寧井班講解真空爐的知識(shí)

1、 寧井班講解真空爐的知識(shí)【經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  19:32:08大家晚上好！請(qǐng)?jiān)试S自我介紹一下：我是來(lái)自連云港市杰達(dá)真空科技有限公司的，免貴姓寧，名井班，之前在一家上市公司做真空生產(chǎn)工藝、技術(shù)設(shè)備管理近20年，比較擅長(zhǎng)真空設(shè)備節(jié)能和環(huán)保技術(shù)創(chuàng)新、改進(jìn)，對(duì)真空新設(shè)備、新技術(shù)特別感興趣?，F(xiàn)在專(zhuān)門(mén)從事真空技術(shù)支持、真空新技術(shù)新設(shè)備推廣、真空設(shè)備系統(tǒng)維護(hù)保養(yǎng)、真空設(shè)備故障處理、真空技術(shù)設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)解決方案、真空設(shè)備全托半托管理、真空設(shè)備節(jié)能環(huán)保改進(jìn)、真空產(chǎn)品推介代理、真空項(xiàng)目咨詢(xún)策劃等與真空行業(yè)相關(guān)的工作。 希望能和大家交朋友，有更多的機(jī)會(huì)向大家交流學(xué)

2、習(xí)！我的電話是 #160;   QQ：2522324488  愿為大家提供力所能及的服務(wù)！【經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  19:33:44今天晚上的真空技術(shù)交流主要和大家分享以下五個(gè)部分：第一部分、真空的基本概念第二部分、真空爐的結(jié)構(gòu)第三部分、真空爐的操作使用第四部分、真空爐的安全注意事項(xiàng)第五部分、真空爐的故障處理【經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  19:34:48第一部分：真空的基本概念1、真空的定義   

3、60;真空是指在給定的空間內(nèi)壓力低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)。2、真空度   處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度單位 通常用托（Torr）為單位，近年國(guó)際上取用帕（Pa）作為單位。 1托1/760大氣壓1毫米汞柱 托與帕的轉(zhuǎn)換 ：1托133.322帕或1帕7.5×10-3托4、流量    單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量，符號(hào)用“Q”表示，單位為帕升/秒（PaL/s）或托升/秒（TorrL/s）。5、流導(dǎo) 

4、;   表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。 UQ/(P2- P1)6、壓力或壓強(qiáng)    氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。真空基礎(chǔ)理論，看起來(lái)枯草無(wú)味，但是深入了解之后，就會(huì)有不一樣的感受！7、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓    壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號(hào)：（Atm）。8、極限真空   真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空

5、度稱(chēng)為極限真空。9、抽氣速率       在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱(chēng)為抽氣速率，簡(jiǎn)稱(chēng)抽速。通常用L/S表示。10真空計(jì)10.1、熱偶真空計(jì)      利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。10.2、電離真空計(jì)（又收熱陰極電離計(jì)）      由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電

6、離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來(lái)測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。10.3、復(fù)合真空計(jì)       由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成，測(cè)量范圍從大氣10-5Pa。10.4、冷陰極電離計(jì) 陽(yáng)極筒的兩端有一對(duì)陰極板，在外加磁場(chǎng)作用，陽(yáng)極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來(lái)測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。10.5、電阻真空計(jì) 利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過(guò)電橋電路來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。10.6、麥克勞真空計(jì)（壓縮式真空計(jì)） 將待測(cè)的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較

7、開(kāi)管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)?！窘?jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  19:53:0911、常見(jiàn)真空泵11.1水環(huán)真空泵泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。11.2、往復(fù)真空泵       利用活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。11.3、油封機(jī)械真空泵       用油來(lái)保持密封的機(jī)械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、

8、余擺線式等。11.4、羅茨真空泵       具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨(dú)抽氣，前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。11.5、渦輪分子真空泵      有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪，當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除。 11.6、油擴(kuò)散真空泵 擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散，并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除。11.7、低溫真空泵 利用20K以下的低溫表面凝

