光電探測(cè)器及應(yīng)用_第1頁(yè)
光電探測(cè)器及應(yīng)用_第2頁(yè)
光電探測(cè)器及應(yīng)用_第3頁(yè)
已閱讀5頁(yè),還剩8頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶(hù)提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、要正確選擇光電探測(cè)器,首先要對(duì)探測(cè)器的原理和參數(shù)有所了解。1. 光電探測(cè)器光電二極管和普通二極管一樣, 也是由 PN 結(jié)構(gòu)成的半導(dǎo)體, 也具有單方向?qū)щ娦?,但是在電路中它不作為整流元件,而是把光信?hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)的光電傳感器件。普通二極管在反向電壓工作時(shí)處于截止?fàn)顟B(tài),只能流過(guò)微弱的反向電流,光電二極管在設(shè)計(jì)和制作時(shí)盡量使 PN 結(jié)的面積相較大, 以便接收入射光。光電二極管在反向電壓工作下的,沒(méi)有光照時(shí),反向電流極其微弱,叫暗電流;有光照時(shí),反向電流迅速增加到幾十微安,稱(chēng)為光電流。光的強(qiáng)度越大,反向電流也越大。光的變化引起光電二極管電流變化,這就可以把光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào),稱(chēng)為光電傳感器件。2. 紅

2、外探測(cè)器光電探測(cè)器的應(yīng)用大多集中在紅外波段,關(guān)于選擇紅外波段的原因在這里就不再冗余了,需要特別指出的是60 年代激光的出現(xiàn)極大地影響了紅外技術(shù)的發(fā)展,很多重要的激光器件都在紅外波段,其相干性便于移用電子技術(shù)中的外差接收技術(shù),使雷達(dá)和通信都可以在紅外波段實(shí)現(xiàn),并可獲得更高的分辨率和更大的信息容量。在此之前, 紅外技術(shù)僅僅能探測(cè)非相干紅外輻射,外差接收技術(shù)用于紅外探測(cè),使探測(cè)性能比功率探測(cè)高好幾個(gè)數(shù)量級(jí)。另外, 由于這類(lèi)應(yīng)用的需要,促使出現(xiàn)新的探測(cè)器件和新的輻射傳輸方式,推動(dòng)紅外技術(shù)向更先進(jìn)的方向發(fā)展。紅外線(xiàn)根據(jù)波長(zhǎng)可以分為近紅外,中紅外和遠(yuǎn)紅外。近紅外指波長(zhǎng)為 0.75 3 微米的光波,中紅是指

3、 3 20 微米的光波,遠(yuǎn)紅外是指 20 1000 微米的波段。但是由于大氣對(duì)紅外線(xiàn)的吸收,只留下三個(gè)重要的窗口區(qū),即 1 3,3 5 和 8 14 可以讓紅外輻射通過(guò)。因?yàn)橛羞@三個(gè)窗口,所以可以被應(yīng)用到很多方面,比如紅外夜視,熱紅外成像等方面。紅外探測(cè)器的分類(lèi):按照工作原理可以分為:紅外紅外探測(cè)器,微波紅外探測(cè)器,玻璃破碎紅外測(cè)器,振動(dòng)紅外探測(cè)器, 激光紅外探測(cè)器, 超聲波紅外探測(cè)器, 磁控開(kāi)關(guān)紅外探測(cè)器, 開(kāi)關(guān)紅外探測(cè)器,視頻運(yùn)動(dòng)檢測(cè)報(bào)警器,聲音探測(cè)器等。按照工作方式可以分為:主動(dòng)式紅外探測(cè)器和被動(dòng)式紅外探測(cè)器。被動(dòng)紅外探測(cè)器是感應(yīng)人體自身或外界發(fā)出的紅外線(xiàn)的。 主動(dòng)式紅外探測(cè)器一般為對(duì)射

