ESD作業(yè)管控程序

1、靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范1.0 目的為防止因靜電的產(chǎn)生，而間接的破壞產(chǎn)品，特訂本規(guī)范期能降低到最低。2.0 適用范圍凡屬本公司之靜電防護(hù)措施，均適用本規(guī)范。3.0 責(zé)任凡進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)的所有同仁，皆需遵守本作業(yè)規(guī)范。3.1 各單位主管應(yīng)對其作業(yè)所需之材料，分發(fā)或設(shè)置負(fù)有維護(hù)之責(zé)。3.2確認(rèn)所屬，皆已接受本公司或外界相關(guān) ESD 之訓(xùn)練。3.3 各單位之靜電防護(hù)之執(zhí)行及點檢均由各單位負(fù)責(zé)指定人員執(zhí)行3.4 由品保部門負(fù)責(zé)稽核各防護(hù)區(qū)執(zhí)行及記錄是否皆符合本規(guī)范要求。并且靜電接地主線量測記錄需送至品管管保存 .3.5 防靜電量測之各儀器由品保單位負(fù)責(zé)校驗4.0 定義 無5.0 程式5.1 實施辦法：5.1.

2、1 設(shè)備之靜電防護(hù)措施。(a) 硬式接地要求： 使用之儀器設(shè)備的基座與電機(jī)系統(tǒng)之安全接地 (SAFETY GROUND) 必須連結(jié)。測試用設(shè)備、庫房物料存放料架、地墊 (FLOOR MATS) 、輸送皮帶之接地以直接焊接、 折縫鉚釘或使用夾式連接固定均可。5.1.2 工作站之靜電防護(hù)措施：生產(chǎn)流程(PRODUCTION FLOW)作業(yè)站包括，(1)COPY IC , (2) SMD (3)DIP(4)裝配, (5)運(yùn)送， (6)儲放， (7)檢驗及測試， (8)包裝 ， (9) 維修 及 其直接或間接使用設(shè)備、工具及其工作人員之軟式接地，亦必須符合本規(guī)范要求。(a)作業(yè)站表面材料:(a)工廠內(nèi)

3、鋪設(shè)導(dǎo)電地板之區(qū)域，須各車間靜電接地支線每3個月量測并記錄於靜必須是導(dǎo)電或靜電消散性材料，如導(dǎo)電墊(TABLE MATS)，導(dǎo)電導(dǎo)板，表面電阻在 10551010/SQUARE OHM 之材料。(b)作業(yè)站間之接地連結(jié):作業(yè)站之間的接地連結(jié)可以是串聯(lián)，但必須符合下列原則: 接地時，不可與設(shè)備之安全接地(SAFETY GRDUND)或高周波接地混合使用。任何導(dǎo)線在連接點前一寸之內(nèi)，必須以絕緣覆之。(c)警告標(biāo)志：(ESD Warni ng)各靜電敏感作業(yè)區(qū)域，必須貼示”靜電防護(hù)警告標(biāo)志。各靜電敏感區(qū)域之場所大門，須貼示警告標(biāo)志。45.1.3靜電環(huán)、人員導(dǎo)通性測試：(CONTINUITY TEST

4、)(a)工作人員當(dāng)日進(jìn)入防護(hù)區(qū)時，必須先戴靜電環(huán)於腕上，然後作導(dǎo)通試驗，通過者方可入內(nèi)工作。未通過者需更換合格靜電環(huán)再作試驗，靜電環(huán)測試步驟參考說 明。(b)做導(dǎo)通試驗時，需將腕帶之導(dǎo)線夾在測試儀器之夾片上再以手指輕按測試臺中央，合格顯示綠燈，不合格顯示紅燈并將所測結(jié)果記錄 靜電環(huán)量測記錄表(靜 電環(huán)測試儀)。如下圖(c)ILI宀=5.1.4工廠導(dǎo)電地板導(dǎo)通性測試及作業(yè)說(d)電支線阻抗量測記錄 （接地電阻測量搖表） ，靜電干線每 3 個月量測一次并記錄於靜電干線阻抗量測記錄（接地電阻測量搖表）， 靜電接地點每 6 個月量測一次并記錄於 靜電接地點阻抗量測記錄 （接地電阻測量搖表） 。（b）工

5、作桌、桌墊接地的有效性，每三個月檢查接地情形并貼靜電合格標(biāo)簽。(c)防靜電地板測試每 3 個月測試一次，并填寫於 靜電地板阻抗量測記錄 （表面電阻測試儀）。(d)將廠區(qū)內(nèi)靜電臺面與靜電線之連接線編號并專人點檢連接狀況,確保連接正常。(e)每日對生產(chǎn)線的靜電支線的斷路和導(dǎo)通狀況進(jìn)行檢查，警報器工作正常，并記錄與靜電斷路&有效性點檢表 （萬用表）。導(dǎo)電地板之維護(hù):(1)為維護(hù)導(dǎo)電地板之壽命，地板須每日或定期做清潔保養(yǎng)。(2)保養(yǎng)時可用拖把沾水，將表面之灰塵去除乾凈，再用導(dǎo)電臘，效果更佳。(3)導(dǎo)電地板嚴(yán)禁使用化學(xué)性溶劑清洗，如 HCFC、甲笨、香蕉水.等，以確保導(dǎo)電材質(zhì)不致變質(zhì)， 脆化損壞。5.1

