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文檔簡介

1、ESDESD控制方案認(rèn)證檢驗控制方案認(rèn)證檢驗檢測技術(shù)檢測技術(shù)主講:劉長雄主講:劉長雄一、認(rèn)證檢驗計劃要求一、認(rèn)證檢驗計劃要求文件化的質(zhì)量管理體系架構(gòu)文件化的質(zhì)量管理體系架構(gòu)質(zhì)量手冊質(zhì)量手冊程序文件程序文件作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、檢查標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、檢查標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量記錄、作業(yè)記錄質(zhì)量記錄、作業(yè)記錄質(zhì)量方針、目的質(zhì)量方針、目的文件化的管理體系文件化的管理體系寫做記說一致寫做記說一致ESD控制方案控制方案方案計劃方案計劃 、驗證計劃、驗證計劃、其它作業(yè)指導(dǎo)書其它作業(yè)指導(dǎo)書驗證記錄、作業(yè)記錄驗證記錄、作業(yè)記錄ESD S20.20標(biāo)準(zhǔn)要求標(biāo)準(zhǔn)要求ISO9001標(biāo)準(zhǔn)要求標(biāo)準(zhǔn)要求1 1、靜電放電控制方案計劃、靜電放電控制方案計

2、劃目的:本標(biāo)準(zhǔn)的目的是提供行政和技術(shù)上的要求,以及建目的:本標(biāo)準(zhǔn)的目的是提供行政和技術(shù)上的要求,以及建立,實施和維護靜電放電的控制方案立,實施和維護靜電放電的控制方案( (文中稱文中稱“方案方案”) )。 各單位應(yīng)制定一個靜電放電控制方案計劃,將方案中的各單位應(yīng)制定一個靜電放電控制方案計劃,將方案中的每一個要求都一一列出。這些要求是:每一個要求都一一列出。這些要求是: 培訓(xùn)培訓(xùn) 認(rèn)證檢驗認(rèn)證檢驗 接地及等電位相連系統(tǒng)接地及等電位相連系統(tǒng) 人員接地人員接地 靜電放電保護區(qū)之要求靜電放電保護區(qū)之要求 包裝系統(tǒng)包裝系統(tǒng) 標(biāo)志標(biāo)志靜電放電控制方案計劃是實施和檢驗靜電放電控制方案的靜電放電控制方案計劃是

3、實施和檢驗靜電放電控制方案的首要文件。其目標(biāo)是全面實施和整合一個與內(nèi)部質(zhì)量系統(tǒng)首要文件。其目標(biāo)是全面實施和整合一個與內(nèi)部質(zhì)量系統(tǒng)要求相符合的方案。該靜電放電控制方案計劃應(yīng)適用于單要求相符合的方案。該靜電放電控制方案計劃應(yīng)適用于單位內(nèi)部工作的各個方面。位內(nèi)部工作的各個方面。2 2、認(rèn)證檢驗計劃、認(rèn)證檢驗計劃 認(rèn)證檢驗計劃的建立,是要確保單位能夠滿足靜電放電認(rèn)證檢驗計劃的建立,是要確保單位能夠滿足靜電放電方案計劃的要求。方案計劃的要求。 認(rèn)證檢驗計劃應(yīng)該明確要進行檢驗的技術(shù)要求,相關(guān)的認(rèn)證檢驗計劃應(yīng)該明確要進行檢驗的技術(shù)要求,相關(guān)的測試范圍及認(rèn)證頻率。根據(jù)此計劃進行認(rèn)證檢驗。認(rèn)證測試范圍及認(rèn)證頻率

4、。根據(jù)此計劃進行認(rèn)證檢驗。認(rèn)證檢驗計劃還應(yīng)規(guī)定,檢測和測試方法及設(shè)備。檢驗計劃還應(yīng)規(guī)定,檢測和測試方法及設(shè)備。 如果單位采用的方法與本文件所列出的標(biāo)準(zhǔn)有差異,必如果單位采用的方法與本文件所列出的標(biāo)準(zhǔn)有差異,必須提供一個修改聲明作為靜電放電控制方案計劃的一部須提供一個修改聲明作為靜電放電控制方案計劃的一部分存檔。認(rèn)證檢驗紀(jì)錄應(yīng)該被確認(rèn)并保存,以便證明符分存檔。認(rèn)證檢驗紀(jì)錄應(yīng)該被確認(rèn)并保存,以便證明符合了靜電放電控制方案中的技術(shù)要求。合了靜電放電控制方案中的技術(shù)要求。 所選擇的測試設(shè)備應(yīng)能夠完成認(rèn)證檢驗計劃中定義的測所選擇的測試設(shè)備應(yīng)能夠完成認(rèn)證檢驗計劃中定義的測量項目。量項目。檢查頻率建議可根據(jù)

