機(jī)械擴(kuò)散分子泵工作原理

1、油擴(kuò)散泵工作原理|_|油擴(kuò)散泵主要由泵體、擴(kuò)散噴嘴、蒸氣導(dǎo)管、油鍋、加熱器、擴(kuò)散器、冷卻系統(tǒng)和噴射噴嘴等部分 組成(見(jiàn)圖)。當(dāng)油擴(kuò)散泵用前級(jí)泵預(yù)抽到低于1帕真空時(shí)，油鍋可開(kāi)始加熱。沸騰時(shí)噴嘴噴出高速的蒸氣流，熱運(yùn)動(dòng)的氣體分子擴(kuò)散到蒸氣流中，與定向運(yùn)動(dòng)的油蒸氣分子碰撞。氣體分子因此而獲得動(dòng)量，產(chǎn)生 和油蒸氣分子運(yùn)動(dòng)方向相同的定向流動(dòng)。到前級(jí)，油蒸氣被冷凝，釋出氣體分子，即被前級(jí)泵抽走而達(dá)到 抽氣目的。泵油的蒸氣壓直接影響泵的真空性能。但油擴(kuò)散泵所使用的任何泵油，都是蒸氣壓不同的多組分的混合物。因此，要提高油擴(kuò)散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中自身還要對(duì)泵油進(jìn)行分熠( 一、物質(zhì)的分離和提純基本原 理

2、混合物的分離是指用物理、化學(xué)方法將混合物中各組分分開(kāi)，并恢復(fù)到原狀態(tài)，得到比較純的物質(zhì)。物質(zhì)的提純則只要將雜質(zhì)除去即可。物質(zhì)提純的原則為：不增(不引入新的雜質(zhì))、不變、易分離。實(shí)驗(yàn)操作要簡(jiǎn)便，不能繁雜。用化學(xué)方法除去溶液中的雜質(zhì)時(shí)，要想把被分離的物質(zhì)或離子盡可能除凈，需要加入過(guò)量的分離試劑，在多步分離過(guò)程中，后加的試劑應(yīng)能夠把前面所加入的無(wú)關(guān)物質(zhì)或離子除去。二、常用的分離和提純方法1. 過(guò)濾過(guò)濾是除去溶液中混有不溶于溶劑的雜質(zhì)的方法。過(guò)濾時(shí)應(yīng)注意：(1) 一貼：將濾紙折疊好放入漏斗，加少量蒸館水潤(rùn)濕，使濾紙緊貼漏斗內(nèi)壁。(2) 二低：濾紙邊緣應(yīng)略低于漏斗邊緣，加入漏斗中液體的液面應(yīng)略低于濾紙的

3、邊緣。(3) 三靠：向漏斗中傾倒液體時(shí)，燒杯的夾嘴應(yīng)與玻璃棒接觸；玻璃棒的底端應(yīng)和漏斗中有三層濾紙?zhí)庉p輕接觸；漏斗頸的末端應(yīng)與 接受器的內(nèi)壁相接觸，例如用過(guò)濾法除去粗食鹽中少量的泥沙。2. 蒸發(fā)和結(jié)晶 蒸發(fā)是將溶劑氣化、使溶液濃縮從而使溶質(zhì)析出的方法。結(jié)晶是溶質(zhì)從溶液中析出晶體的過(guò)程，可以用來(lái)分離和提純幾種可溶性固體的混合物。加熱蒸發(fā)皿使溶液蒸發(fā)時(shí)，要用玻璃棒不斷攪拌溶液，防止由于局部溫度過(guò)高，造成液滴飛濺。當(dāng)蒸發(fā)皿中出 現(xiàn)較多的固體時(shí)，即停止加熱。結(jié)晶的原理是根據(jù)混合物中各成分在某種溶劑里的溶解度的不同，通過(guò)蒸發(fā)減少溶劑或降低溫度使溶解 度變小，從而使晶體析出。例如用結(jié)晶的方法將NaCl和K