9、聚吸附氣體的真空泵。12、真空系統(tǒng)附件12.1、冷阱（水冷擋板）      置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。12.2、氣鎮(zhèn)閥     油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開(kāi)一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開(kāi)閥并調(diào)節(jié)入氣量，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過(guò)此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門(mén)稱(chēng)為氣鎮(zhèn)閥?！窘?jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  19:56:3013、真空的基本應(yīng)用13.1、真空冷凍干燥&#

10、160;真空冷凍干燥，也稱(chēng)升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。13.2、真空蒸鍍      在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱(chēng)為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。13.3、真空干燥      利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來(lái)干燥物品的方法。13.4、真空熱處理真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù)，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個(gè)大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實(shí)際也屬于氣氛

11、控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的，真空熱處理可以實(shí)現(xiàn)幾乎所有的常規(guī)熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質(zhì)量大大提高。與常規(guī)熱處理相比，真空熱處理的同時(shí)，可實(shí)現(xiàn)無(wú)氧化、無(wú)脫碳、無(wú)滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達(dá)到表面光亮凈化的效果。13.5、真空鑄錠將鋼錠（或其它材料）模置入真空室內(nèi)，鋼水通過(guò)置于真空室蓋子上的中間包注入鋼錠模鑄成鋼錠的鋼液真空處理技術(shù)。也稱(chēng)真空澆注。真空鑄錠是一種滴流真空處理法，中間罐內(nèi)以流束狀下降的鋼液進(jìn)入真空室內(nèi)，由于壓力急劇下降，使流束膨脹，并展開(kāi)成很大的角度以滴流狀降落，使脫氣表面積增大，有利于氣體逸出和促進(jìn)表面反

12、應(yīng)。脫氣程度取決于注速、落下高度和擴(kuò)散角的大小。也取決于鋼液中氣體含量，注口形狀，真空度以及鋼液的流動(dòng)性等因素。真空的應(yīng)用非常廣泛，在地球上，通常是對(duì)特定的封閉空間抽氣來(lái)獲得真空，用來(lái)抽氣的設(shè)備稱(chēng)為真空泵。隨著真空獲得技術(shù)的發(fā)展，真空應(yīng)用日漸擴(kuò)大到工業(yè)和科學(xué)研究的各個(gè)方面。真空應(yīng)用是指利用稀薄氣體的物理環(huán)境完成某些特定任務(wù)。有些是利用這種環(huán)境制造產(chǎn)品或設(shè)備，如燈泡、電子管和加速器等。 真空的應(yīng)用范圍極廣，主要分為低真空、中真空、高真空和超高真空應(yīng)用。低真空是利用低(粗)真空獲得的壓力差來(lái)夾持、提升和運(yùn)輸物料，以及吸塵和過(guò)濾，如吸塵器、真空吸盤(pán) 。  &#

13、160;中真空一般用于排除物料中吸留或溶解的氣體或水分、制造燈泡、真空冶金和用作熱絕緣。如真空濃縮生產(chǎn)煉乳，不需加熱就能蒸發(fā)乳品中的水分。 真空冶金可以保護(hù)活性金屬，使其在熔化、澆鑄和燒結(jié)等過(guò)程中不致氧化，如活性難熔金屬鎢、鉬、鉭、鈮、鈦和鋯等的真空熔煉；真空煉鋼可以避免加入的一些少量元素在高溫中燒掉和有害氣體雜質(zhì)等的滲入，可以提高鋼的質(zhì)量。 高真空可用于熱絕緣、電絕緣和避免分子電子、離子碰撞的場(chǎng)合。高真空中分子自由程大于容器的線性尺寸，因此高真空可用于電子管、光電管、陰極射線管、X 射線管、加速器、質(zhì)譜儀和電子顯微鏡等器件中，以避免分子、電子和離子之間的碰撞。這

14、個(gè)特性還可應(yīng)用于真空鍍膜 ，以供光學(xué)、電學(xué)或鍍制裝飾品等方面使用。 14、真空常用術(shù)語(yǔ)14.1、主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿(mǎn)足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。14.2、前級(jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。14.3粗抽泵：從大氣壓下開(kāi)始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵。14.4維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時(shí)，不能有效地利用前級(jí)泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵，就是維持泵

