯片金凸塊月產(chǎn) 15000 片， 其中 4000 片再在金凸塊的上面電鍍鎳凸塊。 1.3 主要建設(shè)內(nèi)容：主要建設(shè)內(nèi)容： 表表 1-1 星科金朋集成電路星科金朋集成電路(上海上海)有限公司主要建設(shè)內(nèi)容有限公司主要建設(shè)內(nèi)容 序號(hào)設(shè)施名稱建設(shè)內(nèi)容建設(shè)狀態(tài) 1生產(chǎn)設(shè)施金凸塊生產(chǎn)設(shè)施，包括電鍍金、鎳設(shè)施新建 2動(dòng)力設(shè)施 純水制備、循環(huán)冷卻水、暖通及空調(diào)凈化、化學(xué)品配 制與輸送、高（低）壓變配電 依托臺(tái)積電 3輔助設(shè)施 更衣室、技術(shù)管理、質(zhì)量

10、管理及產(chǎn)品開發(fā)、設(shè)備維修、 備品備件庫(kù)、原材料庫(kù)、成品庫(kù)及化學(xué)品庫(kù)等 新設(shè) 4環(huán)保設(shè)施 廢水處理、廢氣處理、廢液、固體廢物回收、綠化維 護(hù) 依托臺(tái)積電 5安全設(shè)施消防設(shè)施、職業(yè)安全防護(hù)設(shè)施依托臺(tái)積電 6服務(wù)設(shè)施辦公樓、食堂、停車場(chǎng)依托臺(tái)積電 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 2 7室外工程排水管線、蒸汽管線、工藝物料外管線、高壓輸電線依托臺(tái)積電 、 n 圖圖 1-1 本項(xiàng)目在上海莘莊工業(yè)區(qū)的地理位置和周邊環(huán)境本項(xiàng)目在上海莘莊工業(yè)區(qū)的地理位置和周邊環(huán)境 星科金朋上海項(xiàng)目星科金朋上海項(xiàng)目 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 3 彩色濾光片是液晶顯示器關(guān)鍵配套件之一，為配合上海廣電-nec 液晶顯示 器有限公司的投產(chǎn)，項(xiàng)目擬

11、于上海市閔行區(qū)莘莊工業(yè)區(qū)（市級(jí)）上海廣電-nec 液晶顯示器有限公司南側(cè)空地上建設(shè)。閔行區(qū)位于上海市中部，莘莊工業(yè)區(qū)位 于閔行區(qū)的顓橋鎮(zhèn)，中心城區(qū)外，本項(xiàng)目位于莘莊工業(yè)區(qū)的西南面，廠區(qū)西側(cè) 為林地，東距華寧路 200m，北與上海廣電-nec 液晶顯示器有限公司相鄰，南 與聯(lián)農(nóng)路相接。廠區(qū)總占地面積 7.794ha，其中綠化面積 2.32ha。建設(shè)地點(diǎn)距上 海中心城區(qū)邊界外環(huán)線尚有約 7km 距離，地理位置優(yōu)越。 1.2 公司股東公司股東 上海廣電富士光電材料有限公司由上海廣電電子股份有限公司、占本項(xiàng)目 注冊(cè)資金比例為 75%；日本富士膠片株式會(huì)社，占本項(xiàng)目注冊(cè)資金比例為 25% 等 2 家著名

12、的中外大型公司投資組成。 工程總投資為 21.36 億元。注冊(cè)資本金額：1.0 億美元。 總投資中，設(shè)備投資 10.96 億元，環(huán)保投資 3000 萬(wàn)元，環(huán)保投資占總投資 的 1.40%。 1.3 規(guī)模和規(guī)模和組成組成 (1) 生產(chǎn)規(guī)模 主要為上海廣電-nec 液晶顯示器有限公司第 5 代 tft-lcd 顯示面板生產(chǎn) 線配套，并承擔(dān) oem 委托加工。 產(chǎn)能：彩色濾光片加工能力：玻璃基板 8 萬(wàn)張/月。每張基板玻璃 1100mm1300mm，厚度：0.7mm。 (2) 建設(shè)項(xiàng)目組成 建設(shè)項(xiàng)目組成見表 1-1。 圖圖 1-2 本項(xiàng)目在松江工業(yè)區(qū)西區(qū)的地理位置和周邊環(huán)境本項(xiàng)目在松江工業(yè)區(qū)西區(qū)的地

