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1、晶振與晶體的參數(shù)詳解來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng)作者:21ic關(guān)鍵字:晶振MEMS 半導(dǎo)體1. 晶振與晶體的區(qū)別1)晶振是有源晶振的簡(jiǎn)稱,又叫振蕩器。英文名稱是oscillator 。晶體則是無(wú)源晶振的簡(jiǎn)稱,也叫諧振器。英文名稱是crystal.2)無(wú)源晶振(晶體)一般是直插兩個(gè)腳的無(wú)極性元件,需要借助時(shí)鐘電路才能產(chǎn)生振蕩信號(hào)。常見(jiàn)的有 49U 49S封裝。3)有源晶振(晶振)一般是表貼四個(gè)腳的封裝,內(nèi)部有時(shí)鐘電路,只需供電便可 產(chǎn)生振蕩信號(hào)。一般分 7050、5032、3225、2520幾種封裝形式。2. MEMS硅晶振與石英晶振區(qū)別MEM硅晶振采用硅為原材料,采用先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝制造而成。因此在高性能 與
2、低成本方面,有明顯于石英的優(yōu)勢(shì),具體表現(xiàn)在以下方面:1)全自動(dòng)化半導(dǎo)體工藝(芯片級(jí)),無(wú)氣密性問(wèn)題,永不停振。2)內(nèi)部包含溫補(bǔ)電路,無(wú)溫漂,-40 85C全溫保證。3)平均無(wú)故障工作時(shí)間 5億小時(shí)。4)抗震性能25倍于石英振蕩器。5)支持1-800MHZ任一頻點(diǎn),精確致小數(shù)點(diǎn)后5位輸出。6)支持1.8V、2.5V、2.8V、3.3V多種工作電壓匹配。7)支持 10PPM 20PPM 25PPM 30PPM 50PPM等各種精度匹配。8)支持7050、5032、3225、2520所有標(biāo)準(zhǔn)尺寸封裝。9)標(biāo)準(zhǔn)四腳、六腳封裝,無(wú)需任何設(shè)計(jì)改動(dòng),直接替代石英振蕩器。10)支持差分輸出、單端輸出、壓控(V
3、CX0)、溫補(bǔ)(TCXO)等產(chǎn)品種類。11)300%的市場(chǎng)增長(zhǎng)率,三年內(nèi)有望替代80%A上的石英振蕩器市場(chǎng)。3. 晶體諧振器的等效電路上圖是一個(gè)在諧振頻率附近有與晶體諧振器 具有相同阻抗特性的簡(jiǎn)化電路。其中:C1為動(dòng)態(tài)電容也稱等效串聯(lián)電容 ;L1為動(dòng)態(tài)電感也稱等效串聯(lián)電感 ;R1為動(dòng)態(tài)電 阻也稱等效串聯(lián)電阻;C0為靜態(tài)電容也稱等效并聯(lián)電容。這個(gè)等效電路中有兩個(gè)最有用的零相位頻率,其中一個(gè)是諧振頻率(Fr),另一個(gè)是反諧振頻率(Fa)。當(dāng)晶體元件實(shí)際應(yīng)用于振蕩電路中時(shí),它一般還會(huì)與一負(fù)載電容相聯(lián)接,共同作用使晶體工作于 Fr和Fa之間的某個(gè)頻率,這個(gè)頻率由振蕩電路的 相位和有效電抗確定,通過(guò)改變
4、電路的電抗條件,就可以在有限的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)晶體頻率。4. 關(guān)鍵參數(shù)4.1標(biāo)稱頻率指晶體元件規(guī)范中所指定的頻率,也即用戶在電路設(shè)計(jì)和元件選購(gòu)時(shí)所希望的 理想工作頻率。4.2調(diào)整頻差基準(zhǔn)溫度時(shí),工作頻率相對(duì)于標(biāo)稱頻率的最大允許偏離。常用ppm(1/106)表示。4.3溫度頻差在整個(gè)溫度范圍內(nèi)工作頻率相對(duì)于基準(zhǔn)溫度時(shí)工作頻率的允許偏離。常用 ppm(1/106)表示。4.4老化率指在規(guī)定條件下,由于時(shí)間所引起的頻率漂移。這一指標(biāo)對(duì)精密晶體是必要的,但它“沒(méi)有明確的試驗(yàn)條件,而是由制造商通過(guò)對(duì)所有產(chǎn)品有計(jì)劃抽驗(yàn)進(jìn)行連續(xù)監(jiān)督的,某些晶體元件可能比規(guī)定的水平要差,這是允許的”(根據(jù)IEC的公告)。老化問(wèn)題的