15、。14.5、真空系統(tǒng) 由真空容器和產(chǎn)生真空、測(cè)量真空、控制真空等的組件組成。14.6、真空機(jī)組由產(chǎn)生真空、測(cè)量真空和控制真空等的組件組成【經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  20:01:57好了！第一部分內(nèi)容就和大家分享到這里！ 【經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  20:03:29如果大家有什么疑問(wèn)可以現(xiàn)在提出，也可以平時(shí)提出都可以！ 下面和大家分享第二部分內(nèi)容不客氣！第二部分、真空爐的結(jié)構(gòu)【經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  20:06:14常規(guī)的真空熱處理爐真空熱處理爐主要由真空室、真空系統(tǒng)、循環(huán)冷

16、卻系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)、加熱控制系統(tǒng)、氣體控制系統(tǒng)、進(jìn)出料系統(tǒng)、報(bào) 警系統(tǒng)、操作系統(tǒng)組成。     真空室由前爐門(mén)、后爐門(mén)、爐體以及隔熱屏、加熱器等組成；     操作系統(tǒng)由控制柜及其附屬件組成；     真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵（分子泵/分子增壓泵）、真空閥等組成；     循環(huán)冷卻系統(tǒng)由循環(huán)水套、管路、換熱器、風(fēng)機(jī)等組成；   

17、60; 溫度控制系統(tǒng)由溫控儀、熱電偶、導(dǎo)線等組成；     真空控制系統(tǒng)由真空計(jì)、電阻規(guī)、冷規(guī)、規(guī)線等組成；     加熱控制系統(tǒng)由磁調(diào)柜及其附屬件組成；     氣體控制系統(tǒng)由氣源、氣體三聯(lián)件、調(diào)壓閥、充氣閥、電接點(diǎn)壓力表組成；     進(jìn)出料系統(tǒng)由料盤(pán)料筐、進(jìn)出爐叉車(chē)等組成；     報(bào)警系統(tǒng)由溫控儀、壓力報(bào)警器、電接點(diǎn)壓力表、壓力變

18、送器、蜂鳴器等組成。上圖是分子增壓泵系統(tǒng)真空退火爐系統(tǒng)這是一臺(tái)立式真空退火爐系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖 這是一臺(tái)臥室真空退火爐 典型的擴(kuò)散泵系統(tǒng)經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  20:14:17      真空熱爐通常由真空室、真空系統(tǒng)、循環(huán)冷卻系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)、加熱控制系統(tǒng)、氣體控制系統(tǒng)、進(jìn)出料系統(tǒng)、報(bào) 警系統(tǒng)、操作系統(tǒng)組成。      真空爐的結(jié)構(gòu)，因不同的行業(yè)，不同的設(shè)備、不同的廠家、不同的工藝、不同的產(chǎn)品，構(gòu)造也不盡相同，需要

19、區(qū)別對(duì)待！ 經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  20:18:08只要爐壓低于一個(gè)大氣壓的都統(tǒng)稱(chēng)為真空爐！ 好的！我們繼續(xù)分享！第三部分、真空爐的操作使用真空爐的操作，不同的行業(yè)，不同的設(shè)備、不同的廠家、不同的工藝、不同的產(chǎn)品，操作方法各有不同，下面是真空設(shè)備的操作過(guò)程僅供參考：1接通循環(huán)水，檢查水壓，壓力表大于0.1MPa，所有進(jìn)水閥門(mén)都處于打開(kāi)的狀態(tài)；  2接通氣動(dòng)氣源，壓力在0.4-0.6MPa中間，中途不能停氣； 3接通高純氣體（N2或Ar2）壓力在0.1-0.8MPa，并確認(rèn)瓶?jī)?nèi)氣體夠本次使用，中途不可以換氣； &#

