GB∕T 25915.12-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

?ICS13.040.35CCSC70

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T25915.12—2021/ISO14644-12:2018

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第12部分:監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part12：Specificationsfor

monitoringofaircleanlinessbynanoscaleparticleconcentration

(ISO14644-12:2018,IDT)

2021-10-11發(fā)布

2022-05-01實施

GB/T25915.12—2021/ISO14644-12:2018

目次

tuW I

弓iw n

i翻 i

2規(guī)范性引用文件 1

3術(shù)語和定義 1

4 3

5檢測報告 3

附錄A（資料性）以凝結(jié)粒子計數(shù)器進(jìn)行監(jiān)測的參照方法 5

附錄B（資料性）粒子計數(shù)效率和分割粒徑 8

參考t獻(xiàn) 10

I

庫七七標(biāo)準(zhǔn)下載

本文件按照GB/T1.1—2020（（標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。

本文件是GB/T25915（（潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》的第12部分。GB/T25915已經(jīng)發(fā)布了以下部分：

一第1部分:按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級；

一第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測；

——第3部分：檢測方法；

一第4部分:設(shè)計、建造、啟動；

——第5部分:運行；

一第6部分:詞匯；

一第7部分：隔離裝置（潔凈風(fēng)罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境）；

一第8部分:按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度（ACC）等級；

——第9部分:按粒子濃度劃分表面潔凈度等級；

——第10部分:按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級；

一第12部分:監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求。

本文件等同采用ISO14644-12：2018?潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第12部分:監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC319）提出并歸口。

本文件起草單位：中天道成（蘇州）潔凈技術(shù)有限公司、中國電子工程設(shè)計院有限公司、蘇州蘇信環(huán)境科技有限公司、蘇州市計量測試院、江蘇蘇凈工程建設(shè)有限公司、江蘇嘉合潔凈科技有限公司、中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會、國家納米科學(xué)中心、中國合格評定國家認(rèn)可中心、南京天加環(huán)境科技有限公司、美埃（中國）環(huán)境科技股份有限公司、中電投工程研究檢測評定中心有限公司、吳江市華宇凈化設(shè)備有限公司、常州祥明智能動力股份有限公司、北京恒泰建業(yè)工程項目管理有限公司、賀氏（蘇州）特殊材料有限公司。

本文件主要起草人：王堯、姜偉康、蔡杰、孫玉澄、王其祥、王大千、姜皓遐、朱蘭、翟傳明、蔣乃軍、邴紹同、石小雷、高正、吳小泉、葉偉強(qiáng)、張敏、董玉平、郝胤博、惠旅峰、肖軼群。

GB/T25915是采用ISO14644系列國際標(biāo)準(zhǔn)，各部分設(shè)置與國際標(biāo)準(zhǔn)保持一致，擬由15個部分構(gòu)成。

一第1部分:按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級。目的是區(qū)分粒子污染程度。

一第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測。目的是指導(dǎo)監(jiān)測粒子污染，以避免可能產(chǎn)生的污染風(fēng)險。

一第3部分：檢測方法。目的是指導(dǎo)對潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測。

一第4部分:設(shè)計、建造、啟動。目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計、建造、啟動。

一第5部分:運行。目的是指導(dǎo)潔凈室的運行。

一第6部分:詞匯。目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語。

一第7部分：隔離裝置（潔凈風(fēng)罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境）。目的是提出潔凈室用隔離裝置的基本要求。

一第8部分:按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度（ACC）等級。目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度。一第9部分:按粒子濃度劃分表面潔凈度等級。目的是區(qū)分表面粒子污染程度。

一第10部分:按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級。目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度。

一第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求。目的是提出納米級別的粒子污染的檢測要求。

一第13部分：達(dá)到粒子和化合潔凈度要求的表面清潔。目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險。

一第14部分:按粒子污染濃度評估設(shè)備適用性。目的是通過對相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子污染的測試，確定設(shè)備的適合性。

一第15部分:按化學(xué)污染物濃度評定設(shè)備及材料的適合性。目的是通過對相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生化學(xué)污染的測試，確定設(shè)備的適合性。

一第16部分：提高潔凈室和空氣凈化裝置能效。目的是節(jié)約潔凈室運行的能源消耗。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境將污染物控制在適當(dāng)?shù)乃剑员阃瓿蓪ξ廴久舾械幕顒?。航空航天、微電子、制藥、醫(yī)療器械、食品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝受益于對懸浮污染物的控制。