5、稽檢查頻率建議可根據(jù)稽查之歷史查之歷史據(jù)據(jù)訂定訂定3、合格檢驗與認(rèn)證檢驗、合格檢驗與認(rèn)證檢驗 標(biāo)準(zhǔn)中有哪些合格檢驗及認(rèn)證檢驗參數(shù)要求?標(biāo)準(zhǔn)中有哪些合格檢驗及認(rèn)證檢驗參數(shù)要求? 哪些物品哪些地方要認(rèn)證檢驗?哪些物品哪些地方要認(rèn)證檢驗? 要用什么檢驗設(shè)備?要用什么檢驗設(shè)備? 用什么方法檢驗?用什么方法檢驗?在靜電放電控制產(chǎn)品和材料的初始選擇的時候采用產(chǎn)品合在靜電放電控制產(chǎn)品和材料的初始選擇的時候采用產(chǎn)品合格檢驗。格檢驗??刹捎玫姆椒椋寒a(chǎn)品規(guī)范復(fù)查,獨立實驗室評估或內(nèi)部可采用的方法為:產(chǎn)品規(guī)范復(fù)查,獨立實驗室評估或內(nèi)部實驗室評估。實驗室評估。4、哪些物品要定期驗證?、哪些物品要定期驗證? ESD

6、TR53-01 ESD TR53-01:2019-2019-靜電放電保護設(shè)備和材料之達標(biāo)驗證靜電放電保護設(shè)備和材料之達標(biāo)驗證-建議下建議下所述之靜電放電防護品、材所述之靜電放電防護品、材及設(shè)備等應(yīng)定期接受功能性及設(shè)備等應(yīng)定期接受功能性驗證檢測:驗證檢測:接地接地/ /搭接系統(tǒng)搭接系統(tǒng)工作臺面工作臺面手腕帶手腕帶手腕帶性能測試器手腕帶性能測試器防靜電鞋防靜電鞋地板材質(zhì)地板材質(zhì)服裝服裝座椅座椅移動式設(shè)備移動式設(shè)備( (手推手推) )包裝包裝靜電消除器靜電消除器人員接地系統(tǒng)人員接地系統(tǒng)設(shè)備定期保養(yǎng)、校準(zhǔn)設(shè)備定期保養(yǎng)、校準(zhǔn)5 5、ESD ESD 物品檢測頻物品檢測頻與方式與方式6 、靜電用靜電用品測試

7、品測試標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)項目項目標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)手腕帶及手腕帶連接手腕帶及手腕帶連接ANSI/ESD S1.1ANSI/ESD S1.1防靜電服防靜電服ANSI/ESD STM 2.1ANSI/ESD STM 2.1離子風(fēng)機離子風(fēng)機/ /離子靜電消除器離子靜電消除器ANSI/ESD STM3.1 ANSI/ESD SP3.3ANSI/ESD STM3.1 ANSI/ESD SP3.3臺墊臺墊/ /工作臺工作臺ANSI/ESD S4.1 ANSI/ESD S4.2ANSI/ESD S4.1 ANSI/ESD S4.2防靜電地板防靜電地板/ /地面工程地面工程ANSI/ESD S7.1ANSI/ESD S7.1防靜

8、電座椅防靜電座椅ANSI/ESD STM12.1ANSI/ESD STM12.1防靜電鞋防靜電鞋/ /拖鞋拖鞋/ /腳束帶腳束帶ANSI/ESD STM9.1 ESD SP9.2ANSI/ESD STM9.1 ESD SP9.2地板地板-鞋系統(tǒng)鞋系統(tǒng)ANSI/ESD STM97.1 ANSI/ESD STM97.2屏蔽包裝袋屏蔽包裝袋ANSI/ESD STM11.31防靜電材料防靜電材料ANSI/ESD STM11.11- STM11.12 STM13.1交流設(shè)備交流設(shè)備烙鐵及工具烙鐵及工具ESD STM13.1-2000取放設(shè)備取放設(shè)備ESD SP10.1-2000術(shù)語、方法及技術(shù)要求術(shù)語、