20、160;4打開(kāi)控制柜內(nèi)總電源空氣開(kāi)關(guān)，然后打開(kāi)控制柜門(mén)上的電源開(kāi)關(guān)，打開(kāi)控制面板，啟動(dòng)設(shè)備； 5工控機(jī)啟動(dòng)到登陸窗口，選擇操作工，請(qǐng)輸入正確的密碼，電腦會(huì)自動(dòng)進(jìn)入到控制窗口；  6打開(kāi)溫度程序控制窗口，新建工藝或打開(kāi)已有的工藝，核查工藝后，使溫度程序處于待命狀態(tài)；  7打開(kāi)爐門(mén)，將工件放入加熱室內(nèi)，然后關(guān)閉爐門(mén)；8啟動(dòng)機(jī)械泵，然后打開(kāi)真空閥； 9啟動(dòng)羅茨泵，當(dāng)真空度小于800帕?xí)r，啟動(dòng)羅茨泵；  10當(dāng)真空度小于10Pa以下時(shí)，啟動(dòng)高真空泵（分子泵、分子增壓泵、低溫泵、擴(kuò)散泵等）； 11當(dāng)達(dá)到工藝所需的真

21、空度時(shí)，啟動(dòng)加熱；  12當(dāng)達(dá)到工藝所需的保溫時(shí)間，保溫結(jié)束后，停止加熱；13.  關(guān)閉高真空泵、閥；14.  關(guān)閉羅茨泵；15.  關(guān)閉前級(jí)泵；16工藝要求需要充入保護(hù)氣體的，可充入氣適當(dāng)?shù)膲毫Φ墓に嚉怏w； 17工藝需要快速冷卻的，啟動(dòng)風(fēng)機(jī)進(jìn)行冷卻；18達(dá)到工藝要求的溫度后，充入氣體，達(dá)到大氣壓力時(shí)打開(kāi)爐門(mén)，取出工件； 19.  送入工件，然后關(guān)閉爐門(mén)，進(jìn)行下一爐生產(chǎn)。 真空爐的操作使用，不僅關(guān)系到設(shè)備的運(yùn)行效率、產(chǎn)品質(zhì)量，操作不當(dāng)或操作不規(guī)范，更會(huì)影響設(shè)備壽命，誘發(fā)設(shè)備故

22、障。 真空爐的操作我們就分享到這里，下面我們繼續(xù)分享下面的內(nèi)容！第四部分、真空爐的安全注意事項(xiàng) 經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  20:26:461、 真空爐的發(fā)熱體用低壓電，但電源電壓仍為380V，操作時(shí)仍需要安全用電。2、 設(shè)備在工作過(guò)程中操作人員不要離開(kāi)，定時(shí)檢查并記錄工作狀態(tài)，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題及時(shí)處理。         3、 設(shè)備在檢查加熱系統(tǒng)或大修時(shí)一定將電源總閘關(guān)閉，并掛好停電檢修的標(biāo)志牌，一定要注意安全，長(zhǎng)期不用也要把電源總開(kāi)關(guān)關(guān)閉。4、 設(shè)備在不使用時(shí)，請(qǐng)將其處于真

23、空狀態(tài)，以免內(nèi)部吸潮或生銹，影響下次使用，設(shè)備溫度將到100度以下方可停水，長(zhǎng)期停用時(shí)，需用壓縮空氣將循環(huán)水吹出來(lái)。  5、真空爐使用時(shí)，應(yīng)確保不漏氣、不漏水。真空爐爐體和爐蓋等的密封是用橡膠件，因此需要用水隔層進(jìn)行冷卻。若水漏到爐膛里時(shí)，爐膛溫度很高，會(huì)引起爆炸。真空爐處理的工件，應(yīng)清洗凈表面油污，同時(shí)避免淬火油槽的油蒸氣進(jìn)入爐膛。這些油蒸氣和空氣混合后將形成爆炸氣氛，一旦有明火或通電時(shí)就會(huì)產(chǎn)生爆炸。所以真空爐裝料后應(yīng)關(guān)閉爐門(mén)，將爐膛抽成真空后，方可通電加熱。6、真空爐在使用過(guò)程中，盡量不要沖入大氣，最好使用純度較高的N2或Ar2，提高純度，減少污染。經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(