4、,紅外柵欄等,是探測(cè)器本身發(fā)射紅外線(xiàn)。按照探測(cè)范圍可以分為:點(diǎn)控紅外探測(cè)器,線(xiàn)控紅外探測(cè)器,面控紅外探測(cè)器,空間防范紅外探測(cè)器。點(diǎn)源是探測(cè)元是一個(gè)點(diǎn)。用于測(cè)試溫度,氣體分析和光譜分析等線(xiàn)陣是幾個(gè)點(diǎn)排成一條線(xiàn)。用于光譜分析等面陣是把很多個(gè)點(diǎn)源放在儀器上形成一個(gè)面。主要用于成像。四象限是把一個(gè)點(diǎn)源分成四個(gè)象限。用于定位和跟蹤。按照制冷方式可以分為:制冷和非制冷。(后面有詳細(xì)介紹)3.紅外探測(cè)器的參數(shù)與特性響應(yīng)率:所謂紅外探測(cè)器的響應(yīng)率就是其輸出電壓與輸入的紅外輻射功率之比。即:R=Us/P。式中 R 響應(yīng)率 (V/W) ;Us 輸出電壓 (V) ; P 紅外輻射功率 (W) 。響應(yīng)率與光源的相對(duì)光

5、譜分布、入射光的方向和偏振性、入射光的強(qiáng)度、輻照的均勻度、器件的溫度以及測(cè)試線(xiàn)路等有關(guān)。因此,在標(biāo)記響應(yīng)率時(shí),需要注明測(cè)試條件。響應(yīng)波長(zhǎng)范圍:紅外探測(cè)器的響應(yīng)率與入射輻射的波長(zhǎng)有一定的關(guān)系,如上圖所示:曲線(xiàn) 1 表示在測(cè)量范圍內(nèi), 響應(yīng)率 R 與波長(zhǎng) 無(wú)關(guān)。曲線(xiàn) 2 表示響應(yīng)率 R 與波長(zhǎng) 有一定關(guān)系, 在測(cè)量范圍內(nèi) p處出現(xiàn)一個(gè)響應(yīng)率的最大值, 在 p的短波方面, 響應(yīng)率緩慢下降,而在其長(zhǎng)波方面,則響應(yīng)率快速的下降為零。我們把下降到峰值的一半所在的波長(zhǎng)c叫做“截止波長(zhǎng)”,或者叫響應(yīng)的“長(zhǎng)波限”。響應(yīng)時(shí)間:當(dāng)光入射輻射到光電探測(cè)器后或入射輻射遮斷后, 光電探測(cè)器的輸出上升到穩(wěn)定值或下降到照射前

6、的值所需的時(shí)間。噪聲等效功率(NEP)若投射到探測(cè)器上的紅外輻射功率所產(chǎn)生的輸出電壓正好等于探測(cè)器本身的噪聲電壓均方根,這個(gè)輻射功率就叫做噪聲等效功率 (Noise Equivalence Power) 。噪聲等效功率是一個(gè)可測(cè)量的量。NEP=Pmin= Un/R=P/Us/U nP 入射輻射功率U s輸出信號(hào)電壓U n 輸出噪聲電壓均方根R 響應(yīng)率探測(cè)率(D)探測(cè)率就是探測(cè)器能探測(cè)的最小輻射功率(NEP)的倒數(shù)。是衡量探測(cè)器探測(cè)能力的參數(shù)。它表示單位入射輻射功率所產(chǎn)生的信噪比,當(dāng)然,D值越大,表示器件的探測(cè)性能越好。D的單位是 W-1 .任何探測(cè)器都有噪聲,比噪聲起伏平均值更小的信號(hào)實(shí)際上檢

7、測(cè)不出來(lái)。產(chǎn)生如噪聲那樣大的信號(hào)所需的輻射功率,稱(chēng)為探測(cè)器能探測(cè)的最小輻射功率,或稱(chēng)等效噪聲功率。 有時(shí)用探測(cè)率描述探測(cè)器的靈敏度。歸一化探測(cè)率 (D*)由于 D表示的探測(cè)率涉及器件的面積和工作帶寬兩個(gè)因素,這樣不便于對(duì)不同面積和工作帶寬的器件進(jìn)行比較,為此引入歸一化探測(cè)率D* ,其值是式中 A 為器件接受面積,f為工作帶寬。制冷方式1)、利用相變制冷即利用制冷工作物質(zhì)相變吸熱效應(yīng),如使用灌注式杜瓦瓶的液氮、液氫等的制冷;有液態(tài)致冷和固態(tài)致冷兩種。液態(tài)循環(huán)致冷目前廣泛用于試驗(yàn)室測(cè)量和民用紅外系統(tǒng)。固態(tài)致冷系統(tǒng)主要用于航天工業(yè),儲(chǔ)存的固態(tài)冷卻劑根據(jù)質(zhì)量和體積,使用時(shí)間可為1 至 3 年或更長(zhǎng)。2

