單晶制絨設備培訓PPT課件

1、 概概 述述第一部分：單晶清洗設備的組成第一部分：單晶清洗設備的組成第二部分：單晶清洗設備的開機第二部分：單晶清洗設備的開機第三部分：單晶清洗設備操作第三部分：單晶清洗設備操作第四部分：單晶清洗設備的關(guān)機第四部分：單晶清洗設備的關(guān)機單晶清洗設備的組成單晶清洗設備的組成一、單晶制絨機 1、單晶制絨槽式主體/一臺 2、上下料臺/各一個 3、NaOH、IPA補液系統(tǒng)/一套 4、純水預熱槽/一個 5、電控柜/一個二、酸洗機 1、酸洗槽式主體/一臺 2、上下料臺/各一個 3、電控柜/一個三、去PSG機 1、去PSG槽式主體/一臺 2、上下料臺/各一個 3、電控柜/一個四、甩干機單晶清洗設備功能介紹單晶清

2、洗設備功能介紹單晶槽式制絨機：單晶槽式制絨機：用堿性溶液（NAOH）清洗硅片表面的污 損， 并在硅片表面刻蝕出金字塔形的絨面。 酸洗機：酸洗機：用HCL、HF去除硅片表面的金屬離子。 去去PSG機：機：用HF去除硅片表面的磷硅玻璃。 甩干機：甩干機：先用水清洗硅片，再用熱氮氣去除硅片表面殘留的液體。 單晶制絨設備主體單晶制絨設備主體 上下料臺上下料臺上料臺下料臺NAOH、IPA自動補液系統(tǒng)自動補液系統(tǒng) 純水預熱槽純水預熱槽 電控柜內(nèi)部圖電控柜內(nèi)部圖 壓縮空氣、氮氣與純水供應管壓縮空氣、氮氣與純水供應管工工 作作 流流 程程 NAHO預處理 60S 上料臺 DI水 噴淋 25S DI水 漂洗 1

3、0S HF 酸洗 10S DI水 漂洗 10SNAOH、IPA、輔助劑 制絨 1100S DI水 漂洗 10S DI水 漂洗 30S NAOH、H2O2 去損傷 180S 下料臺單晶制絨單晶制絨工工 作作 流流 程程 HCL 酸洗 120S 上料臺 甩干 下料臺 DI水 噴淋 120S DI水 漂洗 60S DI水 噴淋 60S HCL、HF 酸洗 120S DI水 漂洗 60S酸洗酸洗工工 作作 流流 程程 HF 酸洗 120S 上料臺 甩干 下料臺 DI水 噴淋 120S DI水 噴淋 60S DI水 漂洗 60S DI水 漂洗 60S去PSG DI水 低速噴淋 30S 上料高速吹N2 1

4、80S 卸料甩干機制絨設備開機前檢查制絨設備開機前檢查壓縮空氣、氮氣、純水：壓縮空氣、氮氣、純水： 閥門處于打開狀態(tài)，壓縮空氣、氮氣壓力閥門處于打開狀態(tài)，壓縮空氣、氮氣壓力4-6barDI水CDAN2CDA調(diào)壓閥N2調(diào)壓閥制絨設備開機前檢查制絨設備開機前檢查化學品補液槽按要求配液化學品補液槽按要求配液純水預熱槽溫度達到設定值純水預熱槽溫度達到設定值刻度標尺 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作第一步：打開設備電控柜總電源，依次打開各功能電源開關(guān)電控柜內(nèi)各電源開關(guān) 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作第二步：等待觸摸屏顯示后，進入主界面進行工藝參數(shù)設置參數(shù)設置按鈕 單晶制絨設備運

5、行及操作單晶制絨設備運行及操作點擊“參數(shù)設置進入”按鈕后，彈出密碼框，輸入密碼后，按“確認”按鈕即可進入?yún)?shù)設置項。進入?yún)?shù)設置畫面，由工藝員對工藝參數(shù)（清洗時間、各槽溫度、自動配液參數(shù)、排液時間）進行設置。 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作點擊“自動補液參數(shù)設置”按鈕后，進入畫面，對各槽DI水、NAOH、IPA自動補液量進行設置自動補液畫面 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作點擊“時間溫速度設置”按鈕后，進入畫面，對各槽清洗時間、及各加熱槽的溫度進行設置，機械臂速度設置為500MM/S，除設備調(diào)試外，一般不作改動。時間、溫度、速度設置 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備

6、運行及操作第三步：設置好工藝參數(shù)后，點擊“返回”按鈕，即可返回主菜單，然后點擊“報警畫面”，確認是否有報警。報警按鈕彈出報警框，報警項顯示為綠色，則是報警已解除，若顯示為紅色，則需要對報警進行手動處理。 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作進行手動處理時，在主菜單中點擊手動按鈕即可進入各手動畫面：點擊“上升”“下降”“左移”“右移”按鈕即可對機械臂進行移動操作。點擊“循環(huán)泵ON”按鈕即可打開或關(guān)閉各循環(huán)泵，當標識顯示為綠色時，即標識泵已打開。機械臂手動畫面循環(huán)泵手動畫面 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作點擊“左蓋開”“右蓋開”按鈕即可打開蓋板，標識顯示為綠色即為打開狀態(tài)，點