9、方法及技術(shù)要求ADV11.2ESD ADV1.0ESD ADV1.0標(biāo)識:標(biāo)識:ANSI/ESD S8.1ANSI/ESD S8.1接地:接地:ANSI/ESD S6.1ANSI/ESD S6.1工作站:工作站:ESD ADV53.1ESD ADV53.1包裝:包裝:ANSI/ESD S541ANSI/ESD S541操作指南操作指南ESD ADV2.0ESD ADV2.0(手冊)(手冊)7 7、ESDAESDA認(rèn)可的認(rèn)證機構(gòu)認(rèn)可的認(rèn)證機構(gòu) DNV Certification, Inc. DNV Certification, Inc. BSI, Inc. BSI, Inc. QMI, A Di

10、vision of CSA Group QMI, A Division of CSA Group National Quality Assurance, USA (NQA, USA) National Quality Assurance, USA (NQA, USA) Lloyds Register Quality Assurance, Lloyds Register Quality Assurance, Inc.(LRQA)Inc.(LRQA) TUV America, Inc TUV America, Inc SGS SA SGS SA PSB Certification PSB Cert

11、ification BVQi (NA), Inc. BVQi (NA), Inc.二、符合性驗證技術(shù)二、符合性驗證技術(shù)1、接地、接地/搭接系統(tǒng)符合性驗證搭接系統(tǒng)符合性驗證目的:確保目的:確保EPA EPA 工作站內(nèi)所有之工作臺面、固定式裝置、手持式裝工作站內(nèi)所有之工作臺面、固定式裝置、手持式裝置及人員接地裝置等均應(yīng)置及人員接地裝置等均應(yīng)接至共同接地點接至共同接地點(Common point ground(Common point ground;CPG)CPG)。共同接地點再。共同接地點再接至接至ESD ESD 接地接地/ /搭接搭接考點??键c。一般一般ESD ESD 接地接地/ /搭接搭接考點

12、應(yīng)為交考點應(yīng)為交電電(AC)(AC)設(shè)備接地點。設(shè)備接地點。采用輔助采用輔助接地時,應(yīng)搭接至交接地時,應(yīng)搭接至交電電(AC)(AC)設(shè)備接地。設(shè)備接地。檢測設(shè)備:檢測設(shè)備:(A)(A)直直奧姆計:可奧姆計:可測范圍應(yīng)為測范圍應(yīng)為 0.10.11M1M,精確,精確應(yīng)為應(yīng)為10%10%。(B) (B) 交交電插座分析器:指示設(shè)備接地導(dǎo)線是否存在。地線與中線、電插座分析器:指示設(shè)備接地導(dǎo)線是否存在。地線與中線、火線與中性線、火線與接地線是否裝置顛倒、設(shè)備接地線阻抗是否火線與中性線、火線與接地線是否裝置顛倒、設(shè)備接地線阻抗是否符合規(guī)范要求、符合規(guī)范要求、(C) (C) 交交電電電電測試器測試器( (阻

13、抗計阻抗計) ):測設(shè)備接地導(dǎo)體自電源插座至測設(shè)備接地導(dǎo)體自電源插座至主電源控制盤中性搭接點間之阻抗值,也具可檢測接線正確性。主電源控制盤中性搭接點間之阻抗值,也具可檢測接線正確性。(D)(D)條適當(dāng)長條適當(dāng)長之檢測之檢測接導(dǎo)線。接導(dǎo)線?,F(xiàn)場現(xiàn)場CPG須標(biāo)識出來須標(biāo)識出來最好是最好是AC地與靜電地線分開地與靜電地線分開萬用表萬用表/直直奧姆計奧姆計電壓檔:量交流、直流電壓值電壓檔:量交流、直流電壓值電阻檔:量接地、手環(huán)阻抗電阻檔:量接地、手環(huán)阻抗插頭與拉環(huán)間阻抗為插頭與拉環(huán)間阻抗為1M1M10%10%設(shè)備對設(shè)備對CPGCPG1.01.0歐姆歐姆 與防雷地線距離與防雷地線距離20M!總接地總接地