4、NO3分離。3. 蒸館蒸館是提純或分離沸點(diǎn)不同的液體混合物的方法。用蒸館原理進(jìn)行多種混合液體的分離，叫分館。例如將石油蒸館可以得到煤 油、汽油、柴油等等。4. 分液和萃取 分液是把兩種互不相溶、密度也不相同的液體分離開(kāi)的方法。萃取是利用溶質(zhì)在互不相溶的溶劑里的溶解度不同，用一種溶劑把溶質(zhì)從它與另一種溶劑所組成的溶液中提取出來(lái)的方法。萃取和分液經(jīng)常一起使用來(lái)分離物質(zhì)。選擇的萃取劑應(yīng)符合下列要求：(1) 和原溶液中的溶劑互不相溶；(2) 對(duì)溶質(zhì)的溶解度要遠(yuǎn)大于原溶劑；(3) 溶劑易揮發(fā)。在萃取和分液過(guò)程中要注意：(1) 將要萃取的溶液和萃取溶劑依次從上口倒入分液漏斗，其量不能超過(guò)漏斗容積的2/3

5、,塞好塞子進(jìn)行振蕩。(2) 振蕩時(shí)右手捏住漏斗上口的頸部，并用食指根部壓緊塞子，以左手握住旋塞，同時(shí)用手指控制活塞，將漏斗倒轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)用力振蕩。(3) 然后將分液漏斗靜置，待液體分層后進(jìn)行分液，分液時(shí)下層液體從漏斗下口放出，上層液體從上口倒出。三、常見(jiàn)的分離方法選擇1. 對(duì)于固體與固體的混合物：(1) 雜質(zhì)易分解、易升華時(shí)，用加熱法，如碳酸鈉中混有NaHCO3 ;(2) 一種易溶，一種難溶，用過(guò)濾法，如 NaCl中混有泥沙；(3) 二者均易溶，但其溶解度隨溫度的影響不同，用結(jié)晶法，如 NaCl中混有KNO3。2. 液體與液體的混合物：(1) 沸點(diǎn)相差較大時(shí)，用蒸偕法，如酒精與水的分離；(2) 互不

6、混溶時(shí)，用分液法，如四氯化碳與水的混合物的分離；(3) 在互不相溶溶劑中的溶解度不同時(shí)，用萃取法，如用CCI4萃取碘水中的碘。3, 氣體與氣體的混合物：洗氣吸收法。四、常見(jiàn)物質(zhì)分離、提純范例1. 物理方法的范例(1) 溶解、過(guò)濾法MnO2與KCl的分離：采用溶解過(guò)濾法。除去炭粉中雜質(zhì)氧化銅或銅粉中鋅雜質(zhì)，采用鹽酸溶解、過(guò)濾法除雜。(2) 加熱灼燒法氧化銅中混有炭粉，二氧化鎰中混有炭粉采用在空氣中加熱灼燒法除雜。(3) 溶解、結(jié)晶法例如，分離氯化鈉和硝酸鉀可根據(jù)兩種物質(zhì)的含量不同分別采用蒸發(fā)結(jié)晶法或降溫結(jié)晶法。2. 化學(xué)方法的范例(1) 生成氣體法：如除去氯化鈉中碳酸鈉雜質(zhì)，加適量鹽酸。(2)

7、生成沉淀法：如除去氯化鈉溶液中氯化鈣雜質(zhì)，加適量的碳酸鈉溶液。(3) 還原法：如銅粉中有氧化銅雜質(zhì)：在加熱條件下通入足量氫氣或一氧化碳。(4) 正鹽酸式鹽轉(zhuǎn)化法：例如，碳酸鈉溶液中含有碳酸氫鈉雜質(zhì)，向溶液中加入適量的氫氧化鈉，NaHCO3+NaOH=Na2CO3+H2O ;碳酸氫鈉溶液中含有少量碳酸鈉雜質(zhì)：向溶液中通入過(guò)量二氧化碳，Na2CO3+CO2+H2O=2NaHCO3 。(5) 洗氣法：除去下列氣體中的雜質(zhì)，括號(hào)中為雜質(zhì)：CO(CO2):堿溶液；H2(HCl):水或堿溶液;CO2(HCl):飽和碳酸氫鈉溶液； SO2(HCl):飽和亞硫酸氫鈉溶液。(6) 加熱法：除去氮?dú)庵醒鯕猓和ㄟ^(guò)熾