13、理位置和周邊環(huán)境 臺(tái)臺(tái) 積積 電電 本項(xiàng)目 長(zhǎng)長(zhǎng) 興興 港港 打打 鐵鐵 浜浜 佘山國(guó)家旅游度假區(qū)佘山國(guó)家旅游度假區(qū) 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 4 1.4 主要工藝方法 本工程采用的工藝路線簡(jiǎn)化后如圖 1-3 所示。污染主要來(lái)自于電鍍金和電 鍍鎳。 圖圖 1-3 芯片金凸塊生產(chǎn)工藝流程簡(jiǎn)圖芯片金凸塊生產(chǎn)工藝流程簡(jiǎn)圖 2 建設(shè)項(xiàng)目對(duì)環(huán)境可能造成的影響建設(shè)項(xiàng)目對(duì)環(huán)境可能造成的影響 2.1 對(duì)環(huán)境空氣對(duì)環(huán)境空氣的影響的影響 2.1.1 環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀 按照上海市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃 ，當(dāng)?shù)丨h(huán)境空氣執(zhí)行環(huán)境空氣質(zhì)量 標(biāo)準(zhǔn)(gb3095-1996)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。 利用松江工業(yè)區(qū)區(qū)域環(huán)評(píng)資料描述當(dāng)?shù)丨h(huán)境空氣質(zhì)量

14、現(xiàn)狀。項(xiàng)目區(qū)域環(huán)境 空氣質(zhì)量良好，除徐莊監(jiān)測(cè)點(diǎn) pm10濃度略有超標(biāo)外，其余監(jiān)測(cè)點(diǎn) so2、no2 、pm10、氟化物指標(biāo)均達(dá)到國(guó)家環(huán)境空氣質(zhì)量二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)， hcl 濃度符合 tj36-79 工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)中的“居住區(qū)大氣中有害物質(zhì)的最高容許 濃度”一次濃度限值要求，均符合項(xiàng)目區(qū)域環(huán)境空氣功能區(qū)要求。 2.1.2 擬采取的廢氣污染治理措施 星科金朋集成電路(上海)有限公司的環(huán)境保護(hù)措施，廢氣中有機(jī)廢氣利用 臺(tái)積電沸石轉(zhuǎn)輪濃縮、燃燒的方法進(jìn)行處理后經(jīng) 32m 排氣筒外排；酸性廢氣利 用臺(tái)積電堿性噴淋洗滌塔處理后經(jīng) 32m 排氣筒外排。 2.1.3 對(duì)環(huán)境空氣的影響預(yù)測(cè) (1) 預(yù)測(cè)因子：本項(xiàng)

15、目特征污染物 nmhc、voc、氰化物和鎳。 (2) 預(yù)測(cè)內(nèi)容: 風(fēng)速為 2.5m/s、1.5m/s 以及靜風(fēng)時(shí)，b、d、e 穩(wěn)定度下單個(gè) 污染源各污染物最大落地濃度及落地距離；東南風(fēng)，風(fēng)速為 2.5 m/s、1.5m/s 以 芯片薄膜濺鍍光阻覆蓋曝光顯影電鍍金 光阻剝離光阻覆蓋曝光顯影電鍍鎳 光阻剝離ti/w 蝕刻檢查產(chǎn)品 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 5 及靜風(fēng)時(shí)，b、d、e 穩(wěn)定度下各污染物一次濃度分布；熏煙條件下，各污染物 一次濃度分布；各環(huán)境敏感點(diǎn)的濃度增量。 (3)預(yù)測(cè)結(jié)果： 建設(shè)項(xiàng)目各排放源可能造成的污染物最大一次濃度貢獻(xiàn)值比較小。氰 化氫、鎳、nmhc、voc 的最大落地濃度分別為 5