7、擊“左蓋關(guān)”“右蓋關(guān)”按鈕即可關(guān)閉蓋板。點擊各對應槽體的“閥ON”，打開閥門排液，在排液前需對排液時間進行設置。槽蓋手動畫面槽蓋手動畫面排水手動畫面排水手動畫面 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作排水時間設置畫面排水時間設置畫面手動加熱畫面手動加熱畫面點擊時間設置按鈕進行各槽的排液時間設置，以S為單位。點擊“加熱ON”按鈕，對所對應槽進行加熱，加熱時“加熱”標識顯示為綠色。 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作鼓泡加水手動畫面手動補液設置點擊“鼓泡閥ON”或“加水閥ON可對所需槽進行鼓泡或加水。設置好補液量，手動按“ON”按鈕對所需工藝槽DI水、NAHO、IPA進行補液 單晶

8、制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作第四步：確認無報警后，再點擊“監(jiān)控畫面”檢查設備槽體的溫度、液位是否達到標準，監(jiān)控顯示的花籃要與槽體里的一致。監(jiān)控1監(jiān)控2 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作若畫面顯示的花籃與槽體實際花籃不一致，可進入主菜單，點擊“籃料強制”按鈕，進入籃料設置畫面。點擊畫面中的“有”按鈕，則會顯示有籃，點擊“無”顯示無籃。 單晶制絨設備運行及操作單晶制絨設備運行及操作第五步：進入“主菜單”，點擊“系統(tǒng)啟動畫面”在手動狀態(tài)下按“回原點”，當出現(xiàn)OK后，將觸摸屏下方的自動手動開關(guān)切換到自動狀態(tài)，按“自動啟動”按鈕，設備開始運行系統(tǒng)啟動畫面 單晶制絨設備運行及操作單

9、晶制絨設備運行及操作第六步：將裝好硅片的料籃放于上料臺后，按開始按鈕，即進行生產(chǎn)。開始按鈕單晶制絨設備的關(guān)機單晶制絨設備的關(guān)機1. 確保槽內(nèi)無花籃；確保槽內(nèi)無花籃；2. 將設備切換到手動狀態(tài)，通過觸摸屏排掉槽內(nèi)液體，并加將設備切換到手動狀態(tài)，通過觸摸屏排掉槽內(nèi)液體，并加DI水水清洗干凈；清洗干凈；3.關(guān)閉電控柜內(nèi)主電源開關(guān)、純水預熱槽電源開關(guān)；關(guān)閉電控柜內(nèi)主電源開關(guān)、純水預熱槽電源開關(guān)；4.關(guān)閉純水、氮氣、壓縮空氣閥門。關(guān)閉純水、氮氣、壓縮空氣閥門。主電源主電源主電源主電源制絨機電控柜制絨機電控柜預熱槽電控柜預熱槽電控柜酸洗、去酸洗、去PSG設備開機運行操作及關(guān)機設備開機運行操作及關(guān)機酸洗、去

10、酸洗、去PSG開機前檢查、運行操作及關(guān)機請參照制絨機。開機前檢查、運行操作及關(guān)機請參照制絨機。酸洗設備去PSG設備 甩干機甩干機甩干設備開機前檢查甩干設備開機前檢查壓縮空氣、氮氣、純水：壓縮空氣、氮氣、純水： 閥門處于打開狀態(tài)，壓縮空氣、氮氣壓力閥門處于打開狀態(tài)，壓縮空氣、氮氣壓力4-6bar。DI水閥CDA閥N2閥 甩干機運行及操作甩干機運行及操作第一步：打開電源開關(guān)，在觸摸屏“參數(shù)設置”畫面中設置工藝參數(shù)，并點擊“低溫開”、“高溫開”按鈕。 甩干機運行及操作甩干機運行及操作第二步：等待溫度控制器上的溫度顯示達到設定值；第三步：點擊“開門”按鈕，打開蓋板，放入裝載硅片的片盒后，雙手按住“關(guān)門

11、”按鈕，直至蓋板關(guān)到位；第四步：按“運行”按鈕進行工作；第五步：甩干結(jié)束，蜂鳴器響后按“開門”按鈕，打開蓋板取出片盒。甩干機的關(guān)機甩干機的關(guān)機1、打開蓋板確認旋轉(zhuǎn)盤內(nèi)無片盒；、打開蓋板確認旋轉(zhuǎn)盤內(nèi)無片盒；2、關(guān)閉蓋板，將電源開關(guān)切換到關(guān)的狀態(tài)；、關(guān)閉蓋板，將電源開關(guān)切換到關(guān)的狀態(tài)；3、打開電控柜門，關(guān)閉電源、打開電控柜門，關(guān)閉電源4、關(guān)閉、關(guān)閉DI水水N2CDA閥門閥門電源開關(guān)電控柜內(nèi)總電源中聯(lián)酸洗機中聯(lián)酸洗機中聯(lián)酸洗機比較與JJC酸洗機除多了自動烘干功能外，其它工藝均一致。開機檢查及關(guān)機參照制絨設備。正面圖背面圖中聯(lián)酸洗機中聯(lián)酸洗機熱風烘干系統(tǒng)加熱鼓風設備中聯(lián)酸洗機的運行操作中聯(lián)酸洗機的運行操作打開電源后，按觸摸屏下方的“電源啟動”按鈕，啟動后按“運轉(zhuǎn)準備”按鈕，等待觸摸屏進入操作主畫面。電源啟動運轉(zhuǎn)準備中聯(lián)酸洗機的運行操作中聯(lián)酸洗機的運行操作主畫面主畫面進入“主畫面”后，按屏幕右下角的“菜單欄”，即進入菜單，對設備