全自動(dòng)硅片裝片機(jī)

1、 GZP-2A全自動(dòng)硅片裝片機(jī)使用說(shuō)明書(shū)無(wú)錫雙川科技有限公司1. 概述11 主要用途和適用范圍 將方形硅片放入25片籃具內(nèi)以供下一工序使用。12 產(chǎn)品特點(diǎn) ZPJ-2X全自動(dòng)硅片裝片機(jī)主要由設(shè)備本體、籃具升降系統(tǒng)、上料為升降系統(tǒng)、上料位、皮帶傳送機(jī)構(gòu)、控制面板、硅片分取系統(tǒng)構(gòu)成。 本產(chǎn)品型號(hào)組成：“ZPJ”代表裝片機(jī)，2X代表2個(gè)工位2個(gè)吸盤(pán)。執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)Q/AH318-1998產(chǎn)品型號(hào)的命名。13 品種 全自動(dòng)裝片機(jī)，ZPJ-2X。14 使用環(huán)境條件 1）環(huán)境溫度：1535攝氏度。 2）相對(duì)濕度：<60%，無(wú)凝露。 3）周?chē)h(huán)境：無(wú)腐蝕性氣體。15 工作條件 產(chǎn)品工作電源為單相三線(xiàn)制電源，

2、并有壓縮空氣源。16 對(duì)環(huán)境及能源的影響 本產(chǎn)品對(duì)環(huán)境及能源無(wú)污染。17 本產(chǎn)品所執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) GB191-1990 包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志 GB4793.1-1995 測(cè)量控制和實(shí)驗(yàn)室用電氣設(shè)備的安全要求 Q/AH 117-2002 產(chǎn)品標(biāo)牌 Q/AH 318-1998 產(chǎn)品型號(hào)的命名2結(jié)構(gòu)特征及工藝流程21 結(jié)構(gòu)特征ZPJ-2X全自動(dòng)硅片裝片機(jī)主要由設(shè)備本體、籃具升降系統(tǒng)、上料升降系統(tǒng)、上料位、皮帶傳送機(jī)構(gòu)、控制面板、硅片分取系統(tǒng)構(gòu)成。1） 設(shè)備本體：結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，機(jī)身噴塑處理。2） 籃具升降系統(tǒng)：利用步進(jìn)系統(tǒng)進(jìn)行精確定位3） 上料升降系統(tǒng)：利用步進(jìn)系統(tǒng)進(jìn)行精確定位4） 上料位：可進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)5）

3、 皮帶傳送機(jī)構(gòu)：傳送帶選取對(duì)硅片無(wú)損傷和無(wú)污染的材料，采用導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，確保硅片順利準(zhǔn)確的進(jìn)入籃具。6） 控制面板：采用26萬(wàn)色真彩顯控觸摸屏7） 硅片分取系統(tǒng)：氣嘴分別位于硅片兩側(cè)，在吸盤(pán)真空開(kāi)始后略微下降上料臺(tái)，提供足夠空間讓粘連硅片分開(kāi)。吸頭采用的是PEEK材質(zhì)，不會(huì)損傷硅片表面。22 工藝流程 工藝流程示意圖（圖） 圖11)將硅片放置與上料位；2)步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)硅片向上移動(dòng)到指定位置；3）凸輪電機(jī)執(zhí)行器帶動(dòng)吸盤(pán)運(yùn)動(dòng)到吸片位置；4）吹氣分離裝置開(kāi)始工作；5）吸盤(pán)吸取硅片，并輪流把硅片放置于兩側(cè)的傳送帶上；6）傳送帶開(kāi)始工作，把硅片送入到籃具中。3主要技術(shù)參數(shù)及功能31 外型尺寸：約930（L）