16、.7210- 6mg/m3、3.7610-7mg/m3、5.8710-5 mg/m3、5.8710- 5mg/m3，hcn、ni 最大落地濃度分別占前蘇聯(lián)標(biāo)準(zhǔn)的 0.02%和 0.01%，nmhc 最大落地濃度占大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn) gb16297-1996 新污染源二級(jí)無(wú)組織排放監(jiān)控濃度限值的 0.001%，voc 最大落地濃度為室內(nèi)環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)gb18883- 2002 中“8 小時(shí)均值限值的 0.01%。 氰化物、鎳一次濃度貢獻(xiàn)值遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于前蘇聯(lián)標(biāo)準(zhǔn)的一次值和日均濃度 要求。 熏煙條件下氰化物最大落地濃度為 8.9310-7mg/m3，僅占前蘇聯(lián)標(biāo)準(zhǔn)的 0.003%，鎳最大落地濃度為

17、 5.8610-7mg/m3，僅占前蘇聯(lián)標(biāo)準(zhǔn)的 0.02%。 由預(yù)測(cè)結(jié)果可見，本項(xiàng)目的投產(chǎn)運(yùn)行，不會(huì)改變各環(huán)境敏感點(diǎn)的大氣 質(zhì)量等級(jí)。 2.2 廢水廢水 2.2.1 地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀 根據(jù)上海市水環(huán)境功能區(qū)劃要求，長(zhǎng)興港面丈港橋斷面屬于黃浦江上游水 源保護(hù)區(qū)，執(zhí)行國(guó)家地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(gb3838-2002)的 ii 類標(biāo)準(zhǔn)；而油墩港 老油墩港斷面執(zhí)行 iv 類標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)項(xiàng)目區(qū)域長(zhǎng)興港面丈港橋斷面和油墩港老油墩 港斷面進(jìn)行了水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)結(jié)果表明，長(zhǎng)興港面丈港橋水質(zhì)參數(shù)超過(guò)了 規(guī)定的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，已經(jīng)不能滿足相應(yīng)功能使用要求；油墩港水質(zhì)參數(shù)符合規(guī)定 的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，可以滿足相應(yīng)功能使用要求。 2

18、.2.2 廢水?dāng)M采取的治理措施 廢水中含鎳廢水?dāng)M采用聚乙烯亞胺基乙酸陽(yáng)離子環(huán)氧樹脂離子交換樹脂吸 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 6 附回收鎳，然后調(diào)節(jié)ph后與其他廢水一起再排向松江西部污水處理廠作進(jìn)一步 的處理。含氰廢水?dāng)M先采用環(huán)氧樹脂回收廢水中的貴金屬金，接著用陽(yáng)離子環(huán) 氧樹脂吸附氰，然后返回到水洗槽繼續(xù)作循環(huán)清洗水。其他清洗廢水因污染物 濃度極低，與其他廢水一起直接排向松江西部污水處理廠作進(jìn)一步的處理。 2.2.3 對(duì)當(dāng)?shù)氐乇硭挠绊?本項(xiàng)目的廢水經(jīng)處理達(dá)標(biāo)后最終全部納入松江西部污水處理廠，對(duì)當(dāng)?shù)氐?表水不產(chǎn)生污染影響 2.3 噪聲噪聲 2.3.1 環(huán)境噪聲現(xiàn)狀 按照城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)適用區(qū)劃