8、)、利用焦耳 - 湯姆遜效應(yīng)制冷即當(dāng)高壓氣體的溫度低于本身的轉(zhuǎn)換溫度并通過(guò)一個(gè)很小的節(jié)流孔時(shí),氣體的膨脹會(huì)使溫度下降。如焦- 湯制冷器,特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性高、質(zhì)量輕、體積小、無(wú)振動(dòng)、無(wú)運(yùn)動(dòng)部件、噪聲小、成本低、致冷速度快,致冷時(shí)間通常只需15 60s(秒)。焦- 湯致冷技術(shù)又稱(chēng)節(jié)流式致冷技術(shù),是 1950 年代發(fā)明的, 絕大多數(shù)情況下使用開(kāi)環(huán)式致冷器,但仍有采用高壓壓縮機(jī)的閉式節(jié)流制冷器。 早期系統(tǒng)由逆流式熱交換機(jī)、 節(jié)流孔和裝有高壓氣體的貯氣瓶組成。 為了控制氣體消耗量, 國(guó)外對(duì)節(jié)流制冷器作了些改進(jìn), 設(shè)計(jì)了自調(diào)式制冷器?,F(xiàn)在國(guó)外生產(chǎn)的焦 - 湯系統(tǒng)幾乎都配備了這種自調(diào)機(jī)構(gòu)。國(guó)外多將該技

9、術(shù)用于紅外制導(dǎo)、手持式熱像儀、車(chē)載熱像儀、反坦克導(dǎo)彈熱瞄具等。3)、利用氣體的等熵(shang)膨脹制冷即氣體在等熵膨脹時(shí),借膨脹機(jī)的活塞向外輸出機(jī)械功,膨脹后氣體的內(nèi)位能要增加,從而要消耗氣體本身的內(nèi)功能來(lái)補(bǔ)償,致使膨脹后溫度顯著降低。如斯特林閉循環(huán)制冷器,其特點(diǎn)是功耗低、尺寸小、質(zhì)量輕。斯特林致冷技術(shù)已經(jīng)有50 年發(fā)展歷史,在軍事上應(yīng)用最廣泛。首先出現(xiàn)的是整體式結(jié)構(gòu),即壓縮活塞和膨脹活塞用一連桿以機(jī)械方式連為一體。整體式結(jié)構(gòu)容易產(chǎn)生熱和振動(dòng)影響制冷部分。 針對(duì)系統(tǒng)存在的不足,國(guó)外也作了些改進(jìn)。首先,自 1972 年以來(lái), 有了顯著發(fā)展,由美國(guó)休斯飛機(jī)公司研制出分置式斯特林制冷器,將壓縮機(jī)和

10、膨脹器分開(kāi)安置,中間用一根軟管相連。 這種結(jié)構(gòu)不僅克服了早期整體式制冷器的缺點(diǎn),還保持了原有系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、效率高、啟動(dòng)快等優(yōu)點(diǎn),因此頗受?chē)?guó)外用戶(hù)重視,發(fā)展較快。其次,為了克服原有電機(jī)/ 曲軸這種動(dòng)態(tài)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的磨損而影響壽命,荷蘭飛利浦研究所于1968 年開(kāi)始研制用線(xiàn)性電機(jī)驅(qū)動(dòng)線(xiàn)性諧振壓縮機(jī)的斯特林機(jī)。迄今為止,線(xiàn)性諧振斯特林機(jī)的發(fā)展已經(jīng)經(jīng)歷了三代4)、利用帕爾帖效應(yīng)制冷即用 N型半導(dǎo)體和P 型半導(dǎo)體作用偶對(duì),當(dāng)有直流電通過(guò)時(shí)電偶對(duì)一端發(fā)熱,另一端變冷,如熱電制冷器, 又稱(chēng)為半導(dǎo)體或溫差電制冷器。熱電探測(cè)器的主要優(yōu)點(diǎn)是:全固態(tài)化器件、結(jié)構(gòu)緊湊、壽命長(zhǎng);無(wú)運(yùn)動(dòng)部件,不產(chǎn)生噪音;不受環(huán)境影響;可靠性

