靜電對策實施手冊2

1、頁數(shù)14/593.8作業(yè)臺、貨架的導電膠皮墊子、導電地板等的電阻值測定為進行靜電對策、保護人體，需要管理的適當值。新設(shè)備以及變更時，定期檢查時要按下面的方法來實施未確保ESD對策基準的適用（IEC61340 、4-1 、5-1、5-2），半導體設(shè)備的耐性低下，人體的安全性，需要變更測定基準；而且以以前的500V的基準來測電阻，的確是無法測出導電膠皮墊子是異常的。所以一定要改正。3.8.1以國際規(guī)格 IEC61340 4-1、5-1、5-2為基準的方法a)使用測定器 是一種電阻值未達到1×106的場合，印加10V就可測出來的 是一種電阻值未達到1×106的場合，印加10V就可

2、測出來的代表例 .表面電阻計 Suface Resistance Test Kit5磅電極本體與接地極連接 3.8.2繼續(xù)使用一部分舊基準的測定器具有效利用舊的測定器得出誤差很少的測定結(jié)果a)使用測定器代表例 .電阻計 印加電壓是125V的絕緣電阻計制造公司 YOKOKAWA 專用電極型號 MY-40 JIS標準條件的電極 （2Kg 60mm） b)代表例 使用測定器電阻計 印加電壓是10V的絕緣電阻計制造公司 YOKOKAWA 專用電極型號 2426A 美國標準的5磅重的電極 （120H× 64mm) 有效利用舊的測定器的注意點和舊的國際規(guī)格IEC61340方式進行比較測定，顯示出

3、最接近的值可做相同判斷對測定值產(chǎn)生懷疑時，可按IEC61340基準a)的方法進行測定。 測定時的注意點 測定現(xiàn)在的狀態(tài)是很重要的，測定前禁止用有機溶液洗凈，用水擦拭有少量灰塵時，也可以用柔軟的刷子除去灰塵-。頂端有導電墊板現(xiàn)在停止銷售 頁數(shù)15/593.8.3測地板面、作業(yè)臺表面、貨架表面和接地極間的絕緣電阻時的連接圖a) 測定方法 導電地板、作業(yè)臺上面、貨架上面、低電阻值導電層側(cè)導電象膠絕緣電阻計表面電阻計專用電極3.8.4絕緣電阻的管理值 變更前-JIS基準的測定基準和絕緣電阻值測定方式電壓V電極mm重量絕緣電阻值M以前的方式500602Kg0.1100以內(nèi) 問題點 測定電壓變高就會破壞絕

4、緣層使絕緣值看起來很低變更后 IEC61340，ESD S4-1基準中的測定基準和絕緣電阻值測定方式電壓100V電極mm重量絕緣電阻值國際規(guī)格方式100645磅0.1100以內(nèi)使用舊測定器a)125602Kg0.1100以內(nèi)使用舊測定器b)100645磅0.1100以內(nèi) 益處：因為不破壞絕緣層就能取得適當?shù)臏y定結(jié)果1.推薦的地板、桌子、貨架等的絕緣電阻值是0.7510 M以下是最好的。2.避免 以靜電鞋為介將人體的電位連接在地板面的接地極時的體系合成電阻值是0.7510M以下是最好的。3.同樣，使用靜電手環(huán)接地時，推薦的體系合成電阻值是0.7510M以下是最好的。1035M時，有些異常。在等級

5、2（50V）以下，有帶靜電手環(huán)的義務(wù)的理由是，因為低電阻（10M以下）的電阻值可將人體的帶電電壓值控制在50V以下。與電阻相對應(yīng)的人體帶電的電壓頁數(shù)16/593.9導電膠皮墊子的性能判定 導電膠皮墊子的主要目的是為防止半導體設(shè)備的靜電放電帶來的損傷而作了無電位0V等電位面。 做半導體、搭載有半導體的PCB、處理半完成品的面。 遮斷電界具有接地用具的作用。用靜電鞋鋪在地板面上的導電膠皮墊子，構(gòu)筑接地體系。選定導電膠皮墊子時，不僅需要商品目錄數(shù)據(jù)，而且也需要實際評價了解素性，另外也需要把握現(xiàn)有的膠皮墊子的狀態(tài)。作為參考只測定了電阻值，但是也評價了市場上銷售的導電膠皮墊子。AKIRESU制 SC墊子