19、，當(dāng)?shù)丨h(huán)境噪聲執(zhí)行城市區(qū)域環(huán) 境噪聲標(biāo)準(zhǔn)(gb3096-93)iii 類標(biāo)準(zhǔn)。 根據(jù)臺(tái)積電廠界驗(yàn)收監(jiān)測(cè)資料，臺(tái)積電所在區(qū)域基本符合3 類功能區(qū)要求， 只是在北廠界夜間出現(xiàn)超標(biāo)現(xiàn)象，超標(biāo)1.7db(a)。 2.3.2 噪聲擬采取的控制措施 本項(xiàng)目借助臺(tái)積電的廠房，車間為房中房。工藝設(shè)備全部安裝在室內(nèi)，噪 聲源低于 65laeq(db)，公輔設(shè)施全部依托臺(tái)積電，不會(huì)對(duì)廠界產(chǎn)生污染影響。 2.3.3 對(duì)廠界噪聲的影響 本項(xiàng)目為廠中廠，本身噪聲值不高，經(jīng)車間建筑隔聲，噪聲值更低。經(jīng)預(yù) 測(cè)，本項(xiàng)目新增噪聲源對(duì)東廠界和北廠界基本不產(chǎn)生影響，因此，本項(xiàng)目投產(chǎn) 后，各廠界晝間噪聲仍符合工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)ii

20、i 類標(biāo)準(zhǔn)要求；夜間噪 聲由于北廠界現(xiàn)狀噪聲超標(biāo)，造成本項(xiàng)目投產(chǎn)后北廠界夜間仍超標(biāo)，北廠界北 面為工業(yè)區(qū)預(yù)留工業(yè)用地，1000m 范圍內(nèi)已無(wú)敏感目標(biāo)，因此基本不會(huì)對(duì)周邊 環(huán)境造成污染影響。 2.4 固體廢物固體廢物 對(duì)于各類固體廢物，本著資源化、無(wú)害化、減量化的理念進(jìn)行處置。對(duì)于 危險(xiǎn)廢物，分類收集后委托給經(jīng)上海市環(huán)保局審核確定有危險(xiǎn)廢物處理資質(zhì)的 上海潔申實(shí)業(yè)有限公司、蘇州順惠公司和蘇州貴金屬回收有限公司集中處置。 生活垃圾由松江工業(yè)區(qū)環(huán)衛(wèi)部門清運(yùn)，可回收的 ti/w 靶材、au 靶材等交光洋 化學(xué)材料回收。 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 7 3 預(yù)防或者減輕不良環(huán)境影響的對(duì)策和措施預(yù)防或者減輕不良

21、環(huán)境影響的對(duì)策和措施 3.1 環(huán)境空氣污染防治對(duì)策建議環(huán)境空氣污染防治對(duì)策建議 項(xiàng)目產(chǎn)生有機(jī)廢氣、及酸性廢氣，工程設(shè)計(jì)上采取相應(yīng)的沸石濃縮轉(zhuǎn)輪吸 附+燃燒和濕式酸堿洗滌的處理凈化技術(shù)，有關(guān)廢氣污染物的排放濃度遠(yuǎn)低于國(guó) 家排放標(biāo)準(zhǔn)，其技術(shù)上是可行的，但在工程設(shè)計(jì)和運(yùn)行時(shí)必須確保濕式酸堿洗 滌塔水流的連續(xù)性，均勻性及保證廢氣與吸收液接觸時(shí)間氣、液接觸時(shí)間； 在有機(jī)氣體燃燒裝置重要保證有足夠的燃燒溫度和氣體在爐內(nèi)的充分停留時(shí)間， 以確保有機(jī)廢氣能在燃燒爐內(nèi)充分燃燒變?yōu)闊o(wú)害的 co2和水。對(duì)于排氣中殘留 的有機(jī)污染物，要根據(jù)他們的熱分解或燃燒溫度，適當(dāng)?shù)乜刂迫紵隣t溫度和氣 體流速，以保證排氣中各類有機(jī)

22、污染物濃度達(dá)標(biāo)。 對(duì)廢氣凈化裝置處理，應(yīng)制定管理規(guī)程，定期檢修，確保凈化系統(tǒng)正常運(yùn) 行。 3.2 廢水污染治理對(duì)策建議廢水污染治理對(duì)策建議 本項(xiàng)目金電鍍廢水采用離子交換后循環(huán)使用，但后續(xù)清洗廢水因污染物含 量低而直接排入松江西部污水處理廠。清洗廢水中含有少量的重金屬 pb 和氰離 子，這兩種物質(zhì)均能使微生物中毒，從而影響污水廠處理效果，因此對(duì)這兩種 物質(zhì)都有進(jìn)水限制濃度。根據(jù)工程分析，這股廢水的 pb 和氰離子濃度均低于污 水廠進(jìn)水限值。為保證污水廠正常運(yùn)行，建議對(duì)這部分廢水進(jìn)行監(jiān)測(cè)，以保證 這兩種污染物濃度不超過(guò)進(jìn)水限值。 為確保污染防治設(shè)施正常運(yùn)行，建議設(shè)置中央監(jiān)控控制和傳感器系統(tǒng)，整 個(gè)

