無(wú)塵車(chē)間建設(shè)及驗(yàn)收技術(shù)指標(biāo)

1、無(wú)塵室的建設(shè)及驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)一、無(wú)塵室的定義無(wú)塵室( Clean Room)是指空氣無(wú)塵度達(dá)到規(guī)定級(jí)別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害 空氣、細(xì)菌等污染物排除室外，并將室內(nèi)的無(wú)塵度、溫度、濕度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音、 振動(dòng)、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi)。無(wú)塵室最主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的空氣的無(wú)塵度及溫 濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈 化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非 100% 沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆

2、粒相對(duì)于我們常見(jiàn) 的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微，但是對(duì)于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn)，比如光學(xué)行業(yè)而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì) 產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。二、無(wú)塵室的結(jié)構(gòu)組成無(wú)塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成 (在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的 ) ，否則將無(wú)法構(gòu)成一完 整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室：(1) 天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁 (I-Beam 或 U-Beam)、天花板格子梁；(2) 空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車(chē)等； (3) 隔墻板：包括窗戶、門(mén)；(4) 地板：包括高架地板或防靜電舒美地板； (5) 照明器具：包括日光燈、黃色燈管等； 無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造，

3、一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：A. 不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；B. 不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；C.吸濕性小；D. 為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高；以上信息概括為： 組合式 FFU機(jī)組 無(wú)塵送風(fēng)管道 無(wú)塵回風(fēng)管道 送風(fēng)靜壓箱 高效過(guò)濾器 多孔擴(kuò)散板無(wú)塵室吊頂 無(wú)塵室隔斷 高效送風(fēng)口 新風(fēng)口三、無(wú)塵室的等級(jí)1、無(wú)塵室等級(jí)世界各國(guó)均有自定規(guī)格， 但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209為多，以下僅就 209D及 209E和世 界上其它各國(guó)制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。2、209E與 209D等最大的不同在于 209E 表示單位增加了公制單位，無(wú)塵室等級(jí)以 M字頭

4、表示，如M1、M1.5、M2.5、M3. 依此類推，配合國(guó)際公制單位的標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后的阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中=0.5 m的微塵粒子數(shù)目字以 10 的冪次方表示，取指數(shù)為的，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次 方的間，則以 1.5 、2.5 、3.5 . 表示。3、美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) FS 209D 都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以 Class8 表示，最好10 的冪次方，取其指數(shù)而0.1 m微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)的表示法以Class 1 ，Class 2 ，Class 3的等級(jí)為 Class 1，最差則為 Class 8 ，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化

5、為 得。四、無(wú)塵室控管的項(xiàng)目1.4.能除去空氣中飄游的微塵粒子。壓力的調(diào)節(jié)。5.2.能防止微塵粒子的產(chǎn)生。 有害氣體的排除。6.3.溫度和濕度的控制。 結(jié)構(gòu)物與隔間的氣密性。靜電的防制。五、無(wú)塵室之分類7.8.電磁干擾預(yù)防。9.安全因素的考慮。10. 節(jié)能的考量(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵室，并由無(wú)塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地5.1 亂流式 (Turbulent Flow)1,000-100,000 級(jí)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵室內(nèi)之空氣過(guò)濾器板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，無(wú)塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，

6、提高無(wú)塵室等級(jí)。缺點(diǎn)： 亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。 另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活， 欲達(dá)需求之無(wú)塵度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。5.2 層流式 (Laminar)層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其無(wú)塵室等級(jí)為 Class 1100 。其型式 可分為二種：(1) 水平層流式： 水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出， 由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)， 塵埃隨風(fēng)向排出室外， 一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。 缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，

7、室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。(2) 垂直層流式：房間天花板完全以 ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之無(wú)塵度，在制程 中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。5.3 復(fù)合式 (Mixed Type) ：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超無(wú)塵之空氣。(1) 無(wú)塵隧道 (Clean Tunnel) ：以 HEPA或 ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域 100%覆蓋使無(wú)塵度等級(jí) 提高至 10 級(jí)以

8、上， 可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。 此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離， 以避 免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)， ULSI 制程大都采用此種型式。無(wú)塵隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)： A. 彈性擴(kuò)充容易； B. 維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。(2) 無(wú)塵管道 (Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將無(wú)塵度等級(jí)提至100 級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之無(wú)塵度，可節(jié)省能源，不需人工 的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。(3) 并裝局部無(wú)塵室 (Clean Spot) ：將無(wú)塵室等級(jí) 10,000100,000 之亂