14、1010歐姆歐姆 斷路器的使用交流電插座分析器交流電插座分析器左零右火上地是否正確左零右火上地是否正確地、中線阻抗地、中線阻抗交交電插座分析器電插座分析器交交電電電電測試器測試器( (阻抗計阻抗計) )1.0歐姆歐姆 接地點對接地點對CPG1.0歐姆歐姆 鉗形接地電阻測試儀鉗形接地電阻測試儀測量原理:測量回路電阻,儀表的鉗口部分由電壓線圈及電流線圈組測量原理:測量回路電阻,儀表的鉗口部分由電壓線圈及電流線圈組成。電壓線圈提供激勵信號,并在被測回路上感應(yīng)一個電勢成。電壓線圈提供激勵信號,并在被測回路上感應(yīng)一個電勢E E。在。在電勢電勢E E的作用下將在被測回路產(chǎn)生電流的作用下將在被測回路產(chǎn)生電流

15、I I。儀表對。儀表對E E及及I I進行量測,并進行量測,并通過歐姆定理:通過歐姆定理:R= E/IR= E/I測量范圍:測量范圍:0.1-1000,0.1-1000,分辨率;分辨率;0.01.0.01.1.01.0歐姆歐姆 自動廠房靜電接地系統(tǒng)監(jiān)測器:自動廠房靜電接地系統(tǒng)監(jiān)測器: 可同時并實時監(jiān)測可同時并實時監(jiān)測個作業(yè)員腕帶和個作業(yè)員腕帶和個工作枱面?zhèn)€工作枱面的的ESDESD接地接地況況 有獨有獨的安全警報聲響告警裝置的安全警報聲響告警裝置 采用電阻回采用電阻回監(jiān)控方式,準(zhǔn)確而有效監(jiān)控方式,準(zhǔn)確而有效連續(xù)式靜電腕帶及工作臺監(jiān)測器:連續(xù)式靜電腕帶及工作臺監(jiān)測器:配有配有字顯示操控面板及管字顯

16、示操控面板及管鎖鎖實時實時測接地系統(tǒng)之測接地系統(tǒng)之ACAC與與DCDC阻抗阻抗可實時監(jiān)測并有聲光警報,可實時監(jiān)測并有聲光警報,256256組記憶裝置,組記憶裝置,可接計算機可接計算機印監(jiān)測紀(jì)印監(jiān)測紀(jì)報告報告可偵測可偵測ESDESD接地和接地和ACAC接地是否混接接地是否混接2、防靜電手腕帶接地實時監(jiān)測器符合性驗證、防靜電手腕帶接地實時監(jiān)測器符合性驗證 標(biāo)準(zhǔn)沒有作要求3 3、工作臺面符合性驗證、工作臺面符合性驗證目的:確保目的:確保ESD ESD 防護工作臺面、架子、抽屜、防護工作臺面、架子、抽屜、ESD ESD 防護儲存防護儲存設(shè)備是否搭接至接地設(shè)備是否搭接至接地/ /搭接搭接考點。電阻是否符

17、合??键c。電阻是否符合。(1)(1)檢測設(shè)備:高阻表檢測設(shè)備:高阻表(MeggerMeter /High Resistance (MeggerMeter /High Resistance Ohmmeter)Ohmmeter)(A)(A)測量范圍測量范圍:1:1103 103 1.9991.9991013(1013(至少要至少要1010次方以上,次方以上,最大可測電阻最大可測電阻1 11016)1016)(B) (B) 圓柱電極圓柱電極 :符合:符合ANSI/EOS/ESD4.1ANSI/EOS/ESD4.1規(guī)定。重規(guī)定。重2.272.270.06kg0.06kg、半徑、半徑63.563.50.