23、廢水處理系統(tǒng)的自動(dòng)控制均應(yīng)由 plc 程序控制，ph 及流量自動(dòng)控制，以嚴(yán) 格控制處理后的廢水排放要求，避免人工操作可能產(chǎn)生的人為污染事故。 為避免廢水處理站的機(jī)電設(shè)備在運(yùn)行中發(fā)生故障，導(dǎo)致水污染事故的發(fā)生， 廢水處理站中的有關(guān)機(jī)電設(shè)備擬采用一用一備方式。工程設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮回流處 理緩沖能力。 廢水處理應(yīng)急措施設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)合理確定工藝參數(shù)，在主要水工建筑物的容 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 8 積上留有緩沖池并配備優(yōu)質(zhì)處理設(shè)備。 3.3 固體廢物、廢液污染對(duì)策建議固體廢物、廢液污染對(duì)策建議 推行清潔生產(chǎn)，實(shí)施廢物減量化是當(dāng)今國(guó)際上工業(yè)污染預(yù)防和企業(yè)推行環(huán) 境保護(hù)工作的趨勢(shì)，符合我國(guó)環(huán)境保護(hù)的現(xiàn)行政策和總體

24、戰(zhàn)略目標(biāo)，是實(shí)行源 頭削減和全過(guò)程控制的主要措施和基本發(fā)展方向。本項(xiàng)目排放的固體廢物、廢 液有 17 種，每年產(chǎn)生 84.86t，其中危險(xiǎn)廢物占了大部分，種類多且量大，一定 要加強(qiáng)管理，并制定減量化計(jì)劃。 4 環(huán)境影響評(píng)價(jià)環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論結(jié)論 4.1 與國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的一致性與國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的一致性 星科金朋集成電路(上海)有限公司的主產(chǎn)品為 8 英寸芯片 0.35 微米集 成電路制作金凸塊，屬于國(guó)家發(fā)改委 2004 年 11 月 30 日公布的第 24 號(hào)令外 商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄確定的鼓勵(lì)類“集成電路設(shè)計(jì)與線寬 0.35 微米及以下大 規(guī)模集成電路生產(chǎn)”和 2005 年 12 月 2 日公布的第

25、 40 號(hào)令2005 年版產(chǎn)業(yè)結(jié) 構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄中確定的鼓勵(lì)類“線寬 1.2 微米以下大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)、制 造”，因此本項(xiàng)目與國(guó)家相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策是相符的。同時(shí)也符合上海市 2003 年修 訂的上海工業(yè)產(chǎn)業(yè)導(dǎo)向及布局指南中鼓勵(lì)類：“一、電子信息產(chǎn)品制造業(yè)” 中的“線寬 0.35 微米以下超大規(guī)模集成電路” 。因此，本項(xiàng)目建設(shè)符合國(guó)家技 術(shù)進(jìn)步和工業(yè)發(fā)展產(chǎn)業(yè)政策要求。 同時(shí)，為 8 英寸芯片 0.35 微米集成電路制作金凸塊的工藝之一氰化金 鉀電鍍，為含氰電鍍工藝，屬于2005 年版產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄中確定的 淘汰類“一、落后生產(chǎn)工藝裝備”中“含氰電鍍工藝（電鍍金、銀、銅基合金及予 鍍銅打底工藝

