微納米幾何量計量器具-編制說明

1、附件 2：編 號國家計量技術(shù)法規(guī)項目編制說明項目名稱微納米幾何 量計量器具制定或修訂制定歸口單位全國幾何量長度計量技術(shù)委員會主要起草單位中國計量科學研究院起止年限2020 年 1 月2020 年 12 月2019年11月30 日編制說明根據(jù)國家市場監(jiān)督管理總局計量函【 2019】42 號市場監(jiān)管總局計量司關(guān)于國家計量技術(shù)規(guī)范制定、修訂及宣貫計劃有關(guān)事項通知，受全國幾何量長度計量技術(shù)委員會的委托，由中國計量科學研究院負責制定微納米幾何量計量器具量值傳遞表的工作。隨著科技水平的不斷發(fā)展和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級， 微納米幾何結(jié)構(gòu)的準確計量已經(jīng)成為制約國家重大領域關(guān)鍵部件研發(fā)、 微納米產(chǎn)業(yè)貿(mào)易交接的重要前提。

2、目前，我國在微納米幾何量計量方面尚未形成一套完整的、可覆蓋全量值范圍內(nèi)溯源的體系，相關(guān)規(guī)程也屬空白。由于測量原理不同， 各類微納幾何結(jié)構(gòu)測量儀器測量結(jié)果的一致性難以保障，而產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展和大量計量檢測需求表明， 目前迫切需要建立一套具有完整溯源連條、 覆蓋多種測量原理的微納米幾何量計量器具作為基準， 以滿足全國范圍內(nèi)的微納米幾何量值溯源和傳遞需求。而經(jīng)過多年積累和努力， 中國計量科學研究院在基于各種原理的微納幾何量計量溯源方法、 裝置、量值傳遞路線與知識技術(shù)等方面的積累日趨完善，其中多項計量能力通過了 CMC 的國際同行評審以及 CNAS 認證，在國際比對中也取得了較為滿意的比對結(jié)果，完全具備

3、制定技術(shù)規(guī)范的能力， 建立一套完整的微納米幾何量計量鏈條的時機已經(jīng)逐漸成熟，特此提出本法規(guī)。本計量法規(guī)主要從三個層級規(guī)定了微納米幾何量計量器具的溯源及量值傳遞體系，包括：1. 描述微納米幾何量計量基準及相關(guān)內(nèi)容；2. 描述微納米幾何量計量標準器具及相關(guān)內(nèi)容；3. 描述微納米幾何量工作計量器具及其相關(guān)內(nèi)容；在此基礎上，制定微納米幾何量計量器具溯源系統(tǒng)框圖， 明確量傳關(guān)系、涉及的參量、測量范圍及不確定度。本法規(guī)制定后，將滿足全國范圍內(nèi)的微納米幾何量值溯源和傳遞需求，對于規(guī)范相關(guān)行業(yè)中微納米幾何量測量方法及量傳體系具有約束作用。本法規(guī)既可完善我微納米幾何量量傳體系， 又可滿足相關(guān)行業(yè)的發(fā)展需求， 對于提高我國產(chǎn)品質(zhì)