機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)

1、整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt微飛行器微飛行器血液壓力傳感器血液壓力傳感器整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt諧振式微加速度傳感器諧振式微加速度傳感器懸臂式微加速度傳感器懸臂式微加速度傳感器整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt諧振式微致動(dòng)器諧振式微致動(dòng)器整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理pp

2、t整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt 微諧振器（微諧振器（case5）試驗(yàn)片斷）試驗(yàn)片斷整理ppt整理ppt整理p

3、pt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt 整理ppt整理ppt整理ppt整理ppt硅微動(dòng)構(gòu)件中的空氣阻尼效應(yīng)硅微動(dòng)構(gòu)件中的空氣阻尼效應(yīng)整理ppt硅微動(dòng)構(gòu)件中的空氣阻尼效應(yīng)硅微動(dòng)構(gòu)件中的空氣阻尼效應(yīng)整理ppt整理ppt整理ppt22yutudydu0)()()(1200tdtutD整理ppt)cos(0ytyeUu)sin(cos0ttv)2cos()2cosh()2sin()2sinh(20ddddUDsd20UDs整理ppt作如下假設(shè)：作如下假設(shè)： 1、忽略徹體力項(xiàng)的影響、忽略徹體力項(xiàng)的影響 2、壓力、壓力p在在z方向上沒(méi)有變化方向上沒(méi)有變化 3、速度、速度u、v、w在在z方向

4、上沒(méi)有變化，且方向上沒(méi)有變化，且w=0 4、運(yùn)動(dòng)過(guò)程處于等溫狀態(tài)、運(yùn)動(dòng)過(guò)程處于等溫狀態(tài) 5、間隙內(nèi)空氣處于層流流動(dòng)、間隙內(nèi)空氣處于層流流動(dòng)整理ppt)(12222yuxuxPyuvxuutu)(12222yvxvyPyvvxvutv0yvxu整理ppt)()Re(Re22220yuxuxPyuvxuuuUdf)()Re(Re22220yvxvyPyvvxvuvUdf0yvxu整理ppt微系統(tǒng)中氣體的流動(dòng)模式可根據(jù)微系統(tǒng)中氣體的流動(dòng)模式可根據(jù)KnudsenKnudsen數(shù)的大小劃分為數(shù)的大小劃分為三個(gè)區(qū)域：三個(gè)區(qū)域：Kn10 Kn10 流動(dòng)為自由分子流動(dòng)或無(wú)碰撞流動(dòng)流動(dòng)為自由分子流動(dòng)或無(wú)碰撞流動(dòng)

5、Kn0.01 Kn0.01 流動(dòng)為連續(xù)流流動(dòng)為連續(xù)流 可采用連續(xù)介質(zhì)流體力學(xué)理論來(lái)分析可采用連續(xù)介質(zhì)流體力學(xué)理論來(lái)分析0.01Kn10 0.01Kn10 流動(dòng)為過(guò)渡態(tài)流流動(dòng)為過(guò)渡態(tài)流 流動(dòng)必須考慮為稀薄氣體流，而不是連續(xù)介質(zhì)流動(dòng)必須考慮為稀薄氣體流，而不是連續(xù)介質(zhì)整理pptwVVwallgasyuKnuu|2preQ159. 1638. 91KnQpr整理ppt整理ppt流體Reynolds方程：thyPhyxPhx)(12)()(33thyPQhyxPQhxprpr)(12)()(33整理pptFkxxcxm 整理pptFkxxcxm 其中，有效質(zhì)量tbfpeffmmmmm413512 mp

6、為諧振器振動(dòng)板的主干質(zhì)量，mf為活動(dòng)叉指質(zhì)量，mb為彈性梁質(zhì)量，mt為支撐架質(zhì)量彈性梁彈性系數(shù) )(2lwEhk 整理ppt 在激勵(lì)信號(hào)電壓U 的作用下，固定不動(dòng)電極的叉指與振子叉指間形成交變靜電力F，使振子沿x方向發(fā)生移動(dòng)。22222121UdNhUdNlhxUxCFcc )sin( tUUUdp )sin(2)sin(0tUUdNhtFFPdc整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在3/43/4時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在5/45/4時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在3/23/2時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖

7、 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在7/47/4時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在22時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在/4/4時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在/2/2時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在3/43/4時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在5/45/4時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在3/23/2時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在7/47/4時(shí)刻速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 流場(chǎng)在流場(chǎng)在22時(shí)刻

8、速度分布圖時(shí)刻速度分布圖 整理ppt 整理ppt 整理ppt 整理ppt 整理ppt 整理ppt 整理ppt 微諧振器各階諧振頻率仿真值微諧振器各階諧振頻率仿真值整理ppt 微諧振器（微諧振器（case1case1）的幅頻響應(yīng)圖）的幅頻響應(yīng)圖整理ppt 微諧振器（微諧振器（case2case2）的幅頻響應(yīng)圖）的幅頻響應(yīng)圖整理ppt 微諧振器（微諧振器（case3case3）的幅頻響應(yīng)圖）的幅頻響應(yīng)圖整理ppt振動(dòng)瞬態(tài)響應(yīng)振動(dòng)瞬態(tài)響應(yīng)周期內(nèi)阻尼力變化曲線(xiàn)周期內(nèi)阻尼力變化曲線(xiàn)微平面構(gòu)件的空氣壓力分布微平面構(gòu)件的空氣壓力分布整理ppt稀薄氣體效應(yīng)影響稀薄氣體效應(yīng)影響0.000.250.500.751.00-2-10123阻 尼 力 W/N時(shí) 間 周 期120.000.250.500.751.00-1