11、高。缺點(diǎn)是制冷器的性能系數(shù)( COP)較低,致冷量小,效率低;目前熱電制冷器主要用于手持式熱像儀,此外還可用于其它一些觀(guān)瞄系統(tǒng)。5)、利用物體之間的熱輻射交換制冷如在外層空間利用外層宇宙的高真空, 深低溫來(lái)制冷。 它的顯著特點(diǎn)是無(wú)運(yùn)動(dòng)部件、 長(zhǎng)壽命、功耗小、無(wú)振動(dòng)干擾。缺點(diǎn)是對(duì)軌道和衛(wèi)星的構(gòu)形有要求,對(duì)環(huán)境要求嚴(yán)格,入軌后需經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的加熱放氣后才能工作。6)、脈管致冷技術(shù)1963 年由美國(guó)低溫專(zhuān)家發(fā)明,直到 1984 年前蘇聯(lián)米庫(kù)林教授對(duì)基本型脈管做了重大改進(jìn)后,使其向?qū)嵱眠~進(jìn)關(guān)鍵性一步。脈管實(shí)際上是斯特林的變體,膨脹機(jī)內(nèi)無(wú)需運(yùn)動(dòng)部件,結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單可靠,且易于裝配和控制振動(dòng)。目前其機(jī)理仍在探

12、索中,未來(lái)將成為斯特林機(jī)強(qiáng)有力的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手,特別是在長(zhǎng)壽命機(jī)型中更是如此。目前實(shí)驗(yàn)室常用的是熱電制冷和液氮制冷,而外場(chǎng)比較常用的是熱電制冷和斯特林制冷,其余制冷方式由于種種原因沒(méi)有得到廣泛使用。4紅外探測(cè)器的主要應(yīng)用(一)在測(cè)溫方面的應(yīng)用一、工作原理一切溫度高于絕對(duì)零度( - 273) 的物體都在不停地向周?chē)臻g發(fā)出紅外輻射能量。物體的紅外輻射能量的大小及其按波長(zhǎng)的分布與它的表面溫度有著十分密切的關(guān)系。因此,通過(guò)對(duì)物體自身輻射的紅外能量的測(cè)量,便能準(zhǔn)確地測(cè)定它的表面溫度,這就是紅外輻射測(cè)溫所依據(jù)的客觀(guān)基礎(chǔ)。物體發(fā)射率對(duì)輻射測(cè)溫的影響:自然界中存在的實(shí)際物體,幾乎都不是黑體。所有實(shí)際物體的輻射量除

13、依賴(lài)于輻射波長(zhǎng)及物體的溫度之外,還與構(gòu)成物體的材料種類(lèi)、制備方法、熱過(guò)程以及表面狀態(tài)和環(huán)境條件等因素有關(guān)。因此,為使黑體輻射定律適用于所有實(shí)際物體,必須引入一個(gè)與材料性質(zhì)及表面狀態(tài)有關(guān)的比例系數(shù),即發(fā)射率。 該系數(shù)表示實(shí)際物體的熱輻射與黑體輻射的接近程度,其值在零和小于1 的數(shù)值之間。 根據(jù)輻射定律, 只要知道了材料的發(fā)射率,就知道了任何物體的紅外輻射特性。影響發(fā)射率的主要因素在:材料種類(lèi)、表面粗糙度、理化結(jié)構(gòu)和材料厚度等。當(dāng)用紅外輻射測(cè)溫儀測(cè)量目標(biāo)的溫度時(shí)首先要測(cè)量出目標(biāo)在其波段范圍內(nèi)的紅外輻射量,然后由測(cè)溫儀計(jì)算出被測(cè)目標(biāo)的溫度。單色測(cè)溫儀與波段內(nèi)的輻射量成比例;雙色測(cè)溫儀與兩個(gè)波段的輻射