9、流無(wú)塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的無(wú) 塵度等級(jí)提高為 101000 級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；無(wú)塵工作臺(tái)、無(wú)塵工作棚、無(wú)塵風(fēng)柜即屬此類。無(wú)塵工作臺(tái)：等級(jí) Class 1100 級(jí)。 無(wú)塵工作棚：為在亂流式之無(wú)塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之無(wú)塵空間，其等級(jí)為101000 級(jí)，高度在 2.5 米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。六、無(wú)塵室氣流之流動(dòng) 無(wú)塵室的無(wú)塵度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、 擴(kuò)散受到氣流的支配。無(wú)塵室系 利用 HEPA、ULPA過(guò)濾空氣 ，其塵埃

10、的收集率達(dá) 99.9799.99995% 之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò) 濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而無(wú)塵室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即 無(wú)法保持無(wú)塵空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。無(wú)塵室內(nèi)的氣流是左右無(wú)塵室性能的重要因素，一般無(wú)塵室的氣流速度是選 0.250.5m/s 之間，此氣 流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持無(wú) 塵度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的無(wú)塵度水準(zhǔn)之時(shí)，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng) 速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。另一方面欲達(dá)到無(wú)塵室無(wú)塵度之穩(wěn)定效果，均一

11、氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無(wú)法保持， 表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高無(wú)塵度事實(shí)上很困難。垂直層流式方向要保持均一氣流必須： (a) 吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異； (b) 地板回風(fēng)板吸入面 之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s ，0.7m/s) 均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而 0.5m/s 之速度，氣流則較均一，目前一般無(wú)塵室，其風(fēng)速均取在 0.250.5m/s 之間。影響無(wú)塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無(wú)塵室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上 方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)

12、于無(wú)塵室空間與隔墻板間距 2/3 之處，如此可使作 業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不 當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作 臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。無(wú)塵室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其附近之無(wú)塵度將會(huì)較差，在 工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流 是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。七、無(wú)塵室工程施工1無(wú)塵室施工應(yīng)在土建工程完成，清潔好現(xiàn)場(chǎng)后進(jìn)行 2無(wú)塵室施工應(yīng)按一定程序進(jìn)行，就避免系統(tǒng)安裝時(shí)的

13、帶塵作業(yè)，安裝高效過(guò)濾器或送風(fēng)末端時(shí)，必須 避免帶塵作業(yè)。3無(wú)塵室施工程序見(jiàn)下圖(其他輔助用房可參照此程序)。 4施工安裝過(guò)程中必須隨時(shí)做好以下記錄(1) 土建隱蔽工程記錄 (2) 管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄 (3) 設(shè)備開(kāi)箱檢查記錄 (4) 管道壓力試驗(yàn)記錄(5) 管道純氣系統(tǒng)吹洗記錄 (6) 風(fēng)管漏風(fēng)檢查記錄 (7) 風(fēng)管清掃記錄 (8) 設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄(9) 系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄 (10) 中間驗(yàn)收單八、無(wú)塵室工程評(píng)定無(wú)塵室工程驗(yàn)收，一般由法人組織驗(yàn)收平定組進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢查?，F(xiàn)場(chǎng)檢查發(fā)現(xiàn)的工程缺陷分為嚴(yán)重缺陷 和一般缺陷：凡關(guān)鍵項(xiàng)目不完整、不齊全的屬嚴(yán)重缺陷；凡一般項(xiàng)目不完整、不齊全的屬一般