8、熱銅網(wǎng)；除去二氧化碳中 CO,通過(guò)熾熱氧化銅粉末。(7) 干燥法：常見(jiàn)干燥劑有氯化鈣、堿石灰、生石灰和濃硫酸。一般最后一步除去水蒸氣。在實(shí)際應(yīng)用中往往分離或提純一種物質(zhì)要用到多種方法：例如，粗鹽中含有Ca2+、Mg2+、SO42-等雜質(zhì)，提純方法：溶解、依次加入過(guò)量氯化朝溶液、過(guò)量氫氧化鈉溶液、過(guò)量碳酸鈉溶液、過(guò)量鹽酸溶液，蒸發(fā)得到氯化鈉純凈物。再如，空氣中含有 二氧化碳、氧氣依次通過(guò)氫氧化鈉、熾熱銅網(wǎng)最后得到氮?dú)夂拖∮袣怏w等。)和凈化。分熠目的是使高蒸氣壓組分的油不進(jìn)入高真空工作噴嘴(高真空端的噴嘴)；凈化目的是使高蒸氣壓組分的油在工作過(guò)程中不斷為前級(jí)泵 所抽除，使油逐漸趨于純凈.泵油分熠主

9、要是利用泵油各組分的蒸發(fā)溫度不同，使它們分別在不同的鍋爐面積上蒸發(fā)。當(dāng)工作后冷 凝回流的泵油流到有保溫罩部分的泵壁時(shí)，油即得到預(yù)加熱，隨即流到油鍋周邊，經(jīng)鍋底環(huán)形加熱器加熱，輕幅分的油達(dá)到蒸發(fā)溫度便在外層蒸發(fā)而進(jìn)入低真空工作噴嘴(靠近前級(jí)泵的噴嘴)；未能蒸發(fā)的某些輕幅分油也因比重較其他熠分油小而浮到油面上。由于外層蒸氣導(dǎo)管的限制，這部分熠分蒸發(fā)后仍進(jìn)入低真空 工作噴嘴。重熠分的油在外層蒸氣導(dǎo)管中因未達(dá)到蒸發(fā)溫度而未蒸發(fā)，遂從外層由鍋底間的縫隙流到油鍋 中心蒸發(fā)，進(jìn)入高真空工作噴嘴。輕、重熠分的油蒸氣這樣分道供給低真空工作噴嘴和高真空工作噴嘴這 一過(guò)程謂之分熠。從噴射噴嘴噴出的油蒸氣在前級(jí)得不到

10、充分的冷卻，蒸氣中的輕幅分即未能完全冷凝而 被前級(jí)泵抽除。如此循環(huán)工作，泵油中的輕幅分便越來(lái)越少，重熠分的比例則越來(lái)越大，泵油便逐漸趨于 純凈。這一過(guò)程謂之凈化。泵油的分幅和凈化，對(duì)提高泵的極限真空有重要作用。擴(kuò)散泵工作原理(轉(zhuǎn)帖)(2009-06-20 23:13:10)受標(biāo)簽：擴(kuò)散泵 內(nèi)腔 聚苯醍 真空泵 教育來(lái)源：天涯問(wèn)答http:/wenda,作者：浙江過(guò)客在地球大氣層任何地方造成真空要抽掉組成大氣層的分子(主要為氮、氧、二氧化碳，以及常見(jiàn)的約150種污染物).分子的抽取一直要持續(xù)到獲得預(yù)期基本的真空水平。抽取的過(guò)程在此后通常會(huì)繼續(xù)以保持需要的 真空水平進(jìn)行工作。這項(xiàng)工作可能涉及電子顯

11、微鏡、氣相色譜一質(zhì)譜(GC-MS、表面分析、分子束系統(tǒng)、先進(jìn)的材料焊接、大型真空爐，甚至模擬太空環(huán)境.最常見(jiàn)的一種用于高真空應(yīng)用的是油擴(kuò)散真空泵（或者更正確地說(shuō)、蒸氣噴射泵）。油擴(kuò)散真空泵是最早、最可靠的途徑，在25° C能創(chuàng)造10-10 Torr真空或更低。擴(kuò)散泵的首次設(shè)計(jì)要追溯到1915年，發(fā)明者是IrvingLangmuir。原來(lái)是用水銀擴(kuò)散泵液，可以承受的溫度提高了，但缺點(diǎn)是有毒。噴射泵的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)多年的改 進(jìn)和合成液體的進(jìn)步使得更高程度的真空能夠?qū)崿F(xiàn)。雖然測(cè)量氣壓的單位眾多，但 Torr（陶而）卻是最常用 的。在海平面正常的大氣壓下，無(wú)液氣壓計(jì)的水銀柱高 29.92英寸，29

