三氯氧磷的純度和潔凈度對集成電路的成品率及可靠性有著積極的影響

1、三氯氧磷的純度和潔凈度對集成電路的成品率及可靠性有著積極的影響，而工業(yè)級的三氯氧磷純度只有99%左右，因此，有必要將其提純?yōu)殡娮蛹壢妊趿?以滿足光伏、IC產(chǎn)業(yè)對原料的純度要求。株洲市嘉眾電子材料有限責(zé)任公司將 市售的工業(yè)級三氯氧磷提純至能夠滿足不同廠家需求的純度為5N (99.999%)7N (99.99999%)的電子級三氯氧磷，產(chǎn)品屬于國家大力扶持鼓勵的光伏電子行 業(yè)材料，符合國家產(chǎn)業(yè)政策方向，具有長遠(yuǎn)的發(fā)展前景。市售的工業(yè)級三氯氧磷純度一般為 99%，其主要成分及各成分沸點見表 &表8工業(yè)級三氯氧磷的主要成分及各成分沸點成分含量(%)沸點(C)三氯氧磷99105.3氯化鋁0.1

2、5190氯化鉀0.151450氯化銅0.1993氯化鈉0.21465氯化鈣0.2>1600三氯化磷0.1776本項目運營期主要風(fēng)險因素是三氯氧磷泄露。(1) 環(huán)境風(fēng)險評價等級及范圍本項目三氯氧磷的最大貯存量為生產(chǎn)一個月所需的原料和成品，共計約1.8t，根據(jù)建設(shè)項目環(huán)境風(fēng)險評價技術(shù)導(dǎo)則(HJ/T 169-2004)附錄A有毒物質(zhì) 名稱及臨界量中關(guān)于氧氯化磷的規(guī)定(見表9)，可知本項目三氯氧磷不屬于重大危險源；同時，本項目擬建地不屬于環(huán)境敏感地區(qū)，根據(jù)建設(shè)項目環(huán)境風(fēng)險 評價技術(shù)導(dǎo)則(HJ/T 169-2004)中對于環(huán)境風(fēng)險評價工作級別的劃分標(biāo)準(zhǔn)(見表 10)，可知本項目環(huán)境風(fēng)險評價確定為二

3、級。表9有毒物質(zhì)名稱及臨界量物質(zhì)名稱生產(chǎn)場所臨界量/t貯存場所臨界量/t氧氯化磷820表10環(huán)境風(fēng)險評價工作級別劇毒危險性物質(zhì)一般毒性危險物質(zhì)可燃、易 燃 危險性 物質(zhì)爆炸危險 性 物質(zhì)重大危險源-一-二二-一-一-非重大危險 源-二二-二二-二二-二二環(huán)境敏感地區(qū)-一-一-一-一-根據(jù)建設(shè)項目環(huán)境風(fēng)險評價技術(shù)導(dǎo)則（HJ/T169-2004）的要求，二級評價范圍距離源點不低于3公里范圍。根據(jù)建設(shè)項目環(huán)境風(fēng)險評價技術(shù)導(dǎo)則（HJ/T169-2004）的要求，二級評價應(yīng)對項目進(jìn)行風(fēng)險識別、源項分析和對事故影響進(jìn)行簡要分析，提出防范、減緩和應(yīng)急措施。（2）風(fēng)險識別物質(zhì)的理化常數(shù):國標(biāo)編號61116CA

4、S號10025-87-3中文名稱氧氯化磷英文名稱Phosphorus oxychloride別名氯化磷酰；磷酰氯；三氯氧化磷；三氯氧磷分子式POCI3外觀與性 狀無色透明發(fā)煙液體，有辛辣氣味分子量153.33蒸汽壓5.33kPa/273C閃點：無意義熔點12C沸點：105TC /分解溶解性溶于水，溶于醇密度相對密度冰=1）1.68; 相對密度（空氣=1）5.3穩(wěn)定性穩(wěn)定危險標(biāo)記13（劇毒品），20（腐蝕品）主要用途用于制造染料及作為苯類和胺類 的催化劑健康危害：本品遇水分解成磷酸與氯化氫，含磷可致磷中毒，對皮膚、粘膜 有刺激腐蝕作用。毒性與光氣類似。急性中毒：短期內(nèi)吸入大量蒸汽，可引起上呼吸道

5、刺激癥狀，咽喉炎，支氣管炎，嚴(yán)重者可發(fā)生喉頭水腫窒息，肺炎，肺水 腫，紫紺心力衰竭。亦可發(fā)生貧血，肝臟損害，蛋白尿?？诜鹣雷苽?眼和皮膚接觸引起灼傷。長期低濃度接觸可引起口、眼及呼吸道刺激癥狀。環(huán)境危險：本品遇濕、遇水分解成磷酸和氯化氫，對環(huán)境有危害。 燃爆危險：本品不燃，但遇水猛烈分解，產(chǎn)生大量的熱和濃煙，甚至爆炸， 對很多金屬尤其是潮濕空氣存在下具有腐蝕性。泄漏應(yīng)急處理： 疏散撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)， 并立即隔離 150 米，禁 止無關(guān)人員進(jìn)入污染區(qū)， 建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器， 穿化學(xué)防護(hù)服。 合理通風(fēng)，不要直接接觸泄漏物。勿使泄漏物與可燃物質(zhì)（木材、紙、油等）接