14、缺陷。 驗(yàn)收時(shí)不應(yīng)有嚴(yán)重缺陷，一般缺陷比例不超過(guò)檢查項(xiàng)目的20%。如果雖然無(wú)嚴(yán)重缺陷， 但一般缺陷超過(guò) 20%40%，或嚴(yán)重缺陷不超過(guò) 3 項(xiàng)，一般缺陷比例不超過(guò) 20%， 一般會(huì)限期改正。嚴(yán)重缺陷和一般缺陷超過(guò)以上數(shù)值，通過(guò)的可能性就不存在了，只有限期改正，重新檢 測(cè)檢查。九、無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)及驗(yàn)收規(guī)范 無(wú)塵車(chē)間作為一個(gè)“受控環(huán)境”，具有不同于其他建筑工程的特點(diǎn)，盡管任何建筑工程都包括設(shè)計(jì)、 竣工驗(yàn)收、日常維護(hù)等環(huán)節(jié)，但是無(wú)塵車(chē)間還需要通過(guò)調(diào)試、檢測(cè)和綜合評(píng)價(jià)予以確認(rèn)，絕不可草率行事， 匆匆投入運(yùn)營(yíng)。9 1 無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)內(nèi)容有：1. 合理布置工藝流程和建筑平面；2. 選擇滿足無(wú)塵車(chē)間特點(diǎn)的建筑構(gòu)

15、造和材料；3. 無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)應(yīng)依據(jù)當(dāng)時(shí)當(dāng)?shù)氐哪茉垂?yīng)背景，選定可靠和經(jīng)濟(jì)的冷、熱源；4. 劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng)；5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備； 無(wú)論是新建還是重新改造的無(wú)塵車(chē)間，都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。9.2 無(wú)塵車(chē)間各項(xiàng)工程的外觀檢查應(yīng)符合以下要求：1. 各種管道、自動(dòng)滅火裝置及空氣凈化設(shè)備的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密；2. 高、中、初效過(guò)濾器與支撐框架的連接以及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)可靠密封；3. 各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、靈活、操作方便；4. 各種空氣凈化設(shè)備、靜壓箱、通風(fēng)系統(tǒng)等要清洗干凈，確保無(wú)塵；5. 無(wú)塵車(chē)間的內(nèi)墻壁、頂棚表面、地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻、不起灰塵、地板靜

16、電等；6. 送、回風(fēng)口及各類末端裝置、這類管道、照明和動(dòng)力線配管等穿越無(wú)塵車(chē)間時(shí)，穿越處的密封處 理應(yīng)嚴(yán)密可靠；7. 無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的各種刷涂、保溫工程等應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定；9.3 無(wú)塵車(chē)間竣工驗(yàn)收所需文件：1. 設(shè)計(jì)文件、設(shè)計(jì)變更說(shuō)明文件及有關(guān)協(xié)議、竣工圖；2. 主要材料、設(shè)備和調(diào)節(jié)裝置、自動(dòng)控制系統(tǒng)等出廠合格證書(shū)或檢驗(yàn)文件；3. 各項(xiàng)工程質(zhì)量檢驗(yàn)評(píng)定表；4. 開(kāi)工、竣工報(bào)告、土建隱蔽工程系統(tǒng)和管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄、設(shè)備開(kāi)箱檢查記錄、管道壓 力實(shí)驗(yàn)記錄、管道系統(tǒng)吹洗記錄、風(fēng)管檢漏記錄、中間驗(yàn)收單和竣工驗(yàn)收單；5. 無(wú)塵車(chē)間里面的各種設(shè)備性能指標(biāo)記錄9.4 無(wú)塵車(chē)間綜合性能評(píng)價(jià)： 無(wú)塵車(chē)間竣工驗(yàn)收

17、工作完成后，一般應(yīng)由具有相關(guān)資質(zhì)或相關(guān)授權(quán)具有無(wú)塵車(chē)間檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)、擁有先進(jìn) 完備的檢測(cè)儀器、儀表的第三方來(lái)主持無(wú)塵車(chē)間的檢測(cè)工作，承建方、設(shè)計(jì)、施工、監(jiān)管單位應(yīng)在現(xiàn)場(chǎng)配 合，以完成對(duì)無(wú)塵車(chē)間的綜合性能評(píng)價(jià)。9.5 總結(jié) 無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)、施工、安裝、維護(hù)等一定按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織 ISO 14644 的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范進(jìn)行，必 須做到無(wú)塵、無(wú)菌、節(jié)能、防火、安全附、無(wú)塵室國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范1 無(wú)塵室的國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范. 無(wú)塵廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50073-20012. 醫(yī)院無(wú)塵手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范 GB50333-2002. 醫(yī)藥工業(yè)無(wú)塵廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50457-20081)2)3)4). 傳染病醫(yī)院建筑設(shè)計(jì)規(guī)范5)6). 醫(yī)藥工業(yè)無(wú)塵室(區(qū))懸浮粒子的測(cè)試方法GB/T1