18、25mm 0.25mm 體積圓柱、導(dǎo)電接觸材體積圓柱、導(dǎo)電接觸材硬硬等級應(yīng)為等級應(yīng)為Shore AShore A:50-7050-70。10V 10V 測試電壓測試電壓測測屬表面,屬表面,電極間之電阻應(yīng)小于電極間之電阻應(yīng)小于1.01.0103103。(C) (C) 直直(DC)(DC)奧姆計:可奧姆計:可測范圍應(yīng)為測范圍應(yīng)為0.10.11M1M,精確,精確應(yīng)應(yīng)為為10%10%。(D)(D)條適當(dāng)長條適當(dāng)長之檢測之檢測接導(dǎo)線。接導(dǎo)線。(2) (2) 檢測程序:檢測程序:(A)(A)驗證前,勿驗證前,勿即清潔即清潔 ESD ESD 防護工作臺面。防護工作臺面。(B) (B) 將所有將所有 ESDS

19、 ESDS 從工作臺面移除。從工作臺面移除。(C)(C)工作臺面上導(dǎo)電物品及具獨工作臺面上導(dǎo)電物品及具獨接地的交接地的交電氣設(shè)備仍維持接地。電氣設(shè)備仍維持接地。(D)(D)將一條檢測導(dǎo)線一端將一條檢測導(dǎo)線一端接至電極,另一端接至電極,另一端接至整合性電阻測試器。接至整合性電阻測試器。(E) (E) 將另一條檢測導(dǎo)線一端將另一條檢測導(dǎo)線一端接至整合性電阻測試器,另一端接至整合性電阻測試器,另一端接至接至接地接地考點??键c。(F) (F) 將電極置于工作臺面正中央,測試電壓設(shè)定為將電極置于工作臺面正中央,測試電壓設(shè)定為10V10V,經(jīng)一段適當(dāng)之,經(jīng)一段適當(dāng)之測試時間或待測試時間或待值穩(wěn)定。值穩(wěn)定。

20、(G)(G)指示電阻小于指示電阻小于 1.01.0106106,則再,則再繼續(xù)測試。地面距離繼續(xù)測試。地面距離100CM 100CM 其它工作表面距離其它工作表面距離30CM30CM,測試,測試3-53-5次取平均次取平均. .(H)(H)指示電阻等于或大于指示電阻等于或大于 1.01.0106106,則將測試電壓改設(shè)定,則將測試電壓改設(shè)定100V100V,再再重新測試工作表面。重新測試工作表面。檢測應(yīng)包括檢測應(yīng)包括 ESD ESD 防護工作臺上防護工作臺上磨損處或具明顯臟污處。磨損處或具明顯臟污處。 工作表面點對點阻抗測試工作表面點對點阻抗測試大于大于1.0 x106,但應(yīng)小于,但應(yīng)小于1.

21、0 x109電壓小于電壓小于200V測五次取平均。測五次取平均。 工作表面點對點阻抗測試工作表面點對點阻抗測試大于大于1.0 x106,但應(yīng)小于,但應(yīng)小于1.0 x109電壓小于電壓小于200V 工作表面點對地阻抗測試工作表面點對地阻抗測試大于大于1.0 x106,但應(yīng)小于,但應(yīng)小于1.0 x109電壓小于電壓小于200V測五次取平均測五次取平均表面阻抗測試儀表面阻抗測試儀將表放在被測表面上,按住紅色的測量鈕,持續(xù)發(fā)亮的發(fā)光二極管將表放在被測表面上,按住紅色的測量鈕,持續(xù)發(fā)亮的發(fā)光二極管LEDLED指示出測量的表面阻抗量級。測五次取平均。指示出測量的表面阻抗量級。測五次取平均。 量程指示 10

22、3=1千歐姆綠色LED 104=10千歐姆 綠色LED 105=100千歐姆 綠色LED 106=1兆歐姆 黃色LED 107=10兆歐姆 黃色LED 108=100兆歐姆 黃色LED 109=1000兆歐姆 黃色LED 1010=10000兆歐姆 黃色LED 1011=100000兆歐姆黃色LED 1012=1000000兆歐姆 紅色LED 1012=絕緣 紅色LED 此表還可測量對地電阻此表還可測量對地電阻每十二個月需校準(zhǔn)表面阻抗表每十二個月需校準(zhǔn)表面阻抗表4、防靜電手腕帶符合性驗證、防靜電手腕帶符合性驗證檢測設(shè)備:檢測設(shè)備:(A)(A)整合性電阻整合性電阻( () )測試器:測試器:測范