12、.92英寸等于760毫米水銀或760Torr。 為了測(cè)量很高的真空下極低的壓力，也可使用微米（1000微米為1毫米）作單位，因此，真空擴(kuò)散泵實(shí)現(xiàn)了10-3Torr真空也可以說(shuō)已經(jīng)到了 1微米的真空。10-3Torr真空雖已大量抽取出大氣分子，但實(shí)際上在這一水平上真空擴(kuò)散泵剛開(kāi)始運(yùn)作。因?yàn)橛蛿U(kuò)散真空 泵開(kāi)始工作，內(nèi)腔不能有完全的大氣壓。相反，一個(gè)輔助低真空機(jī)械泵（或前置真空泵）能夠少量的抽壓，它首先使油擴(kuò)散真空泵內(nèi)腔壓力減至約10-3Torr。在此時(shí)，油擴(kuò)散真空泵開(kāi)始工作使真空水平保持在10-3和10-10Torr之間。由于真空擴(kuò)散泵不能直接自排氣壓，機(jī)械輔助泵的使用能維持適當(dāng)?shù)呐艍簵l件。雖然在

13、某些應(yīng)用場(chǎng)合，他們已經(jīng)被一些更先進(jìn)設(shè)計(jì)的產(chǎn)品替代，例如低溫泵或離子泵，但真空擴(kuò)散泵仍受 青睞。因?yàn)樗麄冇袔讉€(gè)好處：他們有可靠的而簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)，運(yùn)行無(wú)噪音振動(dòng)，相對(duì)低廉的操作和維修。事 實(shí)上，擴(kuò)散泵仍然是最廉價(jià)的制造高真空環(huán)境的手段。這些泵也容許存在超過(guò)作業(yè)條件的活性粒子和氣體。而這對(duì)其他類型的高真空泵則有很大的破壞作用。體積上，最小的只稍大于一個(gè)咖啡杯。最大的直徑近一 米，高兩米。油擴(kuò)散真空泵，采用不銹鋼內(nèi)腔并含有縱向疊加的錐形噴射口的內(nèi)室。通常有三個(gè)噴射口內(nèi)室其大小逐個(gè) 減小，最大的在底部。在內(nèi)腔的底部是一灘特殊的低蒸汽壓油。油由內(nèi)腔底部下設(shè)的電加熱器加熱煮沸， 氣化的油油向上移，從各個(gè)內(nèi)室的

14、噴射口排出來(lái)。而水通過(guò)在內(nèi)腔外壁的循環(huán)使內(nèi)腔降溫，從而避免熱量 外溢并維持其長(zhǎng)時(shí)間的運(yùn)轉(zhuǎn)。之所以稱它為擴(kuò)散泵的唯一理由是，根據(jù)觀察抽取氣體的分子滲透進(jìn)蒸汽噴口的方式類似于一種氣體擴(kuò)散到另一種氣體里。（"來(lái)源HablanianMH,高真空技術(shù)第二版207頁(yè)”）。從相當(dāng)大直徑的噴射口出來(lái)，高能 油滴以時(shí)速750英里每小時(shí)的速度在內(nèi)室和內(nèi)腔壁之間向下落去。這些油滴已達(dá)到了超音速，但卻沒(méi)有音 爆，主要因?yàn)椴糠终婵諣顟B(tài)下分子間隔太大以至于不能傳導(dǎo)聲能。蒸汽噴口的捕捉率取決于他的密度，速 率和分子量。高速噴口與在碰巧進(jìn)入其內(nèi)部的氣體分子發(fā)生碰撞是由于氣體分子的熱運(yùn)動(dòng)。這通常會(huì)給分 子以向下的動(dòng)力