4、x 830(W) x 1550(H) (mm)32 裝片效率：20002400片/小時(shí)33 碎片率：<1/1000 34 工位數(shù)：雙工位35 設(shè)備兼容156x156mm、125x125mm兩種規(guī)格的硅片4功率、重量41 功率：<500W42 重量：約200Kg5. 運(yùn)輸和安裝 51 安裝511 安裝調(diào)試前，應(yīng)先認(rèn)真檢查設(shè)備及其附件，檢查是否有破壞或遺漏的部分。512 設(shè)備必須水平放置，安裝時(shí)通過(guò)調(diào)整地腳螺栓，使設(shè)備達(dá)到水平。513 連接電源、氣源等。514 按照要求對(duì)設(shè)備進(jìn)行良好接地。6使用、操作61 使用前的準(zhǔn)備與檢查611 檢查設(shè)備妥善安裝，并將機(jī)器調(diào)至水平位置。612 將所有

5、電源開(kāi)關(guān)及電器開(kāi)關(guān)置于“關(guān)”位置，檢查電源是否合乎要求，機(jī)殼接地是否可靠。613 檢查供應(yīng)的氮?dú)狻嚎s空氣壓力是否滿(mǎn)足要求。 62 設(shè)備面板上由一個(gè)啟動(dòng)按鈕（綠色）、一個(gè)停止按鈕（紅色）、一個(gè)急停按鈕（紅色蘑菇按鈕）和觸摸屏構(gòu)成。 621 左邊有一個(gè)報(bào)警蜂鳴器、臺(tái)面上有左右兩個(gè)籃具復(fù)位按鈕。 622 確認(rèn)設(shè)備正常后，打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，松開(kāi)急停按鈕顯示開(kāi)始畫(huà)面如下（圖2）：如使用完畢可以按下停止按鈕（紅色），緊急情況下可以按下急停蘑菇按鈕，再關(guān)閉電源開(kāi)關(guān)。 延時(shí)幾秒后進(jìn)入系統(tǒng)手動(dòng)畫(huà)面（圖3）。 623 手動(dòng)狀態(tài) “手動(dòng)狀態(tài)”注釋表1旋轉(zhuǎn)停止/啟動(dòng)按下凸輪旋轉(zhuǎn)開(kāi)始/再按下凸輪旋轉(zhuǎn)停止旋轉(zhuǎn)吹氣按下分片吹

6、氣/再按下停止吹氣片盒上升按下片盒步進(jìn)上行，松開(kāi)停止片盒下降按下片盒步進(jìn)下行，松開(kāi)停止左帶輪啟動(dòng)/停止按下左帶輪電機(jī)啟動(dòng)/再按下左帶輪電機(jī)停止右?guī)л唵?dòng)/停止按下右?guī)л嗠姍C(jī)啟動(dòng)/再按下右?guī)л嗠姍C(jī)停止調(diào)試紅燈開(kāi)/關(guān)按下警示燈紅燈亮/再按下紅燈暗調(diào)試綠燈開(kāi)/關(guān)按下警示燈綠燈亮/再按下綠燈暗吹氣按下硅片分離吹氣開(kāi)/再按下硅片分離吹氣關(guān)吸頭A吸/放按下吸頭A吸氣/再按下吹氣吸頭B吸/放按下吸頭B吸氣/再按下吹氣左籃上升按下左籃具上升一格左籃復(fù)位按下左籃具下降到最底層右籃上升按下右籃具上升一格右籃復(fù)位按下右左籃具下降到最底層報(bào)警畫(huà)面點(diǎn)擊進(jìn)入歷史報(bào)警畫(huà)面自動(dòng)畫(huà)面點(diǎn)擊進(jìn)入自動(dòng)運(yùn)行畫(huà)面參數(shù)畫(huà)面點(diǎn)擊進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置