23、圍至少為測范圍至少為1.01.010101010奧姆計,開奧姆計,開測試電壓為測試電壓為DC10VDC10V與與100V(100V(10%)10%)。(B) (B) 手持式電極:手持式電極:銹鋼圓柱棒、長銹鋼圓柱棒、長75mm(3inches) 75mm(3inches) 以上,直徑以上,直徑25mm(1inches)25mm(1inches)、鋼棒一端接香蕉插頭或、鋼棒一端接香蕉插頭或紋端子測試線。紋端子測試線。(C) (C) 一條適當(dāng)長一條適當(dāng)長檢測導(dǎo)線。檢測導(dǎo)線。3.5107歐姆歐姆 0.8106歐姆歐姆-1.2106歐姆歐姆 5、人體綜合阻抗測試、人體綜合阻抗測試檢測設(shè)備:檢測設(shè)備:(

24、A)(A)整合性電阻整合性電阻( ( ) )測試器:測試器:測范圍為測范圍為5.05.0104 104 1.01.01010 1010 奧奧姆計,開姆計,開測試電壓為測試電壓為DC 7DC 730V30V。 (B) (B) 手持式電極:手持式電極:銹鋼圓柱棒、長銹鋼圓柱棒、長75mm(3inches)75mm(3inches)以上,直徑以上,直徑25mm25mm(1 inches)(1 inches)、鋼棒一端接香蕉插頭或、鋼棒一端接香蕉插頭或紋端子導(dǎo)線。紋端子導(dǎo)線。(C) (C) 足部電極:導(dǎo)電足部電極:導(dǎo)電屬板屬板 305mm2(12inches2)305mm2(12inches2)。(D

25、)(D)條適當(dāng)長條適當(dāng)長之檢測之檢測接導(dǎo)線。接導(dǎo)線。3.5107歐姆歐姆 1.0109歐姆歐姆 6、靜電鞋阻抗測量、靜電鞋阻抗測量 1 1 109 109 歐姆歐姆 100 100伏伏 3.5 3.5 107 107歐姆歐姆7、防靜電移動式設(shè)備、防靜電移動式設(shè)備(手推手推) 符合性驗證符合性驗證 1 1 109 109 歐姆歐姆8、防靜電地板符合性驗證、防靜電地板符合性驗證(1) (1) 檢測設(shè)備:檢測設(shè)備:-與工作表面測量一致與工作表面測量一致(A)(A)整合性電阻整合性電阻( () )測試器:測試器:測范圍至少為測范圍至少為1.01.01010 1010 之奧姆計,之奧姆計,并且其開并且其

26、開測試電壓為測試電壓為DC10VDC10V與與100V(100V(10%) 10%) 。6 6次方以下用次方以下用10V10V檔。檔。否則用否則用100V100V檔。檔。(B)(B)圓柱電極:重圓柱電極:重2.272.270.06kg0.06kg、半徑、半徑63.563.50.25mm0.25mm體積圓柱、導(dǎo)電接體積圓柱、導(dǎo)電接觸材觸材硬硬等級等級Shore AShore A:50-7050-70。當(dāng)選用。當(dāng)選用10V 10V 測試電壓,測試電壓,測測屬屬表面時,其表面時,其電極間之電阻應(yīng)小于電極間之電阻應(yīng)小于1.01.0103103。(C) (C) 條適當(dāng)長條適當(dāng)長之檢測之檢測接導(dǎo)線。接導(dǎo)線

27、。點對地測量點對地測量注意:地面距離注意:地面距離100CM100CM,其它,其它30CM30CM、測試、測試5 5次取平均次取平均1109歐姆歐姆 點對點測量點對點測量注意:地面距離注意:地面距離100CM100CM,其它,其它30CM30CM、測試、測試5 5次取平均次取平均4646為導(dǎo)電地板,為導(dǎo)電地板,6969為靜電耗散地板為靜電耗散地板1109歐姆歐姆 9、防靜電服裝符合性驗證、防靜電服裝符合性驗證(1) (1) 檢測設(shè)備檢測設(shè)備: :一般為高阻儀一般為高阻儀(A)(A)整合性電阻整合性電阻( () )測試器:開測試器:開測試電壓為測試電壓為DC 100V(DC 100V(10%)1