15、使它們能從泵的排氣口排出從而達(dá)到更高的真空水平。在內(nèi)腔底部，積淀下來(lái)的大氣氣體 分子被輔助泵消除，同時(shí)積淀下來(lái)的油則開(kāi)始又一輪的循環(huán)。分子清除的作用是創(chuàng)造一個(gè)上層部分高真空的內(nèi)腔。而這一部分的高真空正是應(yīng)用中所需要的一比如，用 于電子顯微鏡。為阻止熱量外溢，在內(nèi)腔外壁會(huì)有水從旋管中流動(dòng)來(lái)降溫。在油被蒸發(fā)的內(nèi)腔底部溫度大約處于190° C到280° C之間。油有幾種，分別由硅氧烷、碳?xì)浠衔?、酯、全氟化物，聚苯醍制成。聚苯?(Santovac ? 5)液或油在25多年來(lái)一直是全球的標(biāo)準(zhǔn)，它兼具高分子量， 低反應(yīng)活性和優(yōu)良的蒸汽力等優(yōu)點(diǎn)。泵液的選擇標(biāo)準(zhǔn)包括室溫下的低蒸汽壓力，

16、低毒性，化學(xué)惰性還有蒸 發(fā)的熱量和成本。所有的油在大氣壓下都要有更高的沸點(diǎn)。分子量小的油傾向于在溫度范圍的低端達(dá)到沸 點(diǎn)，而分子量大的聚苯醍(446)則要到230° C和270。C之間才會(huì)沸騰。這已接近溫度范圍的高端。當(dāng)溫 度開(kāi)始上升時(shí)真空內(nèi)腔的自動(dòng)開(kāi)關(guān)會(huì)關(guān)閉泵。因此，在使用聚苯醍的情況下，若開(kāi)關(guān)溫度指示器仍是為輕 質(zhì)油設(shè)置在低溫，那內(nèi)腔就會(huì)自動(dòng)關(guān)閉。各種油也有各種不同的熱分解溫度一油分子在這一溫度時(shí)會(huì)分解并，并與任何存有的氧氣分子結(jié)合。對(duì)于 泵的運(yùn)轉(zhuǎn)來(lái)說(shuō)，油的沸點(diǎn)并不特別重要，但是熱分解很重要。低沸點(diǎn)的油的熱分解溫度相應(yīng)也較低。由于內(nèi)腔本身除了油滴外，沒(méi)有移動(dòng)的部分，因此真空擴(kuò)散泵

17、能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。在各種擴(kuò)散泵中，少量的回流會(huì)發(fā)生。顧名思義，所謂回流就是少量的油會(huì)向相反的方向移動(dòng)，移向泵的入口處進(jìn)入進(jìn)程流-電子顯微鏡和焊接室操作的某個(gè)階段。在一些應(yīng)用中，回流的發(fā)生并無(wú)影響?？墒窃趯?duì)物質(zhì)純度要求苛刻的條 件下，它的發(fā)生是不容許的。有鑒于此，一些系統(tǒng)會(huì)附加一個(gè)液氮低溫冷阱，在油粒進(jìn)入進(jìn)程流之前將其 清除。但多數(shù)時(shí)候使用聚苯醍就可以了，因?yàn)樗母呒兌缺旧砑纯勺畲蟪潭鹊販p少回流。但對(duì)某些敏感場(chǎng) 合，這種方法也不能徹底進(jìn)行保護(hù)。這就是為什么半導(dǎo)體制造商早在幾年前就放棄真空擴(kuò)散泵而轉(zhuǎn)用更加 昂貴的低溫泵和汽輪式分子泵的原因。由于油擴(kuò)散真空泵的目的是通過(guò)清除分子來(lái)創(chuàng)造一個(gè)真空，所以在

18、運(yùn)作時(shí)腔內(nèi)壁必須要保持清潔。建議技 術(shù)員在操作時(shí)戴上手套，因?yàn)樯踔潦且粋€(gè)指印也可能會(huì)要求除去水蒸氣和其他分子。有時(shí)油擴(kuò)散真空泵在 抽真空以降至理想水平時(shí)比平常緩慢，原因可能是內(nèi)壁塑料表面在除濕，或是有其它揮發(fā)性物質(zhì)或是泄露。而這都會(huì)增加泵需要抽取的空氣中的分子。在對(duì)泵分拆進(jìn)行例行維護(hù)清理時(shí)，最后一定要用干燥的氮來(lái)凈 化。擴(kuò)散泵內(nèi)腔不是特別難以分拆，但故障超出日常維修范圍時(shí)工作可能很困難。最壞的情況是發(fā)生大量的氧 氣滲入和熱量升高致使油分解或變質(zhì)。一般這會(huì)發(fā)生在輔助泵失靈或氣缸門(mén)壞了時(shí)，或當(dāng)制冷系統(tǒng)不能正 常工作時(shí)。高溫和高壓的共同作用會(huì)使油燒焦。而產(chǎn)生的膠狀物是很難清理的。但究竟會(huì)發(fā)生什么有賴