6、的電阻值測定a)測定絕緣電阻值（500V） b) 測定絕緣電阻值（125V）確認測定結(jié)果以500V來測定的電阻值低500V/125V的電阻變化 7.71/4.68=1.65倍的變化滿足所規(guī)定的規(guī)格值矢崎制 靜電膠皮墊的電阻值測定a)絕緣電阻值測定（500V） b)絕緣電阻值測定（125V） 確認結(jié)果以500V來測定的電阻值低500V/125V的電阻變化 36.8/8.96=4.1倍的變化 125V時，與AKIRESU制的東西相比，顯示的它5倍的電阻值 在規(guī)格值內(nèi)結(jié)果的判斷上記兩點的靜電膠皮墊滿足了單體的規(guī)格，以靜電鞋和地板膠皮墊來使人體接地的場合，在兩者間產(chǎn)生了很大的差想把人體電壓設(shè)為100V

7、以下的系統(tǒng)合成電阻是35M以下；用矢崎制（同等）的場合達不到推薦值。 現(xiàn)狀的規(guī)格值是100 M以下就能滿足條件，但是卻很難很有效地除電，管理值是30V以下地時候更不利。 選定靜電膠皮墊時，要選擇10 M以下的。今后的除電系統(tǒng)的構(gòu)筑方法：地板面 導電地板磚（耐久性、電氣性能優(yōu)良）要穩(wěn)定的持有1 M左右地電阻值 作業(yè)臺面 靜電膠皮墊（柔軟、易設(shè)置）頁數(shù)17/594、人體地除電對策，靜電手環(huán)的著用 由于人體是運動的帶電體，所以需要完善的對策和管理。在導電性地板材的施工，穿好靜電鞋，戴好靜電手環(huán)方面都有著相應(yīng)的靜電對策。但是，只采用這當中的一兩個方法就說不上完善，有時還會發(fā)生危險。比如，即使穿著靜電鞋

8、，如果腳離開地面的場合或者靜電手環(huán)斷線和與皮膚等沒有完全接觸，所以最理想的就是上記的3個方法一起來實行對策。4.1由于戴好靜電手環(huán)而除電制造公司 住友3m名稱 綠色靜電手環(huán)型號 2314例-2制造公司 株式會社名稱紅色靜電手環(huán)型號 D-051 D-050 a)靜電手環(huán) 例-1 將靜電手環(huán)套在作業(yè)員的手腕上，一直系到不會松為止一定要直接接觸到皮膚，否則如果有縫隙的話就不會有除電效果了。參照左圖b) 著用方法 c) 引線接地的連接方法通常，在靜電手環(huán)的頂端連上地線上接地，在生產(chǎn)工程穩(wěn)定使用很多時候會產(chǎn)生問題問題點 例1 例2要斷線前易脫落用單線的1.6就很難夾緊、接觸不好且易掉 用軟銅線，如果用夾

9、子夾住又很容易劃傷線材，之后又會造成斷線由于夾子脫落或者地線斷線，就會發(fā)生人體的除電效果發(fā)揮不出來的狀態(tài)，所以為了對應(yīng)這些，將在下頁規(guī)定對策例子應(yīng)現(xiàn)場情況選擇對策例來實施。頁數(shù)18/59改善對策例 改善對策例1 （變更地線）地線左圖例使用了3.5mm2 硬銅燃線a)線種變更 單線燃線b)線徑變更 1.63.5 mm2c)硬度變更 軟銅線硬銅線夾子防止斷線和加強改善接合強度夾子改善對策例2（追加有端子的地線）地線頭的圓形壓著端子 在引線上裝上圓形壓線端子接在地線上為防止斷線，用固定帶固定了將夾子接在圓形壓線端子上改善對策例3（追加有弧形插口的地線）a)能直接連接靜電手環(huán)的弧形插口b)能直接和靜電