7、畫(huà)面624 自動(dòng)狀態(tài) “自動(dòng)狀態(tài)”畫(huà)面如下（圖4） “自動(dòng)狀態(tài)”注釋表2左籃復(fù)位點(diǎn)擊此按鈕左籃具下降到最底層右籃復(fù)位點(diǎn)擊此按鈕右籃具下降到最底層自動(dòng)復(fù)位點(diǎn)擊此按鈕凸輪旋轉(zhuǎn)到準(zhǔn)備位計(jì)時(shí)清零點(diǎn)擊清除左側(cè)顯示框時(shí)間換片畫(huà)面點(diǎn)擊進(jìn)入更換片盒畫(huà)面調(diào)整畫(huà)面點(diǎn)擊進(jìn)入手動(dòng)畫(huà)面625 換片狀態(tài) “換片狀態(tài)”畫(huà)面如下（圖5） “換片狀態(tài)”注釋表3旋至中位點(diǎn)擊此按鈕凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)45度，可以方便上料片盒到底點(diǎn)擊此按鈕片盒下降到最底層片盒上升點(diǎn)擊此按鈕片盒上升片盒下降點(diǎn)擊此按鈕片盒下降自動(dòng)畫(huà)面點(diǎn)擊進(jìn)入自動(dòng)畫(huà)面626 參數(shù)設(shè)置 “參數(shù)設(shè)置”畫(huà)面如下（圖6） “參數(shù)設(shè)置”注釋表4累積工作時(shí)間顯示當(dāng)前累積的工作時(shí)間片盒升降速度片

8、盒上升下降的速度設(shè)置片盒下降步數(shù)片盒自動(dòng)分片時(shí)要求下降的距離設(shè)置花籃升降速度左右籃具上升下降的速度設(shè)置花籃上升距離左右籃具上升一格的距離設(shè)置吹氣延時(shí)硅片吹離吹氣時(shí)間設(shè)置分片延時(shí)分片吹氣時(shí)間設(shè)置空抓報(bào)警次數(shù)吸頭沒(méi)抓住硅片空運(yùn)行報(bào)警的次數(shù)設(shè)置進(jìn)倉(cāng)延時(shí)上升硅片進(jìn)入籃具后延時(shí)上升時(shí)間設(shè)置帶輪停止延時(shí)停止運(yùn)行時(shí)帶輪延時(shí)停止時(shí)間設(shè)置左籃清零左籃具計(jì)數(shù)清零右籃清零右籃具計(jì)數(shù)清零返回調(diào)整返回調(diào)整畫(huà)面7維護(hù)保養(yǎng)71 設(shè)備應(yīng)放置在潔凈干燥的工作環(huán)境下，環(huán)境溫度1535攝氏度。72 保證設(shè)備可靠接地73 定期檢查及清潔控制電器元件，以免因此造成的漏電及局部短路，接觸不良。74 定期檢查控制面板上的各操作按鈕，指示燈

9、，如果出現(xiàn)故障，要及時(shí)更換。8安全操作規(guī)范81 操作人員必須經(jīng)過(guò)我方培訓(xùn)并熟悉操作規(guī)程才可以使用本設(shè)備。82 本設(shè)備應(yīng)該在通風(fēng)、安全防范措施及設(shè)備齊備的環(huán)境下工作。83 設(shè)備內(nèi)部或周?chē)鷩?yán)禁接觸和堆放易燃易爆等危險(xiǎn)品。84 工作時(shí)一定要有專(zhuān)人看守，工作結(jié)束后，操作人員必須保證關(guān)閉設(shè)備電源后方可離開(kāi)。85 日常維護(hù)、檢修，需由相關(guān)項(xiàng)目專(zhuān)業(yè)人員進(jìn)行不帶電作業(yè)。86 壓縮空氣潔凈度必須滿(mǎn)足要求。9故障處理 下表列出設(shè)備使用過(guò)程可能出現(xiàn)的故障和處理方法。 表5 故障處理注解故障類(lèi)型 詮釋及處理電源失靈1、 檢查是否總電源線(xiàn)接線(xiàn)錯(cuò)誤2、 空氣開(kāi)關(guān)是否完好3、 檢查是否短路、漏電現(xiàn)象步進(jìn)電機(jī)無(wú)法運(yùn)行1 電機(jī)是否卡死2 檢查驅(qū)動(dòng)器是否報(bào)警3 斷電重起傳送帶不動(dòng)1 交流電機(jī)是否完好2 傳送帶是否卡死吹氣失敗1 檢查氣源是否正常2 檢查氣孔是否堵塞吹氣時(shí)有污染物吹出1、檢查壓縮氣是否潔凈，清理過(guò)濾減壓閥10故障處理 101 運(yùn)輸 為了防止產(chǎn)品在搬運(yùn)和運(yùn)輸過(guò)程中受損或降低使用性能，對(duì)搬運(yùn)