19、于 油的品種及其發(fā)生分解的溫度。非硅樹(shù)脂炷類油的分解物最難清理。殘留物很象焦油并且很粘。在盡可能 去除污垢之后，維護(hù)人員可以用砂布清理接著再進(jìn)行廣泛仔細(xì)的液滴爆破(類似于沙子爆破，但對(duì)表面的 損害更小，特別是對(duì)脆弱的鋁制噴射內(nèi)室來(lái)說(shuō))。最后，可用酒精，其他溶劑，肥皂水和除電離子水清理。硅樹(shù)脂制成的油類的殘留物較易于去除。而含有全氟化物的油類卻會(huì)分解形成氟化合物，這種物質(zhì)極具毒 性并對(duì)鋁制的噴射內(nèi)室造成很大傷害。最少污染和破壞性的是聚苯醍，部分原因是它只會(huì)在很高溫度下分 解(350 ° Cvs300° C),即使是分解產(chǎn)生的也是無(wú)毒的分子比如水和二氧化碳。但它的分解通常很難發(fā)

20、生。 在被用于一次特制材料的焊接后，它是如此持久以至于還能被保留下來(lái)用于另一臺(tái)來(lái)替換的擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)示意圖和工作原理2009-02-27 19:33當(dāng)擴(kuò)散泵油被電爐加熱時(shí)，產(chǎn)生油蒸氣沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機(jī)械泵提供的真空Pa）,故油蒸氣流可噴出一長(zhǎng)段距離，構(gòu)成一個(gè)向出氣口方向運(yùn)動(dòng)的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁凝結(jié)為液體流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā)噴射凝結(jié)重復(fù)循環(huán)來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣。由進(jìn)氣口進(jìn)入泵內(nèi)的氣體分子一旦落入蒸氣流中便獲得向下運(yùn)動(dòng)的動(dòng)量向下飛去。由于射流具有高流速（約200m/s）,高的蒸氣密度，且擴(kuò)散泵油分子量大（300500）,故能有效地帶走氣體分子。氣體分子被

21、帶往出口處再由機(jī)械泵抽走。擴(kuò)散泵與機(jī)械泵的工作原理admin 發(fā)表于：2008-5-28 23:41 來(lái)源：機(jī)械企業(yè)網(wǎng)座度|囹機(jī)械泵概念很廣，凡是由于真空泵內(nèi)結(jié)構(gòu)部件機(jī)械運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生真空的都叫機(jī)械泵，下面我就比較具有代表性的油封機(jī)械真空泵即旋片真空泵的原理介紹下：2X系列真空泵為雙級(jí)結(jié)構(gòu)。帶有旋片泵的轉(zhuǎn)子偏心地安裝在圓筒形的定子中，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，裝在轉(zhuǎn)子槽中自由活動(dòng)的旋片由于離心力和彈簧力的作用強(qiáng)力地被向外推出，以它的頂部和定子內(nèi)壁貼緊。這樣定子上的進(jìn)出口被它們隔開(kāi)。被它們所圍的通向進(jìn)口的一部分容積隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而逐漸地并且周期地?cái)U(kuò)大， 同時(shí)通向出口的一部分容積也逐漸地并且周期地減少。這樣空氣或