6、 觸，在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)（或擴(kuò)散） ，但不要對泄漏物或泄 漏點直接噴水。少量泄漏時，用沙石吸收，然后再用NaOH溶液清洗沙石。如果大量泄漏， 由專業(yè)技術(shù)人員， 將漏液導(dǎo)入儲液池， 再將儲液池中的漏液用真空泵 裝入用完的原料包裝桶，由原料供應(yīng)商回收利用。（3）源項分析本項目可能發(fā)生三氯氧磷泄露的環(huán)節(jié)包括： 倉庫a、磷塑料桶傾翻、破損，以致工業(yè)級三氯氧磷流出；b、石英瓶破損，以致電子級三氯氧磷流出。 生產(chǎn)車間a、往反應(yīng)瓶加入原料時發(fā)生滴漏；b、提純系統(tǒng)密閉性不，提出中發(fā)生泄漏；c、將產(chǎn)品分裝到石英收集瓶時發(fā)生滴漏；d、操作過程中不小心打翻、打破石英瓶，導(dǎo)致三氯氧磷流出；e、石英反

7、應(yīng)瓶和石英收集瓶洗滌廢水尚未處理就外流。（4）事故影響分析三氯氧磷泄漏后可能產(chǎn)生的影響： 三氯氧磷泄漏揮發(fā)，通過吸入或皮膚接觸，引起人員中毒或皮膚灼傷； 三氯氧磷泄漏后在潮濕的空氣中或遇水分解， 生成磷酸和氯化氫， 污染環(huán) 境； 三氯氧磷泄漏后遇水激烈反應(yīng)， 產(chǎn)生大量的熱和濃煙， 甚至爆炸， 造成人 員傷亡由于本項目三氯氧磷儲存時有專人看管并檢查包裝的完好性， 同時，塑料桶 和石英瓶進(jìn)一步放置在防泄漏塑料槽內(nèi)， 即使包裝破損， 三氯氧磷也會被收集到 塑料槽內(nèi)， 當(dāng)檢查人員發(fā)現(xiàn)后即可采用沙石吸收， 而不會往外流出產(chǎn)生遇水反應(yīng) 而造成嚴(yán)重事故。 生產(chǎn)過程中每次提純操作前都會對設(shè)備進(jìn)行查漏， 發(fā)生三

8、氯氧 磷泄漏的可能性非常??； 往反應(yīng)器中加原料以及把產(chǎn)品從反應(yīng)器中分裝到收集瓶 的過程都是通過真空泵來完成的， 發(fā)生滴漏的可能性也非常??； 同時提純設(shè)備下 面進(jìn)一步放置了防泄漏塑料桶內(nèi)。 廠房內(nèi)的工人均穿戴勞保用品， 包括防護(hù)面具、 橡膠手套、防護(hù)服裝等，基本不會吸入和皮膚接觸三氯氧磷。通過上述分析，可 知本項目一旦發(fā)生三氯氧磷泄漏， 基本在廠房內(nèi)即可妥善處理解決， 對環(huán)境及周 邊居民造成危害的可能性較小。（5）環(huán)境風(fēng)險控制措施 為有效防范三氯氧磷泄露， 減小泄露事故危害， 本環(huán)評提出以下環(huán)境風(fēng)險控 制措施：（1）進(jìn)入廠房的工人均應(yīng)嚴(yán)格佩戴勞保用品，包括防護(hù)面具、橡膠手套、 防護(hù)服裝等；（2）

9、廠房內(nèi)嚴(yán)禁煙火，工人不得在廠房內(nèi)飲食，嚴(yán)防三氯氧磷靠近火源和 水源；（3）加強(qiáng)廠房通風(fēng)；（4）加強(qiáng)對包裝設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)備的檢查，嚴(yán)防泄露；（5）加強(qiáng)職工安全教育培訓(xùn)，提高操作管理水平，嚴(yán)防操作事故發(fā)生；（6）裝卸原料和產(chǎn)品時要輕拿輕放，防止撞擊和包裝破損；（7）企業(yè)應(yīng)制定事故應(yīng)急預(yù)案，一旦發(fā)生泄漏事故，馬上采用相應(yīng)處理措 施，把事故可能造成的危害控制在最小范圍、降到最低程度。泄漏應(yīng)急措施包括：疏散撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)，并立即隔離 150 米，禁止無關(guān)人員進(jìn)入污染區(qū)，應(yīng)急處理人員應(yīng)佩戴勞保用品，包括防護(hù)面具、 橡膠手套、防護(hù)服裝。勿使泄漏物與可燃物質(zhì)（木材、紙、油等）接觸，在確保 安全情況下堵漏。少量泄漏時，用沙石吸收，然后再用NaOH溶液清洗沙石。如果大量泄漏， 由專業(yè)技術(shù)人員， 將漏液導(dǎo)入儲液池， 再將儲液池中的漏液用真空 泵裝入用完的原料包裝桶，由原料供應(yīng)商回收利用。另外