14、量之比成比例。紅外測(cè)溫儀由以下四個(gè)部分組成,即光學(xué)系統(tǒng)、 光電探測(cè)器、 信號(hào)放大器及信號(hào)處理和顯示輸出。 光學(xué)系統(tǒng)收集目標(biāo)的輻射能,并將它聚焦在探測(cè)器上(探測(cè)器置于光學(xué)系統(tǒng)的象平面上),視場(chǎng)的大小由測(cè)溫儀的光學(xué)零件以及位置決定。紅外能量聚焦在光電探測(cè)儀上并轉(zhuǎn)變?yōu)橄鄳?yīng)的電信號(hào)。 該信號(hào)經(jīng)過(guò)放大器和信號(hào)處理電路按照儀器內(nèi)部的算法和目標(biāo)發(fā)射率校正后轉(zhuǎn)變?yōu)楸粶y(cè)目標(biāo)的溫度值。紅外測(cè)溫儀方塊圖探測(cè)器類(lèi)型的選擇與測(cè)溫儀的工作波段有關(guān)。 選擇工作波段的原則是: 在所選工作波段內(nèi)目標(biāo)輻射功率大、 發(fā)射率較高、大氣吸收小、有合適的高靈敏度的探測(cè)器等。一般用于高溫測(cè)量( 800以上)時(shí),選擇波長(zhǎng)短、光譜帶寬很窄的波

15、段范圍,這就是亮度測(cè)溫儀,低于 800的目標(biāo),則選波長(zhǎng)較長(zhǎng),光譜帶寬很寬的工作波段,通常稱(chēng)寬波段的測(cè)溫儀為部分輻射測(cè)溫儀。 亮度測(cè)溫儀可選擇光電探測(cè)器; 部分輻射測(cè)溫儀和全輻射測(cè)溫儀可采用熱電探測(cè)器或光電探測(cè)器。二、確定紅外測(cè)溫儀波長(zhǎng)范圍目標(biāo)材料的發(fā)射率和表面特性決定紅外測(cè)溫儀的光譜相應(yīng)波長(zhǎng)對(duì)于高反射率合金材料,有低的或變化的發(fā)射率。 在高溫區(qū),測(cè)量金屬材料的最佳波長(zhǎng)是近紅外,可選用 0.8 1.0 m。其他溫區(qū)可選用 1.6 m,2.2 m 和 3.9 m。由于有些材料在一定波長(zhǎng)上是透明的,紅外能量會(huì)穿透這些材料,對(duì)這種材料應(yīng)選擇特殊的波長(zhǎng)。如測(cè)量玻璃內(nèi)部溫度選用1.0 m,2.2 m和 3

16、.9 m(被測(cè)玻璃要很厚,否則會(huì)透過(guò))波長(zhǎng);測(cè)玻璃表面溫度選用5.0 m;測(cè)低溫區(qū)選用 814m 為宜。如測(cè)量聚乙烯塑料薄膜選用3.43 m,聚酯類(lèi)選用4.3 m 或7.9 m,厚度超過(guò) 0.4mm 的選用 8- 14m。如測(cè)火焰中的 CO用窄帶4.64 m,測(cè)火焰中的NO2用 4.47 m。玻璃行業(yè)專(zhuān)用:溫度段:150 -1800;波段: 5um薄膜塑料行業(yè):溫度段:10-800 ;波段:7.9um其他行業(yè):溫度段:600 -3000;波段:1um溫度段: 200 -1800波段:1.6um(二)在氣體分析方面的應(yīng)用一、常見(jiàn)大氣污染氣體的紅外吸收帶氣 體 類(lèi)紅外吸收帶中心波長(zhǎng)/ 單位:微米型