24、2522324488)  20:30:17    真空爐的安全操作，首先要保證冷卻水的正常供應(yīng)，其次真空度的保持也很重要，時(shí)刻關(guān)注真空度，防止漏氣；電氣安全檢查是安全操作的前提和保證！關(guān)于真空爐的安全操作就和大家分享到這里！下面繼續(xù)分享！ 第五部分、真空爐的故障處理 真空爐的故障處理，因不同的行業(yè)，不同的設(shè)備、不同的廠家、不同的工藝、不同的產(chǎn)品，處理方法各有不同，下面介紹常見(jiàn)通用的故障處理方法僅供參考： 1、真空閥不開(kāi)1）爐門(mén)信號(hào)開(kāi)關(guān)沒(méi)有閉合，無(wú)信號(hào)輸出。   *將爐門(mén)信號(hào)開(kāi)關(guān)合緊，故障即消失；2）確認(rèn)爐

25、門(mén)信號(hào)開(kāi)關(guān)關(guān)緊，仍無(wú)效;   *爐門(mén)信號(hào)開(kāi)關(guān)損壞及時(shí)更換。3）真空閥電磁閥壞      *更換電磁閥       更換時(shí)注意氣管的方向，切勿裝倒4）氣源壓力不足          *調(diào)整氣源壓力助理】荊州，何遠(yuǎn)軍(124558003)  20:34:15打擾一下寧師傅，第三部分。-16通入氣體，是什么氣體？這是對(duì)寧師傅

26、講解的認(rèn)可。稍后大家暢談?！局怼拷K大豐朱鋒(915289480)  20:34:30講得真不錯(cuò)【經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  20:34:322、旋片泵噴油1） 由于爐門(mén)沒(méi)關(guān)緊，造成機(jī)械泵抽大氣超過(guò)1分鐘而噴油。*補(bǔ)足機(jī)械泵油（從注油口直接注油至刻度線中間）2） 爐門(mén)變形，關(guān)閉不嚴(yán)*調(diào)整爐門(mén)調(diào)整定位螺絲，使?fàn)t門(mén)能關(guān)嚴(yán)3） 爐門(mén)“O”型密封圈老化變形*更換“O”型密封圈或涂真空脂4） 油位太高*放出多余的真空泵油5）真空管道存在壓差   *檢查電磁帶充氣真空閥【助理】

27、江蘇大豐朱鋒(915289480)  20:34:42【經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  20:34:58是高純氮?dú)饣蛘呤菤鍤庵x謝！ 經(jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  20:36:253、高真空閥故障處理技術(shù)A、高閥自動(dòng)關(guān)閉產(chǎn)生原因：壓縮空氣壓力不足          處理方法：恢復(fù)氣體壓力          &#

28、160;前級(jí)真空度波動(dòng)較大                  校對(duì)熱偶規(guī)  B、高真空閥打不開(kāi)   產(chǎn)生原因：1、壓縮空氣壓力不足                  1處理方法：恢復(fù)氣體壓力

29、             2、電磁閥限位故障                    2、調(diào)整電磁閥限位或重新定位             3

30、、電磁閥壞掉                        3、更換電磁閥             4、真空管路存在壓差         &

31、#160;        4、打開(kāi)旁路充氣閥助理】荊州，何遠(yuǎn)軍(124558003)  20:36:59謝謝寧師傅?！窘?jīng)理】杰達(dá)真空科技(2522324488)  20:37:32不客氣！4、高真空閥突然關(guān)閉、時(shí)開(kāi)時(shí)閉的處理技術(shù)    1） 規(guī)管（前級(jí)）數(shù)值顯示小于1pa；           *校準(zhǔn)前級(jí)規(guī)管；

32、0;    2）規(guī)管測(cè)量顯示數(shù)值波動(dòng)太大；           *清洗、校對(duì)規(guī)管     3）氣體壓力不足；           *調(diào)整氣源壓力至0.4-0.6Mpa     4）因放氣量較大，造成氣體不能及時(shí)抽出，出現(xiàn)真空度不足；      *調(diào)整升溫速度，減少集中放氣     5）前級(jí)閥沒(méi)有打開(kāi)；           *電磁閥出現(xiàn)故障，及時(shí)更換      6）前級(jí)真空度低