28、0%),范圍至,范圍至少為少為1.01.010121012。(B) (B) 圓柱電極:重圓柱電極:重為為2.272.270.06kg0.06kg、半徑、半徑63.563.50.25mm 0.25mm 體積圓柱、體積圓柱、導(dǎo)電接觸材導(dǎo)電接觸材硬硬等級等級Shore AShore A:50-7050-70。(C) (C) 條適當(dāng)長條適當(dāng)長之檢測之檢測接導(dǎo)線。接導(dǎo)線。(D)(D)絕緣支撐板:平坦絕緣板,大小足以支撐進絕緣支撐板:平坦絕緣板,大小足以支撐進 ESD ESD 材材檢測工作。檢測工作。符合符合ASTM D-257ASTM D-257規(guī)定,絕緣板表面電阻應(yīng)大于規(guī)定,絕緣板表面電阻應(yīng)大于1.0

29、1.01013/sq1013/sq。靜電工作服表面阻抗測試靜電工作服表面阻抗測試 防靜電裝服防靜電裝服( (袖口對袖口袖口對袖口) )符合性驗證符合性驗證可接地可接地1109歐姆歐姆 普通靜電服普通靜電服11011歐姆歐姆 系統(tǒng)電阻系統(tǒng)電阻3.5107歐姆歐姆 新品反復(fù)摩擦新品反復(fù)摩擦2020次靜電電壓小于次靜電電壓小于100V100V10、防靜電座椅符合性驗證、防靜電座椅符合性驗證 綜合阻抗點對地綜合阻抗點對地點對點 1 1 109 109 歐姆歐姆點對點測量 1 1 109 109 歐姆歐姆11、其它用品表面阻抗、其它用品表面阻抗 1 1 109 109 歐姆歐姆12、靜電消除器離子風(fēng)扇符

30、合性驗證、靜電消除器離子風(fēng)扇符合性驗證檢測設(shè)備:檢測設(shè)備:(A)(A)充電板監(jiān)測器充電板監(jiān)測器(CPM(CPM:charge plate moniter)charge plate moniter):可攜式:可攜式驗證工具組包括:電場計、可拆式驗證工具組包括:電場計、可拆式( (隔隔導(dǎo)電導(dǎo)電) )平板、平平板、平板充電器及接地線等組件。板充電器及接地線等組件。(B) (B) 碼表或其它適當(dāng)碼表或其它適當(dāng)測放電時間之工具。測放電時間之工具。(C) (C) 測測尺。尺。離子風(fēng)機離子風(fēng)機產(chǎn)生原理:產(chǎn)生原理:A A、強電場的條件下空氣電暈電離,產(chǎn)生正負(fù)離子;、強電場的條件下空氣電暈電離,產(chǎn)生正負(fù)離子;B

31、 B、A A射線和射線和射線作用空氣分子使之成為空氣離子;射線作用空氣分子使之成為空氣離子;C C、高能射線、高能射線X X射射線作用空氣分讓基電離線作用空氣分讓基電離離子風(fēng)機按形式分為離子風(fēng)機按形式分為: :臺式離子風(fēng)機,臥式離子風(fēng)機,懸掛式離子風(fēng)臺式離子風(fēng)機,臥式離子風(fēng)機,懸掛式離子風(fēng)機,微型離子風(fēng)機機,微型離子風(fēng)機輸入電壓:輸入電壓: 100VAC 50100VAC 50、60Hz,120VAC/60Hz,230VAC/50Hz60Hz,120VAC/60Hz,230VAC/50Hz最大功率:最大功率: 25W25W左右左右離子平衡:離子平衡: 0+/-25V0+/-25V有的設(shè)備是本能

