鐳刻機操作指導(dǎo)書-w0421

1、福建中晶科技有限公司文件編號文件名稱鐳刻機操作指導(dǎo)書版本/版次A0制(修)訂日期2016-4-22頁碼/頁數(shù) 1 /6一、 目的指導(dǎo)鐳刻作業(yè)員正確操作15035鐳刻機二、 適應(yīng)范圍本公司2英寸、4英寸PSS三、 操作規(guī)程1、設(shè)備開機、關(guān)機找對應(yīng)設(shè)備工程師操作2、啟動鐳刻軟件“160328下上網(wǎng)路（直式）”3、登陸：編號和密碼由管理員提供4、點擊“歸原點”，讓各軸的原點自動歸零頁碼/頁數(shù) 2 / 65、把生產(chǎn)制令文件放入LMdata文件夾：6、輸入“制令號碼”并按回車鍵一次。此號碼須與放入LMdata的生產(chǎn)制令文件名相同（不帶文件后綴）。出現(xiàn)提示對話框，點擊“確認”。7、核對自動讀取的“客戶名稱

2、”、“待打印號碼”、“起始流水號”、“結(jié)束流水號”是否正確。此處的“待打印號碼”是即將第一個打印的號碼，“目前印碼”是最近一個已經(jīng)打印的號碼。頁碼/頁數(shù) 3 / 68、上料和放置收料盒：a、上料前，確認wafer平邊全部落在料盒底部；b、料盒箭頭向上，下部卡槽卡在治具定位塊上；c、上部的定位塊放下，并確保治具頂部呈水平狀，如有傾斜/翹起說明料盒沒放好。 9、點擊“自動模式”10、點擊“自動運轉(zhuǎn)”，機臺機械手開始自動掃描料盒，掃描完成后自動開始取料打印。11、頁碼/頁數(shù) 4/ 611、完成一盒打印后，機臺響起報警聲，下圖中對應(yīng)的料盒位按鈕變成黃色背景，此時可收料和補料。收料和補料完成后，點擊對應(yīng)

3、料盒位按鈕，可消除黃色背景。12、全部wafer打印完成后，點擊“停止”和“離開”，結(jié)束執(zhí)行本次制令號碼：13、點擊“登出”可退回登陸界面；直接點擊“離開”可關(guān)閉程序離開系統(tǒng)。四、 注意事項1、機臺出現(xiàn)的警報訊息被處理后，必須停止并離開本次制令文件的執(zhí)行，記錄待打印流水號，而后重新編輯制令文件，重新加載。新的制令文件以上述待打印流水號為起始流水號。五、 其他說明事項（一）CCD影像辨視正確與否的判斷:1. 影像辨視正確的話，看到的畫面應(yīng)如上圖所示:a. 位置補正的淡綠色的長方形要在平邊的外圍。b. 智能邊緣(線)的綠色小方形，要在平邊的中間。c. 智能邊緣(圓)的綠色圓內(nèi)外圈，要包住wafer

4、片。2. 如不是如此畫面，但辨視顯示ok，那就是設(shè)定需要做調(diào)整頁碼/頁數(shù) 5 / 6（二）亮度正確與否的判斷: 畫面有經(jīng)過前處理過的話，如下說明。如看到的是沒有前處理過的灰階畫面，要打開前處理。開前處理方式: 游戲桿的F1 => 屏幕0 => 顯示切換 => 灰階前處理: A1. 亮度正常的畫面2. 亮度太暗的畫面3. 亮度太亮的畫面:wafer片邊緣有白色透光現(xiàn)象，甚至于wafer的影像只出來一部份。（三）、全自動操作主畫面介紹： 頁碼/頁數(shù) 6/ 6A.操作參數(shù)設(shè)定區(qū)：可設(shè)定想要生產(chǎn)的各項參數(shù)；B.顯示前次已打印的流水號；C.全自動操作資訊顯示區(qū):顯示連線狀態(tài)及機臺運轉(zhuǎn)的

5、狀態(tài)；D.功能按鈕 自動模式：機臺依據(jù)所設(shè)參數(shù)全自動運轉(zhuǎn)； 打印范圍錯誤清除：把鐳射偏移的補償值清為零，鐳射打印出現(xiàn)laser alarm時，可以試著按此鍵清除； 打印明細：可查詢鐳射打印的明細； 使用者設(shè)定：設(shè)定使用者權(quán)限及密碼； 系統(tǒng)設(shè)定：制程管理、參數(shù)修改記錄、警報記錄、登陸記錄、運轉(zhuǎn)記錄等歷史信息。制程管理底項下可查詢機臺維修記錄； 登出：可更換使用者名稱，用于換班或提升權(quán)限； 歸原點：各軸歸原點 離開：可關(guān)閉程序離開系統(tǒng)回到windows界面E.機臺暫停鈕：讓機臺的程式停止運作，但不像外部的急停按鈕會去關(guān)閉伺服馬達的電源及所有的輸出點；F.全自動時的選擇功能鈕： 自動運轉(zhuǎn)：開始依據(jù)所設(shè)參數(shù)自動操作，至整批wafer打印完成； 異常收料：此功能只在自動運轉(zhuǎn)執(zhí)行后，按下停止按鈕才可以使用。依照伺服馬達停留的位置決定是否會進行收料，或是需要人工手動排除； 停止：停止生產(chǎn)模式 離開：系統(tǒng)回到主畫面，并關(guān)閉所有輸出。如在吸片狀態(tài)，按下此鈕，真空會消失，要小心wafer片掉落。G.警報訊息：提供機臺的警報資訊，可做單一警報的復(fù)歸。鼠標連擊訊息文字兩次，會打開alarm列表小視窗。本