GB/T25915.3—2010僅限于粒徑大于100nm的粒子分級。但在這個文件中包含小于100納米粒子的資料性內(nèi)容.且將小于100nm的粒子稱為超微粒子，而不是本文件所稱的納米粒子。

納米技術(shù)是最近才形成的領(lǐng)域，一般涉及大約1nm?100nm尺寸范圍的物質(zhì)。為改善產(chǎn)品的性能，其特征尺寸越來越小成為其趨勢，如微電子及與健康有關(guān)的許多工業(yè)，現(xiàn)已生產(chǎn)納米尺度的產(chǎn)品。有關(guān)粒徑特性的背景性文獻(xiàn)見參考文獻(xiàn)［1］?［18］。

GB/T25915.12—2021/ISO14644-12:2018

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第12部分:監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

1范圍

本文件給出了監(jiān)測粒徑限值不超過0.1Mm（100nm）的“納米尺度”粒子濃度的技術(shù)要求。本文件給出的監(jiān)測技術(shù)要求主要用于“動態(tài)”。

注1:本文件提及的“納米尺度粒子”是指所有在1維上（納米片）、2維上（納米纖維）或3維上（納米粒子）具有納米尺度的納米物質(zhì)。

注2:請注意，潔凈室內(nèi)粒子的實際特性是由粒子的來源及其物理特性所決定的。

注3:本文件未考慮健康與安全事項。

2規(guī)范性引用文件

本文件沒有規(guī)范性引用文件。

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

ISO和IEC在以下網(wǎng)址維護(hù)用于標(biāo)準(zhǔn)化的術(shù)語數(shù)據(jù)庫：

IECElectropedia:可從/獲?。?/p>

ISO在線瀏覽平臺：可從/obp獲取。

3.1通用

3.1.1

潔凈室cleanroom

空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間，其設(shè)計、建造到運行均使進(jìn)人、產(chǎn)生、滯留于房間的粒子受控。

注1：規(guī)定了按空氣懸浮粒子濃度劃分的級別。

注2:也可對影響潔凈度等級的其他因素，如空氣中化學(xué)物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級的其他因素，如粒子、納米粒子、化學(xué)物或微生物濃度等，作出規(guī)定并進(jìn)行控制。

注3:溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關(guān)的物理參數(shù)，也可按要求受控。

[來源:GB/T25915.1—2021,3.1.1]

3.1.2

潔凈區(qū)cleanzone

空氣懸浮粒子計數(shù)濃度受控并分級的限定空間。其建造和運行使進(jìn)人、產(chǎn)生和滯留于空間的粒子受控。

注1：空氣懸浮粒子濃度的級別已確定。

注2:也可以對影響潔凈度等級的其他因素，如空氣中化學(xué)物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級的其他因素，如粒子、納米粒子、化學(xué)物或微生物濃度等，作出規(guī)定并進(jìn)行控制。

注3:潔凈區(qū)可以是限定于潔凈室內(nèi)的空間，也可用隔離裝置實現(xiàn)。隔離裝置既可設(shè)在潔凈室內(nèi)也可在潔凈室外。注4:溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關(guān)的物理參數(shù)，也可按要求受控。

[來源:GB/T25915.1—2021,3.1.2]3.2尺寸

3.2.1

會內(nèi)米尺度nanoscale(nanometerscale)

尺寸范圍約在1nm?100nm。

注：在此尺寸范圍內(nèi)粒子的特性一般不是從較大尺寸的推導(dǎo)而得，但也并非絕對。

[來源：ISO/TS80004-2：2015.2.1]

3.2.2

分割粒徑particlesizecutoff

D50

計數(shù)效率為50%的粒徑。

注：計數(shù)效率解釋見附錄B。

3.3空氣中的粒子

3.3.1

納米粒子nanoparticle(nanometerparticle)

所有外尺寸均為納米尺度(3.2.1)、最長軸與最短軸沒有顯著差別的納米物體。

注：若納米物質(zhì)的最長軸線與最短軸線差別顯著(一般大于3倍)，傾向于使用術(shù)語納米棒或納米片，而不用納米粒子。

[來源：ISO/TS80004-2：2015.4.4]

3.3.2

粒徑分布particlesizedistribution

以累積分布表示的粒子濃度與粒徑的函數(shù)關(guān)系。

[來源:GB/T25915.1—2021,3.2.4]