17、CO21.41.62.02.74.264.85.29.410.415O34.78.99.614N2O3.94.054.57.78.617.1CO2.34.65CH41.653.356.57.65SO24.007.348.68NO5.35NO23.446.18二、工作原理紅外線(xiàn)氣體分析儀, 是利用紅外線(xiàn)進(jìn)行氣體分析" 它基于待分析組分的濃度不同, 吸收的輻射能不同 , 剩下的輻射能使得檢測(cè)器里的溫度升高不同, 動(dòng)片薄膜兩邊所受的壓力不同, 從而產(chǎn)生一個(gè)電容檢測(cè)器的電信號(hào)" 這樣 , 就可間接測(cè)量出待分析組分的濃度"一種氣體分析儀的工作示意圖根據(jù)紅外輻射在氣體中的吸收

18、帶的不同, 可以對(duì)氣體成分進(jìn)行分析。 例如,二氧化碳對(duì)于波長(zhǎng)為 2.7 m、 4.33 m和 14.5 m 紅外光吸收相當(dāng)強(qiáng)烈, 并且吸收譜相當(dāng)?shù)膶挘?即存在吸收帶。 根據(jù)實(shí)驗(yàn)分析, 只有 4.33 m吸收帶不受大氣中其他成分影響, 因此可以利用這個(gè)吸收帶來(lái)判別大氣中的 CO2的含量。二氧化碳紅外氣體分析儀由氣體( 含 CO2)的樣品室、參比室( 無(wú) CO2)、斬光調(diào)制器、反射鏡系統(tǒng)、濾光片、紅外檢測(cè)器和選頻放大器等組成。測(cè)量時(shí),使待測(cè)氣體連續(xù)流過(guò)樣品室,參比室里充滿(mǎn)不含CO2的氣體(或CO2含量已知的氣體)。紅外光源發(fā)射的紅外光分成兩束光經(jīng)反射鏡反射到樣品室和參比室,經(jīng)反射鏡系統(tǒng),這兩束光可

19、以通過(guò)中心波長(zhǎng)為4.33 m的紅外光濾色片投射到紅外敏感元件上。由于斬光調(diào)制器的作用,敏感元件交替地接收通過(guò)樣品室和參比室的輻射。若樣品室和參比室均無(wú)CO2氣體,只要兩束輻射完全相等,那么敏感元件所接收到的是一個(gè)通量恒定不變的輻射,因此,敏感元件只有直流響應(yīng),交流選頻放大器輸出為零。若進(jìn)入樣品室的氣體中含有CO2氣體,對(duì)4.33 m的輻射就有吸收,那么兩束輻射的通量不等,則敏感元件所接收到的就是交變輻射,這時(shí)選頻放大器輸出不為零。經(jīng)過(guò)標(biāo)定后,就可以從輸出信號(hào)的大小來(lái)推測(cè)CO2的含量。三、典型產(chǎn)品PbS、 PbSe、 InGaAs5.紅外探測(cè)器的選擇首先,要選擇正確的紅外探測(cè)器需要選擇合適的波段

20、,波段一旦選定, 可以說(shuō)材料基本上就選定了。目前常用的材料有HgCdTe、 Ge、 InSb 、 PbS、 PbSe、 InAs 、 InGaAs 等Ge 探測(cè)器 0.5-1.8umInGaAs 探測(cè)器 0.7-2.6umInAs 探測(cè)器 1.0-3.8umPbS 探測(cè)器 1.0-3.5umPbSe 探測(cè)器 2.0-6.0umInSb 探測(cè)器 1.0-5.5umHgCdTe 探測(cè)器 1.0-26um材料選定后 ,我們就要根據(jù)需要我們紅外光的一些參數(shù)來(lái)選擇相應(yīng)的探測(cè)器了(一般選購(gòu)的時(shí)候,探測(cè)器的銷(xiāo)售工程師會(huì)問(wèn)你的應(yīng)用,根據(jù)應(yīng)用向你推薦合適的的材料),其次是選擇合適的光敏面,一般情況下在激光光斑測(cè)試的時(shí)候?qū)τ诠饷裘娴某叽缫蟊容^嚴(yán)格,光敏面的大小至少要大于激光光斑的直徑。同時(shí)光敏面的大小也影響了探測(cè)器的一些參數(shù),比如并聯(lián)電阻,節(jié)電容,暗電流等。在微弱光探測(cè)中,需要權(quán)衡這些參數(shù)來(lái)選擇

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶(hù)所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶(hù)上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶(hù)上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶(hù)因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論