26、，暫緩淘汰） ”。 要求星科金朋集成電路(上海)有限公司承諾僅過(guò)渡性采用氰化金鉀鍍金工 藝，一旦有成熟的無(wú)氰電鍍工藝出現(xiàn)，星科金朋集成電路(上海)有限公司將立 即無(wú)條件地更換采用無(wú)氰工藝。 4.2 規(guī)劃相容性規(guī)劃相容性 根據(jù)上海市城市總體規(guī)劃 ，上海共設(shè)有 17 個(gè)市級(jí)以上開發(fā)區(qū)，其中松 江試點(diǎn)園區(qū)是其中之一。規(guī)劃要求松江試點(diǎn)園區(qū)西部園區(qū)為微電子產(chǎn)業(yè)基地， 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 9 與張江、金橋、外高橋組成的浦東微電子產(chǎn)業(yè)帶和漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)組成 核心的上海微電子產(chǎn)業(yè)產(chǎn)業(yè)基地，形成軟件設(shè)計(jì)開發(fā)和集成電路生產(chǎn)、封裝、 測(cè)試等完整的產(chǎn)業(yè)鏈，建成全國(guó)規(guī)模最大、技術(shù)領(lǐng)先、世界水平的集成電路生 產(chǎn)和

27、研發(fā)基地。 星科金朋集成電路(上海)有限公司屬于微電子產(chǎn)業(yè)，公司選址符合上海市 工業(yè)向園區(qū)集中的產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃要求，公司的產(chǎn)業(yè)類型與松江試點(diǎn)園區(qū)產(chǎn)業(yè)功 能劃分是相吻合的。 4.3 清潔生產(chǎn)水平清潔生產(chǎn)水平 本項(xiàng)目的產(chǎn)品為經(jīng)電鍍形成金凸塊后的芯片，該芯片 95%應(yīng)用于液晶 顯示器驅(qū)動(dòng) ic 封裝，5%用于智能卡與大眾卡產(chǎn)品。隨著京東方、上廣電、龍 騰、天馬等 tft-lcd 面板廠的建立和在建，對(duì)于 lcd 控制和驅(qū)動(dòng) ic 的需求 數(shù)量激增，電鍍金凸塊后的芯片，是驅(qū)動(dòng) ic 的核心元件，屬于國(guó)家鼓勵(lì)類的產(chǎn) 品。 本項(xiàng)目的生產(chǎn)工藝和設(shè)備是依據(jù)星科金朋母公司工廠的工藝和設(shè)備， 由臺(tái)灣等地引進(jìn)。采用與

28、星科金朋母公司工廠(簡(jiǎn)稱 a 廠)的能源指標(biāo)、廢氣污 染物排放指標(biāo)和廢水污染物排放指標(biāo)進(jìn)行比較。本項(xiàng)目單位芯片上制金凸塊產(chǎn) 品電用量小于 a 廠，純水用量略大于 a 廠。綜合能耗百片芯片金凸塊產(chǎn)品比 a 廠略小，是 a 廠的 94.78%。單位產(chǎn)品廢水量本項(xiàng)目大于 a 廠 11%。單位產(chǎn) 品廢氣排放量與 a 廠相同。單位產(chǎn)品固體廢物產(chǎn)生量少于 a 工廠的產(chǎn)生量。 通過(guò)對(duì)本項(xiàng)目的原材料、產(chǎn)品、資源和污染物產(chǎn)生指標(biāo)的綜合評(píng)價(jià)， 本項(xiàng)目建設(shè)清潔生產(chǎn)程度能達(dá)到清潔生產(chǎn)水平。 4.4 達(dá)標(biāo)排放達(dá)標(biāo)排放 本項(xiàng)目排放的廢氣、廢水污染物采取的各種處理處置措施均為成熟的、可 行的，且預(yù)計(jì)的污染物排放濃度和總量遠(yuǎn)

29、低于排放標(biāo)準(zhǔn)，經(jīng)分析，全部能做到 污染物達(dá)標(biāo)排放。 4.5 污染物總量控制污染物總量控制 本項(xiàng)目建成后，星科金朋集成電路(上海)有限公司將有下列污染物排放， 可作為環(huán)保部門核定排污許可量時(shí)的參考。見表 4-1。 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 10 表表 4-1 星科金朋集成電路星科金朋集成電路(上海上海)有限公司污染物排放量匯總有限公司污染物排放量匯總(t/a) 項(xiàng)目污染物全公司排放量項(xiàng)目污染物全公司排放量 廢水量10325廢金電鍍液0.2 codcr0.788廢鎳電鍍液22 bod50.396廢金蝕刻液22.8 ss0.788廢光阻剝離液29 nh3-n0.066廢光阻液4 氰化物0.06kg汞燈汞