5、最好解決方法只能靠制造商和用戶之間的密切協(xié)商。4.5諧振電阻(Rr)指晶體元件在諧振頻率處的等效電阻,當(dāng)不考慮C0的作用,也近似等于所謂晶體的動(dòng)態(tài)電阻 R1或稱等效串聯(lián)電阻(ESR)。這個(gè)參數(shù)控制著晶體元件的品質(zhì)因數(shù),還決定所應(yīng)用電路中的晶體振蕩電平,因而影響晶體的穩(wěn)定性以致是否可以理想的起振。所以它是晶體元件的一個(gè)重要指標(biāo)參數(shù)。一般的,對(duì)于一給定頻率,選用的晶體盒越 小,ESR的平均值可能就越高;絕大多數(shù)情況,在制造過(guò)程中并不能預(yù)計(jì)具體某個(gè)晶 體元件的電阻值,而只能保證電阻將低于規(guī)范中所給的最大值。4.6負(fù)載諧振電阻(RL)指晶體元件與規(guī)定外部電容相串聯(lián),在負(fù)載諧振頻率FL時(shí)的電阻。對(duì)一給定
6、晶體元體,其負(fù)載諧振電阻值取決于和該元件一起工作的負(fù)載電容值,串上負(fù)載電容后的諧振電阻,總是大于晶體元件本身的諧振電阻。4.7負(fù)載電容(CL)與晶體元件一起決定負(fù)載諧振頻率FL的有效外界電容。晶體元件規(guī)范中的CL是一個(gè)測(cè)試條件也是一個(gè)使用條件,這個(gè)值可在用戶具體使用時(shí)根據(jù)情況作適當(dāng)調(diào)整,來(lái)微調(diào)FL的實(shí)際工作頻率(也即晶體的制造公差可調(diào)整)。但它有一個(gè)合適值,否則 會(huì)給振蕩電路帶來(lái)惡化,其值通常采用10pF、15pF、20pF、30pF、50pF、x等,其中當(dāng)CL標(biāo)為*時(shí)表示其應(yīng)用在串聯(lián)諧振型電路中,不要再加負(fù)載電容,并且工作頻 率就是晶體的(串聯(lián))諧振頻率Fr。用戶應(yīng)當(dāng)注意,對(duì)于某些晶體(包括
7、不封裝的振子應(yīng)用),在某一生產(chǎn)規(guī)范既定的負(fù)載電容下(特別是小負(fù)載電容時(shí)),土 0.5pF的電路實(shí)際電容的偏差就能產(chǎn)生土10X 10-6的頻率誤差。因此,負(fù)載電容是一個(gè)非常重要的訂貨規(guī)范指標(biāo)。4.8靜態(tài)電容(C0)等效電路靜態(tài)臂里的電容。它的大小主要取決于電極面積、晶片厚度和晶片加 工工藝。4.9動(dòng)態(tài)電容(C1)等效電路中動(dòng)態(tài)臂里的電容。它的大小主要取決于電極面積,另外還和晶片平 行度、微調(diào)量的大小有關(guān)。4.10動(dòng)態(tài)電感(L1)等效電路中動(dòng)態(tài)臂里的電感。動(dòng)態(tài)電感與動(dòng)態(tài)電容是一對(duì)相關(guān)量。4.11諧振頻率(Fr)指在規(guī)定條件下,晶體元件電氣阻抗為電阻性的兩個(gè)頻率中較低的一個(gè)頻率。根據(jù)等效電路,當(dāng)不考
8、慮CO的作用,F(xiàn)r由C1和L1決定,近似等于所謂串聯(lián)(支路)諧振頻率(Fs)。這一頻率是晶體的自然諧振頻率,它在高穩(wěn)晶振的設(shè)計(jì)中,是作為使 晶振穩(wěn)定工作于標(biāo)稱頻率、確定頻率調(diào)整范圍、設(shè)置頻率微調(diào)裝置等要求時(shí)的設(shè)計(jì)參 數(shù)。Fr =4.12負(fù)載諧振頻率(FL)指在規(guī)定條件下,晶體元件與一負(fù)載電容串聯(lián)或并聯(lián),其組合阻抗呈現(xiàn)為電阻性時(shí)兩個(gè)頻率中的一個(gè)頻率。在串聯(lián)負(fù)載電容時(shí),F(xiàn)L是兩個(gè)頻率中較低的那個(gè)頻率在并聯(lián)負(fù)載電容時(shí),F(xiàn)L則是其中較高的那個(gè)頻率。對(duì)于某一給定的負(fù)載電容值 (CL),就實(shí)際效果,這兩個(gè)頻率是相同的;而且這一頻率是晶體的絕大多數(shù)應(yīng)用時(shí),在電路中所表現(xiàn)的實(shí)際頻率,也是制造廠 商為滿足用戶對(duì)