6、.5 導(dǎo)電鞋管控:進(jìn)入工廠之所有同仁，須穿著導(dǎo)電鞋進(jìn)入工作場所 ,來賓訪客須穿防塵鞋套始可進(jìn)入。5.1.6 零件、制品運(yùn)送與接觸之規(guī)定:（a）人員接觸物料或制品規(guī)定:由戴有 ESD 防護(hù)手套的人員，將待置物置放於靜電防護(hù)桌面。以工具接觸產(chǎn)品時，該工具必須是不產(chǎn)生靜電者，不可由非 ESD 防護(hù)絕緣材料工具接觸。手工焊接作業(yè)時，其焊接工具必須有充分之接地。(b)使用自動設(shè)備處理PCBA :操作人員必須接地。嚴(yán)禁使用產(chǎn)生靜電之物品，除非該物品有下列條件:b.1包覆於靜電場隔離容器內(nèi)。b.2經(jīng)防靜電溶液處理過。b.3在離子氣流涵蓋范圍內(nèi)。(C)裝有IC的包裝管(TUBE)運(yùn)送規(guī)定:包裝管若為導(dǎo)電性材料

7、，可由未受靜電防護(hù)人員之運(yùn)送。包裝管若為抗靜電性材料，則運(yùn)送者須接地或使用抗靜電手套。包裝管若蓋子打開或塞子取出，則必須放在靜電防護(hù)工作桌面。零散料之移轉(zhuǎn)必須以管對管之傾倒，并注意極性。(d) PCBA運(yùn)送規(guī)定:運(yùn)送者需接地，拿取電路板，須持其邊緣，并戴上ESD防護(hù)手套。須置於有接地的工作站。以金屬架運(yùn)送，并在金屬車架上存/取電路板。(e) 不良品之處理規(guī)定(含待修品):因電性功能測試或目視，特性而判定為不良品，除非已由制造檢討會議決議為報廢品，否則其運(yùn)送規(guī)定仍符合本規(guī)范之管制規(guī)定。(f) 現(xiàn)場列禁物品:易產(chǎn)生靜電的物品如膠帶(TAPE)，一般塑膠物品、保麗龍(POLYLON)置於靜電防護(hù)作業(yè)

8、站之工作桌面時，應(yīng)與制品保持適當(dāng)距離，并確保放置距離在30公分以下。(g) 人員接地的方法:靜電環(huán)(Wrist Stra p)必須與皮膚充分接觸。如右圖(h) 環(huán)境控制:生產(chǎn)、檢驗及測試區(qū)域的溫濕度環(huán)境必須予以控制，務(wù)使靜電之產(chǎn)生減少到最低程度。一般業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)為：溫度25+3 C,濕度4570%.(i) 包裝的規(guī)定(原料包裝)：盤裝原料(TRAY)，所用盤子須為抗靜電或?qū)щ姴馁|(zhì)，若為抗靜電的盤子，則 必須包覆在導(dǎo)電袋或?qū)щ姾袃?nèi).若為導(dǎo)電性材料的盤子，則可以此方式運(yùn)送或包 覆於標(biāo)準(zhǔn)紙箱內(nèi)。包裝管須為抗靜電，如導(dǎo)電材質(zhì)，且包覆於導(dǎo)電袋或?qū)щ姾?，則可單獨(dú)運(yùn)送或 裝入標(biāo)準(zhǔn)紙箱內(nèi)。管子兩端塞子及針狀物也必

9、須是抗靜電或?qū)щ姴牧?。零件盒及PCBA暫存架采用抗靜電材料。(j) 針對重復(fù)性使用之抗靜電材料或?qū)щ姴牧?，如儲存放置箱、隔板、抗靜電泡棉、導(dǎo)電料盒等,于重復(fù)使用時每周至少要用抽樣方式予以確認(rèn)其阻抗值是否仍 在規(guī)格內(nèi)，否則應(yīng)停止重復(fù)使用該材料。5.1.7各單位(含部門)及工作站別，對防靜電措施之做法:(a)取用ESD敏感元件，僅可接觸其母體外殼，不可由導(dǎo)線(接腳)碰觸，并須使用靜電環(huán)或ESD防護(hù)手套。(b)勿使半導(dǎo)體滑動於任何表面上，勿使零件接觸普通的塑膠或紡織物。5.2制程稽核與確認(rèn):5.2.1要求:由制程品管依規(guī)范本指導(dǎo)中規(guī)定作隨機(jī)稽查與確認(rèn)，并列入SMT巡回稽核檢 查單和DIP巡回稽核檢查