30、燈9 支 pb1.176gti/w 靶材0.24 ni0.001au 靶材0.08 廢水 b0.172tiw 蝕刻槽濾心0.18 排氣量6912 萬(wàn) m3/a顯影機(jī)濾心0.03 氰化氫2.64 kg/a金蝕刻機(jī)濾心0.18 鎳0.18 kg/a金電鍍機(jī)濾心0.03 nmhc24.3 kg/a光阻剝離機(jī)濾心0.006 工藝 廢氣 voc24.3 kg/a含金環(huán)氧樹脂0.27 含氰環(huán)氧樹脂0.27 含鎳環(huán)氧樹脂0.18 固體 廢物 生活垃圾、廚余5.4 星科金朋集成電路(上海)有限公司為新建項(xiàng)目，沒有總量控制指標(biāo)。污染 物排放總量額度將在“三同時(shí)”驗(yàn)收后向市環(huán)保局進(jìn)行申報(bào)。 4.6 環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)環(huán)境風(fēng)

31、險(xiǎn) 根據(jù)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則（hj/t179-2004） 判定，本項(xiàng)目地 處水源保護(hù)區(qū)，環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)等級(jí)為一級(jí)，主要風(fēng)險(xiǎn)源為氰化金鉀等的泄漏。 在廠內(nèi)或正常生產(chǎn)發(fā)生泄漏，因危險(xiǎn)化學(xué)品庫(kù)、儲(chǔ)槽外和電鍍機(jī)外均建有 圍堰，不會(huì)對(duì)黃浦江水源保護(hù)區(qū)造成影響。 如果在化學(xué)品即將運(yùn)入廠區(qū)時(shí)在運(yùn)輸過(guò)程中運(yùn)輸車輛發(fā)生車禍，則泄漏入 河的化學(xué)品會(huì)對(duì)地表水產(chǎn)生污染影響。臺(tái)積電旁的河流為長(zhǎng)興港，與油墩港相 通，長(zhǎng)興港河寬 20m，深 2m；油墩港，寬 100m，深 4-5m；若化學(xué)品落入長(zhǎng)興 港，再經(jīng)油墩港外排(完全稀釋)，則化學(xué)品達(dá)到地表水 ii 類標(biāo)準(zhǔn)時(shí)將污染油墩 港水面長(zhǎng)度氰化金鉀為 160m，顯影液為

32、 80-100m，碘化鉀為 30-40m。 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 11 4.7 公眾意見公眾意見 按照環(huán)境影響評(píng)價(jià)公眾參與暫行辦法環(huán)發(fā)200628 號(hào)要求進(jìn)行公 眾參與，首先在上海熱線上進(jìn)行公示，網(wǎng)絡(luò)公示的頁(yè)面地址為： http:/ 建設(shè)時(shí)，周圍的居民均動(dòng)遷出了工業(yè)區(qū)外，因此，在作了相關(guān)的公示之后，也 采取在網(wǎng)絡(luò)上進(jìn)行公開調(diào)查。網(wǎng)絡(luò)調(diào)查的頁(yè)面地址為 http:/ 2006 年 8 月 3 日 2006 年 9 月 17 日，總訪問(wèn)人數(shù)達(dá) 4170 人，有效調(diào)查問(wèn)卷 92 分。報(bào)告書初 稿完成后，編制報(bào)告書簡(jiǎn)寫本在上海市環(huán)科院網(wǎng)站進(jìn)行 10 天公示。 經(jīng)調(diào)查顯示，項(xiàng)目知曉率為 75%，支持率為

