曝光機(jī)設(shè)備驗收報告

1、工藝部SUB:曝光機(jī)驗收報告TO :采購CC :From:工藝審核：批準(zhǔn)：日期：2021. 1. 23文件類別：編號：一、目的:檢驗設(shè)備的各項指標(biāo)是否達(dá)到規(guī)格書要求，并評估設(shè)備工藝能力及產(chǎn)品品質(zhì)是否達(dá)到我司要求。二、驗收信息：序號項目信息說明備注1型號2供應(yīng)商3用途阻焊曝光4驗收數(shù)量15使用部門阻焊6設(shè)備負(fù)責(zé)人7驗收人8驗收時間2020年9月2021年1月三、驗收項目及結(jié)果:項目Item驗收標(biāo)準(zhǔn)Acceptance Standard結(jié)果備注機(jī)體結(jié)構(gòu)機(jī)體完整性機(jī)體完整，表面無劃痕，損傷，各部 件可正常運行0K基本規(guī)格設(shè)備尺寸：符合規(guī)格書設(shè)計要求0K傳送系統(tǒng)1 .各馬達(dá)符合類型、數(shù)量和規(guī)格符合 規(guī)

2、格書要求2 .馬達(dá)運行平穩(wěn)3 .馬達(dá)皮帶（鏈條）轉(zhuǎn)動正常0K電氣系統(tǒng)1.接線正確無誤,并標(biāo)示正確2.接線 柱穩(wěn)定無松動3.電源規(guī)格符合我司要求。0K控制系統(tǒng)1 .運行正常；2 .各控制項目符合要求3 .參數(shù)有分級修改權(quán)限設(shè)定0K機(jī)臺運行1 .曝光機(jī)，冷卻機(jī)，溫調(diào)機(jī)等各部運 行正常，無異常噪聲或者故障2 .開機(jī)試運行，抽真空后觀察真空度 數(shù)值是否達(dá)標(biāo)0K機(jī)體溫、濕度 控制L溫度控制精度：±12.濕度控制精度：±5%OK曝光機(jī)內(nèi)部溫 度約24機(jī)體灰塵控 制潔凈度W1000級待確 認(rèn)警報指示1 .故障報警正常2 .報警指示燈正確OK能力與品質(zhì)產(chǎn)能產(chǎn)能滿足：12000m:/mont

3、hOK最小開窗最小能力：50±5umOK能量均勻性均勻性290%OK阻焊橋1. lOOum2.無發(fā)白、橋彎、掉橋等OK臺面印記無臺面印記、凹坑、吸盤印等OK曝光條紋無明顯曝光過度線條、曝光不良條紋 等（依據(jù)能級要求，最高曝光能量均可 滿足要求）NG有嚴(yán)重曝光條 紋，多普已換光 源，多次調(diào)試， 任然達(dá)不到規(guī) 格要求，曝光尺 做到9-9.5極易 出現(xiàn)曝光不良， 9. 5級以上就無 法生產(chǎn)。位置精度要求 3。WlOum, cpkl. 33待確 認(rèn)尚未提供校準(zhǔn) 報告重復(fù)精度要求 3 o W5um, cpk21. 33待確 認(rèn)尚未提供校準(zhǔn) 報告油墨適應(yīng)性至少滿足綠油、白油、黑油NG白油、黑油板生 產(chǎn)無法控制，易 出現(xiàn)曝光不良。設(shè)備與服務(wù)易耗品清單 以及壽命提供說明書OK軟件要求隨機(jī)的PC內(nèi)用的軟件必須正版OK設(shè)備安裝提供設(shè)備安裝計劃書OK部品點收依清單內(nèi)容，點收各部件，各部件規(guī) 格以及物品與清單內(nèi)容相符；OK常規(guī)漏電檢 查無漏電；OK文件格式兼 容性至少可以支持Gerber和ODB+格式的 文件0K支持 gerber> ODB+格式文 件。四、驗收結(jié)論：由設(shè)備有限公司提供的曝光機(jī)，用于我司阻焊工序，曝光不良（曝光條 紋）問題跟進(jìn)多次仍無法解決，有嚴(yán)重曝光條紋，已更換光源，多次調(diào)試，任 然達(dá)不到規(guī)格要求,曝光尺做到9-9.