10、單內(nèi)。5.2.2相關(guān)部門:所有直接與間接部門在進(jìn)入 ESD防護(hù)區(qū)域中皆需遵守本規(guī)范規(guī)定。(a)個人所使用的防護(hù)設(shè)備，依(5.1.3 )節(jié)實施。(b)靜電防護(hù)工作站之桌、地墊(TABLE & FLOOR MATS)須不定期檢查是否接觸良好。5.2.3違規(guī)處理措施:(a)受影響之作業(yè)區(qū)應(yīng)立即暫停，并依糾正和預(yù)防控制程式。(b)矯正措施及受影響產(chǎn)品的處理方式，必須受到品保部及防護(hù)區(qū)域主管之認(rèn)可，始準(zhǔn)予繼續(xù)作業(yè)。5.3教育訓(xùn)練全公司凡有機(jī)會接觸產(chǎn)品或在 ESD區(qū)域工作的員工均應(yīng)接受靜電防護(hù)的教育訓(xùn)練。訓(xùn)練由各單位指派工程師以上人員負(fù)責(zé)教導(dǎo)，受訓(xùn)員工均應(yīng)納入訓(xùn)練記錄存檔。5.4靜電防護(hù)監(jiān)測計畫及規(guī)格:品

11、名規(guī)格測量儀器測量方法測量周期測量記錄靜電環(huán)/靜電鞋1M Q10%靜電環(huán)測試儀測量SOP每天靜電測試記錄表靜電支線接地阻抗 4Q接地電阻測量搖表專人負(fù)責(zé)每3個月靜電支線阻抗量測記錄靜電地板表面電阻105 Q 1010Q表面電阻測試儀專人負(fù)責(zé)每3個月防靜電地板阻抗量測記靜電干線接地阻抗 4Q接地電阻測量搖表專人負(fù)責(zé)每3個月靜電干線阻抗量測記錄靜電接地點阻抗 4Q接地電阻測量搖表專人負(fù)責(zé)每6個月靜電接地點阻抗量測記錄靜電斷路有效性點檢是否導(dǎo)通萬用表專人負(fù)責(zé)每天靜電斷路&有效性點檢 表輸送帶、工作臺面1O6Q 109Q表面電阻測試儀專人負(fù)責(zé)每3個月貼靜電合格標(biāo)簽ESD靜電測試紀(jì)錄表周轉(zhuǎn)架,靜電箱10

12、6 Q 109表面電阻測試儀專人負(fù)責(zé)每6個月貼防靜電標(biāo)簽ESD靜電測試紀(jì)錄表5.5靜電量測方法:5.5.1靜電環(huán)測試步驟 a裝入9V電池於靜電測試器內(nèi);b.將接地線夾插入靜電測試器上方;C.將靜電腕帶牢固在手腕上;d將有環(huán)扣接地線扣在靜電腕帶上;e.兩接地線緊緊夾住;f.將帶有靜電腕帶之手施壓在靜電測試器圓形金屬片上，此時開始測試;g. 靜電測試器出現(xiàn)綠燈并有信號聲，表示此接地系統(tǒng)0K;h. 如果左邊（LOW）紅燈亮,請檢查靜電腕帶中的阻抗是否低於 500KQ，否將有害於人體;i. 測試器在使用50000後，測試仍會出現(xiàn)綠燈，但未有信號聲，表示該換電池。5.5.2靜電臺面、靜電周轉(zhuǎn)箱等靜電量測

13、方法： a.取表面阻抗量測計，如圖分別插上兩個測量砣.（圖1） b.將測量砣放置於待測平面上（圖2）,按下TEST鍵.讀出數(shù)值（圖3）.桌面，周轉(zhuǎn)箱測量值紀(jì)錄於靜電測試合格標(biāo)簽”貼於所測物體上，測量周期為三個月測一次MODEL 800 Environment A Mvgohmtn A tMr圖1圖2圖3e08標(biāo)示為10 Q，以此類推5.5.3靜電地板的靜電量測方法: a.將待測量地板乾凈，沒有臟污。b.將測量砣放置在測量地板上，兩個砣之間的間距不可超過1m（如下圖1）C.將靜電測量儀的紅線、黑線分別插在兩個孔內(nèi)，并將其另一端分別放在兩個測量砣上，打開電源開關(guān)進(jìn)行測量（如下圖2）d.讀取測量儀上的數(shù)字在1051010范圍內(nèi)，記錄於靜電地板阻抗量測記錄（表面電阻測試儀）。e.靜電地板每半年打一次導(dǎo)電臘。5.5.4靜電干線測試方法： a.將藍(lán)線一端接入P端，另一端接插地樁；紅線一端接 E端，另一端接插地樁;黃線一端接C端，另一端接總干線。b.插地樁插入大地40CM以上，兩個插地樁地距離40M以上。C.將檔位旋紐旋至X1檔。d.右手搖動搖桿手臂，左手轉(zhuǎn)動刻度盤，觀察指標(biāo)指向