3.3.3

氣溶膠aerosol

懸浮于氣體中的固體的或液體的粒子系統(tǒng)。

[來源:ISO15900:2009,2.1]

3.4占用狀態(tài)

3.4.1

動態(tài)operational

潔凈室(3.1.1)或潔凈區(qū)(3.1.2)設(shè)施按議定方式運行，且有規(guī)定數(shù)量的人員按議定方式工作的狀態(tài)。

[來源:GB/T25915.1—2021,3.3.3]

3.5測量儀器

3.5.1

凝結(jié)粒子計數(shù)器condensationparticlecounter；CPC

測量氣溶膠(3.3.3)粒子數(shù)量濃度的儀器。

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GB/T25915.12—2021/ISO14644-12=2018

注1：探測的粒徑一般介于幾納米到幾百納米之間。

注2:CPC可與差分電遷移率分析儀(DEMO-起使用的探測器。

注3:在某些情況下，凝結(jié)粒子計數(shù)器也可稱為凝結(jié)核計數(shù)器(condensationnucleuscounter,CNC)。

[來源:ISO15900:2009,2.5]

3.5.2

計數(shù)效率countingefficiency

給定粒徑范圍內(nèi)讀出的粒子濃度與實際粒子濃度之比。

[來源:GB/T25915.3—2010,3.6.5]

4監(jiān)測

4.1概述

就測量而言，唯一重要的粒子特性是其“當(dāng)量直徑”。

4.2原理

需方規(guī)定的監(jiān)測限值和要求，是根據(jù)需方和供方的商定，按規(guī)定測試方法進(jìn)行測試并提供測試結(jié)果與測試條件的文件來驗證的。見GB/T25915.2-2021中附錄A，它規(guī)定了以預(yù)期使用的風(fēng)險評估為依據(jù)的監(jiān)測計劃的要求。所獲得的數(shù)據(jù)提供了潔凈室與納米粒子濃度有關(guān)的性能的佐證。

4.3方法

為監(jiān)測空氣中的納米尺度粒子，用CPC對空氣中納米尺度粒子計數(shù)最有效。使用CPC進(jìn)行監(jiān)測的標(biāo)準(zhǔn)方法見附錄A。按納米尺度粒子監(jiān)測空氣潔凈度的方法，應(yīng)給出系統(tǒng)性的計劃、良好定義了的步驟、闡明評估如何實施。一般來說，設(shè)施的告警值和行動值依據(jù)的是風(fēng)險評估。如果供方和需方有要求，則可協(xié)商定立限值。

計數(shù)方法的標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容應(yīng)包括：

——待測的納米尺度粒徑；

——采樣和分析對時間的相關(guān)性；

vp,-PA曰.

4i単-;

一采樣點位置；

——樣本數(shù)量；

一工藝/產(chǎn)品的關(guān)鍵性；

一潔凈區(qū)設(shè)計/平面圖。

至少與CPC測量具有可比性能的其他方法和儀器也可做出規(guī)定。如若沒有規(guī)定的或商定的其他替代方式，則使用此標(biāo)準(zhǔn)方法。

應(yīng)使用校準(zhǔn)過的儀器實施符合性驗證測試。

5檢測報告

每個潔凈區(qū)的檢測結(jié)果應(yīng)記錄下來并以綜合報告提交。數(shù)據(jù)總結(jié)要包括不良趨勢監(jiān)測數(shù)據(jù)的審核，運行水平，與4.2規(guī)定的監(jiān)測計劃相符的調(diào)查要求。