22、混合氣體首先被高真空級(jí)進(jìn)口吸入，然 后被壓縮，通過(guò)它的排氣閥排出。在工作過(guò)程中當(dāng)排氣壓強(qiáng)不足以推開(kāi)排氣閥時(shí)，高真空級(jí)被壓縮的氣體 只能進(jìn)一步被轉(zhuǎn)送到第二級(jí)，并且最后經(jīng)過(guò)第二級(jí)排氣閥而被排到大氣中去，這樣在泵的吸入口端就獲得 真空。排氣閥都浸在油中，油在泵中循環(huán)流動(dòng)起潤(rùn)滑和密封作用。泵裝有氣鎮(zhèn)閥，當(dāng)被抽氣體中含有少量水蒸氣時(shí)，開(kāi)啟氣鎮(zhèn)閥向泵的排氣腔注入空氣，蒸汽可以和空氣一起排出，而不致在泵中凝結(jié)成水以防止油被凝結(jié)的水乳化，從而延長(zhǎng)泵油的使用壽命。該泵是用來(lái)對(duì)密封容器抽除氣體獲得高真空的基本設(shè)備，可單獨(dú)使用，也可作為前級(jí)泵。可用于真空冶煉、真空焊接、真空澆鑄、真空干燥以及化工制藥，電真空器件等工

23、業(yè)的真空作業(yè)。可在環(huán)境溫度5oC-40oC范圍內(nèi)和進(jìn)口壓強(qiáng)小于 1330pa的條件下，允許長(zhǎng)時(shí)期連續(xù)工作。不適用于抽除含氧過(guò)高的、有毒的、有爆炸性的，對(duì)金屬有腐蝕作用的、對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的，以及含有 顆粒塵埃的氣體，也不適于把氣體從一個(gè)容器輸送到另一個(gè)容器作輸送泵用。在6650pa到大氣壓的進(jìn)口壓強(qiáng)下的連續(xù)工作時(shí)間，不得超過(guò)3min以免噴油或潤(rùn)滑不良引起泵損。該系列真空泵可單獨(dú)使用，亦可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵及鈦泵的前級(jí)泵使用，沒(méi)有氣鎮(zhèn)閥時(shí)，可抽 送適量的可凝性氣體、濕空氣或氣水混合氣體，但介質(zhì)中不能含有顆粒狀固體物質(zhì)。型號(hào):2X-2/2X-4/2X-8/2X-15/2X-30/2X-70

24、極限分壓強(qiáng)（Pa） : < 6X1-2極限全壓強(qiáng)（Pa） : < 1抽氣速率（L/s） ： 2-70電機(jī)功率（kW） : 0.37-5.5葉片泵的工作原理及結(jié)構(gòu)發(fā)布時(shí)間：2008-9-27 10:01:59被閱覽數(shù)：919次 來(lái)源： 轉(zhuǎn)文字 K大中小1（一）雙葉片泵的工作原理1. 定子（內(nèi)腔型線）:1）兩段長(zhǎng)半徑圓弧2）兩段短半徑圓弧3）四段過(guò)渡曲線2. 轉(zhuǎn)子：有若干葉槽，內(nèi)有葉片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，葉片受離心力及液壓力作用下，外頂定子內(nèi)壁，并在槽內(nèi)往復(fù)滑動(dòng)。3. 配油盤(pán)：在定子和轉(zhuǎn)子兩側(cè)，盤(pán)上有兩對(duì)吸、排口，在定子、轉(zhuǎn)子、葉片和配油盤(pán)之間形成若干個(gè)工作空間。葉片由短轉(zhuǎn)向長(zhǎng)半徑時(shí)，葉片間V增

25、大，P降低，經(jīng)配油盤(pán)吸油。葉片由長(zhǎng)向短半徑時(shí) ，葉片間V減小，經(jīng) 配油盤(pán)的排出口排油。當(dāng)葉片位于密封區(qū)時(shí) ，正好將吸、排口隔開(kāi)，葉片間 V不變，沒(méi)有困油問(wèn)題。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn) 一周，每工作V都吸、排兩次（雙作用泵）。（二）單作用葉片泵的工作原理定子內(nèi)腔型線是圓，轉(zhuǎn)子軸與定子偏心。逆時(shí)針回轉(zhuǎn)時(shí)，工作 V右半轉(zhuǎn)增大，左半轉(zhuǎn) V減小。從兩側(cè)配 油盤(pán)的吸、排口吸排油。兩相鄰葉片轉(zhuǎn)到吸、排油口間的密封區(qū)時(shí)，所接觸定子曲線不是與轉(zhuǎn)子同心的圓弧。密封區(qū)的圓心角略大 于相鄰葉片所占圓心角。葉間工作V先略有增大，然后略有縮小，會(huì)產(chǎn)生困油現(xiàn)象，但不太嚴(yán)重。通過(guò)在排出口邊緣開(kāi)三角形卸荷 槽的方法即可解決。定子、轉(zhuǎn)子和軸承受徑