10、膠皮用的地線膠皮墊連接推薦線種時3.5mm2以上的硬銅燃線改善對策例4（變更夾子）連接在1.6mm的地線上的狀態(tài)變更夾子，提高連接強度在夾子上有縱、橫的鋒利刀刃，所以使用線徑細的1.6的也可保持強度。 頁數(shù)19/594.2靜電手環(huán)的檢查a) 戴好靜電手環(huán)的導通確認（在線上的檢查場所等確認的方法）作業(yè)員把靜電手環(huán)套到手腕上，將引線接到檢查的指定部位，用手指頭按檢出部檢查戴靜電手環(huán)的狀態(tài)和導通情況。檢查靜電手環(huán)的例子-1制造公司名稱 型號 D-001 檢查靜電手環(huán)的例子-2制造公司 Semtronics Copration名稱 系統(tǒng)分析器型號 EN425設(shè)定電阻值是10M 由于靜電手環(huán)很容易斷線，

11、所以檢查頻度是1天/1次注意點由于上記的方法在實際作業(yè)中沒有進行確認，所以不能檢查出忘記裝夾子，所以要以實際作業(yè)狀態(tài)的檢查為標準。把下記的方法作為靜電手環(huán)的檢查基準。B)以作業(yè)條件來確認導通的方法（實際作業(yè)狀態(tài)的狀態(tài)確認=系統(tǒng)合成電阻/靜電手環(huán)）在確認作業(yè)現(xiàn)場的地線效果的地方，連上靜電手環(huán)、系統(tǒng)儀器的夾子，來檢查實際作業(yè)狀態(tài)的導通，觀察人體的除電效果。地線干線地線R4連接地線將靜電手環(huán)的夾子接在地線上關(guān)于系統(tǒng)電阻合成電阻值/靜電手環(huán)在靜電手環(huán)著用狀態(tài)下的合成電阻R1：1M±5%的保護電阻R2：靜電手環(huán)和作業(yè)員的接觸電阻 （約1 M）R3：作業(yè)員的人體電阻 （約1K）R4：分析器按紐與

12、手指的接觸電阻 （500K以上）R5：分析器與地線間的電阻 （使它變?yōu)榈碗娮瑁㏑6：接觸電阻 連接部無污垢、銹、異物附著、松動等頁數(shù)20/59c)作業(yè)條件的導通確認（在實際作業(yè)中時常監(jiān)視的方法）在作業(yè)狀態(tài)中將時常監(jiān)視的檢查器裝在地線和靜電手環(huán)之間來監(jiān)視接地狀態(tài)，即使檢出導通不良。到目前為止，還沒有比這個更好的方法，如果沒有費用方面的問題建議及時導入。4.3使用靜電手環(huán)方面的注意點使用的時候，要注意下面的事項，特別是僅靠靜電手環(huán)來除掉人體的靜電時，使用靜電手環(huán)要做到維持電氣處于導通的狀態(tài)。1. 把靜電手環(huán)套到手腕上直接與皮膚接觸a) 不戴在工作服的上面b) 不戴在手套的上面c) 戴靜電手環(huán)時，沒有松動2. 要經(jīng)常監(jiān)視靜電手環(huán)的接地狀態(tài)（參照上記） 使用靜電手環(huán)時要經(jīng)常監(jiān)視靜電手環(huán)舞斷線、夾子無脫落3. 用系統(tǒng)分析器在實際作業(yè)狀態(tài)檢查后使用。4. 檢查的次數(shù)時1天/1次。5. 與其只使用1個靜電手環(huán)還不如使用2個、和其它方法一起使用經(jīng)常保持接地狀態(tài)使用帶電低的設(shè)備時，為了保險起見，請雙手戴上靜電手環(huán)。6. 靜電手環(huán)不要戴在脖子上和腳上。（因為靜電手環(huán)脫落時檢查出來太遲了）要在脖子上和腳上戴靜電手環(huán)的場合要取得管理者的許可才可以。戴在靜電對策品上的手套上糾正點1.