檢測報告應(yīng)包括如下內(nèi)容：

a)檢測機(jī)構(gòu)的名稱、地址和檢測日期；

b)本文件編號，如GB/T25915.12—2021；

c） 清楚標(biāo)明所測潔凈區(qū)的具體位置（必要時以鄰近區(qū)域作參照），并標(biāo)明所有采樣點的具體坐標(biāo)；

d） 潔凈區(qū)所規(guī)定的標(biāo)識方法，相應(yīng)的占用狀態(tài)，關(guān)注粒徑；

e） 對所用檢測方法的詳細(xì)說明，包括特殊的檢測條件以及與規(guī)定檢測方法的偏離之處；檢測儀器的型號，儀器當(dāng)前的校準(zhǔn)證書：

1） CPC及粒徑分割裝置（如使用）的識別，以及校準(zhǔn)狀態(tài)；

2） 待報告的納米尺度粒子的粒徑低限值；

3）使用CPC時它的零計數(shù)率；

4） 所要求的分割粒徑裝置性能數(shù)據(jù)；

5） 測量類型：納米尺度粒子濃度測量或監(jiān)測；

6）納米尺度粒子測量系統(tǒng)的采樣口和采樣體積流量；

f） 檢測結(jié)果，包括每個采樣點的粒子濃度數(shù)據(jù)。

附錄A

（資料性）

以凝結(jié)粒子計數(shù)器進(jìn)行監(jiān)測的參照方法

A.1原理

使用CPC儀器在指定的采樣位置，測定空氣中大于或等于規(guī)定粒徑的納米尺度粒子濃度。

A.2儀器要求

A.2.1CPC儀器

該儀器應(yīng)具有顯示或記錄空氣中懸浮納米尺度粒子數(shù)量的手段，其粒徑分辨能力使其可對適當(dāng)粒徑范圍內(nèi)的納米尺度粒子的總濃度進(jìn)行檢測。

A.2.2凝結(jié)粒子計數(shù)器（CPC）

該儀器對被采集到的、因超飽和蒸氣凝結(jié)在粒子核上而形成的全部液滴進(jìn)行計數(shù)，生成大于或等于CPC粒子下限的粒子濃度累計值。凝結(jié)粒子計數(shù)器的技術(shù)條件示例見表A.1。儀器的技術(shù)條件應(yīng)由供應(yīng)商提供并被用戶認(rèn)可。

表A.1凝結(jié)粒子計數(shù)器技術(shù)條件

項目

技術(shù)條件

濃度上限

>3.5X108m3

分割粒徑（d5。）

視具體應(yīng)用情況，例如Dso=0.01pirn

計數(shù)準(zhǔn)確度

低于濃度上限時：±10%

讀數(shù)穩(wěn)定性的環(huán)境條件

溫度范圍：10°C-35°C

相對濕度：0%~90%無凝結(jié)

環(huán)境壓力：75kPa?105kPa（0.75atm~l.latm）

流量穩(wěn)定性

在指定的溫度、相對濕度、壓力下進(jìn)行測試時，流量為規(guī)定流量的±10%

校準(zhǔn)周期

最長12個月

虛計數(shù)誤差

虛計數(shù)宜小于需方同意的最大允許濃度的1/3

計數(shù)效率

使用蔗糖納米粒子或銀納米粒子。粒徑下限：50%+10%；5倍粒徑下限:>85%；0.5倍粒徑下限:<25%（見圖B.1）

A.2.3儀器校準(zhǔn)

儀器應(yīng)具有有效的校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)頻度和校準(zhǔn)方法宜依據(jù)當(dāng)前所認(rèn)可的規(guī)范（見ISO27891）。A.3粒子計數(shù)效率和分割粒徑

粒子計數(shù)效率和分割粒徑方面的內(nèi)容見附錄B。

5

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A.4預(yù)檢測條件

A.4.1檢測準(zhǔn)備

檢測之前宜驗證潔凈區(qū)或相關(guān)受控環(huán)境保持其整體密閉性的各個方面都是完整的，其功能符合性能技術(shù)條件。GB/T25915.3-2010提及到這類驗證，舉例來說包括下列數(shù)據(jù)：

a） 氣流測試（例如風(fēng)量、風(fēng)速、單向流均勻度）；

b） 空氣壓差測試；

c） 整體密封性檢漏；

d） 已安裝過濾器檢漏。

A.4.2預(yù)檢測設(shè)備設(shè)置

按生產(chǎn)商的說明設(shè)置設(shè)備。實施檢測前，驗證CPC的流量和零計數(shù)符合表A.1的技術(shù)條件。

A.5采樣

A.5.1設(shè)定采樣位置

采樣點位置要由供、需雙方商定。

A.5.2CPC采樣步驟

A.5.2.1按生產(chǎn)商的說明設(shè)置粒子計數(shù)器（A.2）,其工作條件與生產(chǎn)商的要求相符。實施這一步驟的人員宜經(jīng)過儀器使用培訓(xùn)。

A.5.2.2采樣管的位置要朝向氣流。若被采樣的氣流方向不受控或無法預(yù)知（如非單向流），采樣管的人風(fēng)口應(yīng)呈垂直向上狀態(tài)。