9、產(chǎn)品符合標(biāo)稱頻率要求的測(cè)試指標(biāo)參數(shù)。十 q)4.13品質(zhì)因數(shù)(Q)品質(zhì)因數(shù)又稱機(jī)械 Q值,它是反映諧振器性能好壞的重要參數(shù),它與L1和C1有如下關(guān)系:Q=wL1/R1=1/wR1C1如上式,R1越大,Q值越低,功率耗散越大,而且還會(huì)導(dǎo)致頻率不穩(wěn)定。反之Q值越高,頻率越穩(wěn)定。4.14 激勵(lì)電平(Level of drive)是一種用耗散功率表示的,施加于晶體元件的激勵(lì)條件的量度。所有晶體元件的頻率和電阻都在一定程度上隨激勵(lì)電平的變化而變化,這稱為激勵(lì)電平相關(guān)性(DLD),因此訂貨規(guī)范中的激勵(lì)電平須是晶體實(shí)際應(yīng)用電路中的激勵(lì)電平。正因?yàn)榫?體元件固有的激勵(lì)電平相關(guān)性的特性,用戶在振蕩電路設(shè)計(jì)和晶體
10、使用時(shí),必須注意和保證不出現(xiàn)激勵(lì)電平過(guò)低而起振不良或過(guò)度激勵(lì)頻率異常的現(xiàn)象。4.15激勵(lì)電平相關(guān)性(DLD)由于壓電效應(yīng),激勵(lì)電平強(qiáng)迫諧振子產(chǎn)生機(jī)械振蕩,在這個(gè)過(guò)程中,加速度功轉(zhuǎn)化為動(dòng)能和彈性能,功耗轉(zhuǎn)化為熱。后者的轉(zhuǎn)換是由于石英諧振子的內(nèi)部和外部的摩擦所造成的。摩擦損耗與振動(dòng)質(zhì)點(diǎn)的速度有關(guān),當(dāng)震蕩不再是線性的,或當(dāng)石英振子內(nèi)部或其表面及安裝點(diǎn)的拉伸或應(yīng)變、位移或加速度達(dá)到臨界時(shí),摩擦損耗將增加。因而引 起頻率和電阻的變化。加工過(guò)程中造成DLD不良的主要原因如下,其結(jié)果可能是不能起振:1)諧振子表面存在微粒污染。主要產(chǎn)生原因?yàn)樯a(chǎn)環(huán)境不潔凈或非法接觸晶片表面;2)諧振子的機(jī)械損傷。主要產(chǎn)生原因
11、為研磨過(guò)程中產(chǎn)生的劃痕。3)電極中存在微?;蜚y球。主要產(chǎn)生原因?yàn)檎婵帐也粷崈艉湾兡に俾什缓线m。4)裝架是電極接觸不良;5)支架、電極和石英片之間存在機(jī)械應(yīng)力。4.16 DLD2(單位:歐姆)不同激勵(lì)電平下的負(fù)載諧振電阻的最大值與最小值之間的差值。(如:從0.1uw200uw,總共 20 步)。4.17 RLD2(單位:歐姆)不同激勵(lì)電平下的負(fù)載諧振電阻的平均值與諧振電阻Rr的值比較接近,但要大一些 。(如:從0.1uw200uw,總共20步)。4.18寄生響應(yīng)所有晶體元件除了主響應(yīng)(需要的頻率)之外,還有其它的頻率響應(yīng)。減弱寄生 響應(yīng)的辦法是改變晶片的幾何尺寸、電極,以及晶片加工工藝,但是同時(shí)會(huì)改變晶體 的動(dòng)、靜態(tài)參數(shù)。寄生響應(yīng)的測(cè)量1) SPDB用DB表示Fr的幅度與最大寄生幅度的差值;2) SPUR在最大寄生處的電阻;3) SPFR最小電阻寄生與諧振頻率的距離,用Hz或ppm表示。5. 晶體振蕩器的分類5.1 Package 石英振蕩器(SPXO)不施以溫度控制及溫度補(bǔ)償?shù)氖⒄袷幤?。頻率溫度特性依靠石英振蕩晶體本 身的穩(wěn)定性。5.2溫度補(bǔ)償石英振蕩器(TCXO)附加溫度補(bǔ)償回路,減少其頻率因周圍溫度變動(dòng)而
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