32、,無需調(diào)較)有的設(shè)備是本能,無需調(diào)較)消散速度:消散速度: 由由1000V1000V至至100V100V小于小于1.51.5秒最大風(fēng)量)秒最大風(fēng)量)覆蓋范圍:覆蓋范圍: 30cm30cm* *150cm150cm顯示:顯示: 亮亮- -有高壓電產(chǎn)生離子有高壓電產(chǎn)生離子顯示報警:顯示報警: 測量儀內(nèi)的感應(yīng)器損壞測量儀內(nèi)的感應(yīng)器損壞保養(yǎng)三步曲保養(yǎng)三步曲 清潔清潔 檢測檢測 調(diào)較調(diào)較STM3.1-2000STM3.1-2000消散時間:用戶自定消散時間:用戶自定殘留電壓殘留電壓50伏特伏特 檢測程序檢測程序放電時間放電時間( (衰減時間衰減時間) )試驗:試驗:(a) (a) 啟動檢測設(shè)備,并依照制

33、造商建議予以設(shè)備置于穩(wěn)定啟動檢測設(shè)備,并依照制造商建議予以設(shè)備置于穩(wěn)定態(tài)。態(tài)。(b) (b) 將檢測平板短暫性接地,并設(shè)定將檢測平板短暫性接地,并設(shè)定( (或驗證或驗證) )為為電壓值。電壓值。(c) (c) 請勿于請勿于子化氣子化氣場內(nèi),將可攜式驗證儀器進場內(nèi),將可攜式驗證儀器進歸歸( (或進或進充電充電) )動作。動作。(d) (d) 將檢測平板充電至超過各電極初始檢測電壓之適當(dāng)伏特將檢測平板充電至超過各電極初始檢測電壓之適當(dāng)伏特( (如如120012001500V)1500V)。(e) (e) 將檢測板面向靜電消除風(fēng)扇的氣將檢測板面向靜電消除風(fēng)扇的氣方向。方向。(f) (f) 放電時間放

34、電時間測始于檢測板電壓衰減至初始測試電壓測始于檢測板電壓衰減至初始測試電壓( (如如1000V)1000V)時,并停止時,并停止于檢測板電壓衰減至最終測試電壓于檢測板電壓衰減至最終測試電壓( (如如100V)100V)。(g) (g) 針對另一電極重復(fù)上述程序。針對另一電極重復(fù)上述程序。(h) (h) 記記各電極放電時間各電極放電時間( (秒秒) )。殘余電壓殘余電壓(offset voltage)(offset voltage)(剩余剩余子子) )試驗:試驗:(a) (a) 啟動檢測設(shè)備,并依照制造商建議予以設(shè)備置于穩(wěn)定啟動檢測設(shè)備,并依照制造商建議予以設(shè)備置于穩(wěn)定態(tài)。態(tài)。(b) (b) 將

35、檢測平板短暫性接地,并設(shè)定將檢測平板短暫性接地,并設(shè)定( (或驗證或驗證) )為為電壓值。電壓值。(c) (c) 請勿于請勿于子化氣子化氣場內(nèi),將可攜式驗證儀器進場內(nèi),將可攜式驗證儀器進歸歸( (或進或進充電充電) )動作。動作。(d) (d) 將檢測板面向靜電消除風(fēng)扇的氣將檢測板面向靜電消除風(fēng)扇的氣方向。方向。(e) (e) 等待使用者規(guī)范之時間。等待使用者規(guī)范之時間。(f) (f) 紀(jì)紀(jì)檢測板上之殘余電壓檢測板上之殘余電壓(offset voltage)(offset voltage)(或剩余或剩余子子) )。帶電平板監(jiān)測儀帶電平板監(jiān)測儀(Charge Plate Monitor)離子平衡

36、電壓、靜電消散時間、人體靜電壓、防靜電材料性能等測離子平衡電壓、靜電消散時間、人體靜電壓、防靜電材料性能等測量量-ANSI EOS/ESD S3.1-ANSI EOS/ESD S3.1監(jiān)測空氣離子平衡監(jiān)測空氣離子平衡監(jiān)測電荷從固定電壓點到需要終結(jié)點監(jiān)測電荷從固定電壓點到需要終結(jié)點( (通常為原始電量的通常為原始電量的1010)的衰)的衰減速度減速度. .立式離子風(fēng)機測量消散時間:用戶自定消散時間:用戶自定殘留電壓殘留電壓50伏特伏特 懸掛式離子風(fēng)機測量13、防靜電包裝材、防靜電包裝材之符合性驗證之符合性驗證 ANSI/ESD S541 ESDS ANSI/ESD S541 ESDS 物品之包裝材物品之包裝材 定期檢測

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