A.5.2.3如必要的話，在環(huán)境條件穩(wěn)定后再進(jìn)行采樣，按A.4.2所述方法確定每個采樣點的最小空氣采樣量。

選擇確能有效輸送帶電粒子的采樣管，且采樣管的長度盡可能短。

A.5.2.4如三種占用狀態(tài)之一時，在多個采樣點實施采樣，某特定采樣位置的單個采樣結(jié)果異常的高，可在該位置進(jìn)行更多采樣以檢查問題，并確定該位置是否符合用戶要求。在需要納米尺度粒子濃度穩(wěn)定性的信息時，按供方和需方商定的時間間隔在所選擇的位置進(jìn)行3次或更多的測量。

A.6每個采樣點粒子平均濃度的記錄

A.6.1按對應(yīng)于用戶技術(shù)要求的每個關(guān)注粒徑3己錄下每個單次采樣量的采樣結(jié)果，即粒子數(shù)量。A.6.2當(dāng)在一個采樣位置上的采樣次數(shù)不止1次，從每次采得樣本的粒子濃度（A.6.1），按公式（A.1）計算出每個位置上每個關(guān)注粒徑粒子的平均數(shù)量，并記錄下來。

j-'i= +1,.2+ +?z;，?]/〃 （A.1）

式中：

?Z,+ ——位置i上的平均粒子數(shù)量，可代表任何位置；

?T,+.i+ +1,+.,, 每個樣本的粒子數(shù)量；

n 位置i上的總樣本數(shù)量。

A.6.3按公式（A.2）計算每立方米的濃度值C,。

C,=x；X1000/Vt （A.2）

6

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式中：

?Z,——位置z上的平均粒子數(shù)量，可代表任何位置;

V,——單個樣本采樣量，單位為升（L）。

A.7結(jié)果說明

若每個采樣位置上測得的、以每立方米粒子數(shù)量表示的平均粒子濃度，未超過需方設(shè)定的或供方需方商定的濃度限值，則認(rèn)為潔凈區(qū)符合規(guī)定的監(jiān)測要求。

附錄B

(資料性)

粒子計數(shù)效率和分割粒徑

B.1計數(shù)效率

凝結(jié)粒子計數(shù)器的計數(shù)效率主要受粒徑的影響，在一定程度上也受粒子成分的影響。凝結(jié)液體為水時，粒子成分為非常疏水物質(zhì)的偶然情況下，計數(shù)效率會下降。

系統(tǒng)測量納米尺度粒子濃度的計數(shù)效率，宜落在圖B.1中的陰影區(qū)內(nèi)。規(guī)定的納米尺度粒徑的計數(shù)效率為50%(Dm)的虛線，就是這個性能合格區(qū)的中心。X是D除以D5n(D/D5n)的比值，其區(qū)域包括了標(biāo)準(zhǔn)化后納米尺度粒徑比值為X±1O%的無差帶，就是圖B.1所示的X=l.l和X=0.9的范圍。該圖標(biāo)出了標(biāo)準(zhǔn)化粒徑±10%無差帶內(nèi)粒子最低和最高合格計數(shù)效率。還標(biāo)出了X=5時，計數(shù)效率至少宜為85%,X=0.5時，計數(shù)效率宜小于25%。計數(shù)效率測量宜以蔗糖粒子或銀粒子作為標(biāo)準(zhǔn)粒子。

若凝結(jié)粒子計數(shù)器的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影部分的右側(cè)，則不宜用于納米尺度粒子濃度的測量或驗證。若曲線落于陰影部分的左側(cè)，能用B.2所述的分割粒徑器使計數(shù)效率降低。這樣，調(diào)整后的凝結(jié)粒子計數(shù)器計數(shù)效率是未調(diào)整前的計數(shù)效率與分割粒徑器效率的乘積。

.V

標(biāo)引序號說明：

X——標(biāo)準(zhǔn)化后的粒徑，D/D,,n;