26、向力作用，屬非卸荷式葉片泵。工作P不宜太高，Q的均勻性也比雙作用差。移動(dòng)定子可改變偏心的方向及大小，可做成n恒定而Q可變的雙向或單向的無(wú)級(jí)變量泵。其中用得較多的是限壓式變量葉片泵。（三）內(nèi)反饋限壓式變量葉片泵3_3_213.gif （12.47 KB）2008-8-29 13:38作用力Fx配油盤(pán)中線相對(duì)于定子中線順轉(zhuǎn)向偏轉(zhuǎn)了。角。排油p對(duì)定子的作用力F便在定子中線方向產(chǎn)生分力Fxo當(dāng)Fx小于補(bǔ)償器彈簧預(yù)緊力時(shí)：1）定子與轉(zhuǎn)子的偏心距保持最大值2）泵的Q隨排出p增加而稍有降低，如特性曲線中 AB段所示當(dāng)排壓大于PB時(shí)，F(xiàn)x增大使定子向減小e的向移動(dòng)，泵的 Q即隨排壓增加而迅速降低。當(dāng)升到 Pc

27、時(shí)，e減小，Qt=漏泄量，則 Q=0，有Pmaxo調(diào)節(jié)螺釘6和3，增大彈簧預(yù)緊力，PB, Pc增大，特性曲線BC段右移。彈簧剛度越小，則BC段越陡，Pc 與PB,越接近。螺釘3可變泵的最大e,而改變Qmax, AB段就上下平移。內(nèi)反饋限壓式變量泵只能單向變量。（四）葉片泵的結(jié)構(gòu)3_3_314.gif （17 KB）2008-8-29 13:38圖2 19示出典型的雙作用葉片泵的結(jié)構(gòu)。定子和左、右配油盤(pán)裝在泵體中，用圓柱銷定位，右配油盤(pán)背后的槽e通排油腔，轉(zhuǎn)子通過(guò)花鍵帶動(dòng)，傳動(dòng)軸由滾針軸承和球軸承支承。下面介紹雙作用葉片泵結(jié)構(gòu)的主要部分：定子過(guò)渡曲線必須設(shè)計(jì)成使葉片在葉槽中移動(dòng)速度的變化盡可能小

28、，以免產(chǎn)生太大的慣性力，導(dǎo)致葉片與定子的脫離或沖擊。為使葉片在吸入?yún)^(qū)能貼緊定子，雙作用葉片泵一般使葉片底部與排出油腔相通，配油盤(pán)端面環(huán)槽C有小孔與排出腔相通單作用葉片泵由于葉片在轉(zhuǎn)過(guò)吸入?yún)^(qū)時(shí)向外伸出的加速度較小，單靠離心力即足以保證葉片貼緊定子。雙作用泵的葉片數(shù) Z應(yīng)取偶數(shù)，保證轉(zhuǎn)子徑向力平衡。配油盤(pán)：1. 吸入口流速不能太高，否則，流動(dòng)阻力太大，在吸油時(shí)就可能產(chǎn)生氣穴現(xiàn)象。2. 右盤(pán)通排油腔。左盤(pán)的對(duì)應(yīng)位置上也開(kāi)有不通的排口（盲孔），（c）,使葉片兩側(cè)受力平衡。3. 盤(pán)上密封區(qū)的圓心角 £必須 > =兩葉片之間的圓心角 2p/Z, （d）,否則會(huì)使吸、排口溝通4. 而定子圓弧段的圓心角應(yīng)大于或等于&以免產(chǎn)生困油現(xiàn)象。5. 盤(pán)上三角節(jié)流槽，使相鄰葉片間的工作空間在從密封區(qū)轉(zhuǎn)入排出區(qū)時(shí)，能逐漸地與排出口相溝通，以免P 驟增，造成液擊和噪聲，并引起瞬時(shí)流量的脈動(dòng)。渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)和工作原理學(xué)習(xí) 2009-09-08 22:12 閱讀 105 評(píng)論 0字號(hào)：大中小來(lái)源:真空技術(shù)網(wǎng) 日期:2009-6-8 訪問(wèn):208利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。渦輪分 子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，無(wú)油蒸氣污染或