微模組圖像制作

1、1微模組圖像製作微模組圖像製作 Advisor : 王聖璋 教授碩研能源一甲 黃俊嘉 南臺科技大學 Jyun-Jia HuangSouthern Taiwan University Institute of Energy Engineering2010/04/292實驗目的實驗目的n將進行製作新光罩商標圖案，進行三色圖樣之電著與熱壓轉印實驗(塗佈光阻層到去除光阻層製程將循環(huán)兩次最後在電著第三個顏色) 。n在固化鍍膜方面，在不影響矽油及鍍膜情況下，將進行高溫點烘烤，藉使鍍膜之穩(wěn)定性提升。n進行新配方電泳漆之電著轉印(不塗佈矽油層，直接電著)，並以光學顯微鏡觀察其實驗結果。 3Stainless

2、steel塗佈塗佈primer塗佈矽油層塗佈矽油層塗佈光阻層塗佈光阻層放光罩放光罩I曝光顯影曝光顯影EPD-鍍漆鍍漆(紅紅)去除光阻層去除光阻層塗佈黏著層塗佈黏著層熱壓轉印熱壓轉印塗佈光阻層塗佈光阻層放光罩放光罩II曝光顯影曝光顯影EPD-鍍漆鍍漆(藍藍)去除光阻層去除光阻層EPD-鍍漆鍍漆(黃黃)微模組圖像轉印製程微模組圖像轉印製程4三色鍍層電著與熱壓轉印三色鍍層電著與熱壓轉印(色料色料)n矽油旋轉塗佈: 800rpm 10s 、5000rpm 20s 固化參數(shù): 170 40min 矽油比例: 1:10n光阻旋轉塗佈: 1000rpm 10s 、2000rpm 20s 固化參數(shù): 110

3、3minn光阻曝光參數(shù): 2s 固化參數(shù): 110 1minn圖樣顯影參數(shù): NaOH(1g)+DI water(99g) 顯影時間:10sn電著參數(shù): DC-100V 30s 固化參數(shù):150oC、20min 電泳液比例: 5:95n清除光阻參數(shù): KOH(20g)+DI water(80g) 浸泡時間: 3minn熱壓轉印參數(shù): 50、 30s、 0.5噸 由實驗結果得知由實驗結果得知:由OM圖可觀察出，無論在單色、雙色與三色鍍層電著、光阻清除與熱壓轉印皆可獲得良好之實驗結果。雙色光阻去除雙色鍍層三色鍍層三色轉印鍍層5鍍層穩(wěn)定度測試鍍層穩(wěn)定度測試n矽油旋轉塗佈: 800rpm 10s 、5

4、000rpm 20s 固化參數(shù): 170 40min 矽油比例: 1:10n光阻旋轉塗佈: 1000rpm 10s 、2000rpm 20s 固化參數(shù): 110 3minn光阻曝光參數(shù): 2s 固化參數(shù): 110 1minn圖樣顯影參數(shù): NaOH(1g)+DI water(99g) 顯影時間: 10sn電著參數(shù): DC-100V 30s 固化參數(shù): 200oC、20min 電泳液比例: 5:95n清除光阻參數(shù): KOH(20g)+DI water(80g) 浸泡時間: 3minn清除矽油參數(shù): KOH(5g)+DI water(5g)+IPA(50g) 震盪液比例:NaOH(1g)+DI w

5、ater(99g)由實驗結果得知由實驗結果得知:隨著鍍層固化溫度、浸泡時間與震盪之提升時間，由圖片可觀察出，當浸泡與震盪時間超過3分鐘鍍層變的易剝落，矽油去除90%，將於後續(xù)實驗再提高固化溫度進行改善。鍍層固化 200C浸泡時間: 3min震盪時間: 3min鍍層固化 200C浸泡時間: 3min震盪時間: 4min鍍層固化 200C浸泡時間: 4min震盪時間: 3min6微模組圖樣尺寸微模組圖樣尺寸光罩尺寸15-35 m曝光完尺寸10-25 m電著完尺寸13-33 m由結果得知由結果得知:曝光完尺寸有縮小，但不影響電著圖案，電著完圖案有略小原尺寸，轉印後尺寸沒變，整體比光罩原尺寸有變小。1

6、0 m10 m10 m電著完尺寸13-33 m10 m量測距離7三色鍍層電著三色鍍層電著(商標商標)由實驗結果得知由實驗結果得知:由圖可觀察出，三色可成功電著上，但電著圖案品質不好，可能是曝光太長所導致的。三色鍍層塗佈矽油矽油比例: 1:16塗佈光阻曝光顯影EPD(紅)去除光阻重覆一次(藍)EPD(黃)8鍍層穩(wěn)定度測試鍍層穩(wěn)定度測試由實驗結果得知由實驗結果得知:隨著鍍層固化溫度的提升有助於鍍層的穩(wěn)定，但超過200oC的固化溫度相對的會破壞鍍層，當浸泡越久矽油層變的易剝落，矽油去除95%，成功鍍上鎳。清除矽油鍍鎳OM圖清除矽油鍍鎳圖塗佈矽油矽油比例: 1:16塗佈光阻曝光顯影EPD(紅)去除光阻

7、去除矽油浸泡時間:6 min鍍層固化鍍層固化220C、20minEPD(Ni)9新電泳漆實驗新電泳漆實驗由實驗結果得知由實驗結果得知:隨著電泳漆比例之調整及電壓下降，試片表面氣孔也隨之減少，可成功轉印。DC電泳漆:水80V40V30V20V5 : 9 57 : 9 3OM圖 20V 5:95OM圖 20V 7:93n電鍍參數(shù)：DC：120V 、時間:30S n熱壓轉印參數(shù):溫度50oC 、時間30s 、壓力0.5噸成功轉印鍍層10結論結論n在三色鍍層電著與熱壓轉印(色料)，由OM圖可觀察出，無論在單色、雙色與三色鍍層電著、光阻清除與熱壓轉印皆可獲得良好之實驗結果。n隨著鍍層固化溫度、浸泡時間與震盪之提升時間，由圖片可觀察出，當浸泡與震盪時間超過3分鐘鍍層變的易剝落，尤其是震盪對鍍層傷壞最大。n由圖可觀察出，三色可成功電著上，但去除光阻不可浸泡太久，會傷害到矽油，影響轉印品質(失去光澤