33、73.91，反對(duì)率為 17.39。反對(duì)的原因主要是認(rèn)為國(guó)內(nèi)芯片企業(yè)面臨調(diào)整和競(jìng)爭(zhēng)，行業(yè)遭遇周期 低谷，市場(chǎng)前景不如以前樂觀，因此應(yīng)有所控制。把芯片金凸塊生產(chǎn)和純芯片 生產(chǎn)等同起來(lái)。其次是項(xiàng)目選址位于水源保護(hù)區(qū)，工藝過(guò)程中存在有電鍍，因 此不符合上海市水源保護(hù)法律法規(guī)的要求。 許多公眾提出了很好的建議和一些要求，希望本項(xiàng)目建設(shè)方能夠積極采 納這些建議和要求，在項(xiàng)目建設(shè)時(shí)予以實(shí)施。 a. 加強(qiáng)廢氣和廢水的治理工作，做到安全達(dá)標(biāo)排放，萬(wàn)無(wú)一失；同時(shí)電鍍 廢水必須做到零排放。 b. 加強(qiáng)安全管理，特別是生產(chǎn)工藝中的危險(xiǎn)化學(xué)品和劇毒藥品的管理，杜 絕安全事故發(fā)生。同時(shí)加強(qiáng)新進(jìn)員工的安全培訓(xùn)。 c. 在條

34、件許可的情況下，盡量多招聘本地員工。 4.8 總結(jié)論總結(jié)論 本項(xiàng)目在上海市市級(jí)工業(yè)區(qū)建設(shè)，從美國(guó)、臺(tái)灣引進(jìn)設(shè)備，產(chǎn)品為在 8 英 寸芯片上的集成電路上制作金凸塊，廢氣全部經(jīng)過(guò)處理達(dá)標(biāo)排放，預(yù)測(cè)顯示， 排放的廢氣污染物對(duì)環(huán)境不構(gòu)成污染影響，也不改變當(dāng)?shù)丨h(huán)境質(zhì)量等級(jí)；含氰 廢水、含鎳廢水不僅處理達(dá)標(biāo)，而且微量，納管排放，不排入當(dāng)?shù)氐乇硭?；?中房?jī)?nèi)的設(shè)備噪聲經(jīng)建筑隔聲后不影響廠界噪聲功能區(qū)要求；固體廢物全部作 資源化、無(wú)害化和減量化處置；本項(xiàng)目具有節(jié)能、降耗、污染負(fù)荷低的清潔生 產(chǎn)特征，符合國(guó)家技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策要求的建設(shè)工程。因此，本項(xiàng)目從 上海市環(huán)境科學(xué)研究院 12 環(huán)境上分析是可行的。

35、5 公眾查閱環(huán)境影響報(bào)告書簡(jiǎn)本的方式和期限，以及公眾認(rèn)為必要 時(shí)向建設(shè)單位或者其委托的環(huán)境影響評(píng)價(jià)機(jī)構(gòu)索取補(bǔ)充信息的方式 和期限 在上海市環(huán)科院網(wǎng)站上掛本項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書的簡(jiǎn)寫本。 公眾查閱環(huán)境影響報(bào)告書簡(jiǎn)本的時(shí)間為 10 月 13 日至 10 月 23 日。 公眾認(rèn)為有必要可向上海市環(huán)境科學(xué)研究院索取補(bǔ)充信息，其方式可通過(guò) 電話傳真和 e-mail，截止時(shí)間：10 月 23 日。 6 征求公眾意見的范圍和主要事項(xiàng) 主要征求公眾對(duì)于星科金朋集成電路(上海)有限公司項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告 書簡(jiǎn)寫本中、建設(shè)項(xiàng)目概況；、建設(shè)項(xiàng)目對(duì)環(huán)境可能造成的影響；、 預(yù)防或減輕不良環(huán)境影響的對(duì)策和措施；、環(huán)境影響報(bào)告書提出的環(huán)境影響 評(píng)價(jià)結(jié)論等四方面的意見或看法，對(duì)本項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)工作的建議；對(duì)本次 報(bào)告書簡(jiǎn)寫本公示形式的建議。 7 征求公眾意見的具體形式； 在公眾看到本