Y——計數(shù)效率，％。

圖B.1所選儀器計數(shù)效率的合格范圍

示例1:D5o=5nm

X

0.5

0.9

1

1.1

5

D/nm

2.5

4.5

5

5.5

25

不例2:D=10nm

X

0.5

0.9

1

1.1

5

D/nm

5

9

10

11

50

不例3:Oso=50nm

X

0.5

0.9

1

1.1

5

D/nm

25

45

50

55

250

圖B.1所選儀器計數(shù)效率的合格范圍（續(xù)）

分割粒徑（D5。）視儀器而異。

B.2分割粒徑器

分割粒徑器以準(zhǔn)確定義且可再現(xiàn)的方式降低穿透率，將小于規(guī)定的粒徑去除。只要分割粒徑器的穿透特性達(dá)到要求，市場上各種尺寸、不同配置的分割粒徑器都可使用。擴(kuò)散元件和虛擬沖撞器都能作為合適的分割粒徑器使用。

穿透率隨粒子物理特性、儀器配置、氣流量而變化。對所有的分割粒徑器都要注意的是，僅按設(shè)計氣流量使用，且安裝后沒有靜電荷積累。確保分割粒徑器做到了正確接地，就能使電荷積累降至最低。分割粒徑器一般設(shè)在納米尺度粒子計數(shù)儀器的采樣口處。

分割粒徑器的示例包括擴(kuò)散單元和虛擬沖撞器。

分割粒徑器的技術(shù)要求見表B.1。

表B.1分割粒徑器技術(shù)要求

項目

技術(shù)要求

測量不確定度

規(guī)定粒徑粒子的去除率為50%±10%

校準(zhǔn)周期

因設(shè)備類型而異.一般為12個月

采樣空氣流量

流經(jīng)粒徑分割器的流量恒定（波動范圍士10%）,且大于或等于計數(shù)器所要求的流量

B.3納米尺度粒徑的分布

差分電遷移動率分析儀（DEMC）能與凝結(jié)粒子計數(shù)器（CPC）—起組合成差分電遷移分級系統(tǒng)（DMAS）,用于測量納米尺度粒子的粒徑的分布。DEMC將帶電的氣溶膠粒子分級至不同的粒徑艙，一次只允許一狹窄范圍的粒徑通過。隨后，CPC將DEMC測徑的粒子計數(shù)。在潔凈室的應(yīng)用中，因為DMAS的掃描特性以及將電荷傳給粒子的效率有限，為獲取有效、有意義的納米尺度粒徑分布測量結(jié)果，使用DMAS需要有恒定的粒子源和充裕的采樣時間。DMAS不是為了用于潔凈室潔凈度的分級或監(jiān)測。但是，如果粒子濃度足夠高且恒定，采樣時間足夠長，它提供的納米尺度粒徑分布能作為判斷的依據(jù)。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第1部分:按粒子濃度劃分空氣潔凈度等

[1]GB/T25915.1—2021

級(ISO14644-1：2015,MOD)

[2]GB/T25915.2—2021

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

9

庫七七標(biāo)準(zhǔn)下載

(ISO14644-2：2015,IDT)

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第3部分:檢測方法（ISO14644-3:2005,

[3]GB/T25915.3—2010

IDT)

[4]ISO15900:2009DeterminationofparticlesizedistributionDifferentialelectricalmobilityanalysisforaerosolparticles

[5]ISO21501-4Determinationofparticlesizedistribution—Singleparticlelightinteractionmethods—Part4:Lightscatteringairborneparticlecounterforcleanspaces

[6]ISO/TS80004-2:2015Nanotechnologies—Vocabulary—Part2:Nano-objects

[7]ISO27891Aerosolparticlenumberconcentration—Calibrationofcondensationparticlecounters

[8]ISO/TS80004-1Nanotechnologies一Vocabulary—Part1:Coreterms

[9]Ensor?D.S.，DixonA.M.AerosolMeasurementsinCleanrooms.In:AerosolMeasurements?(KulkarniP.，ed.).VanNostrandReinhold?NewYork,2011.

[10]IEST-G-CC1002.DeterminationoftheConcentrationofAirborneUltrafineParticles,IEST,Schaumburg，IL,1996.

[11]Ensor，D.S.，F(xiàn)oardeK.K..TheBehaviorofParticlesinCleanrooms.In:EnvironmentalMonitoring,(DixonA.M.，InformaHealthcareU.S.A.?eds.).NewYork，2006，pp.1-22.

[12]Hinds，W.C.?AerosolTechnology.JohnWileyandSons，NewYork,1982.

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[15]Ensor,D.S.，DonovanR.P.，LockeB.R.ParticleSizeDistributionsinCleanRooms.J.

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